CN111123655A - 用来产生极紫外辐射的极紫外光源 - Google Patents

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Abstract

一种用来产生极紫外辐射的极紫外光源，包含液滴收集桶。液滴收集桶包含液滴收集管、设置在液滴收集管上的准位感测器、配置以关闭液滴收集管的背面部的闸阀、配置以供给气体至液滴收集管的背面部中的气体供给、包覆液滴收集管的加热元件、以及连接液滴收集管的内部与金属液滴收集桶的外部的排放管。

Description

用来产生极紫外辐射的极紫外光源
技术领域
本揭露实施方式是有关于一种用于极紫外光产生系统的装置与方法，且特别是有关于一种极紫外光源、液滴收集桶及操作液滴收集桶的方法。
背景技术
随着装置尺寸缩小，有必要产生更精细的图案。极紫外光(Extreme ultraviolet，EUV)微影可形成比紫外光微影更精细的图案。极紫外光微影依靠形成电浆以发射极紫外光线。
发明内容
在一些实施方式中，提供一种用来产生极紫外辐射的极紫外光源。极紫外光源包含激光、靶材液滴产生器、以及用以接收自靶材液滴产生器产生的金属液滴的金属液滴收集桶。金属液滴收集桶包含液滴收集管、配置以关闭液滴收集管的背面部的闸阀、配置以供给气体至液滴收集管的背面部中的气体供给、以及连接液滴收集管的内部与金属液滴收集桶的外部的排放管。
附图说明
从以下结合所附附图所做的详细描述，可对本揭露的态样有更佳的了解。需注意的是，根据业界的标准实务，各特征并未依比例绘示。事实上，为了使讨论更为清楚，各特征的尺寸都可任意地增加或减少。
图1(a)是绘示依照本揭露的一实施方式的一种具有极紫外光源、金属液滴产生器以及金属液滴收集桶的透射式极紫外光系统的上剖视图；
图1(b)是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种具有极紫外光源、金属液滴产生器以及金属液滴收集桶的反射式极紫外光系统的上剖视图；
图2是绘示依照本揭露的一实施方式一种金属液滴产生器的示意图；
图3是绘示依照本揭露的一实施方式一种在金属液滴产生器及金属液滴收集桶之间形成电浆的示意图；
图4是绘示依照本揭露的一实施方式的一种金属液滴收集桶的剖面图；
图5是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种金属液滴收集桶的剖面图；
图6是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种金属液滴收集桶的剖面图；
图7是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种金属液滴收集桶的剖面图；
图8是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种金属液滴收集桶的剖面图；
图9是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种金属液滴收集桶的剖面图；
图10是绘示依照本揭露的一实施方式的一种在金属液滴收集桶中的阀的上视图；
图11是绘示依照本揭露的另一实施方式的一种在金属液滴收集桶中的阀的上视图；
图12是绘示依照本揭露的一实施方式的一种操作液滴收集桶的方法流程图。
【符号说明】
10 靶材输送系统或锡液滴射出系统/射出系统/金属液滴喷射系统
11 容器
12 外壳
13 固态锡
14 容器
15 液态锡
16 阀
17 气瓶
18 注射系统
19 喷射液态锡
20 锡液滴/金属液滴
20' 静止金属/静止金属液滴
21 极紫外光线
22 残余物
23 残余锡液滴
30 激光产生系统/激光源
31 激光光束
35 激光聚焦透镜
40 极紫外光收集镜/收集镜
50 孔
60 电浆
70 极紫外光线
80 极紫外光线
90 叶片部/区域
100 金属液滴收集桶
100iw 内壁或内表面
100ow 外壁或外表面
110 锥部/区域
120 图案化光罩或图罩/图案化透射式光罩或图罩/透射式光罩
120' 反射式图案化光罩/反射式光罩
125 光罩载台
130' 目标基材
135 基材载台
140 第一部分
150 第二部分/连接部分
160 第三部分
170 准位感测器
180 凸出部
190 闸阀控制器
200 闸阀/阀
210 顶面
220 部分
230 加热元件
240 气体供给
250 阀
260 加热器
270 滤尘器
280 管
300 光
400 排放工具
L1 长度
L2 长度
L2' 长度
L3 长度
α 角度
θ 角度
具体实施方式
应理解的是，以下揭露提供许多不同的实施例或例子，以实施本揭露不同的特征。以下描述部件及配置的具体实施例或例子以简明本揭露。当然，这些仅为例子而非用以作为限制。举例来说，元件的尺寸并未限制在所揭露的范围或数值，而可取决于制程条件及/或所需的元件特性。此外，在下面说明中，第一特征形成于第二特征上或之上可包含第一特征与第二特征以直接接触形成的实施例，亦可包含额外特征形成于第一及第二特征之间的实施例，使得第一特征与第二特征可非直接接触。多个特征可任意以不同比例来绘示以达到简化及清楚。
此外，空间相对关系的用语，例如：“在…之下(beneath)”、“在…下面(below)”、“较低(lower)”、“在…上面(above)”、“较高(upper)”、或之类的用语，可在此使用以简明描述如附图所绘示的一元件或特征与另一(另一些)元件或特征的关系的叙述。空间关系的用语，除了附图所描绘的定向之外，亦用以包含元件在使用或操作中的不同的定向。元件可另外定向(旋转90度或其他定向)，且在此使用的空间关系叙述可同样地照此解释。此外，用语“由…制成(being made of)”可意指“包含(comprising)”或“由…组成(consisting of)”。在本揭露中，“A、B和C的一者”的用语是表示“A、B及/或C”(A、B、C、A及B、A及C、B及C、或A、B及C)，并不代表来自A的一个元件、来自B的一个元件、和来自C的一个元件，除非另有说明。
随着摩尔定律对于降低晶片元件的尺寸以及对于用于移动电子装置，例如具有计算机功能的智能手机，的更高计算能力晶片的需求的增长趋势，在寻找可实现晶片图案的尺寸缩减需求的光源时产生了极紫外光微影技术，其使用极紫外光辐射源以发射波长为13.5nm的极紫外光。因为此波长与x光的辐射波长区域相邻，所以极紫外光辐射源也称为弱x光辐射源(soft x-ray radiation source)。由脉冲激光-金属相互作用形成电浆而产生的极紫外光具有约100ns的脉冲持续时间，且在中间焦点处，单位脉冲的极紫外光能量通量(fluence)可以在100W至1kW的范围内。
在极紫外光微影中，激光光束撞击第一靶材(即金属液滴流)以形成电浆，电浆发射极紫外光线，极紫外光线接着被集光镜反射而导向第二靶材―光敏涂层涂覆基板。由于从电浆产生的极紫外光线是射向所有方向，如果没有被收集并重新导向预期标的，则朝向与目标基材路径相反方向的行径的光线将会被浪费。因此，需要集光镜来收集极紫外光将其重新导向至目标基材，并将收集的光线聚焦到中间焦点(IF)，以将图案化的光罩或图罩反射到目标基材上。金属液滴是由产生器所产生。在被激光撞击形成电浆后、或没被激光撞击到的金属液滴如果没有收集再利用的话将会被浪费。安装金属液滴收集桶以收集金属液滴。金属液滴收集在金属液滴收集桶的开放容器中。当收集在金属液滴收集桶中的金属液滴到达一定的高度后，金属液滴收集桶中的熔融金属可能会蒸发或朝相反于金属液滴进入金属液滴收集桶的方向的方向回溅。因此，需从金属液滴收集桶将收集在金属液滴收集桶中的金属液滴排出，以降低金属液滴收集桶中的熔融金属的高度。在排放期间，需要将极紫外光腔室中的压力提高至与金属液滴收集桶及极紫外光腔室的外部的压力相同程度，即外部环境大气压力。在压力提高的期间，无法正常产生极紫外光，且在排放期间，必须停止极紫外光微影制程。在排放之后，需要使用真空泵浦来将极紫外光腔室中的压力降低到一定程度，如此将延迟启动极紫外光微影制程。因此，需要一种线上装置结构以及线上操作方法可在进行排放收集在金属液滴收集桶的金属液滴时不中断极紫外光微影制程。
在本揭露的实施例中使用激光所产生的电浆源。激光所产生的电浆是由激光与液体金属互相作用所形成。在本揭露的一些实施例中，金属包含锡(Sn)以及锂(Li)。
图1(a)是绘示了在理想操作情况下的一种具有极紫外光源的极紫外光微影系统。极紫外光微影系统包含激光产生系统30、激光聚焦透镜35、极紫外光收集镜40、靶材输送系统(或锡液滴射出系统)10、用于未反应锡液滴20的排放管或金属液滴收集桶100、叶片部90、锥部110、承托于光罩载台125上的图案化光罩或图罩120、以及承托于基材载台135上的目标基材130。在本揭露的一些实施例中，极紫外光收集镜40是由具有覆盖层的多层镜所制成，其中多层镜包含钼(Mo)/硅Si、镧(La)/硼(B)、镧(La)/碳化硼(B4C)、钌(Ru)/碳化硼(B4C)、钼(Mo)/碳化硼(B4C)、氧化铝(Al2O3)/碳化硼(B4C)、钨(W)/碳(C)、铬(Cr)/碳(C)、以及铬(Cr)/钪(Sc)，且覆盖层包含(SiO2)、钌(Ru)、二氧化钛(TiO2)、及二氧化锆(ZrO2)。极紫外光收集镜40的直径可为约330nm至750nm，取决于极紫外光微影系统的腔室尺寸。在本揭露的一些实施例中，极紫外光收集镜40的剖面形状可为椭圆形或拋物线形。
靶材输送系统(或锡液滴射出系统)10朝向排放管或金属液滴收集桶100射出锡液滴20，形成锡液滴20的靶材流。在极紫外光微影系统的操作中，从激光源30(例如气体放电激光或固态激光)射出高功率及高脉冲重复率的激光光束。射出的激光光束通过激光聚焦透镜35聚焦而形成聚焦的激光光束31，且聚焦的激光光束31穿过形成在极紫外光收集镜40中的孔50。聚焦的激光光束31被聚焦在一个点火位置，透过聚焦的激光光束31与从射出系统10射出的金属液滴20之间的激光-金属相互作用来形成电浆60。极紫外光线70从电浆60中形成并沿着所有方向并发射。射向极紫外光收集镜40的极紫外光线70被反射为极紫外光线80，并穿过区域90(叶片区)以及区域110(锥部曲)到达图案化透射式光罩或图罩120所在的另一焦点(称为中间焦点)。包含具有开口图案的透射式光罩120被定位成能够让反射激光束穿过开口以到达承托于基材载台135上的目标基材130的光敏涂层，以促进半导体基材的透射式极紫外光微影制程，借以在半导体基材上形成电子装置元件或电路。在产业中，较常见反射式极紫外光微影(图1(b))。在反射式极紫外光微影(图1(b))中，具有反射图案的反射式图案化光罩120'或图罩(由光罩载台125所承托)位于第二焦距或中间焦距，以按照图案而将极紫外光线80隔着反射式光罩120'反射至承托于基材载台135上的目标基材130'或穿过一系列的光学元件(图未示)以到达承托于基材载台135上的目标基材130'。在图1(a)及图1(b)所示的透射式及反射式实施例中，利用锡捕捉器、排放管、或金属液滴收集桶100收集如锡液滴的金属液滴20。
图2绘示用于形成液态金属液滴的一种设备或靶材输送系统，液态金属液滴用于激光与液滴之间的相互作用，以形成可发射极紫外光线的激光产生电浆源。如图2所示，设备包括含有固态锡13的容器11。在本揭露的一些实施例中，容器11是由不与锡13反应的适合的导热材料所制成。本揭露的一些实施例中，容器11封闭在外壳12中，以保持内部具有特定气压的所需气氛。在本揭露的其他实施例中，外壳12在容器11内部保持所需的真空程度。而且，外壳12包含加热器(图未示)，以提供用来熔化锡13的热能。在本揭露的一些实施例中，加热器可为任何加热器，例如电阻线圈加热器、气体加热器、辐射加热器、或磁加热器。相变化(液态)锡15穿过传输管至收集液态锡15的容器14。靶材输送系统包含阀16，以控制从传输管输送进入注射系统18中的液态锡15的量。在本揭露的一些实施例中，阀16可为任何种类的阀，例如电磁阀、机械阀(robotic valve)、甚至是高精度控制的手动阀。在本揭露的一些实施例中，阀16连接控制器(图未示)，以在极紫外光产生制程期间控制阀16。注射系统18透过气管与气瓶17连接。在本揭露的一些实施例中，气瓶17储存惰性气体，例如氦气或氮气。进入注射系统18的气体被加压以喷射液态锡19，而形成液滴形状射出的锡液滴20，以透过激光-金属交互作用形成电浆60(如图3所示)。在一些实施例中，锡液滴20也包含在液滴中的固态微粒。本揭露的一些实施例中，锡液滴20的喷射频率由注射系统18的控制器或由其他的控制器控制，以便与脉冲激光光源产生的激光脉冲同步化。本揭露的一些实施例中，锡液滴20的喷射速度约为2ms-1。
图3绘示透过高功率与高脉冲重复率的激光光束与金属液滴之间的激光-金属交互作用展示电浆形成制程的示意图。在图3中，从射出系统10射出的锡液滴20进入所需的位置(也可称点火位置、起始位置、或火球位置)，在此处锡液滴20与激光互相作用形成电浆。点火位置为具有高功率及高脉冲重复率脉冲的激光光束31的焦点。激光光束31可由包括准分子气体放电激光(excimer gas discharge laser)、二氧化碳激光、氦气激光、氮气激光、横激大气压气体(transversely excited atmospheric，TEA)激光、氩离子激光、铜蒸气激光、氪氟(KrF)激光、或氩氟(ArF)激光的气体激光所产生，或可由掺钕钇铝石榴石激光(Nd:YAG laser)、钕玻璃激光(Nd:glass laser)、镱掺杂(ytterbium-doped)玻璃或陶瓷激光、或红宝石激光的固态激光所产生。激光光束31在极紫外光微影系统的腔室空间中的点火位置与锡液滴20互相反应，以形成在所有方向上发射极紫外光线21的电浆60。在激光-金属交互反应的期间，锡液滴20可能会错过激光光束31或未与激光光束31充分地反应，而到达图3所示的点火位置的下方，形成残余锡液滴23。此外，来自电浆形成过程中的一些锡剩余物可被发射的光子推动而形成残余物22。残余锡液滴23与残余物22可能会聚积在极紫外光收集镜40(图1(a)及图1(b))的表面，而劣化极紫外光收集镜40的反射品质。故需要更频繁地清洁及/或更换被残余物或液滴污染的收集镜，从而增加更换昂贵的极紫外光收集镜40的制造成本，更重要的是会增加制造时间以及更换的成本。更换极紫外光收集镜可能需要长达一周的时间。因此，需要一种清洗被残余锡液滴23与残余物22污染的极紫外光收集器的改善方法。根据本揭露的一些实施例，金属液滴收集桶100可收集残余锡液滴23。进入金属液滴收集桶100的金属液滴20具有例如速度为2ms-1的高速，且可能引起存放在金属液滴收集桶100中的熔融金属(图4)的飞溅问题。溅出的熔融金属可能跳出金属液滴收集桶100外并污染极紫外光腔室或其他重要部件，例如收集镜40，导致用于极紫外光微影的极紫外光品质低落、或需停止整个极紫外光微影制程。因此，需要一种可防止熔融金属飞溅的金属液滴收集桶。
图4绘示金属液滴收集桶100的剖面图。在本揭露的一些实施例中，金属液滴收集桶100具有三个部分，即第一部分140、第二部分或连接部分150、以及第三部分160。在本揭露的一些实施例中，第一部分140为金属液滴20首先遇到的金属液滴收集桶100的部分。在本揭露的一些实施例中，第一部分140对准金属液滴喷射系统10，使得高速金属液滴20的路径进入第一部分140。在本揭露的一些实施例中，第一部分140的多个内壁100iw互相平行。在一些实施例中，第一部分140具有圆柱形状，其具有沿着垂直于金属液滴20的路径剖切，即沿图4中的x方向剖切的圆形横截面。在本揭露的一些实施例中，第一部分140由金属、或包括不锈钢、铜、铝及铝合金的金属合金制成。第一部分140具有长度L1，其在极紫外光腔室内较短，在金属液滴收集桶100内较长，以避免金属液滴20的反溅。在本揭露的一些实施例中，长度L1的范围可从约5cm至约10cm，取决于金属液滴20的速度以及极紫外光腔室的尺寸。
金属液滴收集桶100也包含了第二部分或连接部分150。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可与第一部分140为一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合元件来与第一部分140连接。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140不同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150相对第一部分140的纵轴偏离角度α。第二部分或连接部分150具有最大长度L2和最小长度L2'，且在一些实施例中，最大长度L2与第一部分140的长度L1相同。在一些实施例中，最小长度L2'不为0。在一些实施例中，最小长度L2'为0(图未示)，且第一部分140直接连接第三部分160。在一些实施例中，在第二部分或连接部分150中，准位感测器170安装在凸出部180上，凸出部180可让光300，例如激光，从准位感测装置170通过凸出部180传递到所收集的熔融金属的顶面210，再从顶面210穿过凸出部180，回到准位感测器170，以检测第三部分160中的熔融金属的表面液位。在一些实施例中，准位感测器170连接到闸阀控制器190，闸阀控制器190包含至少一个设定表面液位阈值的处理器，处理器发送信号至闸阀控制器190以移动闸阀200，进而阻挡金属液滴20进入被收集的熔融金属所占据的空间。在一些实施例中，准位感测器170具有与第三部分160的纵轴对齐的纵轴。
金属液滴收集桶100的第三部分160具有连接第二部分或连接部分150的最大长度L2的最大长度L3。第三部分160可与第二部分或连接部分150形成一体结构，或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第二部分或连接部分150连接。第三部分160的中心轴垂直于第一部分140的中心轴。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150相同的材料制成。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150不同的材料制成，其中第二部分或连接部分150是由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第一部分140、第二部分或连接部分150与第三部分160是由不同的材料制成。
在第三部分160中，在一些实施例中，闸阀控制器190设有阀200。在从准位感测器170的控制器接收到信号时，闸阀控制器190配置以将阀200移动到收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间中。阀200相对第三部分160的中心轴，即沿着图4的y轴向，水平地设置。如此一来，金属液滴20将作为静止金属20'停留在阀200上，且不会引起第三部分160中的任何熔融金属的回溅。阀200遮蔽阀200下方的空间，使得熔融金属不能蒸发到第一部分140或第二部分150。
在图4中，气体供给240设有由阀250防护的出口。在关闭阀200之后，打开气体供给240的阀250以允许气体进入出口管。在一些实施例中，气体包括惰性气体，例如氩气和氮气。在出口管上安装加热器260，来加热出口管，以加热通过出口管的气体。加热器260包括电阻加热器、辐射加热器、及火焰加热器。然后，加热的气体通过筛网或滤尘器270，以使干净的加热气体进入收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间。加热的气体使阀200下方空间的压力提高至与第三部分160外的压力，即环境大气压力，相同。一旦达到环境大气压力，打开管280，以允许熔融金属排放到排放工具400，例如开放桶。因为阀200关闭，金属液滴收集桶100的第一部分与第二部分可维持在低压。排放操作完成后，第三部分透过打开阀门200抽真空或使用连接到第三部分的泵浦抽真空，且在第三部分的压力达到实质上等于第一部分与第二部分的压力时，打开阀200以收集金属液滴。
在图4中，加热元件230缠绕第三部分160至阀200的位置。加热元件230封闭在金属液滴收集桶100中的部分220中。加热元件230将收集在第三部分160中的金属保持在熔融状态以便排出。此外，加热元件230包覆熔融金属的顶面水平上方的空间，可辅助加热从气体供给240进入空间的气体。在一些实施例中，加热元件230完全地包覆第三部分160。在其他实施例中，加热元件230部分地包覆第三部分160。在一些实施例中，可使用塞子或阀(图未示)来防护管280。第一部分140、第二部分150与第三部分160的内壁或内表面标示为100iw，外壁或外表面标示为100ow。
图5绘示金属液滴收集桶100的剖面图。与图4的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100的阀200是相对第一部分140的纵轴呈一角度θ安装(角度θ大于0度且小于90度)。通过这种方式，被阀200阻挡的金属液滴20可以流到阀200的左边缘并形成静止金属液滴20'。当阀200开启时，金属液滴20'可轻易地流到第三部分160。
在图5中，在本揭露的一些实施例中，金属液滴收集桶100具有三个部分，即第一部分140、第二部分或连接部分150、以及第三部分160。在本揭露的一些实施例中，第一部分140为金属液滴20首先遇到的金属液滴收集桶100的部分。在本揭露的一些实施例中，第一部分140对准金属液滴喷射系统10，使得高速金属液滴20的路径进入第一部分140。在本揭露的一些实施例中，第一部分140的多个内壁100iw互相平行。在一些实施例中，第一部分140具有圆柱形状，其具有沿着垂直于金属液滴20的路径剖切，即沿图5中的x方向剖切的圆形横截面。在本揭露的一些实施例中，第一部分140由金属、或包括不锈钢、铜、铝及铝合金的金属合金制成。第一部分140具有长度L1，其在极紫外光腔室内较短，在金属液滴收集桶100内较长，以避免金属液滴20的反溅。在本揭露的一些实施例中，长度L1的范围可从约5cm至约10cm，取决于金属液滴20的速度以及极紫外光腔室的尺寸。
金属液滴收集桶100也包含了第二部分或连接部分150。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可与第一部分140为一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第一部分140连接。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140不同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150相对第一部分140的纵轴偏离角度α。第二部分或连接部分150具有最大长度L2和最小长度L2'，且在一些实施例中，最大长度L2与第一部分140的长度L1相同。在一些实施例中，最小长度L2'不为0。在一些实施例中，最小长度L2'为0(图未示)，且第一部分140直接连接第三部分160。在一些实施例中，在第二部分或连接部分150中，准位感测器170安装在凸出部180上，凸出部180可让光300，例如激光，从准位感测装置170通过凸出部180传递到所收集的熔融金属的顶面210，再从顶面210穿过凸出部180，回到准位感测器170，以检测第三部分160中的熔融金属的表面液位。在一些实施例中，准位感测器170连接到闸阀控制器190，闸阀控制器190包含至少一个设定表面液位阈值的处理器，处理器发送信号至闸阀控制器190以移动闸阀200，进而阻挡金属液滴20进入被收集的熔融金属所占据的空间。在一些实施例中，准位感测器170具有与第三部分160的纵轴对齐的纵轴。
金属液滴收集桶100的第三部分160具有连接第二部分或连接部分150的最大长度L2的最大长度L3。第三部分160可与第二部分或连接部分150形成一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第二部分或连接部分150连接。第三部分160的中心轴垂直于第一部分140的中心轴。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150相同的材料制成。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150不同的材料制成，其中第二部分或连接部分150是由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第一部分140、第二部分或连接部分150与第三部分160是由不同的材料制成。
在第三部分160中，在一些实施例中，闸阀控制器190设有阀200，阀200设置在第二部分150与第三部分160之间，且相对第一部分140的纵轴，即y方向，呈一角度θ(角度θ大于0度且小于90度)。在从准位感测器170的控制器接收到信号时，闸阀控制器190配置以将阀200移动到收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间中。如此一来，金属液滴20将作为静止金属20'停留在阀200上，且不会引起第三部分160中的任何熔融金属的回溅。阀200遮蔽阀200下方的空间，使得熔融金属不能蒸发到第一部分140或第二部分150。当阀200开启时，金属液滴20'可轻易地流到第三部分160。
在图5中，气体供给240设有由阀250防护的出口。在关闭阀200之后，打开气体供给240的阀250以允许气体进入出口管。在一些实施例中，气体包括惰性气体，例如氩气和氮气。在出口管上安装加热器260，以加热通过出口管的气体。加热器260包括电阻加热器、辐射加热器、及火焰加热器。然后，加热的气体通过筛网或滤尘器270，以使干净的加热气体进入收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间。加热的气体使阀200下方空间的压力提高至与第三部分160外的压力，即环境大气压力，相同。一旦达到环境大气压力，打开管280，以允许熔融金属排放到排放工具400，例如开放桶。因为阀200关闭，金属液滴收集桶100的第一部分与第二部分可维持在低压。排放操作完成后，第三部分透过打开阀门200抽真空或使用连接到第三部分的泵浦抽真空，且在第三部分的压力达到实质上等于第一部分与第二部分的压力时，打开阀200以收集金属液滴。
在图5中，加热元件230缠绕第三部分160至阀200的位置。加热元件230封闭在金属液滴收集桶100中的部分220中。加热元件230将收集在第三部分160中的金属保持在熔融状态以便排出。此外，加热元件230包覆熔融金属的顶面水平上方的空间，可辅助加热从气体供给240进入空间的气体。在一些实施例中，加热元件230完全地包覆第三部分160。在其他实施例中，加热元件230部分地包覆第三部分160。在一些实施例中，可使用塞子或阀(图未示)来防护管280。第一部分140、第二部分150与第三部分160的内壁或内表面标示为100iw，外壁或外表面标示为100ow。
图6绘示金属液滴收集桶100的剖面图。与图4及图5的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100的阀200是相对第一部分140的纵轴(y轴)呈90度安装。通过这种方式，被阀200阻挡的金属液滴20可以流到阀200底缘并形成静止金属液滴20'。当阀200开启时，金属液滴20'可轻易地流到第二部分150与第三部分160。
在图6中，在本揭露的一些实施例中，金属液滴收集桶100具有三个部分，即第一部分140、第二部分或连接部分150、以及第三部分160。在本揭露的一些实施例中，第一部分140为金属液滴收集桶100中金属液滴20首先遇到的部分。在本揭露的一些实施例中，第一部分140对准金属液滴喷射系统10，使得高速金属液滴20的路径进入第一部分140。在本揭露的一些实施例中，第一部分140的多个内壁100iw互相平行。在一些实施例中，第一部分140具有圆柱形状，其具有沿着垂直于金属液滴20的路径剖切，即沿着图6中的x方向剖切的圆形横截面。在本揭露的一些实施例中，第一部分140由金属、或包括不锈钢、铜、铝及铝合金的金属合金制成。第一部分140具有长度L1，其在极紫外光腔室内较短，在金属液滴收集桶100内较长，以避免金属液滴20的反溅。在本揭露的一些实施例中，长度L1的范围可从约5cm至约10cm，取决于金属液滴20的速度以及极紫外光腔室的尺寸。
闸阀控制器190设有阀200，阀200设置在第二部分150与第一部分140之间，且相对第一部分140的纵轴，即y方向，呈90度角。在从准位感测器170的控制器接收到信号时，闸阀控制器190配置以将阀200移动到收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间中。如此一来，金属液滴20将作为静止金属20'停留在阀200上，且不会引起第三部分160中的任何熔融金属的回溅。阀200遮蔽阀200下方的空间，使得熔融金属不能蒸发到第一部分140。当阀200开启时，金属液滴20'可轻易地流到第二部分150及第三部分160。
金属液滴收集桶100也包含了第二部分或连接部分150。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可与第一部分140为一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第一部分140连接。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140不同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150相对第一部分140的纵轴偏离角度α。第二部分或连接部分150具有最大长度L2和最小长度L2'，且在一些实施例中，最大长度L2与第一部分140的长度L1相同。在一些实施例中，最小长度L2'不为0。在一些实施例中，最小长度L2'为0(图未示)，且第一部分140直接连接第三部分160。在一些实施例中，在第二部分或连接部分150中，准位感测器170安装在凸出部180上，凸出部180可让光300，例如激光，从准位感测装置170通过凸出部180传递到所收集的熔融金属的顶面210，再从顶面210穿过凸出部180，回到准位感测器170，以检测第三部分160中的熔融金属的表面液位。在一些实施例中，准位感测器170连接到闸阀控制器190，闸阀控制器190包含至少一个设定表面液位阈值的处理器，处理器发送信号至闸阀控制器190以移动闸阀200，进而阻挡金属液滴20进入被收集的熔融金属所占据的空间。在一些实施例中，准位感测器170具有与第三部分160的纵轴对齐的纵轴。
金属液滴收集桶100的第三部分160具有连接到第二部分或连接部分150的最大长度L2的最大长度L3。第三部分160可与第二部分或连接部分150形成一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第二部分或连接部分150连接。第三部分160的中心轴垂直于第一部分140的中心轴。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150相同的材料制成。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150不同的材料制成。在一些实施例中，第一部分140、第二部分或连接部分150与第三部分160是由不同的材料制成。
在图6中，气体供给240设有由阀250防护的出口。在关闭阀200之后，打开气体供给240的阀250以允许气体进入出口管。在一些实施例中，气体包括惰性气体，例如氩气和氮气。在出口管上安装加热器260，以加热通过出口管的气体。加热器260包括电阻加热器、辐射加热器、及火焰加热器。然后，加热的气体通过筛网或滤尘器270，以使干净的加热气体进入收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间。加热的气体使阀200下方空间的压力提高至与第三部分160外的压力，即环境大气压力，相同。一旦达到环境大气压力，打开管280，以允许熔融金属排放到排放工具400，例如开放桶。因为阀200关闭，金属液滴收集桶100的第一部分与第二部分可维持在低压。排放操作完成后，第三部分透过打开阀门200抽真空或使用连接到第三部分的泵浦抽真空，且在第三部分的压力达到实质上等于第一部分与第二部分的压力时，打开阀200以收集金属液滴。
在图6中，加热元件230缠绕第三部分160至阀200的位置。加热元件230封闭在金属液滴收集桶100中的部分220中。加热元件230将收集在第三部分160中的金属保持在熔融状态以便排出。此外，加热元件230包覆熔融金属的顶面水平上方的空间，可辅助加热从气体供给240进入空间的气体。在一些实施例中，加热元件230完全地包覆第三部分160。在其他实施例中，加热元件230部分地包覆第三部分160。在一些实施例中，可使用塞子或阀(图未示)来防护管280。第一部分140、第二部分150与第三部分160的内壁或内表面标示为100iw，外壁或外表面标示为100ow。
图7绘示金属液滴收集桶100的剖面图。与图4的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100包含加热元件230，其包覆第一部分140、第二部分150及第三部分160，而不是只有包覆第三部分160。通过这种方式，将热施加在第一部分140与第二部分150，可使得碰到第一部分140与第二部分150的内壁100iw的金属液滴20维持液态。
在本揭露的一些实施例中，金属液滴收集桶100具有三个部分，即第一部分140、第二部分或连接部分150、以及第三部分160。在本揭露的一些实施例中，第一部分140为金属液滴收集桶100中金属液滴20首先遇到的部分。在本揭露的一些实施例中，第一部分140对准金属液滴喷射系统10，使得高速金属液滴20的路径进入第一部分140。在本揭露的一些实施例中，第一部分140的多个内壁100iw互相平行。在一些实施例中，第一部分140具有圆柱形状，其具有沿着垂直于金属液滴20的路径剖切，即沿着图7中的x方向剖切，的圆形横截面。在本揭露的一些实施例中，第一部分140由金属、或包括不锈钢、铜、铝及铝合金的金属合金制成。第一部分140具有长度L1，其在极紫外光腔室内较短，在金属液滴收集桶100内较长，以避免金属液滴20的反溅。在本揭露的一些实施例中，长度L1的范围可从约5cm至约10cm，取决于金属液滴20的速度以及极紫外光腔室的尺寸。
金属液滴收集桶100也包含了第二部分或连接部分150。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可与第一部分140为一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第一部分140连接。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140不同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150相对第一部分140的纵轴偏离角度α。第二部分或连接部分150具有最大长度L2和最小长度L2'，且在一些实施例中，最大长度L2与第一部分140的长度L1相同。在一些实施例中，最小长度L2'不为0。在一些实施例中，最小长度L2'为0(图未示)，且第一部分140直接连接第三部分160。在一些实施例中，在第二部分或连接部分150中，准位感测器170安装在凸出部180上，凸出部180可让光300，例如激光，从准位感测装置170通过凸出部180传递到所收集的熔融金属的顶面210，再从顶面210穿过凸出部180，回到准位感测器170，以检测第三部分160中的熔融金属的表面液位。在一些实施例中，准位感测器170连接到闸阀控制器190，闸阀控制器190包含至少一个设定表面液位阈值的处理器，处理器发送信号至闸阀控制器190以移动闸阀200，进而阻挡金属液滴20进入被收集的熔融金属所占据的空间。在一些实施例中，准位感测器170具有与第三部分160的纵轴对齐的纵轴。
金属液滴收集桶100的第三部分160具有连接第二部分或连接部分150的最大长度L2的最大长度L3。第三部分160可与第二部分或连接部分150形成一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第二部分或连接部分150连接。第三部分160的中心轴垂直于第一部分140的中心轴。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150相同的材料制成。在其他实施例中，第三部分160是由与第二部分或连接部分150不同的材料制成，其中第二部分或连接部分150是由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第一部分140、第二部分或连接部分150与第三部分160是由不同的材料制成。
在第三部分160中，在一些实施例中，闸阀控制器190设有阀200。在从准位感测器170的控制器接收到信号时，闸阀控制器190配置以将阀200移动到收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间中。阀200相对第三部分160的中心轴水平地，即沿着图7的y轴向，设置。如此一来，金属液滴20将作为静止金属20'停留在阀200上，且不会引起第三部分160中的任何熔融金属的回溅。阀200遮蔽阀200下方的空间，使得熔融金属不能蒸发到第一部分140或第二部分150。
在图7中，气体供给240设有由阀250防护的出口。在关闭阀200之后，打开气体供给240的阀250以允许气体进入出口管。在一些实施例中，气体包括惰性气体，例如氩气和氮气。在出口管上安装加热器260，以加热通过出口管的气体。加热器260包括电阻加热器、辐射加热器、及火焰加热器。然后，加热的气体通过筛网或滤尘器270，以使干净的加热气体进入收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间。加热的气体使阀200下方空间的压力提高至与第三部分160外的压力，即环境大气压力，相同。一旦达到环境大气压力，打开管280，以允许熔融金属排放到排放工具400，例如开放桶。因为阀200关闭，金属液滴收集桶100的第一部分与第二部分可维持在低压。排放操作完成后，第三部分透过打开阀门200抽真空或使用连接到第三部分的泵浦抽真空，且在第三部分的压力达到实质上等于第一部分与第二部分的压力时，打开阀200以收集金属液滴。
在图7中，加热元件230缠绕第一部分140、第二部分150以及第三部分160。加热元件230封闭在金属液滴收集桶100中的部分220中。加热元件230将收集在第三部分160中的金属保持在熔融状态以便排出。此外，加热元件230包覆熔融金属的顶面水平上方的空间，可辅助加热从气体供给240进入空间的气体。在一些实施例中，加热元件230完全地包覆第三部分160。在其他实施例中，加热元件230部分地包覆第三部分160。在一些实施例中，可使用塞子或阀(图未示)来防护管280。第一部分140、第二部分150与第三部分160的内壁或内表面标示为100iw，外壁或外表面标示为100ow。
图8绘示金属液滴收集桶100的剖面图。与图5的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100包含加热元件230，其包覆第一部分140、第二部分150及第三部分160，而不是只有包覆第三部分160。通过这种方式，将热施加在第一部分140与第二部分150，可使得碰到第一部分140与第二部分150的内壁100iw的金属液滴20维持液态。此外，与图7的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100的阀200是相对第一部分140的纵轴呈一角度θ安装(角度θ大于0度且小于90度)。通过这种方式，被阀200阻挡的金属液滴20可以流到阀200的左边缘并形成静止金属液滴20'。当阀200开启时，金属液滴20'可轻易地流到第三部分160。
在本揭露的一些实施例中，如图8所示，金属液滴收集桶100具有三个部分，即第一部分140、第二部分或连接部分150、以及第三部分160。在本揭露的一些实施例中，第一部分140为金属液滴20首先遇到的金属液滴收集桶100的部分。在本揭露的一些实施例中，第一部分140对准金属液滴喷射系统10，使得高速金属液滴20的路径进入第一部分140。在本揭露的一些实施例中，第一部分140的多个内壁100iw互相平行。在一些实施例中，第一部分140具有圆柱形状，其具有沿着垂直于金属液滴20的路径剖切，即沿图8中的x方向剖切的圆形横截面。在本揭露的一些实施例中，第一部分140由金属、或包括不锈钢、铜、铝及铝合金的金属合金制成。第一部分140具有长度L1，其在极紫外光腔室内较短，在金属液滴收集桶100内较长，以避免金属液滴20的反溅。在本揭露的一些实施例中，长度L1的范围可从约5cm至约10cm，取决于金属液滴20的速度以及极紫外光腔室的尺寸。
金属液滴收集桶100也包含了第二部分或连接部分150。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可与第一部分140为一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第一部分140连接。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140不同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150相对第一部分140的纵轴偏离角度α。第二部分或连接部分150具有最大长度L2和最小长度L2'，且在一些实施例中，最大长度L2与第一部分140的长度L1相同。在一些实施例中，最小长度L2'不为0。在一些实施例中，最小长度L2'为0(图未示)，且第一部分140直接连接第三部分160。在一些实施例中，在第二部分或连接部分150中，准位感测器170安装在凸出部180上，凸出部180可让光300，例如激光，从准位感测装置170通过凸出部180传递到所收集的熔融金属的顶面210，再从顶面210穿过凸出部180，回到准位感测器170，以检测第三部分160中的熔融金属的表面液位。在一些实施例中，准位感测器170连接到闸阀控制器190，闸阀控制器190包含至少一个设定表面液位阈值的处理器，处理器发送信号至闸阀控制器190以移动闸阀200，进而阻挡金属液滴20进入被收集的熔融金属所占据的空间。在一些实施例中，准位感测器170具有与第三部分160的纵轴对齐的纵轴。
金属液滴收集桶100的第三部分160具有连接第二部分或连接部分150的最大长度L2的最大长度L3。第三部分160可与第二部分或连接部分150形成一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第二部分或连接部分150连接。第三部分160的中心轴垂直于第一部分140的中心轴。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150相同的材料制成。在其他实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150不同的材料制成，其中第二部分或连接部分150是由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第一部分140、第二部分或连接部分150与第三部分160是由不同的材料制成。
在第三部分160中，在一些实施例中，闸阀控制器190设有阀200，阀200设置在第二部分150与第三部分160之间，且相对第一部分140的纵轴，即y方向，呈一角度θ(角度θ大于0度且小于90度)。在从准位感测器170的控制器接收到信号时，闸阀控制器190配置以将阀200移动到收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间中。透过这种方式，金属液滴20将作为静止金属20'停留在阀200上，且不会引起第三部分160中的任何熔融金属的回溅。阀200遮蔽阀200下方的空间，使得熔融金属不能蒸发到第一部分140或第二部分150。当阀200打开时，金属液滴20'可轻易地流入第三部分160中。
在图8中，气体供给240设有由阀250防护的出口。在关闭阀200之后，打开气体供给240的阀250以允许气体进入出口管。在一些实施例中，气体包括惰性气体，例如氩气和氮气。在出口管上安装加热器260，以加热通过出口管的气体。加热器260包括电阻加热器、辐射加热器、及火焰加热器。然后，加热的气体通过筛网或滤尘器270，以使干净的加热气体进入收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间。加热的气体使阀200下方空间的压力提高至与第三部分160外的压力，即环境大气压力，相同。一旦达到环境大气压力，打开管280，以允许熔融金属排放到排放工具400，例如开放桶。因为阀200关闭，金属液滴收集桶100的第一部分与第二部分可维持在低压。排放操作完成后，第三部分透过打开阀门200抽真空或使用连接到第三部分的泵浦抽真空，且在第三部分的压力达到实质上等于第一部分与第二部分的压力时，打开阀200以收集金属液滴。
在图8中，加热元件230缠绕第一部分140、第二部分150以及第三部分160。加热元件230封闭在金属液滴收集桶100中的部分220中。加热元件230将收集在第三部分160中的金属保持在熔融状态以便排出。此外，加热元件230包覆熔融金属的顶面水平上方的空间，可辅助加热从气体供给240进入空间的气体。在一些实施例中，加热元件230完全地包覆第三部分160。在其他实施例中，加热元件230部分地包覆第三部分160。在一些实施例中，可使用塞子或阀(图未示)来防护管280。第一部分140、第二部分150与第三部分160的内壁或内表面标示为100iw，外壁或外表面标示为100ow。
图9绘示金属液滴收集桶100的剖面图。与图6的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100包含加热元件230，其包覆第一部分140、第二部分150及第三部分160，而不是只有包覆第三部分160。通过这种方式，将热施加在第一部分140与第二部分150，可使得碰到第一部分140与第二部分150的内壁100iw的金属液滴20维持液态。此外，与图4及图5的金属液滴收集桶100相比，金属液滴收集桶100的阀200是相对第一部分140的纵轴呈90度安设置。通过这种方式，被阀200阻挡的金属液滴20可以流到阀200的底缘并形成静止金属液滴20'。当阀200开启时，金属液滴20'可轻易地流到第二部分150及第三部分160。
在本揭露的一些实施例中，如图9所示，金属液滴收集桶100具有三个部分，即第一部分140、第二部分或连接部分150、以及第三部分160。在本揭露的一些实施例中，第一部分140为金属液滴20首先遇到的金属液滴收集桶100的部分。在本揭露的一些实施例中，第一部分140对准金属液滴喷射系统10，使得高速金属液滴20的路径进入第一部分140。在本揭露的一些实施例中，第一部分140的多个内壁100iw互相平行。在一些实施例中，第一部分140具有圆柱形状，其具有沿着垂直于金属液滴20的路径剖切，即沿图9中的x方向剖切的圆形横截面。在本揭露的一些实施例中，第一部分140由金属、或包括不锈钢、铜、铝及铝合金的金属合金制成。第一部分140具有长度L1，其在极紫外光腔室内较短，在金属液滴收集桶100内较长，以避免金属液滴20的反溅。在本揭露的一些实施例中，长度L1的范围可从约5cm至约10cm，取决于金属液滴20的速度以及极紫外光腔室的尺寸。
在一些实施例中，闸阀控制器190设有阀200，阀200设置在第二部分150与第一部分140之间，且相对第一部分140的纵轴，即y方向，呈90度。在从准位感测器170的控制器接收到信号时，闸阀控制器190配置以将阀200移动到收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间中。透过这种方式，金属液滴20将作为静止金属20'停留在阀200上，且不会引起第三部分160中的任何熔融金属的回溅。阀200遮蔽阀200下方的空间，使得熔融金属不能蒸发到第一部分140或第二部分150。当阀200打开时，金属液滴20'可轻易地流入第二部分150及第三部分160中。
金属液滴收集桶100也包含了第二部分或连接部分150。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可与第一部分140为一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第一部分140连接。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150可由与第一部分140不同的材料制成。在一些实施例中，第二部分或连接部分150相对第一部分140的纵轴偏离角度α。第二部分或连接部分150具有最大长度L2和最小长度L2'，且在一些实施例中，最大长度L2与第一部分140的长度L1相同。在一些实施例中，最小长度L2'不为0。在其他实施例中，最小长度L2'为0(图未示)，且第一部分140直接连接第三部分160。在一些实施例中，在第二部分或连接部分150中，准位感测器170安装在凸出部180上，凸出部180可让光300，例如激光，从准位感测装置170通过凸出部180传递到所收集的熔融金属的顶面210，再从顶面210穿过凸出部180，回到准位感测器170，以检测第三部分160中的熔融金属的表面液位。在一些实施例中，准位感测器170连接到闸阀控制器190，闸阀控制器190包含至少一个设定表面液位阈值的处理器，处理器发送信号至闸阀控制器190以移动闸阀200，进而阻挡金属液滴20进入被收集的熔融金属所占据的空间。在一些实施例中，准位感测器170具有与第三部分160的纵轴对齐的纵轴。
金属液滴收集桶100的第三部分160具有连接第二部分或连接部分150的最大长度L2的最大长度L3。第三部分160可与第二部分或连接部分150形成一体结构、或可为独立元件而透过例如粘胶或螺丝等粘合手段来与第二部分或连接部分150连接。第三部分160的中心轴垂直于第一部分140的中心轴。在一些实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150相同的材料制成。在其他实施例中，第三部分160可由与第二部分或连接部分150不同的材料制成，其中第二部分或连接部分150是由与第一部分140相同的材料制成。在一些实施例中，第一部分140、第二部分或连接部分150与第三部分160是由不同的材料制成。
在图9中，气体供给240设有由阀250保护的出口。在关闭阀200之后，打开气体供给240的阀250以允许气体进入出口管。在一些实施例中，气体包括惰性气体，例如氩气和氮气。在出口管上安装加热器260，以加热通过出口管的气体。加热器260包括电阻加热器、辐射加热器、及火焰加热器。然后，加热的气体通过筛网或滤尘器270，以使干净的加热气体进入收集在第三部分160中的熔融金属的顶面水平上方的空间。加热的气体使阀200下方空间的压力提高至与第三部分160外的压力，即环境大气压力，相同。一旦达到环境大气压力，打开管280，以允许熔融金属排放到排放工具400，例如开放桶。因为阀200关闭，金属液滴收集桶100的第一部分与第二部分可维持在低压。排放操作完成后，第三部分透过打开阀门200抽真空或使用连接到第三部分的泵浦抽真空，且在第三部分的压力达到实质上等于第一部分与第二部分的压力时，打开阀200以收集金属液滴。
在图9中，加热元件230缠绕第一部分140、第二部分150以及第三部分160。加热元件230封闭在金属液滴收集桶100中的部分220中。加热元件230将收集在第三部分160中的金属保持在熔融状态以便排出。此外，加热元件230包覆熔融金属的顶面水平上方的空间，可辅助加热从气体供给240进入空间的气体。在一些实施例中，加热元件230完全地包覆第三部分160。在其他实施例中，加热元件230部分地包覆第三部分160。在一些实施例中，可使用塞子或阀(图未示)来防护管280。第一部分140、第二部分150与第三部分160的内壁或内表面标示为100iw，外壁或外表面标示为100ow。
图10绘示金属液滴收集桶100中的阀200的上视图。图10中的实施例可应用至例如图4、图7、图8及图9的阀200。如图10所示，加热元件230连接到封闭空间220，封闭空间220被金属液滴收集桶100包围。在一些实施例中，封闭空间220位于金属液滴收集桶100的内壁100iw与外壁100ow之间。在一些实施例中，电热偶205连接到阀200的一端，以监测阀200的温度，从而调整加热元件230的加热功率，以将热量施加于停留在阀200上的金属液滴20'。在一些实施例中，闸阀控制器190控制阀200的移动，即向前移动201至金属液滴收集桶100的内壁100iw和外壁100ow之间的空间，以及向后移动至闸阀控制器190的狭缝(图未示)中。在一些实施例中，阀200的覆盖率大于封闭空间220中的加热元件230。
图11绘示金属液滴收集桶100中的阀200的上视图。图11中的实施例可应用至例如图5及图6的阀200。与图10的实施例相比，图11中的实施例不包含用来加热阀200的加热元件230。在一些实施例中，电热偶205连接到阀200的一端。电热偶205可监测阀200的温度，从而调整金属液滴收集桶100的其他部分中的加热元件230的加热功率。在一些实施例中，阀200的覆盖率大于封闭空间220中的加热元件230。
图12绘示一种使用金属液滴收集桶100的方法操作流程。方法包含操作S1201，以将复数个金属液滴以熔融金属的形式收集于金属液滴收集桶中。接着，在操作S1202中，当收集桶中的熔融金属的顶面达到一阈值时，准位感测器产生警报。举例而言，准位感测器传送信号至包含处理器的控制器。操作S1203中，加热的闸阀关闭金属液滴收集桶100的背面部。接着，在操作S1204中，将加热的气体打入金属液滴收集桶100的隔离背面部，直到达到预定的压力，例如环境大气压。在操作S1205中，打开位于金属液滴收集桶背面部的排放阀，以排放熔融金属。接着，在操作S1206中，排出的金属被收集在例如开放桶的排放工具中。在操作S1207中，停止打入加热气体，并关闭排放阀。接着，在操作S1208中，通过真空泵浦将金属液滴收集桶100的隔离背面部中的压力降低到与闸阀另一侧的极紫外光腔室相同的水平。在操作S1209中，打开加热的闸阀。在此程序中，关闭的闸阀200另一侧的极紫外光微影不受干扰，且排放程序也不会暂停。对于本领域的通常知识者来说，图12中的操作步骤可以增加、减少及重新排列。
在本揭露中，所有或部分的控制器可以实现为一个或多个电路，例如但不限于半导体元件、半导体集成电路(IC)、或大型集成电路(LSI)。LSI或IC可整合为一个晶片、或也可为多个晶片的组合。这里使用的名称是LSI或IC，但根据积集度(degree ofintegration)，它也可以称为系统LSI、VLSI(超大规模集成电路)或ULSI(极大型集成电路)。可为相同目的而使用可在制造LSI之后程序化现场可程序化逻辑门阵列(FPGA)、或允许重新配置LSI内部的电路单元的连接或设置的可重新配置逻辑(reconfigurable logicdevice)元件。此外，还可通过执行软件来实现控制器的全部或部分功能或操作。在这种情况下，软件被记录在一个或多个非暂态记录媒体上，例如ROM、光盘或硬盘驱动器，且当处理器执行软件时，软件可使处理器与周边设备一起执行软件中指定的功能。系统或装置可以包括这样的一个或多个记录有软件的非暂态记录媒体、以及和必要的硬件设备，例如介面，一起的处理器。
应理解的是，并非所有优点都需要在本文中讨论，所有实施例及示例都不需要特定的优点，且其他实施例或示例可以提供不同的优点。
根据本揭露的一些实施例，提供一种用来产生极紫外辐射的极紫外光源。极紫外光源包含激光、靶材液滴产生器、以及用以接收自靶材液滴产生器产生的金属液滴的金属液滴收集桶。金属液滴收集桶包含液滴收集管、配置以关闭液滴收集管的背面部的闸阀、配置以供给气体至液滴收集管的背面部中的气体供给、以及连接液滴收集管的内部与金属液滴收集桶的外部的排放管。液滴收集管包含面向靶材液滴产生器的第一部分、作为背面部的第三部分、以及连接第一部分以及第三部分的第二部分。在一实施例中，极紫外光微影系统也包含仅包覆第三部分的加热元件。在其他实施例中，极紫外光微影系统也包含包覆第一部分、第二部分以及第三部分的加热元件。在一实施例中，加热元件部分地包覆第三部分。在其他实施例中，加热元件完全地包覆第三部分。在一实施例中，闸阀相对第一部分的纵轴垂直地放置在第一部分与第二部分之间。在其他实施例中，闸阀设置在第二部分与第三部分之间，且与第一部分的纵轴形成角度，其中角度大于零度，且小于90度。在其他实施例中，闸阀水平地放置在第三部分中。闸阀连接至电热偶。
根据本揭露的一些实施例，提供一种液滴收集桶。液滴收集桶包含液滴收集管、设置在液滴收集管上的准位感测器、配置以关闭液滴收集管的背面部的闸阀、配置以供给气体至液滴收集管的背面部中的气体供给、包覆液滴收集管的加热元件、以及连接液滴收集管的内部与金属液滴收集桶的外部的排放管。液滴收集管包含第一部分、第二部分、以及作为背面部的第三部分。在一实施例中，加热元件仅包覆第三部分。在其他实施例中，加热元件包覆第一部分、第二部分以及第三部分的加热元件。在一实施例中，加热元件部分地包覆第三部分。在其他实施例中，加热元件完全地包覆第三部分。在一实施例中，闸阀垂直地放置在第一部分与第二部分之间。在其他实施例中，闸阀设置在第二部分与第三部分之间，且与第一部分的纵轴形成角度，其中角度大于零度且小于90度。在其他实施例中，闸阀水平地设置在第三部分中。
根据本揭露的一些方法实施例，提供一种操作液滴收集桶的方法。方法包含将复数个金属液滴以熔融金属的形式收集于金属液滴收集桶中、当金属液滴收集桶中的熔融金属的顶面达到阈值时，利用准位感测器产生警报、利用准位感测器传送信号至闸阀，以关闭闸阀并遮蔽金属液滴收集桶的背面部、将加热气体打入背面部中，以达到与金属液滴收集桶的外部相同的压力、打开排放管，以使熔融金属排到外面。关闭该排放管并停止打入加热气体、降低遮蔽的背面部的压力至与闸阀另一侧相同的压力、以及打开闸阀。
上述已概述数个实施方式的特征，因此熟习此技艺者可更了解本揭露的态样。熟悉此技艺者应了解到，其可轻易地利用本揭露做为基础，来设计或润饰其他制程与结构，以实现与在此所介绍的实施方式相同的目的及/或达到相同的优点。熟悉此技艺者也应了解到，这类对等架构并未脱离本揭露的精神和范围，且熟悉此技艺者可在不脱离本揭露的精神和范围下，在此进行各种的更动、取代与修改。

Claims (1)

1.一种用来产生极紫外辐射的极紫外光源，其特征在于，包含：
一激光；
一靶材液滴产生器；以及
一金属液滴收集桶，用以接收自该靶材液滴产生器产生的金属液滴，其中该金属液滴收集桶包含：
一液滴收集管；
一闸阀，配置以关闭该液滴收集管的一背面部；
一气体供给，配置以供给一气体至该液滴收集管的该背面部中；以及
一排放管，连接该液滴收集管的内部与该金属液滴收集桶的一外部。
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