CN111300031A - 一种阳极封孔堵头及其密封方法 - Google Patents

一种阳极封孔堵头及其密封方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111300031A
CN111300031A CN201911023160.7A CN201911023160A CN111300031A CN 111300031 A CN111300031 A CN 111300031A CN 201911023160 A CN201911023160 A CN 201911023160A CN 111300031 A CN111300031 A CN 111300031A
Authority
CN
China
Prior art keywords
plug
sealing
valve
hole
spring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201911023160.7A
Other languages
English (en)
Inventor
程石涛
牛建新
戴峰泽
叶云霞
任旭东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tuolunsi Semiconductor Equipment Qidong Co ltd
Jiangsu University
Original Assignee
Tuolunsi Semiconductor Equipment Qidong Co ltd
Jiangsu University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tuolunsi Semiconductor Equipment Qidong Co ltd, Jiangsu University filed Critical Tuolunsi Semiconductor Equipment Qidong Co ltd
Priority to CN201911023160.7A priority Critical patent/CN111300031A/zh
Publication of CN111300031A publication Critical patent/CN111300031A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P21/00—Machines for assembling a multiplicity of different parts to compose units, with or without preceding or subsequent working of such parts, e.g. with programme control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces

Abstract

本发明公开了一种阳极封孔堵头其密封方法，具体为一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封垫和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本发明大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。

Description

一种阳极封孔堵头及其密封方法
技术领域
本发明涉及半导体装备领域，具体涉及一种阳极封孔堵头技术。
背景技术
阳极封孔是常用的表面处理方法，对于在工件上已经加工好的盲孔，为了保证其才尺寸精度，必须在阳极封孔时采取措施堵住盲孔。
现有的硅胶堵头在工件的阳极封孔过程中容易脱落，导致盲孔失去加工精度，严重时甚至会产生废品。
发明内容
本发明的目的在于提供一种阳极封孔堵头及其密封方法，以使盲孔获得可靠的密封效果。
为了解决以上技术问题，本发明采用的具体技术方案如下：
一种阳极封孔堵头，包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5)；其特征在于：封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端；堵头(2)的密封面(22)为圆锥面，密封面(22)的锥度为1：6，堵头(2)内部开设有圆锥孔(21)，圆锥孔(21)的锥度为1：9；内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合，圆锥面(31)的锥度为1：9；内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连，弹簧(4)内有预紧拉力；挡块(5)开设有透气孔(51)；堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。
所述的堵头(2)为硅胶材料制成。
所述的内塞(3)为铝合金材料制成。
一种阳极封孔堵头的密封方法，包括下列步骤：
步骤一：将堵头(2)右侧的封盖(1)移除；
步骤二：将堵头(2)塞入工件(6)的盲孔(61)内；
步骤三：将内塞(3)向右移动5mm；
步骤四：保持内塞(3)的位置，使用真空泵对堵头(2)的内孔(21)抽气，直至工件(6)的盲孔(61)接近真空；
步骤五：释放内塞(3)，内塞(3)在弹簧(4)的作用下向右移动至原位；
步骤六：将封盖(1)盖在堵头(2)的右侧。
本发明的原理为：使用真空泵将工件盲孔内部的气体抽至接近真空，靠负压将硅胶堵头的圆锥面压入盲孔内部从而实现密封；在抽真空时，内塞往右移动5mm，从而在内塞与堵头的内孔之间形成间隙，实现盲孔内部抽真空。挡块开设有通气孔，以使盲孔内的空气通过堵头内孔抽出。
本发明具有的有益效果。本发明通过采用硅胶作为堵头材料，利用其具有耐腐蚀，密封性能好的优点；采用盲孔内部抽真空的方式，利用外界气压压紧堵头，可以实现可靠的压紧力，使堵头在各种表面处理过程中不易脱落；内塞与堵头内孔的配合表面设计成圆锥面，且内塞材料为铝合金，堵头材料为硅胶，以保证两者之间具有良好的气密性；弹簧具有预紧拉力，以保证当释放内塞时，内塞在预紧拉力的作用下快速复位，实现密封；封盖的使用可以保证在表面处理过程中内塞和堵头的内孔不会被污染；当需要拔除堵头时，只需要将内塞拔起，空气将沿内塞与堵头内孔之间的空隙进入盲孔，从而很方便的将堵头移除，该堵头可以重复使用。
附图说明
图1是本发明阳极封孔堵头的结构示意图。
图中：1封盖，2堵头，3内塞，4弹簧，5挡块，6工件，21圆锥孔，22密封面，31圆锥面，51通气孔，61盲孔。
具体实施方式
为更好的阐述本发明的实施细节，下面结合附图和具体实施例对本发明的技术方案做进一步详细说明。
一种阳极封孔堵头，如图1所示，包括升封盖1、堵头2、内塞3、弹簧4和挡块5。堵头2的材质为硅胶；内塞3的材质为铝合金；封盖1覆盖在堵头2的左端；堵头2的密封面22为圆锥面，密封面22的锥度为1：6，堵头2内部开设有圆锥孔21，圆锥孔21的锥度为1：9；内塞3的圆锥面31与堵头2的圆锥孔21相配合，圆锥面31的锥度为1：9；内塞3的右端通过弹簧4与挡块5相连，弹簧4内有预紧拉力；挡块5开设有透气孔51；堵头2安装在工件6的盲孔61内。
一种阳极封孔堵头的使用方法，包括下列步骤：
步骤一：将堵头2右侧的封盖1移除；
步骤二：将堵头2塞入工件6的盲孔61内；
步骤三：将内塞3向右移动5mm；
步骤四：保持内塞3的位置，使用真空泵对堵头2的内孔21抽气，直至工件6的盲孔61接近真空；
步骤五：释放内塞3，内塞3在弹簧4的作用下向右移动至原位；
步骤六：将封盖1盖在堵头2的右侧。
经使用表明，本发明可以有效防止堵头在使用过程脱落，密封效果良好，且可以重复使用。

Claims (4)

1.一种阳极封孔堵头，包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5)，其特征在于还包括：封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端；堵头(2)的密封面(22)为圆锥面，密封面(22)的锥度为1：6，堵头(2)内部开设有圆锥孔(21)，圆锥孔(21)的锥度为1：9；内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合，圆锥面(31)的锥度为1：9；内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连，弹簧(4)内有预紧拉力；挡块(5)开设有透气孔(51)；堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。
2.根据权利要求1所述的一种阳极封孔堵头，其特征在于：所述的堵头(2)为硅胶材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种阳极封孔堵头，其特征在于：所述的内塞(3)为铝合金材料制成。
4.根据权利要求1-3所述的一种阳极封孔堵头的密封方法，其特征在于包括下列步骤：
步骤一，将堵头(2)右侧的封盖(1)移除；
步骤二，将堵头(2)塞入工件(6)的盲孔(61)内；
步骤三，将内塞(3)向右移动5mm；
步骤四，保持内塞(3)的位置，使用真空泵对堵头(2)的内孔(21)抽气，直至工件(6)的盲孔(61)接近真空；
步骤五，释放内塞(3)，内塞(3)在弹簧(4)的作用下向右移动至原位；
步骤六，将封盖(1)盖在堵头(2)的右侧。
CN201911023160.7A 2019-10-25 2019-10-25 一种阳极封孔堵头及其密封方法 Pending CN111300031A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911023160.7A CN111300031A (zh) 2019-10-25 2019-10-25 一种阳极封孔堵头及其密封方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911023160.7A CN111300031A (zh) 2019-10-25 2019-10-25 一种阳极封孔堵头及其密封方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111300031A true CN111300031A (zh) 2020-06-19

Family

ID=71156528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911023160.7A Pending CN111300031A (zh) 2019-10-25 2019-10-25 一种阳极封孔堵头及其密封方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111300031A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2795086Y (zh) * 2005-03-25 2006-07-12 林初忠 抽真空瓶塞
CN203158421U (zh) * 2013-04-15 2013-08-28 包头市顺鑫塑业有限公司 抽真空接头及具有抽真空接头的真空包装袋
CN203698913U (zh) * 2013-12-31 2014-07-09 江培强 抽真空瓶塞
CN206766653U (zh) * 2017-04-28 2017-12-19 李力凯 一种手动抽真空瓶塞
US20190010941A1 (en) * 2017-07-07 2019-01-10 Zhejiang Rongpeng Air Tools Co., Ltd. Sealing structure of reciprocating plunger pump
CN109630800A (zh) * 2018-12-11 2019-04-16 芜湖通和汽车管路系统股份有限公司 汽车管路电镀用堵头
CN209309553U (zh) * 2018-12-29 2019-08-27 上海华聚橡塑制品有限公司 一种硅胶堵头连接结构

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2795086Y (zh) * 2005-03-25 2006-07-12 林初忠 抽真空瓶塞
CN203158421U (zh) * 2013-04-15 2013-08-28 包头市顺鑫塑业有限公司 抽真空接头及具有抽真空接头的真空包装袋
CN203698913U (zh) * 2013-12-31 2014-07-09 江培强 抽真空瓶塞
CN206766653U (zh) * 2017-04-28 2017-12-19 李力凯 一种手动抽真空瓶塞
US20190010941A1 (en) * 2017-07-07 2019-01-10 Zhejiang Rongpeng Air Tools Co., Ltd. Sealing structure of reciprocating plunger pump
CN109630800A (zh) * 2018-12-11 2019-04-16 芜湖通和汽车管路系统股份有限公司 汽车管路电镀用堵头
CN209309553U (zh) * 2018-12-29 2019-08-27 上海华聚橡塑制品有限公司 一种硅胶堵头连接结构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108674989A (zh) 一种用于板件搬运的真空吸盘
CN207958530U (zh) 一种喷砂及阳极工艺的孔保护结构
CN111300031A (zh) 一种阳极封孔堵头及其密封方法
CN102990528B (zh) 一种用于牙种植体表面处理的夹具
CN105736555A (zh) 一种具有辅助抽真空和增压功能的真空吸盘
CN203314756U (zh) 一种气泡水机用充气接头
CN203770832U (zh) 一种超真空阀门装置
CN103750777B (zh) 气动牙膏壳
CN102635622A (zh) 一种真空吸盘
CN102633185A (zh) 一种弹杆式自动吊具
CN203387843U (zh) 一种新型吸盘
CN202914865U (zh) 气动控制系统使用的快速放气阀
CN204159349U (zh) 一种移液器插嘴
CN205629334U (zh) 真空吸铸密封罩的密封结构
CN110625426A (zh) 一种磁铁吸盘
CN208231692U (zh) 用于减速器组合机匣内油封的平稳压紧装置
CN111828435A (zh) 真空排气阀及包括其的六面顶压机
CN203125803U (zh) 硫化机模具胶囊夹持装置
CN206017128U (zh) 液缸排出口连接装置
CN201048107Y (zh) 气动开关
CN109130052A (zh) 高压电器硅胶套管工件从压制模具中取出方法及专用模具
CN207285876U (zh) 一种用于压力锅的弹簧微起式泄压阀
CN105798265A (zh) 真空吸铸密封罩的密封结构
CN204828656U (zh) 桥壳体端头气密堵头
CN210675754U (zh) 一种基于液压设备进行密封的浸铜装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20200619