CN111129360A - 一种真空干燥装置及显示基板干燥方法 - Google Patents
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Abstract
本揭示提供一种真空干燥装置及显示基板干燥方法。所述真空干燥装置包括至少两个冷凝板、真空干燥腔室以及相邻的存储腔室。所述存储腔室用于存储所述至少两个冷凝板。所述真空干燥腔室内设置有支撑机构，用于支撑固定所述冷凝板。所述支撑机构能够上下动作，以调节所述冷凝板和待干燥基板之间的距离。本揭示的真空干燥装置配置至少两个冷凝板，并设置存储腔室，可根据实际制程需求使用抓取机构随时更换冷凝板，避免了冷凝板频繁拆卸及保养的难度。
Description
技术领域
本揭示涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置及显示基板干燥方法。
背景技术
目前有机发光二极管显示器件(Organic Light emitting Display,OLED)中发光器件的制备朝着喷墨打印(Ink jet Print,IJP)的方向发展。在喷墨打印的过程中，分别有打印，干燥，烘烤，等工序，打印的膜层最少有三层，包括空穴注入层、空穴传输层及发光层，而且每一次打印后均需进行干燥、烘烤。玻璃基板在干燥过程中，由于需要进行快速的、均匀的溶剂挥发使膜层达到高度均匀性，为此会在基板上方设置冷凝板(cooling plate)进行低温处理，以此控制溶液均匀挥发。但往往由于制程条件的改变，使冷凝板上方溶剂迅速凝结成液滴，而液滴滴落在玻璃基板上，会造成污染。为了及时去除液滴避免污染玻璃基板，一般需要定期擦拭冷凝板，这就导致了产能的降低及需要随着制程改变时刻进行保养。
因此，现有真空干燥装置中的冷凝板保养困难的问题需要解决。
发明内容
本揭示提供一种真空干燥装置及显示基板干燥方法，以缓解现有真空干燥装置中冷凝板保养困难的技术问题。
为解决上述问题，本揭示提供的技术方案如下：
本揭示实施例提供一种真空干燥装置，其包括至少两个冷凝板、真空干燥腔室以及相邻的存储腔室，其中，所述存储腔室用于存储所述至少两个冷凝板，所述真空干燥腔室包括第一承载台、至少三个支撑机构以及抓取机构。所述第一承载台，设置于所述真空干燥腔室下方，用于承载待干燥的基板。至少三个所述支撑机构，设置于所述真空干燥腔室的四周边缘且位于所述承载台的上方，用于支撑固定所述冷凝板。所述抓取机构，用于在所述存储腔室与所述真空干燥腔室之间传递所述冷凝板。
在本揭示实施例提供的真空干燥装置中，所述支撑机构包括活动件，用于上下调整所述支撑机构的位置。
在本揭示实施例提供的真空干燥装置中，所述支撑机构的上下调整范围为3厘米至30厘米。
在本揭示实施例提供的真空干燥装置中，每个所述支撑机构还包括支撑构件和固定构件，所述支撑构件用于支撑所述冷凝板，所述固定构件设置于所述支撑构件上方，用于固定所述冷凝板。
在本揭示实施例提供的真空干燥装置中，所述固定构件为定位柱或真空吸盘中的一种。
在本揭示实施例提供的真空干燥装置中，所述存储腔室包括至少一层第二承载台，所述第二承载台用于承载所述冷凝板。
在本揭示实施例提供的真空干燥装置中，所述至少两个冷凝板的尺寸相同，但结构和材质不同。
本揭示实施例还提供一种显示基板干燥方法，其包括以下步骤：步骤S10，制备显示基板，包括提供一基板，采用喷墨打印工艺在所述基板上喷涂一层发光层。步骤S20，把冷凝板放置到支撑机构上，包括提供一如前述实施例其中之一所述的真空干燥装置，使用所述抓取机构从所述存储腔室取出一个所述冷凝板，然后放置到所述支撑机构上。步骤S30，把显示基板放置到第一承载台上，包括使用所述抓取机构取出所述显示基板，然后放置到所述第一承载台上。步骤S40，干燥显示基板，包括对放置好的所述显示基板进行干燥。步骤S50，把显示基板从真空干燥装置中取出，包括使用所述抓取机构把干燥完成的所述显示基板从所述真空干燥装置中取出。
在本揭示实施例提供的显示基板干燥方法中，在步骤S30中，把所述显示基板放置到所述第一承载台上后，通过调整所述支撑机构来调整所述冷凝板和所述显示基板之间的距离。
在本揭示实施例提供的显示基板干燥方法中，在步骤S50中，把显示基板从真空干燥装置中取出后，根据实际需要更换所述冷凝板。
本揭示的有益效果为：本揭示提供的一种真空干燥装置及显示基板干燥方法中，真空干燥装置配置至少两个冷凝板以及冷凝板存储腔室，可根据实际制程需求使用抓取机构更换需要的冷凝板，而且可根据制程条件随时进行取放并进行擦拭维护，不影响制程作业，操作简单，保养简便。同时真空干燥装置中的支撑机构可以上下活动，以调节冷凝板和待干燥基板之间的距离，有利于制程的调节。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本揭示实施例提供的真空干燥装置的侧视示意图；
图2为本揭示实施例提供的真空干燥装置中真空干燥腔室的第一种下视结构示意图；
图3为本揭示实施例提供的真空干燥装置中真空干燥腔室的第二种下视结构示意图；
图4为本揭示实施例提供的支撑机构的示意图；
图5为本揭示实施例提供的真空干燥装置中真空干燥腔室的第三种下视结构示意图；
图6为本揭示实施例提供的显示基板制备方法的流程示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本揭示可用以实施的特定实施例。本揭示所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
在一种实施例中，如图1所示，提供一种真空干燥装置100，其包括至少两个冷凝板30、真空干燥腔室10以及相邻的存储腔室20，其中，所述存储腔室20用于存储所述至少两个冷凝板30，所述真空干燥腔室10包括第一承载台11、至少三个支撑机构12以及抓取机构(图未示出)。所述第一承载台11，设置于所述真空干燥腔室10的下方，用于承载待干燥的基板。至少三个所述支撑机构12，分散设置于所述真空干燥腔室10的四周且位于所述第一承载台11的上方，用于支撑固定所述冷凝板30。所述抓取机构用于在所述存储腔室与所述真空干燥腔室之间传递所述冷凝板。
具体的，所述存储腔室20包括至少一层第二承载台21，所述第二承载台21用于承载所述冷凝板30。如图1示出的所述存储腔室20包括一层所述第二承载台21，所述第二承载台21同时承载两个所述冷凝板30。
具体的，图1为所述真空干燥装置100的侧视示意图，只能看到两个支撑机构12，如图2所示为所述真空干燥腔室10的下视示意图，从图2中可以看到三个所述支撑机构12以及三个所述支撑机构12在所述真空干燥腔室10内的分布分布状况，三个所述支撑机构12分布在所述真空干燥腔室10内的四周边缘。
需要说明的是，本揭示的支撑机构12的分布位置不限于图2示出的分布状况，支撑机构12的分布满足支撑固定住冷凝板30即可。例如三个支撑机构12还可以如图3所示的分布状况。
在本实施例中，所述真空干燥装置配置至少两个冷凝板以及冷凝板存储腔室，可根据实际制程需求使用所述抓取机构更换需要的冷凝板，而且可根据制程条件随时进行取放并进行擦拭维护，不影响制程作业，操作简单，保养简便。
在一种实施例中，如图4所示，所述支撑机构12包括活动件121，用于上下调整所述支撑机构的位置，以调节所述冷凝板30和所述待干燥基板之间的距离(也即图1中支撑机构12上的冷凝板30与第一承载台11之间的距离)，以利于制程的调节。
具体的，所述支撑机构的上下调整范围为3厘米至30厘米。
进一步的，如图4所示，所述支撑机构12还包括支撑构件122和固定构件123，所述支撑构件122支撑所述冷凝板，所述固定构件123设置于所述支撑构件122上方，用于固定所述冷凝板。
进一步的，所述活动件121与所述支撑构件122连接，所述活动件121的上下动作带动所述支撑构件122一块上升或下降，以达到调整所述冷凝板和所述第一承载台上待干燥基板的距离。
进一步的，所述活动件可以为运动气缸或者链条运动机构等动作机构中的一种。
进一步的，所述固定构件123为定位柱或真空吸盘等限位构件中的一种。如图4所述的固定构件123为定位柱型的限位构件，所述定位柱可以和支撑机构12的支撑构件122一体成型，也可以在支撑构件122上设置凹槽，然后把定位柱嵌入所述凹槽中。定位柱可以设计成上面小下面大的圆柱体，以减小因摩擦损伤冷凝板。所述固定构件123采用真空吸盘固定冷凝板时，需要通过真空干燥装置的中控系统控制真空吸盘的吸气、放气。当有冷凝板放到支撑机构上时，中控系统控制真空吸盘吸气以固定冷凝板；当需要把冷凝板取走更换时，中控系统控制真空吸盘放气，以便把冷凝板取走。其中所述中控系统主要用于控制协调所述真空干燥装置各个部件的动作。
进一步的，三个所述支撑机构的动作是同步进行的，均受真空干燥装置中控系统的控制。
具体的，如图1所示，所述存储腔室设置有一层第二承载台，可以同时承载两个冷凝板。所述第二承载台的末端设置有倒角，以阻挡冷凝板滑落。但本揭示不限于此，所述第二承载台为达到阻挡冷凝板滑落的目的，同样可以采用设计定位柱或真空吸盘等可限位构件。
需要说明的是，所述存储腔室的第二承载台的层数设置不做特殊要求，具体可根据实际需求，比如根据配置的冷凝板数量来配置第二承载台的层数。如本实施例中，每层第二承载台可以承载两个冷凝板，所以当真空干燥装置配置两个冷板板时，设置一层第二承载台即可。当然的，当每层第二承载台只能承载一个冷凝板时，真空干燥装置配置冷凝板的数量即为设置第二承载台的层数。
进一步的，当需要对待干燥的基板进行干燥时，使用抓取机构从存储腔室中取出需要的冷凝板，然后放置到真空干燥腔室的支撑机构上。支撑机构对放置在上面的冷凝板进行支撑固定。接着抓取机构抓取待干燥的基板放置到真空干燥腔室的第一承载台上。然后根据实际需求通过支撑机构活动件的动作来调整冷凝板与待干燥基板之间的距离。
进一步的，当待干燥基板干燥完成后，使用抓取机构取走干燥完成的基板，然后根据后续制程实际需求更换冷凝板。比如需要对冷凝板进行保养，可使用抓取机构把真空干燥腔室中的冷凝板取走放置到存储腔室中，在把存储腔室中备用的冷凝板取出放置到真空干燥腔室中继续进行其他待干燥基板的干燥制程。如此在对冷凝板进行保养的同时不影响干燥制程的继续，而且通过抓取机构更换冷凝板操作简单，保养方便。
进一步的，本揭示的抓取机构可以为机械手、自动上下料机等可对目标物件进行精准取放的设备。
在一种实施例中，与上述实施例不同的是，所述真空干燥腔室中的支撑机构数量为4个，如图5所示。但本揭示不限于此，所述支撑机构的数量可以为多于4个。而且在本实施例中，至少两个所述冷凝板的尺寸相同，但结构和材质不同，以此来满足不同制程对冷凝板的需求。其他说明请参照上述实施例，在此不再赘述。
在一种实施例中，与上述实施例不同的是，所述支撑机构不仅可以上下动作，而且还可以水平动作。通过上下动作调节冷凝板和待干燥基板之间的距离；通过水平动作以满足对不同尺寸的冷凝板的支撑固定，以此可以使真空干燥装置配置不同尺寸的冷凝板，以提升真空干燥装置的通用性。
在另一种实施例中，所述冷凝板存储腔室也可以单独设置，不和真空干燥装置一体式设置。把冷凝板存储腔室设置成单独可移动的机构，配置在真空干燥装置旁边，例如类似常用货架形式的。以此可以减小真空干燥装置的空间，节约设备的成本。
在一种实施例中，提供一种显示基板干燥方法，如图6所示，其包括以下步骤：
步骤S10，制备显示基板，包括提供一基板，采用喷墨打印工艺在所述基板上喷涂一层发光层；
步骤S20，把冷凝板放置到支撑机构上，包括提供一如上述实施例其中之一所述的真空干燥装置，使用所述抓取机构从所述存储腔室取出一个所述冷凝板，然后放置到所述支撑机构上；
步骤S30，把显示基板放置到第一承载台上，包括使用所述抓取机构取出所述显示基板，然后放置到所述第一承载台上；
步骤S40，干燥显示基板，包括对放置好的所述显示基板进行干燥；以及
步骤S50，把显示基板从真空干燥装置中取出，包括使用所述抓取机构把干燥完成的所述显示基板从所述真空干燥装置中取出。
具体的，在步骤S20中，抓取机构可以为机械手、自动上下料机等可对目标物件进行精准取放的设备。
具体的，在步骤S30中，把所述显示基板放置到所述第一承载台上后，通过调整所述支撑机构来调整所述冷凝板和所述显示基板之间的距离。
具体的，在步骤S50中，把显示基板从真空干燥装置中取出后，根据实际需要更换所述冷凝板。
需要说明的是，本揭示的显示基板制备方法中，仅以用喷墨打印工艺喷涂一层发光层为例说明，本揭示的真空干燥装置还可以用于干燥用喷墨打印工艺制备在基板上制备的各膜层。
根据上述实施例可知：
本揭示提供一种真空干燥装置及显示基板干燥方法，所述真空干燥装置包括至少两个冷凝板、真空干燥腔室以及相邻的存储腔室。所述存储腔室用于存储所述至少两个冷凝板。所述真空干燥腔室内设置有支撑机构，用于支撑固定所述冷凝板。真空干燥装置配置至少两个冷凝板以及冷凝板存储腔室，可根据实际制程需求使用抓取机构更换需要的冷凝板，而且可根据制程条件随时进行取放并进行擦拭维护，不影响制程作业，操作简单，保养简便。同时真空干燥装置中的支撑机构可以上下动作，以调整冷凝板和待干燥基板之间的距离，有利于制程的调节。
综上所述，虽然本揭示已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本揭示，本领域的普通技术人员，在不脱离本揭示的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本揭示的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括至少两个冷凝板、真空干燥腔室以及相邻的存储腔室，其中，所述存储腔室用于存储所述至少两个冷凝板，所述真空干燥腔室包括：
第一承载台，设置于所述真空干燥腔室下方，用于承载待干燥的基板；
至少三个支撑机构，分散设置于所述真空干燥腔室的四周边缘且位于所述第一承载台的上方，用于支撑固定需使用的所述冷凝板；以及
抓取机构，用于在所述存储腔室与所述真空干燥腔室之间传递所述冷凝板。
2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑机构包括活动件，用于上下调整所述支撑机构的位置。
3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑机构的上下调整范围为3厘米至30厘米。
4.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，每个所述支撑机构还包括支撑构件和固定构件，所述支撑构件用于支撑所述冷凝板，所述固定构件设置于所述支撑构件上方，用于固定所述冷凝板。
5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述固定构件为定位柱或真空吸盘中的一种。
6.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述存储腔室包括至少一层第二承载台，所述第二承载台用于承载所述冷凝板。
7.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述至少两个冷凝板的尺寸相同，但结构和材质不同。
8.一种显示基板的干燥方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S10，制备显示基板，包括提供一基板，采用喷墨打印工艺在所述基板上喷涂一层发光层；
步骤S20，把冷凝板放置到支撑机构上，包括提供一如权利要求1至7任一项所述的真空干燥装置，使用所述抓取机构从所述存储腔室取出一个所述冷凝板，然后放置到所述支撑机构上；
步骤S30，把显示基板放置到第一承载台上，包括使用所述抓取机构取出所述显示基板，然后放置到所述第一承载台上；
步骤S40，干燥显示基板，包括对放置好的所述显示基板进行干燥；以及
步骤S50，把显示基板从真空干燥装置中取出，包括使用所述抓取机构把干燥完成的所述显示基板从所述真空干燥装置中取出。
9.根据权利要求8所述的显示基板干燥方法，其特征在于，在步骤S30中，把所述显示基板放置到所述第一承载台上后，通过调整所述支撑机构来调整所述冷凝板和所述显示基板之间的距离。
10.根据权利要求8所述的真空干燥装置，其特征在于，在步骤S50中，把显示基板从真空干燥装置中取出后，根据实际需要更换所述冷凝板。
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