CN111163410A - 一种用于mems器件的防尘结构及mems麦克风封装结构 - Google Patents
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- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title abstract description 8
- 238000010276 construction Methods 0.000 title description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 13
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/005—Electrostatic transducers using semiconductor materials
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/04—Microphones
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Micromachines (AREA)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911416451.2A CN111163410A (zh) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 一种用于mems器件的防尘结构及mems麦克风封装结构 |
PCT/CN2020/099303 WO2021135121A1 (fr) | 2019-12-31 | 2020-06-30 | Structure étanche à la poussière pour dispositif mems et structure d'emballage de microphone mems |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911416451.2A CN111163410A (zh) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 一种用于mems器件的防尘结构及mems麦克风封装结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111163410A true CN111163410A (zh) | 2020-05-15 |
Family
ID=70560278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911416451.2A Pending CN111163410A (zh) | 2019-12-31 | 2019-12-31 | 一种用于mems器件的防尘结构及mems麦克风封装结构 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111163410A (fr) |
WO (1) | WO2021135121A1 (fr) |
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-
2019
- 2019-12-31 CN CN201911416451.2A patent/CN111163410A/zh active Pending
-
2020
- 2020-06-30 WO PCT/CN2020/099303 patent/WO2021135121A1/fr active Application Filing
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---|---|
WO2021135121A1 (fr) | 2021-07-08 |
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Legal Events
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