CN111273525A - 一种应用于内层板的曝光机及对位系统的实时监测方法 - Google Patents

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Abstract

一种应用于内层板的曝光机，包括可移动的基板台面和对位系统，所对位系统包括朝向基板台面设置的对位机构和对内层板标记的标记机构，所述标记机构包括至少两个标记装置，所述标记装置分别位于所述基板台面的相对侧。通过将标记装置设置于基板台面的相对两侧，同时加大了所述标记装置X方向和Y方向的距离，避免了标记装置之间X方向或者Y方向距离较近，误差不易识别的问题，同时，根据相对两侧标记装置之间的长度和其形成的标记点之间长度进行比较，判断曝光机的对位系统是否正确运行，及时修正对位系统，避免由于对位系统的误差，导致大量内层板报废，降低内层板的报废率。

Description

一种应用于内层板的曝光机及对位系统的实时监测方法
技术领域
本发明涉及曝光机领域，具体为一种用于内层板曝光的曝光机及对对位系统的实时监测方法。
背景技术
为了适应电子产品智能化和小型化的发展，印刷电路板也不再只有单面印刷，而是通常采用多层板的形式，而多层板中需要能够双面联通的内层板。在对内层板曝光时，内层板需要分别对其正面和背面进行曝光，同时需要确保在PCB内层板正面和背面上的图形的位置相对应。现有技术中，通常在曝光第一面图形时在印刷电路板的顶部即板框区域绘制两个或多个空心或实心标记，根据图形的正负特性确定标记图案的极性，此内层对位标记的位置根据内层电路板尺寸与工作台上的开孔的位置关系进行计算，此标记集成到第一面曝光图形内进行绘制；然后，通过内层对位图像传感器抓取到第一面提前做好的内层对位标记，计算第二面所需绘制图形的精确印刷位置，在所述内层板的相邻两边绘制标记图案。但是，上述标记方式对位精度有限，两个标记点同时位于顶部，在垂直于其的方向上坐标值接近，所产生的误差不易察觉，不利于对印刷电路板背面进行准确曝光。
发明内容
本发明旨在提供一种误差小的标记装置应用于内层板的曝光机，并提供一种监测对位系统的实时监测方法。
其技术方案是这样的：一种应用于内层板的曝光机，包括可移动的基板台面和对位系统，所对位系统包括朝向基板台面设置的对位机构和对内层板标记的标记机构，所述标记机构包括至少两个标记装置，所述标记装置分别位于所述基板台面的相对侧。
进一步的，所述标记装置在平行于相对侧的方向上具有间隔。
进一步的，所述标记装置位于所述基板台面的对角。
进一步的，所述基板台面一侧设置一个标记装置，另一侧设置至少两个标记装置。
进一步的，所述基板台面的两侧均设置至少两个标记装置。
进一步的，所述标记装置平行于相对的的方向上位置不同。
进一步的，所述标记装置固定设置于所述基板台面或者所述标记装置设置于所述基板台面下方，基板台面对应设置有透光孔。
上述曝光机的对位系统实时监测方法，对位机构抓取位于基板台面相对侧的标记装置的位置信息，获得两个相对侧标记装置之间的第一长度值，所述第一长度值为参考值，在曝光机的对位操作中，根据对位机构抓取所述两个相对的标记装置在内层板标记的标记点的位置信息，获得两个标记点之间的第二长度值，计算第二长度和参考值的比较值，根据比较值判断所述对位系统的状态。
进一步的，所述比较值在误差范围内，继续后续对位操作，所述比较值在误差范围外，修正对位系统。
进一步的，所述误差范围根据所述曝光机的对准精度设置。
通过将标记装置设置于基板台面的相对两侧，同时加大了所述标记装置间X方向和Y方向的距离，避免了标记装置之间X方向或者Y方向距离较近，误差不易识别的问题，同时，根据相对两侧标记装置之间的长度和其形成的标记点之间长度进行比较，判断曝光机的对位系统是否正确运行，及时修正对位系统，避免由于对位系统的误差，导致大量内层板报废，降低内层板的报废率。
附图说明
图1为曝光机一实施例部分结构的俯视示意图。
图2为曝光机另一实施例部分结构的俯视示意图。
图3为对位系统实时监测方法流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1-2，本发明的一种用于内层板曝光的曝光机，其中曝光机的基板台面1通过多轴运动装置安装在底座2上，内层板3正面朝上、背面朝下放置在基板台面1表面，对位系统包括对位机构和标记机构。在描述过程中，以内层板的扫描方向为X方向，以垂直于X方向为Y方向。需要说明，上述方向的描述仅为了对技术方案进行清楚的描述，而不是对于X方向和Y方向进行限制。
所述对位机构朝向基板台面1设置，所述标记装置设置于所述基板台面1。所述对位机构包括抓取标记点的对位相机5和驱动所述对位相机移动的移动装置6，所述标记机构包括至少两个标记装置7，所述标记装置7分别位于所述基板台面1相对的两侧，所述相对两侧平行于X方向或者所述相对两侧平行于Y方向。所述标记装置7所在的相对两侧平行于X方向时，位于相对两侧的标记装置7之间X方向相距一定距离；所述标记装置7所在相对两侧为Y方向时，位于相对两侧的标记装置7之间Y方向相距一定距离。即所述标记装置7在平行于相对侧的方向上具有间隔，所述标记装置7之间的连线与所述基板台面1的边沿具有倾斜角度。 较佳的，所述标记装置7位于所述基板台面1的对角，选取最大的X方向和Y方向的间隔。
可以根据需要设置所述标记装置7的数量，可以一侧设置一个标记装置7，另一侧设置多个标记装置7，也可以两侧都设置多个标记装置7，所述多个标记装置7X方向位置不同。在一次标记操作中，可以根据基板的尺寸选择位于基板台面1两侧并X方向尽可能远的标记装置7进行标记操作。
所述标记装置7固定设置于所述基板台面1，或者所述标记装置7设置于所述基板台面1下方，基板台面1对应设置有透光孔。
如图3所示，利用所述标记装置7在基板台面1的设置，可以实时监测所述对位系统。初始时，通过移动所述基板台面1和所述对位相机5的位置，通过所述对位相机5获取标记装置7的位置信息，所述位置信息可以是所述标记装置的坐标值，并根据所述位置信息计算位于所述基板台面1相对的两侧的标记装置7之间的距离，获得第一长度值，作为参考值。
在上述曝光机对内层板3的两面进行曝光过程中，先将内层板3正面朝上放置于基板台面1表面，在对内层板3正面进行曝光操作时，标记机构对内层板3背面进行打标。
然后，将内层板3翻转，使得内层板3背面朝上放置在基板台面1表面，通过对位机构抓取标记装置7标记在内层板背面的标记点的位置信息，并根据所述标记点的位置信息，计算标记点之间的距离，获得第二长度值。
第二长度值和预先获得的参考值进行比较，获得比较值，若所述比较值在误差范围内，则继续通过所述标记点的位置信息校正内层板的旋转和平移数据，若所述比较值不在误差范围内，则停止对位曝光操作，对曝光机的对位系统进行检测，查找误差过大的原因，并根据检测结果，对对位机构或者标记机构或者两者进行修正，修正后重新获取参考值。所述误差值可以根据所述曝光机的对准精度设置。
在对内层板进行曝光操作的过程中，实时判断对位系统是否处于正常工作状态，能够及时发现问题，解决问题。
通过将标记装置设置7于基板台面1的相对两侧，同时加大了所述标记装置间X方向和Y方向的距离，避免了标记装置之间X方向或者Y方向距离较近，误差不易识别的问题，同时，根据相对两侧标记装置7之间的长度和其形成的标记点之间长度进行比较，判断曝光机的对位系统是否正确运行，及时修正对位系统，避免由于对位系统的误差，导致大量内层板报废，降低内层板的报废率。

Claims (10)

1.一种应用于内层板的曝光机，包括可移动的基板台面和对位系统，其特征在于，所对位系统包括朝向基板台面设置的对位机构和对内层板标记的标记机构，所述标记机构包括至少两个标记装置，所述标记装置分别位于所述基板台面的相对侧。
2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述标记装置在平行于相对侧的方向上具有间隔。
3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述标记装置位于所述基板台面的对角。
4.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述基板台面一侧设置一个标记装置，另一侧设置至少两个标记装置。
5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述基板台面的两侧均设置至少两个标记装置。
6.根据权利要求5所述的曝光机，其特征在于：所述标记装置平行于相对的的方向上位置不同。
7.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述标记装置固定设置于所述基板台面或者所述标记装置设置于所述基板台面下方，基板台面对应设置有透光孔。
8.根据权利要求1-7任一曝光机的对位系统实时监测方法，其特征在于：对位机构抓取位于基板台面相对侧的标记装置的位置信息，获得两个相对侧标记装置之间的第一长度值，所述第一长度值为参考值，在曝光机的对位操作中，根据对位机构抓取所述两个相对的标记装置在内层板标记的标记点的位置信息，获得两个标记点之间的第二长度值，计算第二长度和参考值的比较值，根据比较值判断所述对位系统的状态。
9.根据权利要求8所述的对位系统实时监测方法，其特征在于：所述比较值在误差范围内，继续后续对位操作，所述比较值在误差范围外，修正对位系统。
10.根据权利要求9所述的对位系统实时监测方法，其特征在于：所述误差范围根据所述曝光机的对准精度设置。
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