CN111304636A - 包括散热构件的沉积设备 - Google Patents

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宋鎭伍
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Abstract

提供了一种包括散热构件的沉积设备。所述沉积设备包括：腔室；沉积源；以及工作台，设置在腔室中，在工作台上安装有目标物体。沉积设备还包括：第一板，结合到腔室；以及第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括多个扩散孔。沉积设备还包括：散热构件，与第一板和第二板接触，其中，散热构件包括多个侧壁部，其中，多个侧壁部彼此连接。沉积设备还包括：垫片，结合到多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在第一板与第二板之间，其中，垫片平行于第一侧壁部而延伸。

Description

包括散热构件的沉积设备
本专利申请要求于2018年12月12日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0160248号韩国专利申请的优先权，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
技术领域
本公开涉及一种沉积设备，并且更具体地，涉及一种包括散热构件的沉积设备。
背景技术
因为玻璃基板或塑料基板是透明的并且被制造为具有比硅基基板的表面积大的表面积，所以玻璃基板或塑料基板被广泛地用于制造显示装置。由于玻璃基板和塑料基板的转变温度低，因此应该在约200℃至约300℃的低温下执行膜沉积工艺，以防止基板变形。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术即使在相对低的温度下也可被用于在大区域上沉积半导体和介电膜，因此，PECVD技术被广泛用于显示装置、太阳能电池等。在PECVD技术中，可基于电场而不是基于热量来供应用于分离沉积源的能量，因此，可将基板维持在相对低的温度。
发明内容
根据本发明构思的示例性实施例，一种沉积设备包括：腔室；沉积源，包括沉积材料；工作台，设置在腔室中，在工作台上安装有目标物体；第一板，结合到腔室以限定空间；第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括设置在第二板中的多个扩散孔；散热构件，与第一板和第二板接触，其中，散热构件包括多个侧壁部，其中，多个侧壁部彼此连接以形成包围第一板和第二板的外侧表面的框架形状；以及垫片，结合到多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在第一板与第二板之间，其中，垫片平行于第一侧壁部而延伸。垫片的延伸长度比第一侧壁部的延伸长度短。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片设置在第一侧壁部的中心区域中。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片与第一板和第二板直接接触。
在本发明构思的示例性实施例中，第二板包括第一侧边和第二侧边，第一侧边彼此面对并在第一方向上延伸，第二侧边彼此面对并在与第一方向交叉的第二方向上延伸，其中，垫片是多个垫片。多个垫片包括第一垫片和第二垫片，其中，第一垫片沿第一侧边延伸并彼此面对，第二垫片沿第二侧边延伸并彼此面对。每个第二垫片的延伸长度比每个第一垫片的延伸长度短。
在本发明构思的示例性实施例中，每个第一垫片的延伸长度与第二板的第一侧边的长度的比率在约60％至约70％的范围内。
在本发明构思的示例性实施例中，每个第二垫片的延伸长度与第二板的第二侧边的长度的比率在约20％至约30％的范围内。
在本发明构思的示例性实施例中，第二板包括：扩散部，包括多个扩散孔；以及外围部，包围扩散部，其中，垫片设置在外围部上。
在本发明构思的示例性实施例中，散热构件还包括多个底部，其中，多个底部中的每个从每个侧壁部的底端弯曲并且设置在第二板下方，并且每个侧壁部包括：第一部分，包括连接到第一板的内侧表面；第二部分，结合到第一部分的底端，并且包括结合到垫片的内侧表面；以及第三部分，将第二部分的底端连接到散热构件的底部，其中，第三部分的内侧表面连接到第二板。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片包括金属材料。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片包括与散热构件的材料基本相同的材料。
在本发明构思的示例性实施例中，第二板和散热构件是单个物体。
在本发明构思的示例性实施例中，孔穿透第一板，并且其中，沉积设备还包括连接到沉积源并围绕孔的圆筒。
在本发明构思的示例性实施例中，沉积设备还包括电压发生器，电压发生器电连接到第二板并且被构造为向第二板提供电压以在第二板与工作台之间产生电场。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片具有六面体形状。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片包括弯曲表面。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片包括锥形端。
根据本发明构思的示例性实施例，一种沉积设备包括：腔室；沉积源，包括沉积材料；工作台，设置在腔室中，其中，目标物体设置在工作台上并包括沉积区域；第一板，面对工作台，并且结合到腔室以限定空间；第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板具有矩形形状；散热构件，连接到第一板和第二板，其中，散热构件包括形成包围第一板和第二板的外侧表面的框架形状的多个侧壁部；以及多个垫片，设置在第一板与第二板之间，其中，多个垫片中的每个结合到多个侧壁部的一个侧壁部，并且多个垫片中的每个具有沿多个侧壁部延伸的杆形状。第二板包括：扩散部，与沉积区域叠置，其中，多个扩散孔设置在扩散部中；以及外围部，至少部分地围绕扩散部。多个垫片在外围部上彼此间隔开，并且与第一板和第二板直接接触。
在本发明构思的示例性实施例中，每个垫片设置在多个侧壁部中的相应侧壁部的内侧表面的中心区域中。
在本发明构思的示例性实施例中，垫片包括金属材料。
根据本发明构思的示例性实施例，一种沉积设备包括：腔室；沉积源，包括沉积材料；工作台，设置在腔室中，其中，目标物体安装在工作台上并包括沉积区域；第一板，与工作台叠置，并且结合到腔室以限定空间；第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括在第一方向上延伸的第一侧边和与沉积区域叠置的多个扩散孔；散热构件，连接到第一板和第二板，其中，散热构件包括在第一方向上延伸的第一侧壁部；以及第一垫片，结合到散热构件的第一侧壁部，并且设置在第一板与第二板之间，其中，第一垫片具有在第一方向上延伸的矩形形状。第一垫片在第一方向上的长度比第一侧边在第一方向上的长度短。
附图说明
本公开的更完整的理解及其多个伴随的方面当结合附图考虑时通过参照以下详细描述，将容易得到，同时本公开的更完整的理解及其多个伴随的方面变得更好理解，在附图中：
图1是示意性地示出根据本发明构思的示例性实施例的沉积设备的剖视图；
图2是示出根据本发明构思的示例性实施例的图1的沉积设备的分解透视图；
图3是示出根据本发明构思的示例性实施例的图2中所示的垫片的放大的透视图；
图4是根据本发明构思的示例性实施例的图1中所示的散热构件和垫片的俯视平面图；
图5是示出根据本发明构思的示例性实施例的安装在散热构件上的第二板的图；
图6A、图6B和图6C是示出根据本发明构思的示例性实施例的第二板的温度随着空间变化的曲线图；
图7是示出根据本发明构思的示例性实施例的沉积设备的剖视图；
图8是示出根据本发明构思的示例性实施例的图7中所示的扩散结构的区域的放大的透视图；
图9是示出根据本发明构思的示例性实施例的扩散结构的俯视平面图；
图10是示出根据本发明构思的示例性实施例的扩散结构的俯视平面图；以及
图11是示出根据本发明构思的示例性实施例的扩散结构的俯视平面图。
具体实施方式
现在将参照附图更全面地描述本发明构思的示例性实施例。然而，本发明构思的示例性实施例可以以多种不同的形式实施，因此不应被解释为受限于在这里阐述的示例性实施例。在附图中，为了清楚，可夸大层和区域的厚度。附图中的同样的附图标记可表示同样的元件，因此可省略它们的描述。
将理解的是，当元件被称为被“连接”或“结合”到另一元件时，所述元件可直接连接或结合到另一元件，或者可存在中间元件。
将理解的是，尽管可在这里使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应被这些术语限制。这些术语仅被用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一元件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，下面讨论的第一元件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分可被称为第二元件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。
为了易于描述，在这里可使用诸如“在……之下”、“在……下方”、“下面的”、“在……上方”和“上面的”等的空间相对术语，以描述如在附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解的是，除了图中描绘的方位之外，空间相对术语还旨在包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为“在”其他元件或特征“下方”或“之下”的元件将随后被定位为“在”其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可包括上方和下方两个方位。装置可被另外定位(被旋转90度或在其他方位处)并且相应地解释这里使用的空间相对描述语。
图1是示意性地示出根据本发明构思的示例性实施例的沉积设备的剖视图，并且图2是示出图1的沉积设备的分解透视图。为了便于描述和说明，根据本发明构思的示例性实施例，在图2中仅示出了图1中的一些元件。
参照图1和图2，沉积设备1000可被用于在目标物体SUB上沉积薄膜。作为示例，根据本发明构思的示例性实施例的沉积设备1000可被用于制造液晶显示装置或有机发光显示装置。例如，在本实施例中，目标物体SUB可以是显示面板的一部分，并且薄膜可以是显示面板中所包括的薄膜晶体管的非晶硅薄膜。此外，本发明构思不限于该示例或沉积设备1000的特定用途。
在本发明构思的示例性实施例中，沉积设备1000可包括腔室100、沉积源200、工作台300、第一板400和扩散结构DAS。
腔室100可形成沉积设备1000的外表面。在本实施例中，腔室100可结合到板状结构的第一板400。腔室100和第一板400形成沉积材料在其中移动的空间。
在本发明构思的示例性实施例中，腔室100可包括底腔室110和盖腔室120。
底腔室110可构成腔室100的底表面和侧壁。例如，底腔室110提供沉积设备1000的底表面和侧壁。
盖腔室120可设置在底腔室110上。盖腔室120可具有框架形状。盖腔室120可结合到底腔室110的侧壁。
第一板400可安装在盖腔室120上。底腔室110、盖腔室120和第一板400可彼此结合以形成其中设置沉积材料的空间。空间可被保持在高真空状态下，并且在这种情况下，可能够防止外部污染物质的流入并且确保沉积材料的定向传播或各向异性传播。
在本实施例中，腔室100与第一板400的结合结构可具有六面体形状，但是本发明构思不限于该结合结构的特定形状。
在本发明构思的示例性实施例中，可省略盖腔室120，并且在这种情况下，第一板400可安装在底腔室110的侧壁上并且可与腔室100结合。
此外，在本实施例中，第一板400可结合到腔室100以形成沉积设备1000的外表面，但是本发明构思不限于该示例。例如，第一板400和腔室100可形成壳体。在本发明构思的示例性实施例中，腔室100可单独设置以形成隔离的空间，在这种情况下，第一板400可设置在腔室100上并固定到腔室100。
沉积源200可设置在第一板400之上。沉积源200可连接到第一板400，以将沉积材料提供给由腔室100与第一板400形成的空间。本发明构思不限于沉积源200的特定位置。例如，在本发明构思的示例性实施例中，沉积源200可设置在腔室100中。
例如，当沉积材料设置在由腔室100与第一板400形成的空间中时，沉积材料可以是气态物质。沉积设备1000还可包括被用于蒸发液体沉积材料的蒸发室。
本发明构思不限于特定种类的沉积材料。
工作台300可设置在第一板400下方。工作台300可包括支撑部310和移动部320。支撑部310可设置在由腔室100提供的空间中。例如，支撑部310可设置为与由腔室100形成的空间的下部邻近。支撑部310可具有平板状的结构，支撑部310的顶表面与第一方向DR1和与第一方向DR1交叉的第二方向DR2平行。目标物体SUB可被装载在支撑部310的顶表面上。支撑部310的顶表面可面对腔室100的顶部和/或第一板400的后表面。在本实施例中，支撑部310可接地。例如，如图1中所示，支撑部310可连接到接地线GR。
在下文中，第三方向DR3与第一方向DR1和第二方向DR2两者基本垂直。第三方向DR3可与下面将描述的向上方向和向下方向平行。此外，第三方向DR3可被用作用于将下面将描述的每个元件的前表面和后表面区分开的参考方向。然而，向上方向和向下方向可以是相对概念，并且在某些实施例中，它们可被用于指示其他方向。
如上所述，目标物体SUB可包括作为显示面板的一部分的玻璃基板或塑料基板。当在平面图中观看时，沉积区域DA和非沉积区域NDA可设置在目标物体SUB中。沉积区域DA可设置在目标物体SUB的中心区域中。当在平面图中观看时，沉积区域DA可以是其上将沉积沉积材料的区域，而非沉积区域NDA可以是至少部分地包围沉积区域DA的框架形状的区域。沉积材料可不沉积在非沉积区域NDA中。例如，沉积设备1000还可包括可覆盖沉积区域DA的预定区域和非沉积区域NDA的掩模。沉积材料可不沉积在被掩模覆盖的区域中。在本发明构思的示例性实施例中，可省略非沉积区域NDA。
移动部320可连接到支撑部310。移动部320可被构造为改变支撑部310的位置。在支撑部310仅在第三方向DR3上往复移动的情况下，移动部320可设置在腔室100内部或外部而不受位置限制。此外，在支撑部310在由第一方向DR1和第二方向DR2提供的平面内移动的情况下，移动部320与支撑部310一起可设置在腔室100内。图1示出了其中移动部320设置在腔室100外部的示例；然而，本发明构思不限于此。
如上所述，第一板400可以是板状结构。第一板400可安装在盖腔室120上，以在腔室100与第一板400之间形成空间。
在本实施例中，孔BR可形成在第一板400中以穿透第一板400。孔BR可被用作通路，从沉积源200提供的沉积材料可通过该通路移动。在本发明构思的示例性实施例中，沉积设备1000还可包括连接到沉积源200的圆筒SD，在这种情况下，孔BR可设置在圆筒SD中。圆筒SD可穿透第一板400。
可在第一板400中形成多个分配孔。每个分配孔可以是从圆筒SD分流的空的空间。分配孔可被用于使从沉积源200提供的沉积材料以更有效的方式扩散。
扩散结构DAS可设置在第一板400下方。扩散结构DAS可与第一板400结合以提供扩散空间DSP。在从沉积源200将沉积材料供应到腔室100中的情况下，沉积材料可在扩散空间DSP中扩散。
扩散结构DAS可包括第二板500、散热构件600和垫片SPC。
第二板500可设置在第一板400下方，并且可与第一板400间隔开。当在平面图中观看时，第二板500可与第一板400叠置。例如，第二板500可包括金属材料。作为示例，第二板500可包括铝(Al)。
例如，第二板500可具有板形状。作为示例，第二板500可具有与第一方向DR1平行的第一侧边S1和与第二方向DR2平行的第二侧边S2。第一侧边S1的长度可比第二侧边S2的长度长。
第二板500可包括扩散部510和外围部520。当在平面图中观看时，扩散部510可设置在第二板500的中心区域中。在本实施例中，多个扩散孔DH可设置在扩散部510中以在第三方向DR3上穿透第二板500。当在平面图中观看时，扩散孔DH可与目标物体SUB的沉积区域DA叠置。当在平面图中观看时，扩散孔DH可布置为矩阵形状。本发明构思不限于扩散孔DH的数量、尺寸或布置。
在沉积材料设置在扩散空间DSP中的情况下，沉积材料可在扩散空间DSP中扩散，并且可通过扩散孔DH移动到扩散结构DAS下方的区域。
散热构件600可具有沿第二板500的侧表面延伸的框架形状。例如，第二板500可设置在散热构件600中，并且散热构件600可包围第二板500。散热构件600可将第一板400连接到第二板500。
沉积设备1000还可包括将散热构件600连接到第一板400和第二板500的连接构件。本发明构思不限于特定类型的连接构件。作为示例，连接构件可包括胶带、螺钉、钉子等。
散热构件600可具有与第一板400的侧表面和第二板500的侧表面接触的内侧表面SA和SB。例如，第一板400可设置在散热构件600中并且可设置在第二板500上。散热构件600可包括导热材料。作为示例，散热构件600可包括金属材料(例如，铝)。
垫片SPC可设置在第一板400与第二板500之间。例如，垫片SPC的顶表面可与第一板400的底表面直接接触，并且垫片SPC的底表面可与第二板500的顶表面直接接触。例如，当在第三方向DR3上测量时，垫片SPC的高度h(参见，例如图3)可基本上等于第一板400与第二板500之间的距离。
垫片SPC可与散热构件600结合。垫片SPC可被构造为将提供给第二板500的热量排出到外部。垫片SPC可包括导热材料。作为示例，垫片SPC可由与散热构件600的材料基本相同的材料形成，或者包括与散热构件600的材料基本相同的材料。例如，垫片SPC可包括金属材料(例如，铝)。然而，本发明构思不限于此。
在本实施例中，可提供多个垫片SPC。然而，本发明构思不限于垫片SPC的数量。
将参照图5更详细地描述散热构件600和垫片SPC。
根据本发明构思的示例性实施例，沉积设备1000可以是被构造为执行等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺的等离子体化学气相沉积设备。
例如，沉积设备1000还可包括电压发生器VG。电压发生器VG可与扩散结构DAS电连接。电压发生器VG可将电压施加到扩散结构DAS的第二板500。作为示例，施加到第二板500的电压可以是AC电压。
在本实施例中，可在等离子体空间PSP中产生电场，所述等离子体空间PSP是形成在扩散结构DAS与工作台300之间的空的空间。通过穿过第二板500的扩散孔DH设置到等离子体空间PSP中的沉积材料，电场可产生等离子体。在沉积材料的等离子体被用于执行沉积工艺的情况下，沉积材料可在相对低的温度下被沉积。
在本实施例中，沉积设备1000还可包括绝缘构件DM。绝缘构件DM可设置在第一板400与盖腔室120之间，以将第一板400与腔室100电断开。例如，第一板400可与腔室100绝缘。因此，通过散热构件600和垫片SPC电连接到第二板500的第一板400不会电连接到盖腔室120。
在本发明构思的示例性实施例中，在散热构件600和第二板500中的至少一个与腔室100接触的情况下，绝缘构件DM可另外设置在散热构件600与腔室100之间或第二板500与腔室100之间。
图3是示出根据本发明构思的示例性实施例的图2中所示的垫片中的一个的放大的透视图。为了便于描述，作为示例，图3示出了设置有多个垫片中的一个垫片的区域。
图4是根据本发明构思的示例性实施例的图1中所示的散热构件和垫片的俯视平面图，图5是示出根据本发明构思的示例性实施例的安装在散热构件上的第二板的图。
结合图2参照图3至图5，散热构件600可包括多个侧壁部610和多个底部620。
当在平面图中观看时，侧壁部610可彼此连接以形成框架形状。例如，侧壁部610可形成矩形框架。当在平面图中观看时，侧壁部610可沿第二板500的第一侧边S1和第二侧边S2延伸。侧壁部610的数量可与构成第二板500的侧边的数量对应。
每个侧壁部610可包括第一部分611、第二部分612和第三部分613。第一部分611、第二部分612和第三部分613中的每个可平行于第二板500的侧边S1和S2中的相应侧边而延伸。
第一部分611的内侧表面可结合到垫片SPC。第二部分612可连接到第一部分611的顶端。第二部分612的内侧表面可与第一板400接触。例如，第二部分612的内侧表面可连接到第一板400。第三部分613可设置在第一部分611的底端下面，以将第一部分611连接到底部620。第三部分613的内侧表面可与第二板500接触。例如，第三部分613的内侧表面可连接到第二板500。
底部620可连接到侧壁部610。例如，底部620的数量可与侧壁部610的数量对应。当在平面图中观看时，底部620可彼此连接以形成框架形状。例如，当在平面图中观看时，散热构件600可具有设置在该散热构件600的中心区域中的开口OP。
每个底部620可从每个侧壁部610的底端弯曲。例如，每个底部620可从第三部分613的底端弯曲以与由第一方向DR1和第二方向DR2形成的平面平行，并且可设置在第二板500下方。当在平面图中观看时，底部620可与第二板500的外围部520叠置。例如，作为第二板500的边缘区域的外围部520可安装在底部620上。在本发明构思的示例性实施例中，可省略底部620。
当在平面图中观看时，垫片SPC可与第二板500的外围部520叠置。在本实施例中，垫片SPC可不与第二板500的扩散部510叠置。
当在平面图中观看时，垫片SPC可具有沿外围部520延伸的杆状结构。作为示例，垫片SPC可具有六面体形状。垫片SPC的侧表面SS可具有矩形形状。
垫片SPC可包括第一垫片SPC1和第二垫片SPC2。第一垫片SPC1和第二垫片SPC2可彼此间隔开。
第一垫片SPC1可在第二方向DR2上彼此面对。每个第一垫片SPC1可设置为与第二板500的第一侧边S1邻近。每个第一垫片SPC1可沿第一侧边S1延伸。例如，第一垫片SPC1可沿散热构件600的长侧边延伸。
第二垫片SPC2可在第一方向DR1上彼此面对。每个第二垫片SPC2可设置为与第二板500的第二侧边S2邻近。每个第二垫片SPC2可沿第二侧边S2延伸。例如，每个第二垫片SPC2的延伸长度可比每个第一垫片SPC1的延伸长度短。例如，第二垫片SPC2可沿散热构件600的短侧边延伸。
根据本发明构思的示例性实施例，第一垫片SPC1的延伸长度可比第一侧边S1的长度短。例如，第一垫片SPC1的延伸长度可比散热构件600的结合到第一垫片SPC1的侧壁部610中的一个在第一方向DR1上的延伸长度短。作为示例，第一垫片SPC1的延伸长度D1与第一侧边S1的长度DL的比率可在约60％至约70％的范围内。
此外，第二垫片SPC2的延伸长度可比第二侧边S2的长度短。例如，第二垫片SPC2的延伸长度可比散热构件600的结合到第二垫片SPC2的侧壁部610中的一个在第二方向DR2上的延伸长度短。作为示例，第二垫片SPC2的延伸长度D2与第二侧边S2的长度DS的比率可在约20％至约30％的范围内。
根据本发明构思的示例性实施例，第一垫片SPC1和第二垫片SPC2中的每个可设置在连接到第一垫片SPC1和第二垫片SPC2的每个侧壁部610的内侧表面SA或SB的中心区域中。例如，每个第一垫片SPC1可设置在外围部520上以与第一侧边S1的中心区域叠置。每个第二垫片SPC2可设置在外围部520上以与第二侧边S2的中心区域叠置。
如图5所示，当在平面图中观看时，第二板500的扩散部510可被划分为多个区域。
当在平面图中观看时，中心区域AR_C可设置在扩散部510的中心区域处。当在平面图中观看时，位于扩散部510的中心处的中心点CT可设置在中心区域AR_C中。第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N中的每个可设置在中心区域AR_C与第二板500的第一侧边S1以及中心区域AR_C与第二板500的第二侧边S2之间。第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N可彼此间隔开。第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW中的每个可设置在相邻的第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N之间。当在平面图中观看时，第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW可定位为与第二板500的顶点邻近。
与本发明构思的示例性实施例不同，在沉积设备1000不包括垫片SPC情况下，由于等离子体空间PSP(参见，例如图1)中产生的等离子体热量，在平面图中，第二板500的中心区域AR_C的温度会比第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N以及第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW中的每个的温度相对高。如果扩散空间DSP(参见，例如图1)的内部温度存在空间变化，则沉积材料的动能会在区域之间变化，这可能导致沉积材料的不均匀扩散。作为示例，如果中心区域AR_C具有相对高的温度，则在中心区域AR_C中的沉积材料的质量密度会比在第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N以及第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW中的沉积材料的质量密度小。此外，根据本发明构思的示例性实施例，第一垫片SPC1和第二垫片SPC2可与第二板500的外围部520叠置，因此可被用于将被传递到第二板500的等离子体热量排出到外部。例如，除了散热构件600之外，通过在不与扩散部510叠置的外围部520上设置第一垫片SPC1和第二垫片SPC2，也可能够提高沉积设备1000的散热效率。
图6A至图6C是均示出根据本发明构思的示例性实施例的第二板的温度随着位置变化的曲线图。
在下文中，为了便于描述，在第二方向DR2上穿过中心点CT的假想线将被称为第一中心线CX1，在第一方向DR1上穿过中心点CT的假想线将被称为第二中心线CX2。此外，在对角线方向上延伸以连接扩散部510的相对顶点并穿过中心点CT的假想线将被称为第三中心线CX3和第四中心线CX4。
图6A是示出扩散部510的基于扩散部510的区域在与第一侧边S1平行的方向上的温度变化的曲线图，并且图6B是示出扩散部510的基于扩散部510的区域在与第二侧边S2平行的方向上的温度变化的曲线图。图6C是示出扩散部510的基于扩散部510的区域在与第三中心线CX3平行的方向上的温度变化的曲线图。扩散部510的基于扩散部510的区域在与第四中心线CX4平行的方向上的温度变化与图6C中示出的曲线图的所述温度变化基本相同，并且可以省略其详细描述。曲线B、曲线D和曲线F示出了根据本发明构思的示例性实施例的温度变化，而曲线A、曲线C和曲线E示出了根据对比示例的温度变化。
参照图6A至图6C，第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N可具有比第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW相对高的温度。例如，第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW的温度可比其他区域低。如上所述，根据本发明构思的示例性实施例的第一垫片SPC1和第二垫片SPC2中的每个可设置在外围部520的沿每个方向(例如，DR1和DR2)延伸的每个侧边(例如，S1和S2)的中心区域处。例如，根据本发明构思的示例性实施例，第一垫片SPC1和第二垫片SPC2可设置为与第一外围区域AR_E、AR_W、AR_S和AR_N邻近。这样可能够更有效地提高第一垫片SPC1和第二垫片SPC2的散热效率。此外，第一垫片SPC1可与第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW部分地叠置，第二垫片SPC2可不与第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW叠置；然而，本发明构思不限于此。例如，第一垫片SPC1和第二垫片SPC2可不与具有相对低的温度的第二外围区域AR_SE、AR_SW、AR_NE和AR_NW邻近。根据本发明构思的示例性实施例，当与对比示例相比时，如图6A至图6C的曲线B、D和F中所示，第二板500的温度的空间变化可相对减小。
因此，根据本发明构思的示例性实施例，可能够提高沉积设备1000的沉积均匀性。
图7是示出根据本发明构思的示例性实施例的沉积设备1000-1的剖视图，并且图8是示出根据本发明构思的示例性实施例的图7中所示的扩散结构DAS-1的区域的放大的透视图。
为了减少附图中的复杂性并提供对本发明构思的更好的理解，可省略沉积设备的可被认为与先前讨论的元件相同或基本相似的一些元件。为了简明的描述，可通过相似或相同的附图标记来表示先前描述的元件，而不对所述元件进行重复的重叠描述。
参照图7和图8，第二板500和散热构件600-1可设置为构成单个物体或单个主体。在这种情况下，可省略将底部620和第二板500连接到散热构件600-1的连接构件。
例如，可同时形成第二板500和散热构件600-1。换句话说，第二板500和散热构件600-1可包括基本相同的材料。作为示例，第二板500和散热构件600-1可包括金属材料。
图9是示出根据本发明构思的示例性实施例的扩散结构DAS-2的俯视平面图。
为了减少附图中的复杂性并提供对本发明构思的更好的理解，可省略沉积设备的可被认为与先前讨论的元件相同或基本相似的一些元件。为了简明的描述，可通过相似或相同的附图标记来表示先前描述的元件，而不对所述元件进行重复的重叠描述。
参照图9，第一垫片SPC1-2和第二垫片SPC2-2中的每个可包括多个子垫片SSP1和SSP2。
例如，每个第一垫片SPC1-2可包括多个第一子垫片SSP1。第一子垫片SSP1可布置在外围部520上并且沿第一方向DR1布置。第一子垫片SSP1可彼此间隔开。外围部520的设置有第一子垫片SSP1的区域在第一方向DR1上的长度D1可比第一侧边S1的长度DL短。
每个第二垫片SPC2-2可包括多个第二子垫片SSP2。第二子垫片SSP2可沿第二方向DR2布置在外围部520上。第二子垫片SSP2可彼此间隔开。外围部520的设置有第二子垫片SSP2的区域在第二方向DR2上的长度D2可比第二侧边S2的长度DS短。
图10和图11是示出根据本发明构思的示例性实施例的扩散结构DAS-3和DAS-4的俯视平面图。
为了减少附图中的复杂性并提供对本发明构思的更好的理解，可省略沉积设备的可被认为与先前讨论的元件相同或基本相似的一些元件。为了简明的描述，可通过相似或相同的附图标记来表示先前描述的元件，而不对所述元件进行重复的重叠描述。
参照图10和图11，从平面图看，根据本发明构思的示例性实施例的第一垫片SPC1-3和SPC1-4以及第二垫片SPC2-3和SPC2-4中的每个可在其延伸方向上的其相对端处具有相对减小的宽度。例如，第一垫片SPC1-3和SPC1-4中的每个在第二方向DR2上的宽度在第一方向DR1上的其相对端处可比在其中心区域处小。第二垫片SPC2-3和SPC2-4中的每个在第一方向DR1上的宽度在第二方向DR2上的其相对端处可比在其中心区域处小。
作为示例，如图10中所示，当在平面图中观看时，第一垫片SPC1-3和第二垫片SPC2-3中的每个的侧表面SS-3可具有倒棱形状。例如，第一垫片SPC1-3和第二垫片SPC2-3中的每个可具有六边形形状或另一多边形形状。
此外，如图11中所示，第一垫片SPC1-4和第二垫片SPC2-4中的每个的侧表面SS-4可具有弯曲表面。例如，当在平面图中观看时，侧表面SS-4可具有朝向扩散部510凸出的形状。
根据本发明构思的示例性实施例，可通过提高沉积工艺中的沉积均匀性来提高通过沉积设备沉积的膜的均匀性。
虽然已经参照本发明构思的示例性实施例描述了本发明构思，但是本领域普通技术人员将理解，在不脱离本发明构思的精神和范围的情况下，可在形式和细节方面对本发明构思进行各种改变。

Claims (10)

1.一种沉积设备，所述沉积设备包括：
腔室；
沉积源，包括沉积材料；
工作台，设置在所述腔室中，在所述工作台上安装有目标物体；
第一板，结合到所述腔室以限定空间；
第二板，设置在所述第一板与所述工作台之间，其中，所述第二板包括设置在所述第二板中的多个扩散孔；
散热构件，与所述第一板和所述第二板接触，其中，所述散热构件包括多个侧壁部，其中，所述多个侧壁部彼此连接以形成包围所述第一板和所述第二板的外侧表面的框架形状；以及
垫片，结合到所述多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在所述第一板与所述第二板之间，其中，所述垫片平行于所述第一侧壁部而延伸，
其中，所述垫片的延伸长度比所述第一侧壁部的延伸长度短。
2.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述垫片设置在所述第一侧壁部的中心区域中。
3.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述垫片与所述第一板和所述第二板直接接触。
4.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第二板包括第一侧边和第二侧边，所述第一侧边彼此面对并在第一方向上延伸，所述第二侧边彼此面对并在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸，
其中，所述垫片是多个垫片，
其中，所述多个垫片包括：第一垫片，沿所述第一侧边延伸并且彼此面对；以及第二垫片，沿所述第二侧边延伸并且彼此面对，并且
其中，所述第二垫片中的每个第二垫片的延伸长度比所述第一垫片中的每个第一垫片的延伸长度短。
5.如权利要求4所述的沉积设备，其中，所述第一垫片中的每个第一垫片的延伸长度与所述第二板的所述第一侧边的长度的比率在60％至70％的范围内。
6.如权利要求4所述的沉积设备，其中，所述第二垫片中的每个第二垫片的延伸长度与所述第二板的所述第二侧边的长度的比率在20％至30％的范围内。
7.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第二板包括：
扩散部，包括所述多个扩散孔；以及
外围部，包围所述扩散部，其中，所述垫片设置在所述外围部上。
8.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述散热构件还包括多个底部，其中，所述多个底部中的每个从所述多个侧壁部中的每个侧壁部的底端弯曲，并且设置在所述第二板下方，并且
所述多个侧壁部中的每个包括：第一部分，包括连接到所述第一板的内侧表面；第二部分，结合到所述第一部分的底端，并且包括结合到所述垫片的内侧表面；以及第三部分，将所述第二部分的底端连接到所述散热构件的所述底部，其中，所述第三部分的内侧表面连接到所述第二板。
9.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第二板和所述散热构件是单个物体。
10.如权利要求1所述的沉积设备，所述沉积设备还包括电压发生器，所述电压发生器电连接到所述第二板并且被构造为向所述第二板提供电压以在所述第二板与所述工作台之间产生电场。
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