CN111215626B - 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法 - Google Patents

采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111215626B
CN111215626B CN201911223075.5A CN201911223075A CN111215626B CN 111215626 B CN111215626 B CN 111215626B CN 201911223075 A CN201911223075 A CN 201911223075A CN 111215626 B CN111215626 B CN 111215626B
Authority
CN
China
Prior art keywords
inner hole
electron microscope
laser additive
diaphragm
copper powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911223075.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111215626A (zh
Inventor
姚莉
顾斌宾
朱玉宝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Youbo Photoelectric Technology Co ltd
Original Assignee
Suzhou Youbo Photoelectric Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Youbo Photoelectric Technology Co ltd filed Critical Suzhou Youbo Photoelectric Technology Co ltd
Priority to CN201911223075.5A priority Critical patent/CN111215626B/zh
Priority to PCT/CN2019/123881 priority patent/WO2021109159A1/zh
Publication of CN111215626A publication Critical patent/CN111215626A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111215626B publication Critical patent/CN111215626B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20—Direct sintering or melting
    • B22F10/25—Direct deposition of metal particles, e.g. direct metal deposition [DMD] or laser engineered net shaping [LENS]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/30—Platforms or substrates
    • B22F12/37—Rotatable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y70/00—Materials specially adapted for additive manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y80/00—Products made by additive manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/30—Process control
    • B22F10/36—Process control of energy beam parameters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/60—Treatment of workpieces or articles after build-up
    • B22F10/66—Treatment of workpieces or articles after build-up by mechanical means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

本发明涉及一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，包括如下步骤：提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；将铂金基片进行加工内孔，得到具有内孔的铂片；激光增材制造系统沿铂片的内孔边缘向内孔中心打印铜粉，以使内孔边缘形成环形铜粉层，直至内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑。上述采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，采用激光增材制技术制备电子显微镜光阑，制备工艺流程少且简单，加工容易，材料损耗少，且制备出的电子显微镜光阑的微孔精度高，有效保证电子显微光阑质量，有利于提高扫描电子显微镜的成像质量。

Description

采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法
技术领域
本发明涉及激光增材制造领域，特别是涉及一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法。
背景技术
光阑是扫描电子显微镜的重要组成部分。利用光阑，可以阻挡旁轴电子，减少球差、色差等透镜像差对电子束生成束斑半径的影响。同时，通过使用不同直径大小的扫描电镜光阑，可以有效的控制电子束的束流密度，在大束流分析型(如X射线能谱分析)以及小电流高分辨率型工作状态下切换。
光阑上的圆孔直径范围通常要求在10微米-300微米之间，且要求为正圆形。在传统工艺中，扫描电镜光阑通常由金属通过机械切割微孔形成，整个制造流程需要经过开膜具、铸造或锻造、切割等过程成型，过程复杂，加工困难，材料损耗，加工精度低，难以保证光阑质量，进而影响扫描电子显微镜的成像质量。
发明内容
基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法。
一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，包括如下步骤：
提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；
将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片；
所述激光增材制造系统沿所述铂片的所述内孔边缘向所述内孔中心打印所述铜粉，以使所述内孔边缘形成环形铜粉层，直至所述内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑。
上述采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，采用激光增材制技术制备电子显微镜光阑，即采用激光增材制造系统向沿铂片的内孔边缘向内孔中心打印铜粉以使内孔边缘形成环形铜粉层，直至内孔缩小成孔径为预设值的微孔，制备工艺流程少且简单，加工容易，材料损耗少，且制备出的电子显微镜光阑的微孔精度高，有效保证电子显微光阑质量，有利于提高扫描电子显微镜的成像质量。
在其中一个实施例中，在将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片的步骤中，采用数控冲孔机对所述铂金基片加工内孔。
在其中一个实施例中，所述铂片的所述内孔孔径为1mm-2mm。
在其中一个实施例中，所述激光增材制造系统为3D金属打印机。
在其中一个实施例中，所述激光增材制造系统的激光功率为450W-550W，送铜粉速度为5g/min-10g/min，扫描速度为1mm/s-5mm/s。
在其中一个实施例中，所述微孔孔径为10um-30um。
在其中一个实施例中，所述微孔孔径为50um、100um、200um或300um。
在其中一个实施例中，在所述激光增材制造系统沿所述铂片的所述内孔边缘向所述内孔中心打印所述铜粉，以使所述内孔边缘形成环形铜粉层，直至所述内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑的步骤之前，还包括：
对所述铂片的所述内孔边缘进行打磨抛光处理。
在其中一个实施例中，所述铂片为圆形设置。
在其中一个实施例中，所述电子显微镜光阑的所述环形铜粉层与所述铂片同心设置。
附图说明
图1至图3为本发明的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法的流程图。
附图中各标号的含义为：
铂金基片10，铂片20，内孔21，微孔22，环形铜粉层30，电子显微镜光阑40。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将对本发明进行更全面的描述。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
请参考图1至图3，为本发明一实施方式的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，包括如下步骤：
步骤S10，请参考图1，提供铂金基片10、铜粉及激光增材制造系统；
在本实施例中，铂金基片为圆形。
步骤S20，请参考图2，将铂金基片10进行加工内孔21，得到具有内孔21的铂片20。
具体地，采用数控冲孔机对铂金基片加工内孔，铂片20为圆形设置，铂片20的内孔21为圆孔，且铂片20的内孔21孔径为1mm-2mm；具体到本实施例中，铂片20的内孔21孔径为1mm。
步骤S30，请参考图3，激光增材制造系统沿铂片20的内孔21边缘向内孔21中心打印铜粉，以使内孔21边缘形成环形铜粉层30，直至内孔21缩小成孔径为预设值的微孔22，得到电子显微镜光阑40。
电子显微镜光阑40的环形铜粉层30与铂片20同心设置。
微孔22孔径为10um-30um；具体到本实施例中，微孔22孔径为10um、30um、50um、100um、200um或300um。
激光增材制造系统为3D金属打印机。具体地，3D金属打印机包括喷枪、扫描器、激光器、控制器及治具，喷枪、扫描器及激光器均设于治具的上方，喷枪用于容装铜粉并用于喷射铜粉，激光器用于发射激光束，扫描器用于扫描铂片20上的内孔21，控制器电性连接激光器、喷枪及扫描器，控制用于控制电性连接激光器、喷枪及扫描器的工作，治具用于定位铂片20。可以理解地，3D金属打印机工作时，将铂片20固定在治具上，扫描器扫描治具上的铂片的内孔21位置，喷枪喷出铜粉，激光器发出激光束将喷枪喷出的铜粉融化至内孔21边缘的预设位置上。进一步地，3D金属打印机工作时，治具带动铂片20水平旋转，激光器每隔预设时间后朝铂片20的内孔21中心移动预设的距离；可以理解地，激光器向内孔21边缘融化铜粉，治具带动铂片20水平旋转一周后，激光器朝铂片20的内孔21中心移动预设距离，沿内孔21上的环形铜粉层的边缘继续融化铜粉，以实现3D金属打印机能够沿铂片20的内孔21边缘向内孔21中心打印铜粉。
进一步地，激光增材制造系统的激光功率为450W-550W，送铜粉速度为5g/min-10g/min，扫描速度为1mm/s-5mm/s；具体到本实施例中，激光增材制造系统的激光功率为500W，送铜粉速度为9g/min，扫描速度为3mm/s。
步骤S30具体包括如下步骤：
步骤S31:激光增材制造系统沿铂片20的内孔21边缘向内孔21中心打印预设厚度的同心圆环铜层，同心圆环铜层的厚度小于铂片20的厚度；
步骤S32，循环步骤S31，直至环形铜粉层30的厚度等于铂片20的厚度，且环形铜粉层的相对两侧面分别与铂片20的相对两侧面平齐。
在本实施例中，铂片20的厚度为1mm，激光增材制造系统沿铂片20的内孔21边缘向内孔21中心循环打印20次厚度为50um的同心圆环铜层，以使环形铜粉层30的厚度与铂片20的厚度平齐。
在步骤S30之前，还包括步骤：
对铂片20的内孔21边缘进行打磨抛光处理，以提高内孔21的边缘精度，有效提高向内孔21边缘打印环形铜粉层30的精度。
本发明的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，采用激光增材制技术制备光阑，即采用激光增材制造系统向沿铂片的内孔边缘向内孔中心打印铜粉以使内孔边缘形成环形铜粉层，直至内孔缩小成孔径为预设值的微孔，制备工艺流程少且简单，加工容易，材料损耗少，且制备出的电子显微镜光阑的微孔精度高，有效保证电子显微镜光阑质量，有利于提高扫描电子显微镜的成像质量。
请参考图3，本发明还提供一种电子显微镜光阑40，用于扫描电子显微镜，电子显微镜光阑40中心的设有微孔22，电子显微镜光阑40包括环形状的铂片20及设于铂片20内并与铂片20同心设置的环形铜粉层30，微孔22设于环形铜粉层30的中心。
微孔22孔径为10um-30um；具体到本实施例中，微孔22孔径为10um、30um、50um、100um、200um或300um。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供铂金基片、铜粉及激光增材制造系统；
将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片；
所述激光增材制造系统沿所述铂片的所述内孔边缘向所述内孔中心打印所述铜粉，以使所述内孔边缘形成环形铜粉层，直至所述内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑。
2.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，在将所述铂金基片进行加工内孔，得到具有所述内孔的铂片的步骤中，采用数控冲孔机对所述铂金基片加工内孔。
3.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述铂片的所述内孔孔径为1mm-2mm。
4.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述激光增材制造系统为3D金属打印机。
5.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述激光增材制造系统的激光功率为450W-550W，送铜粉速度为5g/min-10g/min，扫描速度为1mm/s-5mm/s。
6.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述微孔孔径为10um-30um。
7.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述微孔孔径为50um、100um、200um或300um。
8.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，在所述激光增材制造系统沿所述铂片的所述内孔边缘向所述内孔中心打印所述铜粉，以使所述内孔边缘形成环形铜粉层，直至所述内孔缩小成孔径为预设值的微孔，得到电子显微镜光阑的步骤之前，还包括：
对所述铂片的所述内孔边缘进行打磨抛光处理。
9.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述铂片为圆形设置。
10.根据权利要求1所述的采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法，其特征在于，所述电子显微镜光阑的所述环形铜粉层与所述铂片同心设置。
CN201911223075.5A 2019-12-03 2019-12-03 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法 Active CN111215626B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911223075.5A CN111215626B (zh) 2019-12-03 2019-12-03 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法
PCT/CN2019/123881 WO2021109159A1 (zh) 2019-12-03 2019-12-09 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911223075.5A CN111215626B (zh) 2019-12-03 2019-12-03 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111215626A CN111215626A (zh) 2020-06-02
CN111215626B true CN111215626B (zh) 2021-04-09

Family

ID=70810521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911223075.5A Active CN111215626B (zh) 2019-12-03 2019-12-03 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN111215626B (zh)
WO (1) WO2021109159A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117358926B (zh) * 2023-12-05 2024-02-13 天津大学 一种锗光阑阵列的制备方法及光场成像系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101131470A (zh) * 2007-09-21 2008-02-27 北京工业大学 扫描电子显微镜用光阑的紫外激光微加工系统及方法
CN109261965A (zh) * 2018-11-09 2019-01-25 成都青石激光科技有限公司 一种燃气轮机涡轮动叶片盖板顶孔的封堵工艺
CN109797411A (zh) * 2019-03-06 2019-05-24 肇庆市华师大光电产业研究院 一种规则微孔膜及其制备方法和应用

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101799567A (zh) * 2010-04-06 2010-08-11 西安交通大学 强激光石墨光阑及其制造方法
US20180085995A1 (en) * 2013-01-04 2018-03-29 New York University 3d manufacturing using multiple material deposition and/or fusion sources simultaneously with single or multi-flute helical build surfaces
US9931695B2 (en) * 2014-09-25 2018-04-03 General Electric Company Article and method for making an article
CN104599927B (zh) * 2014-12-24 2016-11-30 西安理工大学 一种多孔光阑的制备方法
CN106001574B (zh) * 2016-07-11 2019-03-05 上海航天设备制造总厂 采用模具的表面镂空薄壁零件激光熔覆沉积成形方法
CN108480629B (zh) * 2018-03-23 2020-08-25 山东矿机集团股份有限公司 一种汽轮机空心叶片的激光增材制造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101131470A (zh) * 2007-09-21 2008-02-27 北京工业大学 扫描电子显微镜用光阑的紫外激光微加工系统及方法
CN109261965A (zh) * 2018-11-09 2019-01-25 成都青石激光科技有限公司 一种燃气轮机涡轮动叶片盖板顶孔的封堵工艺
CN109797411A (zh) * 2019-03-06 2019-05-24 肇庆市华师大光电产业研究院 一种规则微孔膜及其制备方法和应用

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021109159A1 (zh) 2021-06-10
CN111215626A (zh) 2020-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7718981B2 (en) Composite charged-particle beam system
CN111215626B (zh) 采用激光增材制备电子显微镜光阑的方法
US20130270750A1 (en) Apparatus and methods for additive-layer manufacturing of an article
US20060249488A1 (en) Laser radiation source
US20090168111A9 (en) Printing form processing with fine and coarse engraving tool processing tracks
CN111215765B (zh) 一种紫外激光加工精密感光孔的加工方法及激光设备
CN108890139B (zh) 一种基于抗反射微结构的飞秒激光点阵标印方法
CN105478767A (zh) 一种金属激光3d打印牙修复体装置和方法
CN106773025B (zh) 调焦镜头及振镜式激光扫描系统
CN112247378A (zh) 一种用于实现微孔锥度可调加工的光学系统及加工方法
KR20180100359A (ko) 분말의 분무 및 융합에 의한 적층 가공 장치
CN104014935A (zh) 激光器单变量彩色打标系统及方法
CN215393264U (zh) 一种五轴四联动打孔装置
US20120205353A1 (en) Cylindrical workpiece cutting apparatus
CN110076451A (zh) 激光加工装置及激光焦距补偿方法
EP3248761A1 (en) 3d additive manufacturing device, control method for 3d additive manufacturing device, and control program for 3d additive manufacturing device
US20220258245A1 (en) Manufacturing method of three-dimensional object and manufacturing method of sheet cutting apparatus
CN205362670U (zh) 一种金属激光3d打印牙修复体装置
CN210755918U (zh) 一种陶瓷激光打孔装置
CN114248023A (zh) 一种激光剥离装置和激光剥离方法
CN111940930A (zh) 一种微孔激光加工方法及设备
CN111451218A (zh) 一种合束激光的产生方法、激光器以及激光清洗方法
JP2007268557A (ja) レーザ加工機およびウインドセル
CN113510393A (zh) 陶瓷工件激光钻孔的方法
CN110919172B (zh) 一种辊筒表面微结构制作设备、系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant