CN111235523A - 掩膜板及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本公开关于一种掩膜板及其制作方法，该掩膜板的制作方法包括：提供一金属薄片，在该金属薄片上的第一区域开设多个孔；通过张网工艺将开设多个孔后的该金属薄片固定至一框架上；在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，该第二区域与所述第一区域无重叠部分。使用本公开这种工艺制作而成的掩膜板利于高PPI的显示器的蒸镀，降低了例如AMOLED出现亮度不均匀的现象，一定程度上提高了例如AMOLED的画面质量。

Description

掩膜板及其制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法。
背景技术
显示技术是利用电子技术提供变换灵活的视觉信息的技术，随着显示技术的发展，人们对显示画质的需求日益增长，高画质、高分辨率的显示装置也越来越得到显示面板厂家的重视。有源矩阵有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)起源于有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)技术，具有自发光、功耗低、反应速度快等特性。在AMOLED器件的制作过程中，通常会使用高真空蒸镀的方法制作器件的有机层，而蒸镀工艺需要精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)来进行镀膜的位置限定。
相关技术中，精细金属掩膜板的制作流程是利用黄光微影蚀刻工艺，在金属薄膜上刻蚀出孔洞，形成一条一条的精细金属掩膜条(Fine Metal Mask Sheet)，之后再通过张网工艺将精细金属掩膜条分别焊接在金属框架上。这种工艺使得精细金属掩膜板的孔洞大小及孔距都受到了限制，进而影响了高像素密度(Pixels Per Inch，PPI)的显示器蒸镀。因此，有必要提供一种新的技术方案改善上述方案中存在的一个或者多个问题。
需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种掩膜板及其制作方法，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。
根据本公开实施例的第一方面，提供一种掩膜板的制作方法，该方法包括以下步骤：
提供一金属薄片，在该金属薄片上的第一区域开设多个孔；
通过张网工艺将开设多个孔后的该金属薄片固定至一框架上；
在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，该第二区域与所述第一区域无重叠部分。
本公开的实施例中，所述镂空孔由激光打孔形成。
本公开的实施例中，所述第二区域包括阵列间隔分布的多个图形区；所述第一区域包括相邻所述图形区之间的区域，以及所述多个图形区的外围区域。
本公开的实施例中，所述在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，包括：
选择对称的图形区，在选择的每个图形区开设镂空孔；
每个图形区其余镂空孔以该图形区的第一个镂空孔为基准开设。
本公开的实施例中，所述对称的图形区为中心对称的图形区或者轴对称的图形区。
本公开的实施例中，所述在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，包括：
在所述多个图形区中，以从外到里的图形区顺序或从里到外的图形区顺序，依次在各图形区开设镂空孔；
每个图形区其余镂空孔以该图形区的第一个镂空孔为基准开设。
本公开的实施例中，每个图形区的第一个镂空孔与该图形区的一边缘具有预设距离的偏移量。
本公开的实施例中，所述多个孔由激光打孔或刻蚀形成。
本公开的实施例中，所述掩膜板为精细金属掩膜板FMM。
根据本公开实施例的第二方面，提供一种掩膜板，由上述任一项实施例所述掩膜板的制作方法制造而成。
本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
本公开的一种实施例中，在张网工艺前，先在金属薄片的第一区域开设了多个孔，张网后按照预设方式在该金属薄片上的第二区域开设多个镂空孔；这样，先开孔的方式可以在很大程度上避免张网后在该金属薄片上的第二区域开设镂空孔时产生应力不均而导致金属薄片出现褶皱的现象，同时，张网后按照预设方式开设镂空孔，进一步减小应力不均，整体上使这种工艺制作而成的掩膜板利于高PPI的显示器的蒸镀，降低了例如AMOLED出现亮度不均匀的现象，一定程度上提高了例如AMOLED的画面质量。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示意性示出本公开示例性实施例中掩膜板的制作方法流程图；
图2～图4示意性示出本公开示例性实施例中掩膜板的制作方法过程图；
图5示意性示出本公开示例性实施例中掩膜板的部分结构示意图；
图6示意性示出本公开示例性实施例中另一掩膜板的部分结构示意图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。
此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。
本示例实施方式中首先提供了一种掩膜板的制作方法，参考图1中所示，该方法可以包括：
步骤S101：提供一金属薄片，在该金属薄片上的第一区域开设多个孔；
步骤S102：通过张网工艺将开设多个孔后的该金属薄片固定至一框架上；
步骤S103：在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，该第二区域与所述第一区域无重叠部分。
通过上述掩膜板的制作方法，在张网工艺前，先在金属薄片的第一区域开设了多个孔，张网后按照预设方式在该金属薄片上的第二区域开设多个镂空孔；这样，先开孔的方式可以在很大程度上避免张网后在该金属薄片上的第二区域开设镂空孔时产生应力不均而导致金属薄片出现褶皱的现象，同时，张网后按照预设方式开设镂空孔，进一步减小应力不均，整体上使这种工艺制作而成的掩膜板利于高PPI的显示器的蒸镀，降低了例如AMOLED出现亮度不均匀的现象，一定程度上提高了例如AMOLED的画面质量。
下面，将参考图1至图6对本示例实施方式中的上述方法的各个步骤进行更详细的说明。
在步骤S101中，如图2所示，提供一金属薄片100，该金属薄片100的材质为瓦合金或不锈钢，并在该金属薄片100上的第一区域200开设多个孔210。在一个实施例中，所述多个孔210由激光打孔或刻蚀形成，具体的刻蚀工艺可以是干法刻蚀也可以是湿法刻蚀，所述多个孔210可以是半刻蚀孔，也可以是全刻蚀孔，亦或是半刻蚀孔和全刻蚀孔的组合。所述多个孔210的形状为矩形、菱形、圆形、椭圆形或十字形，例如，在具体的操作中，可以从上述形状中任选一种形状，使得该金属薄片100上的第一区域200上的所有孔210的形状保持统一，也可以从上述形状中任意组合，使得该金属薄片100上的第一区域200上的孔210的形状为多种。所述第一区域200上多个孔210的开设，可减少在后续步骤中金属薄片100上褶皱的出现，所述多个孔210的数量以及各孔之间的距离，根据实际需求而定，本发明对此不作限制。
在步骤S102中，通过张网工艺将开设多个孔210后的该金属薄片100固定至一框架400上。如图3所示，在一个实施例中，所述框架400为金属框架，将该金属薄片100使用激光焊接在该框架400上，张网过程需保证该金属薄片100各处受力均匀，且张网后的金属薄片100没有褶皱。
在步骤S103中，如图4所示，在该金属薄片100上的第二区域300按照预设方式开设多个镂空孔310，该第二区域300与所述第一区域200无重叠部分。
在一个实施例中，参照图3所示，所述第二区域300包括阵列间隔分布的多个图形区320；所述第一区域200包括相邻所述图形区320之间的区域，以及所述多个图形区320的外围区域。其中，每一个图形区320对应一个面板的显示区，如此设置可使得多个面板同时进行蒸镀，提高面板的生产效率并节约成本，因此，各图形区320的具体形状可根据要进行蒸镀的面板的显示区形状来决定，图3中各图形区320的形状为矩形仅仅为示意，并不用来限制本发明。
具体的，如图4所示，所述镂空孔310由激光打孔形成，由于激光打孔参数精准易控制，可以提高掩膜板开孔的精度和良率，进而提高使用该掩膜板进行蒸镀的面板的PPI。
为了进一步减小开孔时的应力不均，提高掩膜板开孔的精度和良率，进而利于更高PPI的显示器的蒸镀。在该金属薄片100上的第二区域300上按照预设方式开设多个镂空孔310。在一个实施例中，该预设方式包括：选择对称的图形区320，在选择的每个图形区320开设镂空孔310，每个图形区320其余镂空孔310以该图形区320的第一个镂空孔311为基准开设。所述对称的图形区为中心对称的图形区或者轴对称的图形区。本实施例中以轴对称的图形区为例说明，如图5所示，以金属薄片100的垂直对称轴101为基准，若先选择在图形区3201上开设一个或多个镂空孔310，则接着选择与图形区3201对称的图形区3202上开设一个或多个镂空孔310，其余图形区320开设镂空孔310的顺序依此类推，均以金属薄片100的垂直对称轴101为基准对称，当所有图形区320都有一个或多个镂空孔310后，按照一定的顺序，将每个图形区320其余镂空孔310以该图形区320的第一个镂空孔3101为基准开设完成。以对称图形区顺序开设镂空孔的方式，可以减小开镂空孔的过程中金属薄片100表面应力的变化，进而避免金属薄片100应变引起加工精度不良的现象。而每个图形区320其余镂空孔310以该图形区320的第一个镂空孔3101为基准开设，可以保证每一个图形区的位置更加精确。
在另一个实施例中，该预设方式包括：在所述多个图形区320中，以从外到里的图形区顺序或从里到外的图形区顺序，依次在各图形区320开设镂空孔310，每个图形区320其余镂空孔310以该图形区的第一个镂空孔311为基准开设。具体的，如图6所示，以最靠近框架400的图形区320为最外圈的图形区即图6中的虚线框A所在的区域，选择先在最外圈的图形区320上开设一个或多个镂空孔310，接着选择与最外圈图形区320相邻的内圈的图形区320即图6中的虚线框B所在的区域开设一个或多个镂空孔310，以此类推，当所有图形区320都有一个或多个镂空孔310后，按照一定的顺序，将每个图形区320其余镂空孔310以该图形区320的第一个镂空孔3101为基准开设完成。同理，亦可选择从最内圈的图形区320开始开设一个或多个镂空孔310。以从外到里的图形区顺序或从里到外的图形区顺序开设镂空孔的方式，可以减小开镂空孔的过程中金属薄片100表面应力的变化，进而避免金属薄片100应变引起加工精度不良的现象。而每个图形区320其余镂空孔310以该图形区320的第一个镂空孔3101为基准开设，可以保证每一个图形区的位置更加精确。
在一个实施例中，如图5所示，每个图形区320的第一个镂空孔311与该图形区320的一边缘具有预设距离的偏移量d。具体的，该预设距离在开设每个图形区中第一个镂空孔311前经由模拟试验确定，该偏移量d可补偿整个工艺过程中单个图形区整体偏移的问题，提高掩膜版的精度。
在一个示例中，上述制作方法中所述的掩膜板为精细金属掩膜板FMM。
进一步的，本示例实施方式中还提供了一种掩膜板，该掩膜板为通过上述任意一个实施例所述方法制备而成，在此不做赘述。
本公开的实施例中的上述方法制备的掩膜板，在张网工艺前，先在金属薄片的第一区域开设了多个孔，张网后按照预设方式在该金属薄片上的第二区域开设多个镂空孔；这样，先开孔的方式可以在很大程度上避免张网后在该金属薄片上的第二区域开设镂空孔时产生应力不均而导致金属薄片出现褶皱的现象，同时，张网后按照预设方式开设镂空孔，进一步减小应力不均，整体上使这种工艺制作而成的掩膜板利于高PPI的显示器的蒸镀，降低了例如AMOLED出现亮度不均匀的现象，一定程度上提高了例如AMOLED的画面质量。
在本公开的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供一金属薄片，在该金属薄片上的第一区域开设多个孔；
通过张网工艺将开设多个孔后的该金属薄片固定至一框架上；
在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，该第二区域与所述第一区域无重叠部分。
2.根据权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述镂空孔由激光打孔形成。
3.根据权利要求2所述制作方法，其特征在于，所述第二区域包括阵列间隔分布的多个图形区；所述第一区域包括相邻所述图形区之间的区域，以及所述多个图形区的外围区域。
4.根据权利要求3所述制作方法，其特征在于，所述在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，包括：
选择对称的图形区，在选择的每个图形区开设镂空孔；
每个图形区其余镂空孔以该图形区的第一个镂空孔为基准开设。
5.根据权利要求4所述制作方法，其特征在于，所述对称的图形区为中心对称的图形区或者轴对称的图形区。
6.根据权利要求3所述制作方法，其特征在于，所述在该金属薄片上的第二区域按照预设方式开设多个镂空孔，包括：
在所述多个图形区中，以从外到里的图形区顺序或从里到外的图形区顺序，依次在各图形区开设镂空孔；
每个图形区其余镂空孔以该图形区的第一个镂空孔为基准开设。
7.根据权利要求3～5之一所述制作方法，其特征在于，每个图形区的第一个镂空孔与该图形区的一边缘具有预设距离的偏移量。
8.根据权利要求7所述制作方法，其特征在于，所述多个孔由激光打孔或刻蚀形成。
9.根据权利要求1～6任一所述制作方法，其特征在于，所述掩膜板为精细金属掩膜板FMM。
10.一种掩膜板，其特征在于，由权利要求1～9任一项所述掩膜板的制作方法制造而成。
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