CN111229711A - 新型晶圆半导体生产辅助设备 - Google Patents

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CN111229711A CN202010058708.8A CN202010058708A CN111229711A CN 111229711 A CN111229711 A CN 111229711A CN 202010058708 A CN202010058708 A CN 202010058708A CN 111229711 A CN111229711 A CN 111229711A
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Abstract

本发明涉及晶圆半导体技术领域，且公开了新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱，清洗箱的内部设置有一个清洗框，清洗框的表面开设有漏水孔，清洗框的内壁上端铰接有一块矩形盖板，清洗框的上表面固定连接有把手，清洗框的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板，该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过电机的转动带动转轴的转动，转轴的转动带动凸轮的转动在配合弧形杆，从而可以使弧形杆进行上下移动，弧形杆的上下移动带动漂洗板的上下移动，漂洗板的上下移动的带动清洗框进行上下移动，从而对清洗框内部的晶圆进行上下抖动的清洗，通过这样漂洗的方式不仅可以使用大批量的清洗，还可以使晶圆清洗的更加干净。

Description

新型晶圆半导体生产辅助设备
技术领域
本发明涉及晶圆半导体技术领域，具体为新型晶圆半导体生产辅助设备。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。
晶圆的制造工艺为表面清洗、初次氧化、热CVD、热处理等，在晶圆半导体生产时，晶圆清洗这一步步骤往往由生产辅助设备去处理，如中国专利公开了一种专利号为CN109037116A，晶圆清洗装置，本发明涉及一种晶圆清洗装置，包括对称设置在一晶圆两侧的清洗组件，清洗组件包括刷体、第一管路及第二管路；第一管路及第二管路均设置于刷体内，且第一管路套设于第二管路外，刷体外壁上设置有沿轴向螺旋形分布的凹槽；第二管路上设置有若干沿轴向螺旋形分布的支管，支管与凹槽的底部连通，第一管路中流经的清洗液对晶圆进行清洗，第二管路中流经的清洗液通过支管流入凹槽内以对刷体的外壁进行清洗。本发明能够减少刷体表面颗粒物的积累，还可以进一步提高刷体的自清洗能力，但是例如上述的晶圆清洗装置及市场上大多数的清洗装置都不能大量清洗，这样就会导致清洗效率低下，因此亟需一种可以大量清洗的晶圆清洗装置。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了新型晶圆半导体生产辅助设备，具备批量清洗等优点。
(二)技术方案
为实现上述的目的，本发明提供如下技术方案：新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱，所述清洗箱的内部设置有一个清洗框，所述清洗框的表面开设有漏水孔，所述清洗框的内壁上端铰接有一块矩形盖板，所述清洗框的上表面固定连接有把手，所述清洗框的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板，所述清洗框的底板上等距均匀开设有矩形通孔，所述清洗箱的内壁左右两面中部均内凹有一个矩形凹孔，所述清洗箱的内部设置有一个漂洗装置，所述漂洗装置包括电机及漂洗板，所述电机的右面与清洗箱的左面上端固定连接在一起，所述清洗箱的左面开设有一个圆形通槽，所述圆形通槽的内部设置有一根转轴，所述转轴的左端与电机的输出轴固定连接在一起，所述转轴的右面固定连接有一个凸轮，所述凸轮的上端套接有一个弧形杆，所述弧形杆的内环上端下表面固定连接有一个圆球，所述圆球与凸轮相互接触，所述弧形杆的下表面与漂洗板的上表面固定连接在一起；
所述漂洗板的上表面等距均匀固定连接有清洗块，每块所述清洗块的位置、数量及大小与每个所述矩形通孔的位置、数量及大小相符合，所述漂洗板的左右两面均固定连接有一个卡块，两个所述卡块分别对应的插入两个矩形凹孔内，两个所述卡块的下表面均固定连接有一根弹簧，两根所述弹簧的下表面分别与两个所述矩形凹孔内壁的底面固定连接在一起；
所述清洗箱的下表面设置有一个循环装置。
优选的，所述循环装置包括过滤箱及L型管，所述过滤箱的上表面与清洗箱的下表面固定连接在一起，所述过滤箱与清洗箱之间通过一根竖管连通，所述过滤箱的内部底端设置有一个水泵，所述L型管的左端与过滤箱的右面下端固定连接在一起，所述L型管与过滤箱的内部相通，所述L型管的上端出水口伸入清洗箱的内部上端，所述L型管的左端与水泵的输出端固定连接在一起；
所述过滤箱的内部设置有一个自动过滤装置；
所述过滤箱的内部还设置有一个自动收集装置。
优选的，所述自动过滤装置包括动力装置及过滤板，所述过滤板的下表面前后两端均固定连接有一块支撑杆，两块所述支撑杆相背离的两面均固定连接有一根圆杆，两根所述圆杆相背离的两端均通过轴承与过滤箱内壁的前后两面固定连接在一起；
所述动力装置包括横管，所述横管的上表面与竖管的下表面固定连接在一起，所述竖管与横管的内部相通，所述横管的下表面左右两端均固定连接有一根水管，所述横管的下表面中部固定连接有一根竖杆，所述竖杆的下表面固定连接有一个矩形套，所述矩形套的内部套接有一块矩形横板，所述矩形横板的上表面遮挡住左右两根水管的下端出水口的任意一个出水口，所述矩形横板的左右两面均固定连接有一根细绳，所述矩形横板的左右两端均设置有一个滑轮，所述滑轮的前后两端均通过轴承固定连接有一根L型杆，所述L型杆的另一端与过滤箱的内壁固定连接在一起，两根所述细绳分别从两个滑轮上绕过并分别与过滤板的左右两端固定连接在一起。
优选的，所述自动收集装置包括两个收集箱及一个矩形纵杆，所述过滤箱的左右两面下端均开设有一个矩形通孔，两个所述收集箱分别位于两个所述收集箱的内部，两个所述收集箱的侧表面均开设有漏水孔，每个所述漏水孔内均固定连接有过滤网，所述过滤板的上表面前后两侧均开设有一条矩形滑槽，所述矩形纵杆的下表面前后两端均固定连接有一个滚轮，两个所述滚轮分别对应的插入两条矩形滑槽内，两个所述收集箱分别位于过滤板下方的左右两侧。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了新型晶圆半导体生产辅助设备，具备以下有益效果：
1、该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过电机的转动带动转轴的转动，转轴的转动带动凸轮的转动在配合弧形杆，从而可以使弧形杆进行上下移动，弧形杆的上下移动带动漂洗板的上下移动，漂洗板的上下移动的带动清洗框进行上下移动，从而对清洗框内部的晶圆进行上下抖动的清洗，通过这样漂洗的方式不仅可以使用大批量的清洗，还可以使晶圆清洗的更加干净。
2、该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过凸轮、圆球及弧形杆的相互配合，当凸轮在旋转时，将会撞击圆球，从而使圆球进行上下震动，圆球的上下震动使弧形杆进行上下震动，当在清洗较多的晶圆时，当凸轮在撞击圆球时，使圆球向上移动，由于重力的原因，会缩短圆球与凸轮之间的距离，这样会使圆球的上下震动频率加快，从而间接的使清洗框震动频率加快，这样本装置可以根据所需清洗的晶圆数量的多少来自动调节震动频率，当清洗的越多时震动的越快，这样提高了本装置的适应性，保证了本装置的清洗效率及清洗质量。
3、该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过将清洗框放置在漂洗板上，再将每个清洗块插入矩形通孔内，此时将晶圆放置在两块清洗块之间，这样当圆球整体上下移动时，位于圆球内部的晶圆由于惯性会产生相对的运动，从而就会与清洗块产生相对的摩擦，从而进一步的使晶圆的表面清洗的更加干净。
4、该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过将清洗框放置在漂洗板上，再将每个清洗块插入矩形通孔内，此时将晶圆放置在两块清洗块之间，这样可以有效的防止在清洗时晶圆与晶圆之间相互碰撞，导致晶圆受损的情况发生。
5、该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过在清洗箱的下端设置有一个循环装置，这样可以将清洗箱内部的脏水经过过滤箱内部的自动过滤装置过滤之后，通过水泵和L型管在输送到清洗箱的内部，这样可以有效的节约水资源，达到环保的目的。
6、该新型晶圆半导体生产辅助设备，清洗箱的污水通过竖管流入到横管内，在通过两根水管进行分流，由于两根其中一根的水管被矩形横板给堵住了，所以污水只能从另一端流出，这样污水就会撞击在过滤板的一端，由于过滤板的下端与过滤箱的内壁是活动连接在一起，利用跷跷板的原理，这样过滤板的一端就会倾斜向下，从而会拉动细绳，通过细绳使矩形横板向水管流水的一端进行移动，这样就会将流水的一端给堵住，另一根水管就会流水，以此类推，这样过滤板就会不停的左右倾斜移动，这样通过过滤板不停的左右倾斜移动可以有效的防止过滤板被污水中的污物给堵住，可以有效的提高过滤效率。
7、该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过过滤板在运动时的自身左右倾斜，从而使位于过滤板上端的矩形纵杆进行左右移动，这样可以将过滤板上表面的污物给推到左右两个收集箱内，这样不仅可以增加过滤效率，还可以达到自动收集污物的效果，这样使用者只需定时将收集箱内的污物给倒出去即可，增加本装置的实用性。
8、该新型晶圆半导体生产辅助设备，本装置利用清洗箱内产生的污水，再利用污水自身的流动性及自身的重力势能作为自动过滤装置及自动收集装置的动力，这样对比现有的利用电能等其他能源的方式更加的环保。
附图说明
图1为本发明新型晶圆半导体生产辅助设备的结构示意图；
图2为本发明漂洗板的结构示意图；
图3为本发明图2中A处的局部放大结构示意图；
图4为本发明清洗框底板的结构示意图；
图5为本发明漂洗板的结构示意图；
图6为本发明过滤箱的内部结构示意图；
图7为本发明过滤板的结构示意图。
图中：1清洗箱、12矩形盖板、14把手、15清洗框、16矩形通孔、17矩形挡板、18矩形凹孔、2漂洗板、21卡块、22电机、23弧形杆、24凸轮、25圆球、26转轴、27清洗块、3过滤箱、31收集箱、32L型管、33竖管、34横管、35竖杆、36矩形套、37水管、38矩形横板、4过滤板、41矩形滑槽、42矩形纵杆、43滚轮、44圆杆、45支撑杆、46细绳、47滑轮、48L型杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：请参阅图1、2、3、4及图5，新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱1，清洗箱1的内部设置有一个清洗框15，清洗框15的表面开设有漏水孔，清洗框15的内壁上端铰接有一块矩形盖板12，清洗框15的上表面固定连接有把手14，清洗框15的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板17，清洗框15的底板上等距均匀开设有矩形通孔16，清洗箱1的内壁左右两面中部均内凹有一个矩形凹孔18，清洗箱1的内部设置有一个漂洗装置，漂洗装置包括电机22及漂洗板2，电机22的右面与清洗箱1的左面上端固定连接在一起，清洗箱1的左面开设有一个圆形通槽，圆形通槽的内部设置有一根转轴26，转轴26的左端与电机22的输出轴固定连接在一起，转轴26的右面固定连接有一个凸轮24，凸轮24的上端套接有一个弧形杆23，弧形杆23的内环上端下表面固定连接有一个圆球25，圆球25与凸轮24相互接触，弧形杆23的下表面与漂洗板2的上表面固定连接在一起，漂洗板2的上表面等距均匀固定连接有清洗块27，每块清洗块27的位置、数量及大小与每个矩形通孔16的位置、数量及大小相符合，漂洗板2的左右两面均固定连接有一个卡块21，两个卡块21分别对应的插入两个矩形凹孔18内，两个卡块21的下表面均固定连接有一根弹簧，两根弹簧的下表面分别与两个矩形凹孔18内壁的底面固定连接在一起。
在使用时，
第一步：通过电机22的转动带动转轴26的转动，转轴26的转动带动凸轮24的转动在配合弧形杆23，从而可以使弧形杆23进行上下移动，弧形杆23的上下移动带动漂洗板2的上下移动，漂洗板2的上下移动的带动清洗框15进行上下移动，从而对清洗框15内部的晶圆进行上下抖动的清洗，通过这样漂洗的方式可以使晶圆清洗的更加干净。
第二步：通过凸轮24、圆球25及弧形杆23的相互配合，当凸轮24在旋转时，将会撞击圆球25，从而使圆球25进行上下震动，圆球25的上下震动使弧形杆23进行上下震动，当在清洗较多的晶圆时，当凸轮24在撞击圆球25时，使圆球25向上移动，由于重力的原因，会缩短圆球25与凸轮24之间的距离，这样会使圆球25的上下震动频率加快，从而间接的使清洗框15震动频率加快，这样本装置可以根据所需清洗的晶圆数量的多少来自动调节震动频率，当清洗的越多时震动的越快，这样提高了本装置的适应性，保证了本装置的清洗效率及清洗质量。
第三步：通过将清洗框15放置在漂洗板2上，再将每个清洗块27插入矩形通孔16内，此时将晶圆放置在两块清洗块27之间，这样当圆球25整体上下移动时，位于圆球25内部的晶圆由于惯性会产生相对的运动，从而就会与清洗块27产生相对的摩擦，从而进一步的使晶圆的表面清洗的更加干净，通过将清洗框15放置在漂洗板2上，再将每个清洗块27插入矩形通孔16内，此时将晶圆放置在两块清洗块27之间，这样可以有效的防止在清洗时晶圆与晶圆之间相互碰撞，导致晶圆受损的情况发生。
实施例二：请参阅图6，在实施例一的基础上，清洗箱1的下表面设置有一个循环装置，所述循环装置包括过滤箱3及L型管32，所述过滤箱3的上表面与清洗箱1的下表面固定连接在一起，所述过滤箱3与清洗箱1之间通过一根竖管33连通，所述过滤箱3的内部底端设置有一个水泵，所述L型管32的左端与过滤箱3的右面下端固定连接在一起，所述L型管32与过滤箱3的内部相通，所述L型管32的上端出水口伸入清洗箱1的内部上端，所述L型管32的左端与水泵的输出端固定连接在一起，所述过滤箱3的内部设置有一个自动过滤装置，所述自动过滤装置包括动力装置及过滤板4，所述过滤板4的下表面前后两端均固定连接有一块支撑杆45，两块所述支撑杆45相背离的两面均固定连接有一根圆杆44，两根所述圆杆44相背离的两端均通过轴承与过滤箱3内壁的前后两面固定连接在一起；
所述动力装置包括横管34，所述横管34的上表面与竖管33的下表面固定连接在一起，所述竖管33与横管34的内部相通，所述横管34的下表面左右两端均固定连接有一根水管37，所述横管34的下表面中部固定连接有一根竖杆35，所述竖杆35的下表面固定连接有一个矩形套36，所述矩形套36的内部套接有一块矩形横板38，所述矩形横板38的上表面遮挡住左右两根水管37的下端出水口的任意一个出水口，所述矩形横板38的左右两面均固定连接有一根细绳46，所述矩形横板38的左右两端均设置有一个滑轮47，所述滑轮47的前后两端均通过轴承固定连接有一根L型杆48，所述L型杆48的另一端与过滤箱3的内壁固定连接在一起，两根所述细绳46分别从两个滑轮47上绕过并分别与过滤板4的左右两端固定连接在一起。
在使用时，
第一步：通过在清洗箱1的下端设置有一个循环装置，这样可以将清洗箱1内部的脏水经过过滤箱3内部的自动过滤装置过滤之后，通过水泵和L型管32在输送到清洗箱1的内部，这样可以有效的节约水资源，达到环保的目的。
第二步：清洗箱1的污水通过竖管33流入到横管34内，在通过两根水管37进行分流，由于两根其中一根的水管37被矩形横板38给堵住了，所以污水只能从另一端流出，这样污水就会撞击在过滤板4的一端，由于过滤板4的下端与过滤箱3的内壁是活动连接在一起，利用跷跷板的原理，这样过滤板4的一端就会倾斜向下，从而会拉动细绳46，通过细绳46使矩形横板38向水管37流水的一端进行移动，这样就会将流水的一端给堵住，另一根水管37就会流水，以此类推，这样过滤板4就会不停的左右倾斜移动，这样通过过滤板4不停的左右倾斜移动可以有效的防止过滤板4被污水中的污物给堵住，可以有效的提高过滤效率。
第三步：本装置利用清洗箱1内产生的污水，再利用污水自身的流动性及自身的重力势能作为自动过滤装置及自动收集装置的动力，这样对比现有的利用电能等其他能源的方式更加的环保。
实施例三：请参阅图7，在实施例二的基础上，所述过滤箱3的内部设置有一个自动收集装置，自动收集装置包括两个收集箱31及一个矩形纵杆42，所述过滤箱3的左右两面下端均开设有一个矩形通孔，两个所述收集箱31分别位于两个所述收集箱31的内部，两个所述收集箱31的侧表面均开设有漏水孔，每个所述漏水孔内均固定连接有过滤网，所述过滤板4的上表面前后两侧均开设有一条矩形滑槽41，所述矩形纵杆42的下表面前后两端均固定连接有一个滚轮43，两个所述滚轮43分别对应的插入两条矩形滑槽41内，两个所述收集箱31分别位于过滤板4下方的左右两侧。
在使用时，通过过滤板4在运动时的自身左右倾斜，从而使位于过滤板4上端的矩形纵杆42进行左右移动，这样可以将过滤板4上表面的污物给推到左右两个收集箱31内，这样不仅可以增加过滤效率，还可以达到自动收集污物的效果，这样使用者只需定时将收集箱31内的污物给倒出去即可，增加本装置的实用性。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)的内部设置有一个清洗框(15)，所述清洗框(15)的表面开设有漏水孔，所述清洗框(15)的内壁上端铰接有一块矩形盖板(12)，所述清洗框(15)的上表面固定连接有把手(14)，所述清洗框(15)的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板(17)，所述清洗框(15)的底板上等距均匀开设有矩形通孔(16)，所述清洗箱(1)的内壁左右两面中部均内凹有一个矩形凹孔(18)，其特征在于：所述清洗箱(1)的内部设置有一个漂洗装置，所述漂洗装置包括电机(22)及漂洗板(2)，所述电机(22)的右面与清洗箱(1)的左面上端固定连接在一起，所述清洗箱(1)的左面开设有一个圆形通槽，所述圆形通槽的内部设置有一根转轴(26)，所述转轴(26)的左端与电机(22)的输出轴固定连接在一起，所述转轴(26)的右面固定连接有一个凸轮(24)，所述凸轮(24)的上端套接有一个弧形杆(23)，所述弧形杆(23)的内环上端下表面固定连接有一个圆球(25)，所述圆球(25)与凸轮(24)相互接触，所述弧形杆(23)的下表面与漂洗板(2)的上表面固定连接在一起。
2.根据权利要求1所述的新型晶圆半导体生产辅助设备，其特征在于：所述漂洗板(2)的上表面等距均匀固定连接有清洗块(27)，每块所述清洗块(27)的位置、数量及大小与每个所述矩形通孔(16)的位置、数量及大小相符合，所述漂洗板(2)的左右两面均固定连接有一个卡块(21)，两个所述卡块(21)分别对应的插入两个矩形凹孔(18)内，两个所述卡块(21)的下表面均固定连接有一根弹簧，两根所述弹簧的下表面分别与两个所述矩形凹孔(18)内壁的底面固定连接在一起；
所述清洗箱(1)的下表面设置有一个循环装置。
3.根据权利要求2所述的新型晶圆半导体生产辅助设备，其特征在于：所述循环装置包括过滤箱(3)及L型管(32)，所述过滤箱(3)的上表面与清洗箱(1)的下表面固定连接在一起，所述过滤箱(3)与清洗箱(1)之间通过一根竖管(33)连通，所述过滤箱(3)的内部底端设置有一个水泵，所述L型管(32)的左端与过滤箱(3)的右面下端固定连接在一起，所述L型管(32)与过滤箱(3)的内部相通，所述L型管(32)的上端出水口伸入清洗箱(1)的内部上端，所述L型管(32)的左端与水泵的输出端固定连接在一起；
所述过滤箱(3)的内部设置有一个自动过滤装置；
所述过滤箱(3)的内部还设置有一个自动收集装置。
4.根据权利要求3所述的新型晶圆半导体生产辅助设备，其特征在于：所述自动过滤装置包括动力装置及过滤板(4)，所述过滤板(4)的下表面前后两端均固定连接有一块支撑杆(45)，两块所述支撑杆(45)相背离的两面均固定连接有一根圆杆(44)，两根所述圆杆(44)相背离的两端均通过轴承与过滤箱(3)内壁的前后两面固定连接在一起。
5.根据权利要求4所述的新型晶圆半导体生产辅助设备，其特征在于：所述动力装置包括横管(34)，所述横管(34)的上表面与竖管(33)的下表面固定连接在一起，所述竖管(33)与横管(34)的内部相通，所述横管(34)的下表面左右两端均固定连接有一根水管(37)，所述横管(34)的下表面中部固定连接有一根竖杆(35)，所述竖杆(35)的下表面固定连接有一个矩形套(36)，所述矩形套(36)的内部套接有一块矩形横板(38)，所述矩形横板(38)的上表面遮挡住左右两根水管(37)的下端出水口的任意一个出水口。
6.根据权利要求5所述的新型晶圆半导体生产辅助设备，其特征在于：所述矩形横板(38)的左右两面均固定连接有一根细绳(46)，所述矩形横板(38)的左右两端均设置有一个滑轮(47)，所述滑轮(47)的前后两端均通过轴承固定连接有一根L型杆(48)，所述L型杆(48)的另一端与过滤箱(3)的内壁固定连接在一起，两根所述细绳(46)分别从两个滑轮(47) 上绕过并分别与过滤板(4)的左右两端固定连接在一起。
7.根据权利要求3所述的新型晶圆半导体生产辅助设备，其特征在于：所述自动收集装置包括两个收集箱(31)及一个矩形纵杆(42)，所述过滤箱(3)的左右两面下端均开设有一个矩形通孔，两个所述收集箱(31)分别位于两个所述收集箱(31)的内部，两个所述收集箱(31)的侧表面均开设有漏水孔，每个所述漏水孔内均固定连接有过滤网，所述过滤板(4)的上表面前后两侧均开设有一条矩形滑槽(41)，所述矩形纵杆(42)的下表面前后两端均固定连接有一个滚轮(43)，两个所述滚轮(43)分别对应的插入两条矩形滑槽(41)内，两个所述收集箱(31)分别位于过滤板(4)下方的左右两侧。
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