CN111139445A - 一种真空镀膜生产线 - Google Patents

Abstract

本发明属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。所述真空镀膜生产线包括至少一个工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内的第一传送机构和第二传送机构、平移室，所述真空室与平移室连接。通过在一个真空室里并列设置进片腔和出片腔，所述进片腔和出片腔内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室里完成两个工序，有效的减少真空室的使用数量；再通过设置一个与真空室连接的平移室，即可将流出产线的工件小车转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本发明具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。

Description

一种真空镀膜生产线

技术领域

本发明属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。

背景技术

真空镀膜技术发展很快，从蒸发镀膜到磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；应用范围也越来越广泛如：建筑玻璃领域，太阳能领域，电了产品领域、刀具生产领域等都应用到真空镀膜技术；真空镀膜设备也从单室间歇式真空镀膜机发展到多室连续式真空镀膜生产线。

现有技术比较典型的立式连续真空镀膜生产线包括：依次连接的前横移装置、进片架、进片室、前精抽室、前过渡室、镀膜室(镀膜室可能有若干个)、后过渡室、后精抽室、出片室、出片架、后横移装置和工件小车返回装置，上述的各个室统称为“真空室”；某些真空室的连接处设置有真空锁(一种翻板阀，关闭时可隔断两个真空室之间的气体通路，开启时可让工件小车从阀门的出入料口通过)和抽气机组(使真空室获得一定负压的装置)；每个真空室、前横移装置、进片架、出片架、后横移装置和工件小车返回组件均设置有驱动工件小车作平移运动的工件小车传送装置；前、后横移装置还可带动工件小车左右移动。

自动镀膜过程：工件小车返回装置上的工件小车(用于承载被镀膜的工件如玻璃、胶板等)经前横移装置进入进片架装载工件，当进片室真空锁开启时工件小车进入进片室，当工件完全进入进片室后关闭进片室真空锁，进片室抽气机组对进片室抽气，当进片室气压达到一定数值(通常为3帕)时开启前精抽室真空锁，工件小车进入前精抽室；就这样工件小车依次进入各个真空室，各个真空室对应的抽气机组按一定的程序抽气；当工件小车的工件走过镀膜室后就被镀上了一层或多层薄膜，再经一定的程序走出其它真空室来到出片架，这时可将工件从工件小车上取下；取完工件后工件小车走进后横移装置，再经工件小车返回装置走进后横移装置完成一个工作循环从而达到连续生产的目的(生产线上同时设置有多台工件小车)。

现有技术立式连续真空镀膜生产线的真空室比较多，还设置有专门的工件小车返回装置，具有复杂结构复杂、占地面积大、投资成本大等不足之处。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种真空镀膜生产线，克服现有的真空镀膜生产线结构复杂，占地面积大，投资成本大等问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种真空镀膜生产线，包括至少一个用于固定工件的工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内用于运输工件小车的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔流出的工件小车传送进入出片腔的平移室，所述真空室与平移室连接。

本发明的更进一步优选方案是：所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔流出的工件小车传送进入进片腔的平移组件，所述平移组件、平移室分别设置在真空室两端。

本发明的更进一步优选方案是：所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架，所述装卸片架设置在平移组件与真空室之间。

本发明的更进一步优选方案是：所述平移室包括与真空室连通的平移仓体，滑动设置在平移仓体上用于固定工件小车的第一平移支架，用于驱动第一平移支架运动的第一平移驱动装置，设置在第一平移支架下部用于运输工件小车的第三传送机构；所述回转仓体上与真空室配合的位置开设有进出料口,所述第一平移支架的平移方向与工件小车进入和离开平移仓体的方向垂直。

本发明的更进一步优选方案是：所述第三传送机构包括转动设置在第一平移支架下部的多个摩擦轮，用于驱动摩擦轮转动的第一传送电机，穿过平移仓体连接第一平移支架和第一传送电机的轴套，穿过轴套连接第一传送电机和摩擦轮的传动组件。

本发明的更进一步优选方案是：所述第一平移驱动装置包括与第一传送电机连接的第一螺套，与第一螺套螺纹配合的第一螺杆，用于驱动第一螺杆转动的第一平移电机，所述第一平移电机设置在第一传送电机一侧。

本发明的更进一步优选方案是：所述平移仓体与第一平移支架之间设置有平移导向机构。

本发明的更进一步优选方案是：所述第三传送机构还包括用于导引工件小车传送方向的第一传送导向机构，所述第一传送导向机构设置在第一平移支架上部。

本发明的更进一步优选方案是：所述平移组件包括设置在真空室一侧的平移组件底架，滑动设置在平移组件底架上用于调整工件小车位置的第二平移支架，用于驱动第二平移支架做平移运动的第二平移驱动装置，设置在第二平移支架上用于运输工件小车的第四传送机构，所述第二平移支架的平移方向与工件小车进入或离开平移组件底架的方向相互垂直。

本发明的更进一步优选方案是：所述工件小车中部设置有用于竖直安装工件的工件安装通孔。

本发明的有益效果在于：通过在一个真空室里并列设置进片腔和出片腔，所述进片腔和出片腔内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室里完成两个工序，有效的减少真空室的使用数量；再通过设置一个与真空室连接的平移室，即可将流出产线的工件小车转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本发明具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。

附图说明

下面将结合附图及实施例对发明作进一步说明，附图中：

图1是本发明真空镀膜生产线的结构示意图；

图2是本发明真空镀膜生产线的局部放大图；

图3是本发明平移室的剖视图；

图4是本发明平移室另一方向的剖视图；

图5是本发明平移室去掉平移仓体顶部的内部结构示意图；

图6是本发明平移室的局部放大剖视图；

图7是本发明密封组件的剖视图；

图8是本发明传动组件的剖视图；

图9是本发明平移组件的剖视图。

具体实施方式

现结合附图，对本发明的较佳实施例作详细说明。

如图1、图2所示，本实施例的一种真空镀膜生产线，包括至少一个用于固定工件的工件小车1、至少一个并列设置有进片腔21和出片腔22的真空室2、分别设置在进片腔21内和出片腔22内用于运输工件小车1的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔21流出的工件小车1传送进入出片腔22的平移室4，所述真空室2与平移室4连接。通过在一个真空室2里并列设置进片腔21和出片腔22，所述进片腔21和出片腔22内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室2里完成两个工序，有效的减少真空室2的使用数量；再通过设置一个与真空室2连接的平移室4，即可将流出产线的工件小车1转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本发明具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。

进一步的，如图1、图2所示，所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔22流出的工件小车1传送进入进片腔21的平移组件5，所述平移组件5、平移室4分别设置在真空室2两端。通过增加一个平移组件5用于将从出片腔22流出的工件小车1传送进入进片腔21，可以进一步提升真空镀膜生产线的便捷性，通过平移组件5与平移室4的配合，即可以实现真空镀膜生产线的全自动生产，无需再通过人工搬运工件小车1，且占地面积更加小。

进一步的，如图1、图2所示，所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架3，所述装卸片架3设置在平移组件5与真空室2之间。所述装卸片架3包括装卸片架主体以及设置在装卸片架主体上与真空室2的进片腔21内和出片腔22位置相对应的第五传送机构和第六传送机构。本实施例中，装卸片架3由装卸片架主体与第五传送机构和第六传送机构构成，所述第五传送机构和第六传送机构可用于传送工件小车1，工件小车停留于装卸片架3时，可进行上料以及下料，提高真空镀膜生产线使用的便捷性。

进一步的，如图1、图2、图3、图4、图5所示，所述平移室4包括与真空室2连通的平移仓体41，滑动设置在平移仓体41上用于固定工件小车1的第一平移支架42，用于驱动第一平移支架42运动的第一平移驱动装置43，设置在第一平移支架42下部用于运输工件小车1的第三传送机构44；所述平移仓体41上与真空室2配合的位置开设有进出料口411,所述第一平移支架42的平移方向与工件小车1进入和离开平移仓体41的方向垂直。通过第三传送机构44可将工件小车1送入和送出平移室4，通过第一平移支架42和第一平移驱动装置43的配合，可对工件小车1的位置进行调整，将工件小车1传送到与出片腔22产线的对应位置上；再将平移仓体41与真空室2连通，可以在平移仓体41与真空室2的压强保持一样的情况下下对工件小车1进行位置的调整，无需回复到大气压，有效的缩短工件小车1换向的时间，提高真空镀膜生产线的工作效率。所述平移室4还包括设置在设置在平移仓体41上的抽气孔412，通过增加一个抽气孔412，可以用于连接抽气机组调节平移室4的气压，使平移室4的气压与相连真空室2的气压保持一致，以提高镀膜生产线的工作效率。

进一步的，如图3、图4、图6所示，所述第三传送机构44包括转动设置在第一平移支架42下部的多个摩擦轮441，用于驱动摩擦轮441转动的第一传送电机442，穿过平移仓体41连接第一平移支架42和第一传送电机442的轴套443，穿过轴套443连接第一传送电机442和摩擦轮441的传动组件444。通过第一传送电机442驱动摩擦轮441转动，从而实现摩擦轮441上的工件小车1前进或后退的动作。此外，所述第一传送电机442也可以替换为旋转气缸，通过旋转气缸驱动摩擦轮441运动，也可以实现工件小车1前进或后退的动作。通过增加一个轴套443连接第一传送电机442和第一平移支架42，在第一平移支架42进行移动时，第一传送电机442和传动组件444同时进行移动，可以简化第三传送机构44的结构，同时提高第三传送机构44的稳定性。需要说明的是，本实施例中的第三传送机构44使用摩擦轮441进行工件小车1的传送只是实施方式的一种，本发明还可以通过齿轮、齿条等方式对工件小车1进行传送。

进一步的，如图4、图6所示，更进一步的，所述传动组件444由齿轮，传动轴等传动件组成，通过齿轮与传动轴的配合，即可将第一传送电机442动力传动到摩擦轮441实现带动工件小车1前进或后退的动作。本实施例中，所述传动组件444也可使用链传动、皮带传等传动方式驱动摩擦轮441转动，从而完成驱动工件小车1进行前进或后退的动作。

进一步的，如图3、图6所示，所述第一平移驱动装置43包括与第一传送电机442连接的第一螺套431，与第一螺套431螺纹配合的第一螺杆432，用于驱动第一螺杆432转动的第一平移电机433，所述第一平移电机433设置在第一传送电机442一侧。通过第一平移电机433驱动第一螺杆432转动，即可带动以第一螺套431连接的第一传送电机442进行平移运动，同时带动与第一传送电机442与第一平移支架42进行平移运动。当然，本实施例中的第一平移驱动装置43也可以为气缸，通过气缸直接驱动第一传送电机442运动，也可以完成第一平移支架42的平移动作。

进一步的，如图3、图8所示，所述平移仓体41与第一平移支架42之间设置有平移导向机构45。所述平移导向机构45包括设置在平移仓体41上的至少一根平移导轨451，和滑动套设在平移导轨451上的平移导套452，所述平移导套452与第一平移支架42连接。通过增加一个用于引导第一平移支架42平移方向的平移导向机构45，可以有效的提高平第一平移支架42移动时的稳定性。

进一步的，如图3所示，所述第三传送机构44还包括用于导引工件小车1传送方向的第一传送导向机构445，所述第一传送导向机构445设置在第一平移支架42上部。所述第一传送导向机构445为磁导向机构，包括磁性导轨和设置在工件小车1上方的用于与磁性导轨配合的多个永磁体。所述永磁体与磁性导轨之间极性相同相互排斥，通过永磁体与磁性导轨的配合，可以有效的降低工件小车1与导轨的摩擦力，提高第三传送机构44的运输效果。

进一步的，如图1、图9所示，所述平移组件5包括设置在真空室2一侧的平移组件底架51，滑动设置在平移组件底架51上用于调整工件小车1位置的第二平移支架52，用于驱动第二平移支架52做平移运动的第二平移驱动装置53，设置在第二平移支架52上用于运输工件小车1的第四传送机构54，所述第二平移支架52的平移方向与工件小车1进入或离开平移组件底架51的方向相互垂直。通过第四传送机构54可将工件小车1送入和送出第二平移支架52，通过第二平移支架52和第二平移驱动装置53的配合，可对工件小车1的位置进行调整，将工件小车1传送至进片腔21产线的对应位置上。本实施例中，所述第二平移驱动装置53与第一平移驱动装置43相似，均是通过电机驱动螺杆螺套从而带动平移支架进行平移运动。

进一步的，如图4所示，所述工件小车1中部设置有用于竖直安装工件的工件安装通孔。通过在工件小车1中部设置一个用于竖直安装工件的工件安装通孔，在进行工件镀膜工作时，在完成工件一侧的镀膜工序后，通过平移室到达相邻的产线进行另一侧的镀膜工序。两侧的镀膜工作可以一次完成，无需在完成一面后，重新拆卸安装工件再进行另一侧的镀膜工作，有效的提高生产效率。

更进一步的，如图3、图4、图9所示，所述第三传送机构44、第四传送机构54的结构相似，均是通过驱动装置带动摩擦轮转动等完成工件小车1的运输功能。本实施例中，所述第一传送机构、第二传送机构、第五传送机构、第六传送机构结构相似，通过同步带驱动滑轮带动工件小车1运动，从而实现传送工件小车1的功能。

更进一步的，如图6、图7所示，所述轴套443和平移仓体41之间还设置有密封组件46。通过增加密封组件46，可以有效的防止平移室4发生泄露，提高平移室4的工作效率。所述密封组件46包括密封组件主体461、设置在密封组件主体461与轴套443之间骨架密封圈462、设置在密封组件主体461与平移仓体41的密封圈。通过骨架密封圈462与密封圈即可对轴套463和平移仓体41的配合位置进行密封。本实施例中，所述骨架密封圈462也可以替换为磁流体，通过磁流体也可以完成本实施例中的密封功能。

进一步的，如图1、图2所示，所述真空镀膜生产线包括六个连续设置的真空室，根据工序的不同分为进出片室、精抽室、前过渡室、镀膜室A、镀膜室B、后过渡室，所述进出片室与装卸片架3连接，所述平移室与后过渡室连接。所述进出片室的进片腔和出片腔分别连通第一抽气机组和第二抽气机组；所述精抽室的进片腔和出片腔分别连通第三抽气机组和第四抽气机组；所述前过渡室、镀膜室A、镀膜室B、后过渡室的进片腔连接第五抽气机组；所述前过渡室、镀膜室A、镀膜室B、后过渡室的出片腔及平移室连接第六抽气机组。所述进出片室与装卸片架3之间设置有第一真空锁和第二真空锁；所述进出片室、精抽室之间设置有第三真空锁和第四真空锁，所述精抽室、前过渡室之间设置有第五真空锁和第六真空锁。

本发明的工作原理：

卸载工件后，位于装卸片架3上第六传送机构一侧工件小车1进入平移组件5，平移组件5上的第二平移驱动装置53驱动第二平移支架52带动工件小车1进行平移调整位置后，第四传送机构53传送的工件小车1进入装卸片架的第五传送机构一侧这时就可以把要镀膜的工件固定工件小车1上，开启第一真空锁，工件小车1走入进出片室的进片腔，当工件小车完全进入后关闭第一真空锁，第一抽气机组对进出室进片腔室抽气，气压达到一定数值时(通常为3帕)时开启真第三真空锁，工件小车进入精抽室的进片腔，当工件小车1完全进入后关闭第三真空锁，当精抽室进片腔室气压达到一定数值时(通常为0.08帕，自动控制时第三抽气机组连续对精抽室进片腔抽气)，开启第五真空锁；工件小车1进入前过渡室进片腔，然后依次走进镀膜室A、镀膜室B的进片腔进行镀膜，再经后过渡室进片腔走进平移室，工件小车完全进入平移室后，平移室4的一平移驱动装置43与第一平移支架42配合调整工件小车1的位置后，工件小车1从平移室4走进后过渡室出片腔，跟着走进镀膜室B、镀膜室A出片腔再次镀膜，继续走进前过渡室出片腔，到达指定位置时开启第六真空锁，工件小车进入精抽室出片腔，当工件小车完全进入后关闭第六真空锁，开启第四真空锁，工件小车进入进出片室出片腔，当工件小车完全进入后关闭第四真空锁(自动控制时第四抽气机组连续对精抽室出片腔室抽气)，进出片室出片腔放气(卸真空)，放气完毕后开启第二真空锁，工件小车走进装卸片架出片侧，关闭第二真空锁(第二真空锁关闭后第二抽气机组对进出室出片腔室抽气)，这时可将工件从工件小车1上取下；取完工件后工件小车1走进平移组件5开始下一个工作循环。生产线上同时设置有多台工件小车1，每个工位上的工作可同时进行，从而达到连续生产的目的。

应当理解的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，对本领域技术人员来说，可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而所有这些修改和替换，都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括至少一个用于固定工件的工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内用于运输工件小车的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔流出的工件小车传送进入出片腔的平移室，所述真空室与平移室连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔流出的工件小车传送进入进片腔的平移组件，所述平移组件、平移室分别设置在真空室两端。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架，所述装卸片架设置在平移组件与真空室之间。

4.根据权利要求1-3任一所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述平移室包括与真空室连通的平移仓体，滑动设置在平移仓体上用于固定工件小车的第一平移支架，用于驱动第一平移支架运动的第一平移驱动装置，设置在第一平移支架下部用于运输工件小车的第三传送机构；所述回转仓体上与真空室配合的位置开设有进出料口，所述第一平移支架的平移方向与工件小车进入和离开平移仓体的方向垂直。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述第三传送机构包括转动设置在第一平移支架下部的多个摩擦轮，用于驱动摩擦轮转动的第一传送电机，穿过平移仓体连接第一平移支架和第一传送电机的轴套，穿过轴套连接第一传送电机和摩擦轮的传动组件。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述第一平移驱动装置包括与第一传送电机连接的第一螺套，与第一螺套螺纹配合的第一螺杆，用于驱动第一螺杆转动的第一平移电机，所述第一平移电机设置在第一传送电机一侧。

7.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述平移仓体与第一平移支架之间设置有平移导向机构。

8.根据权利要求5所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述第三传送机构还包括用于导引工件小车传送方向的第一传送导向机构，所述第一传送导向机构设置在第一平移支架上部。

9.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述平移组件包括设置在真空室一侧的平移组件底架，滑动设置在平移组件底架上用于调整工件小车位置的第二平移支架，用于驱动第二平移支架做平移运动的第二平移驱动装置，设置在第二平移支架上用于运输工件小车的第四传送机构，所述第二平移支架的平移方向与工件小车进入或离开平移组件底架的方向相互垂直。

10.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于,所述工件小车中部设置有用于竖直安装工件的工件安装通孔。

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