CN111379765A - 工作流体监视传感器和流体压驱动装置 - Google Patents

工作流体监视传感器和流体压驱动装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供工作流体监视传感器和流体压驱动装置，能够简单且准确地监视工作油的清洁度。工作流体监视传感器(1)包括：获取部(1a)，其获取流量控制阀(3)中的与可动部(3a)的驱动相关的信息，该流量控制阀(3)具有可动部(3a)且根据可动部(3a)的位置来控制工作流体的喷出量；推定部(1b)，其基于信息来推定可动部(3a)的滑动阻力；以及状态判断部(1c)，其基于滑动阻力来判断工作流体的清洁度。推定部(1b)也可以根据使可动部移动的驱动力与可动部的移位速度之间的相关关系来推定滑动阻力。

Description

工作流体监视传感器和流体压驱动装置
技术领域
本发明涉及工作流体监视传感器和流体压驱动装置。
本申请以日本专利申请(特愿2018－243212，申请日：2018.12.26)为基础，基于该申请享受优先的利益。通过参照该申请，而包含该申请的全部内容。
背景技术
在专利文献1中公开有一种自动地诊断用于控制轧机的液压压下装置的液压压下伺服阀的故障的方法。在专利文献1中，根据伺服阀的滑阀芯位置的指令值与实际的滑阀芯位置之间的偏差是否超过了阈值来判断伺服阀是否发生了故障。
专利文献1：日本特开2016－50785号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在专利文献1中，没有公开和教导尽早地检测伺服阀发生故障的征兆而避免故障。
在异物混入工作油等而工作油的清洁度下降时，滑阀芯的移动变慢，不久在滑阀芯咬入异物而发生固着。在滑阀芯固着时，需要对伺服阀进行分解修理，而发生伴随着分解修理的时间和费用。因此，尽早地检测滑阀芯的移动变慢并采取更换工作油等对策是重要的。由于在工作油的清洁度下降时滑阀芯的移动变慢，因此，监视工作油的清洁度是重要的。
本发明的一技术方案在于提供能够简单且准确地监视工作油的清洁度的工作流体监视传感器和流体压驱动装置。
用于解决问题的方案
为了解决上述的课题，在本发明的一技术方案中，提供一种工作流体监视传感器，其中，
该工作流体监视传感器包括：
获取部，其获取流量控制阀中的与可动部的驱动相关的信息，该流量控制阀具有可动部且根据所述可动部的位置来控制工作流体的喷出量；
推定部，其基于所述信息来推定所述可动部的滑动阻力；以及
状态判断部，其基于所述滑动阻力来判断所述工作流体的清洁度。
也可以是，所述推定部根据使所述可动部移动的驱动力与所述可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述滑动阻力。
本发明的另一技术方案提供一种流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括：
流量控制阀，其具有可动部且根据所述可动部的位置来控制工作流体的喷出量；
位置传感器，其检测所述可动部在可动区域中的位置；
推定部，其基于使所述可动部移动的驱动力与所述可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述可动部的滑动阻力；以及
状态判断部，其基于所述滑动阻力来判断所述工作流体的状态。
也可以是，该流体压驱动装置包括驱动部，该驱动部根据驱动电流或驱动电压来使所述可动部移动，
所述状态判断部基于向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压与所述可动部的移位速度之间的相关关系来判断所述工作流体的清洁度。
也可以是，所述状态判断部根据在向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压为第1值时所述可动部的移位速度是否小于第2值、或者在所述可动部的移位速度为第3值时向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压是否大于第4值来判断所述工作流体的清洁度。
也可以是，该流体压驱动装置包括：
计数部，其对在规定的期间内向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压与所述可动部的移位速度之间的相关关系在所述规定的范围外的次数进行计数；以及
次数判定部，其判定所述计数到的次数是否超过规定的阈值，
所述状态判断部在所述次数判定部判断为超过所述阈值的情况下进行规定的警告处理。
也可以是，在供所述工作流体流动的流体路径内设有多个所述流量控制阀，
所述状态判断部基于所述多个流量控制阀各自的所述相关关系来判断所述工作流体的清洁度。
也可以是，所述可动部具有第1可动部，
该流体压驱动装置包括致动器，该致动器具有能够根据来自所述流量控制阀的工作流体的喷出量来使位置变化的第2可动部，
所述推定部基于使所述第1可动部移动的驱动力与第2可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述可动部的滑动阻力。
也可以是，所述致动器为根据所述第2可动部的位置来控制向与所述致动器不同的其他的致动器供给的工作流体的供给量的阀。
也可以是，所述可动部为滑阀芯，
所述流量控制阀为滑阀。
发明的效果
根据本发明，能够简单且准确地监视工作油的清洁度。
附图说明
图1是表示具备本发明的一实施方式的工作流体监视传感器的流体压驱动装置的概略结构的框图。
图2是表示驱动部流向流量控制滑阀的电磁线圈的驱动电流与FV滑阀芯的移位速度之间的相关关系的图。
图3是表示工作流体监视传感器的处理动作的一个例子的流程图。
附图标记说明
1、工作流体监视传感器；1a、获取部；1b、推定部；1c、状态判断部；1d、移位检测部；1e、计数部；1f、次数判定部；2、流体压驱动装置；3、流量控制滑阀；3a、FV滑阀芯；3b、FV滑阀芯传感器；4、致动器；4a、ACTV活塞；4b、ACTV活塞传感器；5、控制器。
具体实施方式
以下，参照附图对本公开的一实施方式进行说明。此外，在附加于本说明书的附图中，为了便于容易图示和理解，适当将比例尺和纵横尺寸比等相对于实物的比例尺和纵横尺寸比等进行了变更及放大。另外，对本说明书中使用的形状、几何学的条件以及指定该形状、几何学的条件的程度的例如“平行”、“正交”、“相同”等用语、长度、角度的值等而言，不限定于严格上的意思，而可解释为包含能够期待相同的功能的程度的范围。以下，对本发明的实施方式进行详细说明。
图1是表示具备本发明的一实施方式的工作流体监视传感器1的流体压驱动装置2的概略结构的框图。图1的流体压驱动装置2包括流量控制滑阀(以下称为FV)3、致动器(以下称为ACTV)4以及内置工作流体监视传感器1的控制器5。FV3为流量控制阀的一个例子。此外，在图1中，示出在控制器5内置工作流体监视传感器1的例子，但也可以与控制器5分开地设置工作流体监视传感器1。
FV3具有能够在中空的套筒内移动的滑阀芯(第1可动部，以下称为FV滑阀芯)3a。FV3根据FV滑阀芯3a的位置来控制工作油的喷出量。ACTV4具有能够在中空的套筒内移动的活塞(第2可动部，以下称为ACTV活塞)4b。ACTV4使ACTV活塞4a的位置能够根据来自FV3的工作油的喷出量而进行变化。
FV3也可以具备检测FV滑阀芯3a的位置的滑阀芯传感器(以下称为FV滑阀芯传感器)3b。FV滑阀芯传感器3b例如安装于FV3的长度方向上的一端部，以非接触的方式检测与FV滑阀芯3a之间的距离。由FV滑阀芯传感器3b检测到的FV滑阀芯3a的位置被传递至控制器5。
ACTV4也可以具备检测ACTV活塞4a的位置的活塞传感器(以下称为ACTV活塞传感器)4b。ACTV活塞传感器4b例如安装于ACTV4的长度方向上的一端部，以非接触的方式检测与ACTV活塞4a之间的距离。由ACTV活塞传感器4b检测到的ACTV活塞4a的位置被传递至控制器5。
控制器5向FV3发送用于指令FV滑阀芯3a的位置的信号。FV3例如为电磁阀，使FV滑阀芯3a移动到与来自控制器5的指令信号相对应的位置。控制器5具有产生使FV滑阀芯3a移动的驱动力的驱动部5a。在FV3为电磁阀的情况下，驱动部5a向FV3的电磁线圈供给驱动电流或驱动电压。驱动部5a基于由FV滑阀芯传感器3b检测到的FV滑阀芯3a的位置来驱动FV滑阀芯3a，以使FV滑阀芯3a到达期望的移动目标位置。
控制器5所内置的工作流体监视传感器1具有获取部1a、推定部1b以及状态判断部1c。获取部1a获取与FV滑阀芯3a的驱动相关的信息。与驱动相关的信息例如为由驱动部5a产生的FV滑阀芯3a的驱动力、FV滑阀芯3a的移位速度等。另外，如后所述，与驱动相关的信息也可以包含工作流体的压力、滑阀芯的开度等信息。
推定部1b基于获取部1a获取到的与FV滑阀芯3a的驱动相关的信息来推定FV滑阀芯3a的状态。状态例如为FV滑阀芯3a的滑动阻力。滑动阻力是定量地表示FV滑阀芯3a的移动容易度的指标。更具体而言，推定部1b也可以基于驱动FV滑阀芯3a所需要的驱动部5a的驱动力与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系来推定FV滑阀芯3a的滑动阻力。能够根据FV滑阀芯3a的滑动阻力，判断工作流体的清洁度。滑动阻力越大，表示工作流体的清洁度越下降，FV滑阀芯3a的滑动阻力成为判断工作流体的清洁度的尺度。
状态判断部1c基于推定部1b推定出的FV滑阀芯3a的滑动阻力来判断工作流体的清洁度。更具体而言，状态判断部1c可以根据在向FV滑阀芯3a供给的驱动电流或驱动电压为第1值时FV滑阀芯3a的移位速度是否小于第2值、或者在FV滑阀芯3a的移位速度为第3值时向FV滑阀芯3a供给的驱动电流或驱动电压是否大于第4值来判断工作流体的清洁度。这样，预先对向FV滑阀芯3a供给的驱动电流或驱动电压与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系设定正常范围，状态判断部1c根据检测到的相关关系是否在正常范围内来推定工作流体的清洁度。
工作流体监视传感器1也可以具备移位检测部1d，该移位检测部1d基于由FV滑阀芯传感器3b检测到的FV滑阀芯3a的位置的时间变化来检测FV滑阀芯3a的移位速度。在该情况下，状态判断部1c可以根据FV滑阀芯3a的移位速度与向FV滑阀芯3a供给的驱动电流或驱动电压之间的相关关系是否在规定的范围(上述的正常范围)外来判断工作流体的清洁度。
工作流体监视传感器1还可以具备计数部1e和次数判定部1f。计数部1e对在规定的期间内FV滑阀芯3a的移位速度与向FV滑阀芯3a供给的驱动电流或驱动电压之间的相关关系在规定的范围(上述的正常范围)外的次数进行计数。次数判定部1f判定由计数部1e计数到的次数是否超过规定的阈值。在该情况下，状态判断部1c在次数判定部1f判断为超过阈值的情况下进行规定的警告处理。
在FV滑阀芯3a位于中立位置时，原本自FV3未喷出工作油，ACTV活塞4a为停止状态。即，ACTV活塞4a继续停止于在FV滑阀芯3a即将位于中立位置之前ACTV活塞4a所存在的位置。
在使FV滑阀芯3a自中立位置向第1方向(例如图1的上方)偏移时，向ACTV4的下端部供给工作油，ACTV活塞4a向上方移动。由此，例如ACTV4的致动器轴4c向上方移位。另一方面，在使FV滑阀芯3a自中立位置向第1方向的相反方向的第2方向偏移时，向ACTV4的上端部供给工作油，ACTV活塞4a向下方移动。由此，ACTV4的致动器轴4c向下方移位。
此外，ACTV4也可以不是直接使致动器轴4c移动，而是向另外设置的致动器供给工作油的控制阀。此时，利用ACTV4来接受工作油的供给的致动器不限定于一个，也可以根据ACTV活塞4a的位置来驱动多个致动器。例如，多个致动器也可以是燃料喷射泵和排气阀致动器。通过将ACTV活塞4a的移动位置依次切换到多个部位，ACTV4能够交替地驱动燃料喷射泵和排气阀致动器。
在FV滑阀芯3a位于中立位置的情况下，必须能够可靠地将工作油密封，以使得不会自FV3向ACTV4喷出工作油。另外，在FV滑阀芯3a自中立位置即使稍微偏移时，工作油也必须流出。
随着流体压驱动装置2的使用时间变长，在流量控制滑阀3内通过的工作油的清洁度下降，工作油中含有的异物的量也增加。随着工作油的清洁度下降，FV滑阀芯3a的动作变差，即使在驱动部5a对FV滑阀芯3a施加了相同的驱动力的情况下，FV滑阀芯3a的移位速度也下降。因而，若对FV滑阀芯3a的移位速度进行监视，则能够推定工作油的清洁度。FV滑阀芯3a的移位速度能够通过对FV滑阀芯3a的位置进行时间微分来计算。利用移位检测部1d来进行该计算。另外，FV滑阀芯3a的移位速度基本上与驱动部5a的驱动力有关，驱动部5a的驱动力越大，则FV滑阀芯3a的移位速度越快。
图2是表示驱动部5a流向流量控制滑阀3的电磁线圈的驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系的图。图2的各标记是通过实验或模拟得到的数据。●标记表示FV滑阀芯3a正常进行动作的正常数据，▲标记表示FV滑阀芯3a的移位速度变慢的异常数据。
在图2的例子中，若表示驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系的各标记位于图示的两个曲线cb1、cb2的范围内，则能够判断为FV滑阀芯3a的动作正常且工作油的清洁度较高，若各标记位于两个曲线cb1、cb2的范围外，则能够判断为FV滑阀芯3a的动作异常且工作油的清洁度较低。在本说明书中，将图2的两个曲线cb1、cb2的范围内称作驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系的正常范围。
更具体而言，本实施方式的工作流体监视传感器1可以根据以下的1)～3)中的至少一个基准来判断工作油的清洁度。
1)在规定的驱动电流流到FV3的电磁线圈的情况下的FV滑阀芯3a的移位速度小于设想的值的情况、或FV滑阀芯3a为规定的移位速度的情况下的流向电磁线圈的驱动电流大于设想的值的情况下，判断为工作油的清洁度下降。
2)在表示电磁线圈的驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系的标记图中设定上限阈值和下限阈值(例如图2的两个曲线cb1、cb2)，对自上限阈值与下限阈值之间的范围(正常范围)偏离了的标记的数量进行计数，根据规定时间内的计数数量来判断工作油的清洁度。
3)在流体压驱动装置2具有共用工作油的多个流量控制滑阀3的情况下，在任一流量控制滑阀3中，在上述的计数数量超过了规定的阈值时，判断为工作油的清洁度下降。
图3是表示工作流体监视传感器1的处理动作的一个例子的流程图。工作流体监视传感器1在流体压驱动装置2进行动作的过程中重复执行图3的流程图的处理。
首先，将用于判断是否到达了进行上述的2)的计数的周期dT的时间变量t初始化(步骤S1)。
接下来，获取部1a获取由FV滑阀芯传感器3b检测到的FV滑阀芯3a的位置SPt和驱动部5a向FV3的电磁线圈供给的驱动电流It(步骤S2)。此外，也可以代替获取驱动电流It，而获取向电磁线圈供给的驱动电压。
接下来，移位检测部1d通过对FV滑阀芯3a的位置SPt进行时间微分，从而检测FV滑阀芯3a的移位速度(步骤S3)。此外，在步骤S3中，也可以设置直接检测FV滑阀芯3a的移位速度的速度传感器，并获取该速度传感器的检测值。
接下来，判定时刻t是否小于周期dT(步骤S4)。若小于周期dT，则更新驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系的正常范围(步骤S5)，并重复步骤S2之后的处理。
当在步骤S4中判断为时刻t到达了周期dT时，判定时刻t的FV滑阀芯3a相对于驱动电流的移位速度是否在驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系的正常范围内(步骤S6)。如上所述，正常范围例如为图2的两个曲线cb1、cb2的范围内。若在正常范围内，则减少错误计数数量(步骤S7)，并进行步骤S5的处理。
当在步骤S6中判定为不在正常范围内时，增加错误计数数量(步骤S8)。判定错误计数数量是否在规定值以内(步骤S9)，若在规定值以内，则重复步骤S2之后的处理。当在步骤S9中判定为错误计数数量大于规定值时，进行工作油的清洁度下降的主旨的警告处理(步骤S10)。警告处理的详细没有特殊限制，例如既可以在未图示的显示装置显示工作油的清洁度已下降，也可以利用声音来通知工作油的清洁度已下降。保养作业员收到警告处理而进行例如更换工作油等保养作业。
在图3的步骤S3中，在移位检测部1d检测FV滑阀芯3a的移位速度时，也可以将工作油的流体力考虑在内来检测移位速度。在工作油进行流动的情况下，工作油产生流体力，流体力对FV滑阀芯3a的移位速度产生影响。工作油的流体力根据FV滑阀芯3a的开度而不同。因此，也可以根据FV滑阀芯3a的开度来推定流体力，并基于流体力来校正FV滑阀芯3a的移位速度。FV滑阀芯3a的开度例如能够利用开度传感器来检测。另外，根据工作油的油压不同，流体力也产生变化，另外，工作油的粘度根据工作油的温度而变化。因而，移位检测部1d也可以根据工作油的流体力、粘度来校正FV滑阀芯3a的移位速度。
另外，根据FV滑阀芯3a的位置，存在即使使相同的驱动电流流向电磁线圈，FV滑阀芯3a的移位速度也不同的情况。于是，也可以根据FV滑阀芯3a的位置来校正FV滑阀芯3a的移位速度。
而且，还可能存在FV滑阀芯3a相对于流向电磁线圈的驱动电流的移位速度因电磁线圈的劣化、FV滑阀芯3a的劣化等主要原因而经时变化的情况。在该情况下，也可以根据长时间内的驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系来设定正常范围。也可以是，预先将长时间内的驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系存储于例如未图示的相关关系存储部，推定部1b自该相关关系存储部读取相关关系，并通过平均化处理等来设定正常范围。
上述说明了在具有电磁线圈的流量控制滑阀3中根据驱动电流与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系是否在正常范围内来判断工作油的清洁度的例子，但本实施方式还能够应用于利用除电磁线圈以外的驱动力(例如液压驱动力等)使FV滑阀芯3a移动的情况。因而，根据驱动FV滑阀芯3a的驱动力与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系是否在正常范围内来判断工作油的清洁度即可。判断驱动FV滑阀芯3a的驱动力与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系是否在正常范围内和基于FV滑阀芯3a的滑动阻力来判断工作流体的状态是等价的。
这样，在本实施方式中，根据FV滑阀芯3a的驱动力与FV滑阀芯3a的移位速度之间的相关关系是否在正常范围内来判断工作流体的清洁度，因此能够在FV滑阀芯3a产生固着不良之前尽早地把握工作流体的清洁度下降，能够在准确的时刻进行更换工作油等保养作业。由此，能够削减进行FV滑阀芯3a固着而对流体压驱动装置2进行分解修理等的花费费用和时间的保养作业的频率。
在上述的实施方式中，对具备FV3和ACTV4的流体压驱动装置2进行了说明，但本实施方式能够广泛地应用于具备流量控制阀3和致动器4的流体压驱动装置2。流量控制阀3只要具有可动部并根据可动部的位置来控制工作油的喷出量即可。流量控制阀的具体例除了能够应用于上述的FV3等滑阀3以外，还能够应用于提升阀、球阀、针阀等。致动器4具有能够根据来自流量控制阀的工作油的喷出量来使位置可变的第2可动部，并且根据第2可动部的位置来直接驱动致动器轴4c，除此之外，致动器4还可以是根据第2可动部的位置来控制对另外设置的致动器供给的工作油的供给量的阀。致动器4的具体例除了为上述的活塞式的致动器ACTV4以外，既可以是滑阀3、提升阀，也可以是液压马达等流体压驱动马达。
上述的实施方式的技术思想能够总结为以下的(1)～(10)。
(1)一种工作流体监视传感器，其中，
该工作流体监视传感器包括：
获取部，其获取流量控制阀中的与可动部的驱动相关的信息，该流量控制阀具有可动部且根据所述可动部的位置来控制工作流体的喷出量；
推定部，其基于所述信息来推定所述可动部的滑动阻力；以及
状态判断部，其基于所述滑动阻力来判断所述工作流体的清洁度。
(2)根据(1)所述的工作流体监视传感器，其中，
所述推定部根据使所述可动部移动的驱动力与所述可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述滑动阻力。
(3)一种流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括：
流量控制阀，其具有可动部且根据所述可动部的位置来控制工作流体的喷出量；
位置传感器，其检测所述可动部在可动区域中的位置；
推定部，其基于使所述可动部移动的驱动力与所述可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述可动部的滑动阻力；以及
状态判断部，其基于所述滑动阻力来判断所述工作流体的状态。
(4)根据(3)所述的流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括驱动部，该驱动部根据驱动电流或驱动电压来使所述可动部移动，
所述状态判断部基于向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压与所述可动部的移位速度之间的相关关系来判断所述工作流体的清洁度。
(5)根据(4)所述的流体压驱动装置，其中，
所述状态判断部根据在向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压为第1值时所述可动部的移位速度是否小于第2值、或者在所述可动部的移位速度为第3值时向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压是否大于第4值来判断所述工作流体的清洁度。
(6)根据(5)所述的流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括：
计数部，其对在规定的期间内向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压与所述可动部的移位速度之间的相关关系在所述规定的范围外的次数进行计数；以及
次数判定部，其判定所述计数到的次数是否超过规定的阈值，
所述状态判断部在所述次数判定部判断为超过所述阈值的情况下进行规定的警告处理。
(7)根据(3)至(6)中任一项所述的流体压驱动装置，其中，
在供所述工作流体流动的流体路径内设有多个所述流量控制阀，
所述状态判断部基于所述多个流量控制阀各自的所述相关关系来判断所述工作流体的清洁度。
(8)根据(3)至(7)中任一项所述的流体压驱动装置，其中，
所述可动部具有第1可动部，
该流体压驱动装置包括致动器，该致动器具有能够根据来自所述流量控制阀的工作流体的喷出量来使位置变化的第2可动部，
所述推定部基于使所述第1可动部移动的驱动力与第2可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述可动部的滑动阻力。
(9)根据(8)所述的流体压驱动装置，其中，
所述致动器为根据所述第2可动部的位置来控制向与所述致动器不同的其他的致动器供给的工作流体的供给量的阀。
(10)根据(3)至(9)中任一项所述的流体压驱动装置，其中，
所述可动部为滑阀芯，
所述流量控制阀为滑阀。
本发明的方式并不限定于上述的各个实施方式，还包含本领域技术人员能够想到的各种变形，本发明的效果也不限定于上述的内容。即，在不脱离权利要求书所规定的内容及从其等同物导出的本发明的概念思想和主旨的范围内，能够进行各种追加、变更及部分删除。

Claims (10)

1.一种工作流体监视传感器，其中，
该工作流体监视传感器包括：
获取部，其获取流量控制阀中的与可动部的驱动相关的信息，该流量控制阀具有可动部且根据所述可动部的位置来控制工作流体的喷出量；
推定部，其基于所述信息来推定所述可动部的滑动阻力；以及
状态判断部，其基于所述滑动阻力来判断所述工作流体的清洁度。
2.根据权利要求1所述的工作流体监视传感器，其中，
所述推定部根据使所述可动部移动的驱动力与所述可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述滑动阻力。
3.一种流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括：
流量控制阀，其具有可动部且根据所述可动部的位置来控制工作流体的喷出量；
位置传感器，其检测所述可动部在可动区域中的位置；
推定部，其基于使所述可动部移动的驱动力与所述可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述可动部的滑动阻力；以及
状态判断部，其基于所述滑动阻力来判断所述工作流体的状态。
4.根据权利要求3所述的流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括驱动部，该驱动部根据驱动电流或驱动电压来使所述可动部移动，
所述状态判断部基于向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压与所述可动部的移位速度之间的相关关系来判断所述工作流体的清洁度。
5.根据权利要求4所述的流体压驱动装置，其中，
所述状态判断部根据在向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压为第1值时所述可动部的移位速度是否小于第2值、或者在所述可动部的移位速度为第3值时向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压是否大于第4值来判断所述工作流体的清洁度。
6.根据权利要求5所述的流体压驱动装置，其中，
该流体压驱动装置包括：
计数部，其对在规定的期间内向所述可动部供给的驱动电流或驱动电压与所述可动部的移位速度之间的相关关系在所述规定的范围外的次数进行计数；以及
次数判定部，其判定所述计数到的次数是否超过规定的阈值，
所述状态判断部在所述次数判定部判断为超过所述阈值的情况下进行规定的警告处理。
7.根据权利要求3～6中任一项所述的流体压驱动装置，其中，
在供所述工作流体流动的流体路径内设有多个所述流量控制阀，
所述状态判断部基于所述多个流量控制阀各自的所述相关关系来判断所述工作流体的清洁度。
8.根据权利要求3～6中任一项所述的流体压驱动装置，其中，
所述可动部具有第1可动部，
该流体压驱动装置包括致动器，该致动器具有能够根据来自所述流量控制阀的工作流体的喷出量来使位置变化的第2可动部，
所述推定部基于使所述第1可动部移动的驱动力与第2可动部的移位速度之间的相关关系来推定所述可动部的滑动阻力。
9.根据权利要求8所述的流体压驱动装置，其中，
所述致动器为根据所述第2可动部的位置来控制向与所述致动器不同的其他的致动器供给的工作流体的供给量的阀。
10.根据权利要求3～6中任一项所述的流体压驱动装置，其中，
所述可动部为滑阀芯，
所述流量控制阀为滑阀。
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