CN111376060A - 固定底座及包括其的溅射靶材车床 - Google Patents

固定底座及包括其的溅射靶材车床 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种固定底座，包括：底座本体；以及固定部，其从所述底座本体的前侧平行于所述底座本体的顶侧向外延伸；其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第一进入孔、位于所述底座本体的前侧的第一排出孔以及连通所述第一进入孔和所述第一排出孔的第一通道；其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第二进入孔、位于所述底座本体的前侧的第二排出孔以及连通所述第二进入孔和所述第二排出孔的第二通道。本发明还提供一种包括所述固定底座的溅射靶材车床。

Description

固定底座及包括其的溅射靶材车床
技术领域
本发明涉及半导体溅射靶材领域，具体涉及一种固定底座以及包括所述固定底座的溅射靶材车床。
背景技术
在溅射靶材的机械加工过程中，需要喷射雾化酒精对溅射靶材进行冷却。传统的溅射靶材车床上只安装一个酒精喷射装置，但是车床刀库有十个工位，每次换刀后都需要人工调节酒精喷射装置的喷射位置，无法实现自动化生产，操作费时又费力。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种固定底座，用于在每个工位上都安装一个酒精混配装置，事先可调整好位置，这样每次换刀后不需要人工调节，从而可实现自动化生产。
为此，本发明提供一种固定底座，包括：底座本体；以及固定部，其从所述底座本体的前侧平行于所述底座本体的顶侧向外延伸；
其中，所述底座本体包括位于所述底座本体的顶侧的第一进入孔、位于所述底座本体的前侧的第一排出孔以及连通所述第一进入孔和所述第一排出孔的第一通道；以及
所述底座本体还包括位于所述底座本体的顶侧的第二进入孔、位于所述底座本体的前侧的第二排出孔以及连通所述第二进入孔和所述第二排出孔的第二通道。
可选地，所述固定底座用于将酒精混配装置安装到溅射靶材车床上，其中所述酒精混配装置固定到所述固定底座的固定部，所述底座本体固定到溅射靶材车床上。
可选地，所述固定部设有至少一个螺纹孔。
可选地，所述第一进入孔和所述第二进入孔处分别设有过滤网。
可选地，所述第一进入孔和所述第二进入孔处分别设有用于固定所述过滤网的固定板，所述固定板具有与所述第一进入孔和所述第二进入孔连通的通孔。
可选地，所述底座本体设有至少一个固定凸耳，所述固定凸耳设有螺纹孔。
可选地，所述第一通道为L形，所述底座本体设有与所述第一通道的拐角处连通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。
可选地，所述第二通道为L形，所述底座本体设有与所述第二通道的拐角处连通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。
可选地，所述第一进入孔的直径大于所述第一通道的直径，所述第一排出孔的直径大于所述第一通道的直径。
可选地，所述第二进入孔的直径大于所述第二通道的直径，所述第二排出孔的直径大于所述第二通道的直径。
本发明还提供一种溅射靶材车床，包括：多个所述固定底座；以及多个酒精混配装置；
其中，所述酒精混配装置通过所述固定底座安装到所述溅射靶材车床上，所述酒精混配装置包括与所述底座本体的第一排出孔连通的酒精流入孔、与所述底座本体的第二排出孔连通的气体流入孔、与所述酒精流入孔和气体流入孔连通的腔室以及流出孔，其中酒精与压缩气体分别通过所述酒精流入孔、所述气体流入孔流入所述腔室内，混合形成酒精喷雾并通过所述流出孔喷出。
可选地，所述溅射靶材车床还包括分水块装置，所述分水块装置与储存酒精的酒精箱和储存压缩气体的气体箱相连接，所述分水块装置包括与所述底座本体的第一进入孔相连通以供给酒精的酒精导管以及与所述底座本体的第二进入孔相连通以供给压缩气体的气体导管。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：
通过根据本发明的实施例的固定底座，车床的每个工位上都固定安装一个酒精混配装置并调节好精准位置，换刀后酒精混配装置可直接与分水块连接贯通，使得雾化的酒精能精准喷射至刀尖上，从而靶材在高速加工过程中得到有效的冷却及润滑。
附图说明
本发明的其它特征以及优点将通过以下结合附图详细描述的可选实施方式更好地理解，附图中相同的标记表示相同或相似的部件，其中：
图1示出了根据本发明的一个实施例的固定底座的结构示意图；
图2a、图2b示出了根据本发明的一个实施例的固定底座的固定板的结构示意图；
图3示出了根据本发明的一个实施例的酒精混配装置的结构示意图；
图4示出了根据本发明的固定底座和酒精混配装置的装配示意图。
具体实施方式
下面详细讨论实施例的实施和使用。然而，应当理解，所讨论的具体实施例仅仅示范性地说明实施和使用本发明的特定方式，而非限制本发明的范围。在描述时各个部件的结构位置例如前侧、后侧、顶侧、底侧等方向的表述不是绝对的，而是相对的。当各个部件如图中所示布置时，这些方向表述是恰当的，但图中各个部件的位置改变时，这些方向表述也相应改变。
通常，溅射靶材车床上配有一个酒精混配装置，酒精混配装置一方面通过三角形支架安装到溅射靶材车床上，另一方面通过导管连接到储存酒精的酒精箱和储存压缩气体的气体箱。酒精和压缩气体流入酒精混配装置的腔室内，混合形成酒精喷雾并通过流出孔喷出，对溅射靶材进行冷却。当需要在不同的工位进行加工时，需要重新调整酒精混配装置的位置，操作起来费时又费力。
为此，考虑在溅射靶材车床上设置多个酒精混配装置，例如在每个工位上设置一个酒精混配装置，这时需要设置分水块装置来向每个酒精混配装置提供酒精和压缩气体。如果仍然采用现有的三角形支架，在车床加工过程中换刀时，三角形支架和酒精导管、气体导管会干涉到车床的加工，为此本发明提供了一种适合将酒精混配装置安装到车床上的固定底座，其结构简单，使用方便，并且不会干扰到车床的加工。
图1示出了根据本发明的一个实施例的固定底座的结构示意图。如图1中所示，固定底座10包括底座本体11和固定部12。底座本体11大致呈长方体结构，其固定到到溅射靶材车床上。固定部12从底座本体11的前侧平行于底座本体11的顶侧向外延伸，固定部12与底座本体11的底侧相齐平，用于安装酒精混配装置。
底座本体11包括位于底座本体11的顶侧的第一进入孔131、位于底座本体的前侧的第一排出孔132以及连通第一进入孔131和第一排出孔132的第一通道13，并且底座本体11包括位于底座本体11的顶侧的第二进入孔141、位于底座本体11的前侧的第二排出孔142以及连通第二进入孔141和第二排出孔142的第二通道14。其中，酒精从第一进入孔131进入，通过第一通道13，然后从第一排出孔132排出，气体例如压缩空气从第二进入孔141进入，通过第二通道14，然后从第二排出孔142排出。
在图1中所示的实施例中，第一进入孔131和第一排出孔132的直径大于第一通道13的直径，第二进入孔141、第二排出孔142的直径大于第二通道14的直径，这样设置的目的是为了便于酒精和压缩气体的流入和流出。
在一些实施例中，酒精混配装置可以通过本领域技术人员已知的方式固定到固定底座10的固定部12上，例如，固定部12设有至少一个螺纹孔121，优选设有两个螺纹孔121，相应地，酒精混配装置上也设有螺纹孔，然后使用螺栓插入酒精混配装置上的螺纹孔以及固定部12上的螺纹孔121，由此将酒精混配装置固定到固定底座10上。
在一些实施例中，第一进入孔131和第二进入孔141处分别设有过滤网(图未示)，该过滤网可以选用玻璃纤维过滤网，其用处是去除酒精和压缩气体中的一些杂质。在一些实施例中，如图2a-2b中所示，第一进入孔131和第二进入孔141处分别设有固定过滤网的固定板133、143。固定板133中心处具有通孔134，其与第一进入孔131连通，在固定板133的一个对角线上的两个拐角处设有缺口，缺口处设有螺纹孔135。相应地，底座本体11上在第一进入孔131的周围也设有两个螺纹孔136，例如采用螺栓插入固定板133的螺纹孔135以及底座本体11的螺纹孔136，由此将固定板133固定到底座本体11。同样，固定板143中心处具有通孔144，其与第二进入孔141连通，在固定板143的一个对角线上的两个拐角处设有缺口，缺口处设有螺纹孔145。相应地，底座本体11上在第二进入孔141的周围也设有两个螺纹孔146，例如采用螺栓插入固定板143的螺纹孔145以及底座本体11的螺纹孔146，由此将固定板143固定到底座本体11。为了提供美观的外形，固定底座10的顶侧中间设有突出部15，当固定板133、143安装到底座本体11的顶侧上时，刚好与中间的突出部15相齐平。
在一些实施例中，底座本体11设有至少一个固定凸耳16。在图中所示的实施例中，底座本体11的左侧和右侧分别延伸形成固定凸耳16，固定凸耳16与底座本体11的底侧相齐平。固定底座10通过固定凸耳16安装到车床上。例如，在固定凸耳16上设置螺纹孔161，然后使用螺栓穿过固定凸耳16的螺纹孔161，并拧紧到车床上。
在一些实施例中，第二通道14为大致L形，杂质会堆积在通道的拐角处，底座本体11设有与第二通道14的拐角处连通的排放孔17以及用于堵住排放孔17的堵头螺丝(图未示)。当使用时，通过堵头螺丝将排放孔17堵住；当不使用时，可以将堵头螺丝拧下来，采用流体冲洗第二通道，将残留在第二通道中的杂质冲洗出来。
在一些实施例中，第一通道13为大致L形，杂质会堆积在通道的拐角处，底座本体11设有与第一通道13的拐角处连通的排放孔以及用于堵住排放孔的堵头螺丝。当使用时，通过堵头螺丝将排放孔堵住；当不使用时，可以将堵头螺丝拧下来，采用流体冲洗第一通道13，将残留在第一通道中的杂质冲洗出来。
本发明还提供一种溅射靶材车床，该溅射靶材车床包括多个固定底座10和多个酒精混配装置20。每个固定底座10上安装有酒精混配装置20。如图3-4中所示，酒精混配装置20包括与底座本体11的第一排出孔132连通的酒精流入孔21、与底座本体11的第二排出孔142连通的气体流入孔22、与酒精流入孔21和气体流入孔22连通的腔室以及流出孔23。酒精混配装置20设有两个螺纹孔24，其与固定底座10的固定部12上的两个螺纹孔121相对应，使用螺栓25穿过酒精混配装置20上的螺纹孔24以及固定部12上的螺纹孔121，由此将酒精混配装置20固定到固定底座10上。
可选地，溅射靶材车床还包括分水块装置(图未示)，该分水块装置包括与底座本体11的第一进入孔131相连通以供给酒精的酒精导管以及与底座本体11的第二进入孔141相连通以供给压缩气体的气体导管。
分水块装置还通过导管分别连接到储存酒精的酒精箱和储存压缩气体的气体箱。酒精箱内的酒精通过分水块装置的酒精导管流入底座本体11的第一进入孔131，穿过第一通道13并从第一排出孔132流出，然后经过酒精流入孔21流入酒精混配装置20的腔室内。气体箱内的压缩气体通过分水块装置的气体导管流入底座本体11的第二进入孔141，穿过第二通道14并从第二排出孔142流出，然后经过气体流入孔22流入酒精混配装置20的腔室内。酒精与压缩气体在腔室内混合形成酒精喷雾并通过流出孔23喷射至刀尖上，从而靶材在高速加工过程中得到有效的冷却及润滑。
酒精混配装置和分水块装置对于本领域技术人员来说是已知的，所以这里不再进行详细描述。在本发明的实施例中，酒精导管与第一进入孔131、气体导管与第二进入孔141、第一排出孔132与酒精流入孔21以及第二排出孔142与气体流入孔22能够相互紧密配合，酒精或压缩气体经过时不会发生泄漏，也可以设置相应的密封件来提供流体密封性能。
通过根据本发明的实施例的固定底座，车床的每个工位上都固定安装一个酒精混配装置并调节好精准位置，换刀后酒精混配装置可直接与分水块装置连接贯通，使得雾化的酒精能精准喷射至刀尖上，从而靶材在高速加工过程中得到有效的冷却及润滑。
以上已揭示本发明的技术内容及技术特点，然而可以理解，在本发明的创作思想下，本领域的技术人员可以对上述公开的构思作各种变化和改进，但都属于本发明的保护范围。上述实施方式的描述是例示性的而不是限制性的，本发明的保护范围由权利要求所确定。

Claims (12)

1.一种固定底座(10)，其特征在于，包括：
底座本体(11)；以及
固定部(12)，其从所述底座本体(11)的前侧平行于所述底座本体(11)的顶侧向外延伸；
其中，所述底座本体(11)包括位于所述底座本体(11)的顶侧的第一进入孔(131)、位于所述底座本体(11)的前侧的第一排出孔(132)以及连通所述第一进入孔(131)和所述第一排出孔(132)的第一通道(13)；以及
所述底座本体(11)还包括位于所述底座本体(11)的顶侧的第二进入孔(141)、位于所述底座本体(11)的前侧的第二排出孔(142)以及连通所述第二进入孔(141)和所述第二排出孔(142)的第二通道(14)。
2.如权利要求1所述的固定底座(10)，其特征在于，所述固定底座(10)用于将酒精混配装置(20)安装到溅射靶材车床上，其中所述酒精混配装置(20)固定到所述固定底座(10)的固定部(12)，所述底座本体(10)固定到溅射靶材车床上。
3.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述固定部(12)设有至少一个螺纹孔(121)。
4.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一进入孔(131)和所述第二进入孔(141)处分别设有过滤网。
5.如权利要求4所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一进入孔(131)和所述第二进入孔(141)处分别设有用于固定所述过滤网的固定板(133，143)，所述固定板(133，143)具有与所述第一进入孔(131)和所述第二进入孔(141)连通的通孔(134，144)。
6.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述底座本体(11)设有至少一个固定凸耳(16)，所述固定凸耳(16)设有螺纹孔(161)。
7.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一通道(13)为L形，所述底座本体(11)设有与所述第一通道(13)的拐角处连通的排放孔以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。
8.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第二通道(14)为L形，所述底座本体(11)设有与所述第二通道(14)的拐角处连通的排放孔(17)以及用于堵住所述排放孔的堵头螺丝。
9.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第一进入孔(131)的直径大于所述第一通道(13)的直径，所述第一排出孔(132)的直径大于所述第一通道(13)的直径。
10.如权利要求1或2所述的固定底座(10)，其特征在于，所述第二进入孔(141)的直径大于所述第二通道(14)的直径，所述第二排出孔(142)的直径大于所述第二通道(14)的直径。
11.一种溅射靶材车床，其特征在于，包括：
多个如权利要求1到10中任一项所述的固定底座(10)；以及
多个酒精混配装置(20)；
其中，所述酒精混配装置(20)通过所述固定底座(10)安装到所述溅射靶材车床上，所述酒精混配装置(20)包括与所述底座本体(11)的第一排出孔(132)连通的酒精流入孔(21)、与所述底座本体(11)的第二排出孔(142)连通的气体流入孔(22)、与所述酒精流入孔(21)和气体流入孔(22)连通的腔室以及流出孔(23)，其中酒精与压缩气体分别通过所述酒精流入孔(21)、所述气体流入孔(22)流入所述腔室内，混合形成酒精喷雾并通过所述流出孔(23)喷出。
12.如权利要求11所述的溅射靶材车床，其特征在于，所述溅射靶材车床还包括分水块装置，所述分水块装置与储存酒精的酒精箱和储存压缩气体的气体箱相连接，所述分水块装置包括与所述底座本体(11)的第一进入孔(131)相连通以供给酒精的酒精导管以及与所述底座本体(11)的第二进入孔(141)相连通以供给压缩气体的气体导管。
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2614843Y (zh) * 2003-03-27 2004-05-12 黄静怡 切削用冷却剂混合输送装置
TW200846107A (en) * 2007-05-18 2008-12-01 Miyanaga Kk Shank attaching structure
CN201437103U (zh) * 2009-07-21 2010-04-14 中冶赛迪工程技术股份有限公司 一种中间板坯冷却用气雾喷嘴
CN202316176U (zh) * 2011-11-28 2012-07-11 中信戴卡轮毂制造股份有限公司 一种铸造水雾发生器
CN204108742U (zh) * 2014-10-11 2015-01-21 福建省龙竣金属制品有限公司 机床切削液配置供给装置
CN105396717A (zh) * 2015-12-24 2016-03-16 上海震界自动化设备制造有限公司 气控膜片式喷嘴
CN107199322A (zh) * 2016-03-18 2017-09-26 游家龙 适用于金属压铸机的喷雾器及具有该喷雾器的喷头装置
CN206550749U (zh) * 2017-03-08 2017-10-13 杭州安锋达机械有限公司 一种冷却液喷嘴
US20180068973A1 (en) * 2016-09-08 2018-03-08 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Atomization mechanism for cooling a bond head

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2614843Y (zh) * 2003-03-27 2004-05-12 黄静怡 切削用冷却剂混合输送装置
TW200846107A (en) * 2007-05-18 2008-12-01 Miyanaga Kk Shank attaching structure
CN201437103U (zh) * 2009-07-21 2010-04-14 中冶赛迪工程技术股份有限公司 一种中间板坯冷却用气雾喷嘴
CN202316176U (zh) * 2011-11-28 2012-07-11 中信戴卡轮毂制造股份有限公司 一种铸造水雾发生器
CN204108742U (zh) * 2014-10-11 2015-01-21 福建省龙竣金属制品有限公司 机床切削液配置供给装置
CN105396717A (zh) * 2015-12-24 2016-03-16 上海震界自动化设备制造有限公司 气控膜片式喷嘴
CN107199322A (zh) * 2016-03-18 2017-09-26 游家龙 适用于金属压铸机的喷雾器及具有该喷雾器的喷头装置
US20180068973A1 (en) * 2016-09-08 2018-03-08 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Atomization mechanism for cooling a bond head
CN206550749U (zh) * 2017-03-08 2017-10-13 杭州安锋达机械有限公司 一种冷却液喷嘴

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