CN111176345B - 一种蚀刻设备的精密温控系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体，所述机体的上方左侧固定连接有控水装置，所述控水装置的输出端连接有进水管，所述控水装置的输入端通过皮带与第一传送带的传动轮转动连接，所述第一传送带的中部与机体固定连接，所述机体的内部左上方设置有第一清洗室，所述第一清洗室的内部上方设置有第一清洗装置，所述第一清洗装置的输入端与进水管连通，所述第一清洗室的内部下方设置有第一蓄水池，所述第一清洗室的下方设置有第二清洗室。该蚀刻设备的精密温控系统配备有一套完善的蚀刻系统，能够方便有效地进行蚀刻，并且该设备可以自动调节水流量，还可以根据水流量的大小来改变设备的温度，从而达到自动化控制的效果。

Description

一种蚀刻设备的精密温控系统

技术领域

本发明涉及蚀刻设备技术领域，具体为一种蚀刻设备的精密温控系统。

背景技术

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，通常所指蚀刻也称光化学蚀刻，指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。一般的蚀刻设备是通过系统控制设备的运行，所有步骤都需要进行单独的管理和操作，根据工人的操作达到改变设备内部各个部分运行速度的效果。这样单独控制使得系统操作麻烦，对系统不能进行有效管理，达不到自动化的效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种蚀刻设备的精密温控系统，解决了设备不能自动化运行的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体，所述机体的上方左侧固定连接有控水装置，所述控水装置的输出端连接有进水管，所述控水装置的输入端通过皮带与第一传送带的传动轮转动连接，所述第一传送带的中部与机体固定连接，所述机体的内部左上方设置有第一清洗室，所述第一清洗室的内部上方设置有第一清洗装置，所述第一清洗装置的输入端与进水管连通，所述第一清洗室的内部下方设置有第一蓄水池，所述第一清洗室的下方设置有第二清洗室，所述第二清洗室的内部上方设置有第二清洗装置，第二清洗装置的输入端通过管道与第一蓄水池的下方连通，所述第二清洗室的下方设置有第二蓄水池，所述机体的内部中上方设置有第一烘干室，所述第一烘干室的内部上方固定安装有第一烘干器，所述第一烘干室的下方设置有腐蚀室，所述机体的内部右侧设置有准备室，所述机体的内部左下方设置有第二烘干室，所述第二烘干室的内部上方固定安装有第二烘干器，所述机体的内部下方还固定连接有第二传送带。

所述控水装置包括有控水装置盒、活动轮、第一活杆、第二活杆、滑槽、滑块、运输管、进水孔和出水孔，所述控水装置盒的前部右侧设置有滑槽，所述控水装置盒的底部与机体的上方左侧固定连接，所述控水装置盒的前部通过轴承转动连接有活动轮，所述活动轮的前部与第一活杆的一端转动连接，所述第一活杆另一端与第二活杆的一端转动连接。

所述第一清洗装置包括有水压增压器、伸缩杆、套管、上喷盘、下喷盘、软管、喷头和清洗管，所述清洗管的一端与进水管连通，所述清洗管的中部固定安装有水压增压器，所述水压增压器的底部固定连接有伸缩杆，所述水压增压器的底部还转动连接有套管，所述套管的下端固定连接有上喷盘，所述上喷盘的下端与软管的一端固定连接，所述软管的另一端固定连接有下喷盘，所述上喷盘和下喷盘的底部外侧设置有喷头。

所述第一烘干器包括有烘干器架、发热管、第一导线、第二导线、第一电阻片、第二电阻片、活塞管、导电活塞和弹簧，所述烘干器架的两侧与第一烘干室的内壁固定连接，所述烘干器架的下端固定安装有发热管，所述烘干器架的上端两侧分别与第一导线和第二导线的一端电性连接，所述第一导线和第二导线的另一端分别电性连接有第一电阻片和第二电阻片，所述第一电阻片和第二电阻片的外侧与活塞管的内壁固定连接，所述活塞管的内部上方固定连接有弹簧，所述弹簧的下端与导电活塞的上端固定连接，所述活塞管与导电活塞活动连接，所述活塞管的下端与上喷盘连通。

优选的，所述第一清洗装置与第二清洗装置为相同设置。

优选的，所述第一烘干器与第二烘干器为相同设置。

优选的，所述进水管远离控水装置的一端设置有止水阀。

优选的，所述腐蚀室的上方设置有蚀刻装置，所述腐蚀室的下方设置有腐蚀槽，所述第二蓄水池的下端与腐蚀室下方的腐蚀槽连接有同一排污管。

优选的，所述准备室内设置有贴膜装置、显影装置和升降装置。

优选的，所述发热管设置有数根且平行排列。

优选的，所述伸缩杆的外壁开设有曲线槽，所述上喷盘和下喷盘的内环都设有小齿口，所述上喷盘和下喷盘的小齿口与伸缩杆外壁的曲线槽卡合。

(三)有益效果

本发明提供了一种蚀刻设备的精密温控系统，具备以下有益效果：该蚀刻设备的精密温控系统配备有一套完善的蚀刻系统，能够方便有效地进行蚀刻，并且该设备可以自动调节水流量，还可以根据水流量的大小来改变设备的温度，从而达到自动化控制的效果。

附图说明

图1为本发明的一种内部结构示意图；

图2为本发明控水装置的一种结构示意图；

图3为本发明清洗装置的一种结构示意图；

图4为本发明烘干器的一种结构示意图。

图中：1机体、2控水装置、3进水管、4第一传送带、5第一清洗室、6第一清洗装置、7第一蓄水池、8第二清洗室、9第二清洗装置、10第二蓄水池、11第一烘干室、12第一烘干器、13腐蚀室、14准备室、15第二烘干室、16第二烘干器、17第二传送带、控水装置盒201、活动轮202、第一活杆203、第二活杆204、滑槽205、滑块206、运输管207、进水孔208、出水孔209、水压增压器601、伸缩杆602、套管603、上喷盘604、下喷盘605、软管606、喷头607、清洗管608、烘干器架1201、发热管1202、第一导线1203、第二导线1204、第一电阻片1205、第二电阻片1206、活塞管1207、导电活塞1208、弹簧1209。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-图4，本发明提供一种技术方案：一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体1，机体1的上方左侧固定连接有控水装置2，控水装置2的输出端连接有进水管3，进水管3远离控水装置2的一端设置有止水阀，控水装置2的输入端通过皮带与第一传送带4的传动轮转动连接，第一传送带4的中部与机体1固定连接，机体1的内部左上方设置有第一清洗室5，第一清洗室5的内部上方设置有第一清洗装置6，第一清洗装置6的输入端与进水管3连通，第一清洗室5的内部下方设置有第一蓄水池7，第一清洗室5的下方设置有第二清洗室8，第二清洗室8的内部上方设置有第二清洗装置9，第一清洗装置6与第二清洗装置9为相同设置，第二清洗装置9的输入端通过管道与第一蓄水池7的下方连通，第二清洗室8的下方设置有第二蓄水池10，机体1的内部中上方设置有第一烘干室11，第一烘干室11的内部上方固定安装有第一烘干器12，第一烘干室11的下方设置有腐蚀室13，腐蚀室13的上方设置有蚀刻装置，腐蚀室13的下方设置有腐蚀槽，第二蓄水池10的下端与腐蚀室13下方的腐蚀槽连接有同一排污管，机体1的内部右侧设置有准备室14，准备室14内设置有贴膜装置、显影装置和升降装置，机体1的内部左下方设置有第二烘干室15，第一烘干器12与第二烘干器16为相同设置，第二烘干室15的内部上方固定安装有第二烘干器16，机体1的内部下方还固定连接有第二传送带17。

控水装置2包括有控水装置盒201、活动轮202、第一活杆203、第二活杆204、滑槽205、滑块206、运输管207、进水孔208和出水孔209，控水装置盒201的前部右侧设置有滑槽205，控水装置盒201的底部与机体1的上方左侧固定连接，控水装置盒201的前部通过轴承转动连接有活动轮202，活动轮202的前部与第一活杆203的一端转动连接，第一活杆203另一端与第二活杆204的一端转动连接，第二活杆204的另一端与滑块206铰接，滑块206的后侧与滑槽205滑动连接，滑块206的右侧设置有运输管207，运输管207远离滑块206的一端与进水管3套接，运输管207的右上方开设有进水孔208，运输管207的下侧开设有出水孔209，可以通过该装置达到自动调节水流量的效果。

第一清洗装置6包括有水压增压器601、伸缩杆602、套管603、上喷盘604、下喷盘605、软管606、喷头607和清洗管608，清洗管608的一端与进水管3连通，清洗管608的中部固定安装有水压增压器601，水压增压器601的底部固定连接有伸缩杆602，水压增压器601的底部还转动连接有套管603，套管603的下端固定连接有上喷盘604，上喷盘604的下端与软管606的一端固定连接，软管606的另一端固定连接有下喷盘605，上喷盘604和下喷盘605的底部外侧设置有喷头607，伸缩杆602的外壁开设有曲线槽，上喷盘604和下喷盘605的内环都设有小齿口，上喷盘604和下喷盘605的小齿口与伸缩杆602外壁的曲线槽卡合，可沿着曲线方向旋转。

第一烘干器12包括有烘干器架1201、发热管1202、第一导线1203、第二导线1204、第一电阻片1205、第二电阻片1206、活塞管1207、导电活塞1208和弹簧1209，所述烘干器架1201的两侧与第一烘干室11的内壁固定连接，烘干器架1201的下端固定安装有发热管1202，发热管1202设置有数根且平行排列，烘干器架1201的上端两侧分别与第一导线1203和第二导线1204的一端电性连接，第一导线1203和第二导线1204的另一端分别电性连接有第一电阻片1205和第二电阻片1206，第一电阻片1205和第二电阻片1206的外侧与活塞管1207的内壁固定连接，活塞管1207的内部上方固定连接有弹簧1209，弹簧1209的下端与导电活塞1208的上端固定连接，活塞管1207与导电活塞1208活动连接，活塞管1207的下端与上喷盘604连通，可以根据水流量的大小来改变设备的温度。

工作原理：第一传送带4转动从而带动活动轮202，此时，第一活杆203和第二活杆204也随着活动轮202转动而转动，并且带动滑块206在滑槽205上左右滑动，使得运输管207左右移动；当运输管207移动到远离滑块206的一端时，水从进水管3通过进水孔208进入运输管207的内部，当运输管207移动到靠近滑块206的一端时，运输管207内部的水通过出水孔209进入到清洗管608，水压增压器601增加水压将水从喷头607进行喷射，随着伸缩杆602上下运行使得上喷盘604和下喷盘605一边来回旋转一边喷水，此时导电活塞1208根据水压大小从而移动，通过改变电阻大小从而改变第一烘干器12和第二烘干器16的温度。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上方左侧固定连接有控水装置(2)，所述控水装置(2)的输出端连接有进水管(3)，所述控水装置(2)的输入端通过皮带与第一传送带(4)的传动轮转动连接，所述第一传送带(4)的中部与机体(1)固定连接，所述机体(1)的内部左上方设置有第一清洗室(5)，所述第一清洗室(5)的内部上方设置有第一清洗装置(6)，所述第一清洗装置(6)的输入端与进水管(3)连通，所述第一清洗室(5)的内部下方设置有第一蓄水池(7)，所述第一清洗室(5)的下方设置有第二清洗室(8)，所述第二清洗室(8)的内部上方设置有第二清洗装置(9)，第二清洗装置(9)的输入端通过管道与第一蓄水池(7)的下方连通，所述第二清洗室(8)的下方设置有第二蓄水池(10)，所述机体(1)的内部中上方设置有第一烘干室(11)，所述第一烘干室(11)的内部上方固定安装有第一烘干器(12)，所述第一烘干室(11)的下方设置有腐蚀室(13)，所述机体(1)的内部右侧设置有准备室(14)，所述机体(1)的内部左下方设置有第二烘干室(15)，所述第二烘干室(15)的内部上方固定安装有第二烘干器(16)，所述机体(1)的内部下方还固定连接有第二传送带(17)；

所述控水装置(2)包括有控水装置盒(201)、活动轮(202)、第一活杆(203)、第二活杆(204)、滑槽(205)、滑块(206)、运输管(207)、进水孔(208)和出水孔(209)，所述控水装置盒(201)的前部右侧设置有滑槽(205)，所述控水装置盒(201)的底部与机体(1)的上方左侧固定连接，所述控水装置盒(201)的前部通过轴承转动连接有活动轮(202)，所述活动轮(202)的前部与第一活杆(203)的一端转动连接，所述第一活杆(203)另一端与第二活杆(204)的一端转动连接，所述第二活杆(204)的另一端与滑块(206)铰接，所述滑块(206)的后侧与滑槽(205)滑动连接，所述滑块(206)的右侧设置有运输管(207)，所述运输管(207)远离滑块(206)的一端与进水管(3)套接，所述运输管(207)的右上方开设有进水孔(208)，所述运输管(207)的下侧开设有出水孔(209)；

所述第一清洗装置(6)包括有水压增压器(601)、伸缩杆(602)、套管(603)、上喷盘(604)、下喷盘(605)、软管(606)、喷头(607)和清洗管(608)，所述清洗管(608)的一端与进水管(3)连通，所述清洗管(608)的中部固定安装有水压增压器(601)，所述水压增压器(601)的底部固定连接有伸缩杆(602)，所述水压增压器(601)的底部还转动连接有套管(603)，所述套管(603)的下端固定连接有上喷盘(604)，所述上喷盘(604)的下端与软管(606)的一端固定连接，所述软管(606)的另一端固定连接有下喷盘(605)，所述上喷盘(604)和下喷盘(605)的底部外侧设置有喷头(607)；

所述第一烘干器(12)包括有烘干器架(1201)、发热管(1202)、第一导线(1203)、第二导线(1204)、第一电阻片(1205)、第二电阻片(1206)、活塞管(1207)、导电活塞(1208)和弹簧(1209)，所述烘干器架(1201)的两侧与第一烘干室(11)的内壁固定连接，所述烘干器架(1201)的下端固定安装有发热管(1202)，所述烘干器架(1201)的上端两侧分别与第一导线(1203)和第二导线(1204)的一端电性连接，所述第一导线(1203)和第二导线(1204)的另一端分别电性连接有第一电阻片(1205)和第二电阻片(1206)，所述第一电阻片(1205)和第二电阻片(1206)的外侧与活塞管(1207)的内壁固定连接，所述活塞管(1207)的内部上方固定连接有弹簧(1209)，所述弹簧(1209)的下端与导电活塞(1208)的上端固定连接，所述活塞管(1207)与导电活塞(1208)活动连接，所述活塞管(1207)的下端与上喷盘(604)连通。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述第一清洗装置(6)与第二清洗装置(9)为相同设置。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述第一烘干器(12)与第二烘干器(16)为相同设置。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述进水管(3)远离控水装置(2)的一端设置有止水阀。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述腐蚀室(13)的上方设置有蚀刻装置，所述腐蚀室(13)的下方设置有腐蚀槽，所述第二蓄水池(10)的下端与腐蚀室(13)下方的腐蚀槽连接有同一排污管。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述准备室(14)内设置有贴膜装置、显影装置和升降装置。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述发热管(1202)设置有数根且平行排列。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述伸缩杆(602)的外壁开设有曲线槽，所述上喷盘(604)和下喷盘(605)的内环都设有小齿口，所述上喷盘(604)和下喷盘(605)的小齿口与伸缩杆(602)外壁的曲线槽卡合。

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