CN111128657A - 一种法拉第真空移动装置 - Google Patents

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何山
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor

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Abstract

本发明公开了一种法拉第真空移动装置。该装置主要包括：法拉第真空腔体(1)，法拉第底座(2)，移动组件(3)。整个装置主要由三部分构成，如图1所示：法拉第真空腔体(1)，为法拉第提供真空环境。法拉第底座(2)为整个移动装置提供支撑。移动组件(3)为法拉第提供动力，并反馈实时位置。其中直线电机为法拉第提供动力，直线导轨及滑块提供较高精度的移动及支撑，限位挡块防止滑块超过行程脱落，光栅尺及编码器实时反馈准确的位置信息，限位开关磁铁提供限位，防止直线电机超过预设行程。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

Description

一种法拉第真空移动装置
技术领域
本发明涉及一种半导体器件制造控制系统，尤其涉及离子注入机法拉第真空移动装置，该装置是低能大束流离子注入装备中的光路检测关键装置之一。
背景技术
随着半导体工艺的发展，且随着特质线宽的缩小，工艺复杂程度的提高，束流的均匀性和稳定性对于离子注入系统愈发重要，已成为器件成败与否的重要关键。控制束流的均匀性和稳定性，需要有一个束流测量的装置，实时对于束流状态进行分析与检测，确保注入工艺的质量与稳定。其中精确测量的法拉第装置非常重要，而提高测量精度的一个很重要的前提就是需要一个运动稳定，直线度高，精确定位的移动装置。
发明内容
1.本发明公开了一种法拉第真空移动装置。该装置主要包括：法拉第真空腔体(1)，法拉第底座(2)，限位挡块(4)，直线导轨及滑块(5)，光栅尺及编码器(6)，直线电机(7)，限位开关磁铁(8)。
2.法拉第真空移动装置分为三部分，法拉第真空腔体(1)，为法拉第提供真空环境。法拉第底座(2)为整个移动装置提供支撑。移动组件(3)为法拉第提供动力，并反馈实时位置。
3.法拉第真空移动装置依靠直线电机(7)为法拉第提供动力，定子固定在底座(2)，动子与法拉第支持手臂相连。
4.法拉第真空移动装置，借助直线导轨及滑块(5)提供较高精度的移动及支撑，限位挡块(4)能够放置滑块超出行程脱落。
5.拉第真空移动装置，使用光栅尺及编码器(6)实时反馈准确位置信息，限位开关磁铁(8)提供限位，能够防止直线电机超过预设行程。本发明具有如下显著优点：
1.功能明确，针对性强。
2.性能稳定，测量精度高，可达1μm。
3.回零准确，重复性好。
4.行程大，最长可达460mm。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图。
图2是本发明的移动组件示意图。
1-法拉第真空腔体，2-法拉第底座，3-移动组件，4-限位挡块，5-直线导轨及滑块，6-光栅尺及编码器，7-直线电机，8-限位开关磁铁。
具体实施方式
下面结合附图1到附图2对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定.
本发明公开了一种法拉第真空移动装置。该装置主要包括：法拉第真空腔体(1)，法拉第底座(2)，限位挡块(4)，直线导轨及滑块(5)，光栅尺及编码器(6)，直线电机(7)，限位开关磁铁(8)。
具体实施步骤如下：
整个装置分为三部分，法拉第真空腔体(1)，为法拉第提供真空环境。法拉第底座(2)为整个移动装置提供支撑。移动组件(3)为法拉第提供动力，并反馈实时位置。。
直线电机(7)通过转接件与法拉第支持手臂连接，直线电机定子固定在法拉第底座(2)上，动子与法拉第手臂相连。法拉第手臂相连同时也与两个滑块相连，两个滑块提供了支撑的同时，也保证了运动的直线度。
光栅尺及编码器(6)在法拉第支持手臂运动时能够实时反馈准确的位置信息，当其移动到最右侧，限位开关磁铁(8)会被激活，触发回零信号，该位置为行程的起点。若直线电机继续移动，滑块会撞到右侧限位挡块(4)而停止运动，达到机械限位的效果。当电机向左移动，达到编码器设定的行程后，即可停止移动，若由于某些原因没有停止，左侧限位挡块(4)也可阻止滑块超出机械行程。
以上所述仅为本发明的实施例，并非用于限定本发明的保护范围，而是用于说明本发明。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.本发明公开了一种法拉第真空移动装置。该装置主要包括：法拉第真空腔体，法拉第底座，移动组件，限位挡块，直线导轨及滑块，光栅尺及编码器，直线电机，限位开关磁铁。特征在于：该装置通过直线电机驱动，由导轨及滑块支撑限位，借助光栅尺及编码器反馈位置信息来测量离子束。
2.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是整个装置分为三部分，法拉第真空腔体，为法拉第提供真空环境。法拉第底座为整个移动装置提供支撑。移动组件为法拉第提供动力，并反馈实时位置。
3.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是直线电机为法拉第提供动力，定子固定在底座，动子与法拉第支持手臂相连。
4.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是直线导轨及滑块提供较高精度的移动及支撑，限位挡块能够防止滑块超出行程脱落。
5.根据权利要求1的法拉第真空移动装置，其特征是光栅尺及编码器实时反馈准确的位置信息，限位开关磁铁提供限位及回零，防止直线电机超过预设行程。
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