CN111112833A - 激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质 - Google Patents

激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质 Download PDF

Info

Publication number
CN111112833A
CN111112833A CN201811275510.4A CN201811275510A CN111112833A CN 111112833 A CN111112833 A CN 111112833A CN 201811275510 A CN201811275510 A CN 201811275510A CN 111112833 A CN111112833 A CN 111112833A
Authority
CN
China
Prior art keywords
axis
pulse number
feedback signal
distance
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811275510.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111112833B (zh
Inventor
颜传祥
周志伟
陈才伟
马国东
尹建刚
吴林龙
洪熔
胡雄雄
朱洪涛
黄政
高云峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Hans Semiconductor Equipment Technology Co Ltd
Original Assignee
Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd filed Critical Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Priority to CN201811275510.4A priority Critical patent/CN111112833B/zh
Publication of CN111112833A publication Critical patent/CN111112833A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111112833B publication Critical patent/CN111112833B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本申请属于激光加工技术领域，涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。该激光加工方法包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。其有利于十字运动平台的工件处于所述振镜扫描系统加工范围中心的最优加工区域。

Description

激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质
技术领域
本申请属于激光加工技术领域，涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。
背景技术
目前，很多的激光加工设备会使用到振镜扫描系统。由于振镜扫描系统受限于工作原理，其在远离加工范围中心的位置会出现激光光线与加工表面存在倾角及光斑畸变增大的现象，并且会出现定位点插值间距变大、定位精度会变差等问题。现有技术中，在对加工精度要求较高的应用中，只能使用振镜扫描系统加工范围中心附近的很小的一块区域，即最优加工区域。
发明人在研究本申请的过程中发现，现有技术中针对上述的解决方案是，在振镜扫描系统加工完一个区域后停下来，移动十字运动平台将被加工物体的另外一个待加工区域移入振镜扫描系统的最优加工区域，然后再重新开始加工。现有技术中存在操作繁琐，效率较低，而且无法在必须连续激光加工的应用中使用。
发明内容
本申请的实施例公开了激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质，旨在提高激光加工的精度、效率。
本申请的一个或者多个实施例公开了一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工，包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算的步骤包括：
分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；
计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；
根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述差值▽x按照以下的公式计算：
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；
所述差值▽y按照以下的公式计算：
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述A轴补偿移动▽x的步骤包括：
根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；
所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：
Zx＝▽x÷Pa；
控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx；
所述B轴补偿移动▽y的步骤包括：
根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；
所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：
Zy＝▽y÷Pb；
控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。
本申请的一个或者多个实施例公开了一种激光加工装置。所述激光加工装置包括：联动模块，用于控制实现所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；获取模块，用于当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；换算模块，将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；补偿模块，当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述换算模块包括：
第一计算单元，用于分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；
第二计算单元，用于计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；
脉冲数量换算单元，根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，第一差值计算单元，用于按照以下的公式计算所述差值▽x：
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；
第二差值计算单元，用于按照以下的公式计算所述差值▽y：
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述补偿模块还包括：
第一差值补偿单元，用于实现所述A轴补偿移动▽x的步骤：根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：Zx＝▽x÷Pa；控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx；
第二差值补偿单元，用于实现所述B轴补偿移动▽y的步骤：根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：Zy＝▽y÷Pb；控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。
本申请的一个或者多个实施例公开了一种激光加工设备。所述激光加工设备包括：至少一台激光器、光路系统、振镜扫描系统、十字运动平台以及控制部；至少一台所述激光器与所述光路系统组装；所述光路系统接入所述振镜扫描系统；所述十字运动平台用于装设和驱动工件；所述控制部用于控制所述振镜扫描系统和所述十字运动平台；所述激光加工设备应用上述任意一种激光加工方法。
本申请的一个或者多个实施例公开了一种非暂态计算机可读存储介质。所述非暂态计算机可读存储介质中存储有计算机指令，所述计算机指令适于处理器加载，以实现上述任意一种激光加工方法。
本申请的一个或者多个实施例公开了一种应用于激光加工设备的电子装置。所述应用于激光加工设备的电子装置包括：至少一个处理器、至少一个存储器、至少一个输入装置以及至少一个输出装置。所述处理器、存储器、输入装置以及输出装置通过总线相连。所述应用于激光加工设备的电子装置用于实现上述任意一种激光加工方法。
与现有技术相比，本申请公开的技术方案主要有以下有益效果：
在本申请的实施例中，所述激光加工方法包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。所述激光加工方法通过所述十字运动平台与所述振镜扫描系统联动，并在所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，以及所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，通过所述A轴补偿移动▽x，通过所述B轴补偿移动▽y，最终补偿所述十字运动平台在运动过程中产生的差值，使得所述十字运动平台的工件处于所述振镜扫描系统加工范围中心的最优加工区域，并形成预设的焊接轨迹。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本申请的一实施例中所述激光加工方法一种可能的流程示意图；
图2为本申请的一实施例中激光加工点的形状为圆形时两个激光加工点的间距示意图；
图3为本申请的一实施例中激光加工点的形状为矩形时两个激光加工点的间距示意图；
图4为本申请的一实施例中一种激光加工装置的示意图；
图5为本申请的一实施例中一种激光加工设备的示意图；
图6为本申请的一实施例中激光加工设备的电子装置的示意图。
附图标记说明：
Figure BDA0001846885350000061
具体实施方式
为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。
本申请的一些实施例公开了一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工。
参考图1，为本申请的一实施例中所述激光加工方法一种可能的流程示意图。
如图1中所示意的，所述激光加工方法包括：
步骤1：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；
步骤2：当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；
步骤3：将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；
步骤4：当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。
在本申请的实施例中，所述A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号均有各自的编码器提供。所述A轴与所述B轴垂直，所述X轴与所述Y轴垂直。所述A轴与所述X轴平行，所述B轴与所述Y轴平行。所述振镜扫描系统通过主动相对于所述十字运动平台上的工件运动，与所述十字运动平台的X轴和Y轴的运动相互叠加或抵消，以实现规划的加工轨迹，如完成的圆弧角等。所述A轴补偿移动▽x主要通过所述A轴加速或者减速移动实现，所述B轴补偿移动▽y也主要是通过所述B轴加速或者减速移动实现，保证所述A轴与所述X轴的合成速度不变，所述B轴与所述Y轴的合成速度不变。
在本申请的实施例中，所述激光加工方法包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。所述激光加工方法通过所述十字运动平台与所述振镜扫描系统联动，并在所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，以及所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，通过所述A轴补偿移动▽x，通过所述B轴补偿移动▽y，最终补偿所述十字运动平台在运动过程中产生的差值，使得所述十字运动平台的工件处于所述振镜扫描系统加工范围中心的最优加工区域，并形成预设的焊接轨迹。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算的步骤包括：
步骤31：分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；
步骤32：计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；
步骤33：根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述差值▽x按照以下的公式计算：
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述差值▽y按照以下的公式计算：
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述A轴补偿移动▽x的步骤包括：
根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；
所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：
Zx＝▽x÷Pa；
控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述B轴补偿移动▽y的步骤包括：
根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；
所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：
Zy＝▽y÷Pb；
控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。
本申请的一些实施例公开了一种激光加工装置。参考图2，为本申请的一实施例中激光加工装置一种可能的示意图。
如图2中所示意的，所述激光加工装置包括：
联动模块10，用于控制实现所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；
获取模块20，用于当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号。
换算模块30，将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算。
补偿模块40，当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。
参考图3，为本申请的一实施例中所述换算模块30的示意图。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述换算模块30包括：
第一计算单元301，用于分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py。
第二计算单元302，用于计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky。
脉冲数量换算单元303，根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
参考图4，为本申请的一实施例中所述补偿模块40的示意图。
在本申请的一个或者多个实施例中，所述补偿模块40包括：
第一差值计算单元401，用于按照以下的公式计算所述差值▽x。
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量。
第二差值计算单元402，用于按照以下的公式计算所述差值▽y。
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
继续参考图4，在本申请的一个或者多个实施例中，所述补偿模块40还包括：
第一差值补偿单元403，用于实现所述A轴补偿移动▽x的步骤：根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：Zx＝▽x÷Pa；控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx。
第二差值补偿单元404，用于实现所述B轴补偿移动▽y的步骤：根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：Zy＝▽y÷Pb；控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。
本申请的一实施例公开一种激光加工设备。
参考图5，为本申请的一实施例中一种激光加工设备的示意图。如图5中所示意的，至少一台激光器100、光路系统200、振镜扫描系统300、十字运动平台400以及控制部500；至少一台所述激光器100与所述光路系统200组装；所述光路系统200接入所述振镜扫描系统300；所述十字运动平台400用于装设和驱动工件；所述控制部500用于控制所述振镜扫描系统300和所述十字运动平台400。所述激光加工设备应用于上述任意一种激光加工方法。
本申请的一实施例公开一种应用于激光加工设备的电子装置。
参考图6，为本申请的一实施例中激光加工设备的电子装置的示意图。如图6中所示意的，所述应用于激光加工设备的电子装置包括：至少一个处理器601、至少一个存储器602、至少一个输入装置603以及至少一个输出装置604。所述处理器601、存储器602、输入装置603以及输出装置604通过总线605相连。所述电子装置用于实现上述任意一种激光加工方法。
本申请的一实施例公开一种一种非暂态计算机可读存储介质。所述非暂态计算机可读存储介质中存储有计算机指令，所述计算机指令适于处理器加载，以实现上述任意一种激光加工方法。
当上述各个实施例中的技术方案使用到软件实现时，可以将实现上述各个实施例的计算机指令和/或数据存储在计算机可读介质中或作为可读介质上的一个或多个指令或代码进行传输。计算机可读介质包括计算机存储介质和通信介质，其中通信介质包括便于从一个地方向另一个地方传送计算机程序的任何介质。存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质。以此为例但不限于此：计算机可读介质可以包括RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其他光盘存储、磁盘存储介质或者其他磁存储设备、或者能够携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其他介质。此外，任何连接可以适当的成为计算机可读介质。例如，如果软件是使用同轴电缆、光钎光缆、双绞线、数字用户线(DSL)或者诸如红外线、无线电和微波之类的无线技术从网站、服务器或者其他远程源传输的，那么同轴电缆、光纤光缆、双绞线、DSL或者诸如红外线、无线和微波之类的无线技术包括在所述介质的定义中。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制。尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工，其特征在于，包括：
所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；
当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；
将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；
当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。
2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算的步骤包括：
分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；
计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；
根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
3.根据权利要求2所述的激光加工方法，其特征在于：
所述差值▽x按照以下的公式计算：
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；
所述差值▽y按照以下的公式计算：
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于：
所述A轴补偿移动▽x的步骤包括：
根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；
所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：
Zx＝▽x÷Pa；
控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx；
所述B轴补偿移动▽y的步骤包括：
根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；
所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：
Zy＝▽y÷Pb；
控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。
5.一种激光加工装置，其特征在于，包括：
联动模块，用于控制实现所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；
获取模块，用于当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；
换算模块，将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；
补偿模块，当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时，所述A轴补偿移动▽x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时，所述B轴补偿移动▽y。
6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，所述换算模块包括：
第一计算单元，用于分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；
第二计算单元，用于计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；
脉冲数量换算单元，根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述补偿模块包括：
第一差值计算单元，用于按照以下的公式计算所述差值▽x：
▽x＝L×Px×Ka-Gx；或者，▽x＝(L×Px-Qx)÷Kx；其中，L指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动的距离，Gx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时由所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述A轴的反馈信号的脉冲数量，Qx指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述X轴上移动预置距离时对应的所述X轴的反馈信号的脉冲数量；
第二差值计算单元，用于按照以下的公式计算所述差值▽y：
▽y＝M×Py×Kb-Gy；或者，▽y＝(M×Py-Qy)÷Ky；其中，M指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动的距离，Gy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时由所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成的所述B轴的反馈信号的脉冲数量，Qy指的是所述十字运动平台驱动所述工件在所述Y轴上移动预置距离时对应的所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。
8.根据权利要求6或7所述的激光加工装置，其特征在于，所述补偿模块还包括：
第一差值补偿单元，用于实现所述A轴补偿移动▽x的步骤：根据所述▽x计算在所述A轴上需要增加或者减少的X轴补偿距离Zx；所述X轴补偿距离Zx按照以下的公式计算：Zx＝▽x÷Pa；控制所述A轴增加移动或者减少移动X轴补偿距离Zx；
第二差值补偿单元，用于实现所述B轴补偿移动▽y的步骤：根据所述▽y计算在所述B轴上需要增加或者减少的Y轴补偿距离Zy；所述Y轴补偿距离Zy按照以下的公式计算：Zy＝▽y÷Pb；控制所述B轴增加移动或者减少移动Y轴补偿距离Zy。
9.一种激光加工设备，包括：至少一台激光器(100)、光路系统(200)、振镜扫描系统(300)、十字运动平台(400)以及控制部(500)；至少一台所述激光器(100)与所述光路系统(200)组装；所述光路系统(200)接入所述振镜扫描系统(300)；所述十字运动平台(400)用于装设和驱动工件；所述控制部(500)用于控制所述振镜扫描系统(300)和所述十字运动平台(400)；其特征在于，所述激光加工设备应用于权利要求1至4任意一项所述的激光加工方法。
10.一种非暂态计算机可读存储介质，其特征在于，所述非暂态计算机可读存储介质中存储有计算机指令，所述计算机指令适于处理器加载，以实现权利要求1至4任意一项所述的激光加工方法。
CN201811275510.4A 2018-10-30 2018-10-30 激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质 Active CN111112833B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811275510.4A CN111112833B (zh) 2018-10-30 2018-10-30 激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811275510.4A CN111112833B (zh) 2018-10-30 2018-10-30 激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111112833A true CN111112833A (zh) 2020-05-08
CN111112833B CN111112833B (zh) 2021-08-20

Family

ID=70484250

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811275510.4A Active CN111112833B (zh) 2018-10-30 2018-10-30 激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111112833B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111604581A (zh) * 2020-06-02 2020-09-01 烟台魔技纳米科技有限公司 一种激光加工的协作方法、系统、设备和介质

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009082984A (ja) * 2007-09-27 2009-04-23 Deere & Co レーザ切断のためのデバイスおよび方法
CN102152007A (zh) * 2011-03-15 2011-08-17 北京金橙子科技有限公司 一种精密的振镜校正系统及校正方法
CN104267670A (zh) * 2014-09-10 2015-01-07 成都乐创自动化技术股份有限公司 一种激光飞行打标硬件补偿方法及电路
CN106425120A (zh) * 2016-11-16 2017-02-22 深圳泰德激光科技有限公司 激光切割的校正方法和装置、激光切割系统
CN106994561A (zh) * 2016-01-26 2017-08-01 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种动态旋转打标控制系统和控制方法
CN108161241A (zh) * 2018-02-26 2018-06-15 长沙八思量信息技术有限公司 激光打标机控制方法、装置以及可读存储介质

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009082984A (ja) * 2007-09-27 2009-04-23 Deere & Co レーザ切断のためのデバイスおよび方法
CN102152007A (zh) * 2011-03-15 2011-08-17 北京金橙子科技有限公司 一种精密的振镜校正系统及校正方法
CN104267670A (zh) * 2014-09-10 2015-01-07 成都乐创自动化技术股份有限公司 一种激光飞行打标硬件补偿方法及电路
CN106994561A (zh) * 2016-01-26 2017-08-01 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种动态旋转打标控制系统和控制方法
CN106425120A (zh) * 2016-11-16 2017-02-22 深圳泰德激光科技有限公司 激光切割的校正方法和装置、激光切割系统
CN108161241A (zh) * 2018-02-26 2018-06-15 长沙八思量信息技术有限公司 激光打标机控制方法、装置以及可读存储介质

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111604581A (zh) * 2020-06-02 2020-09-01 烟台魔技纳米科技有限公司 一种激光加工的协作方法、系统、设备和介质

Also Published As

Publication number Publication date
CN111112833B (zh) 2021-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3091405B1 (en) Method, device and system for improving system accuracy of x-y motion platform
JP4997103B2 (ja) サーボ機構制御系のための適応コマンドフィルタリング
CN111553239B (zh) 一种机器人关节视觉伺服控制方法、终端设备及存储介质
CN110221541A (zh) 伺服系统中前馈控制器的前馈系数获取装置、方法
CN102129250B (zh) 运动载体光电设备惯性稳定瞄准线扫描方法
CN111112833B (zh) 激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质
CN109760047B (zh) 一种基于视觉传感器的舞台机器人预测控制方法
CN103792952A (zh) 用于提高激光发射系统瞄准精度的快速反射镜电控系统
US20160062325A1 (en) Motor control system compensating interference between axes
CN113031518A (zh) 基于迭代学习的数控机床快速误差补偿控制系统及方法
CN113635892B (zh) 车辆控制方法、装置、电子设备和计算机可读介质
CN107932505B (zh) 基于关节臂机器人的最优打磨任务路径规划方法和装置
Chen et al. Depth control of AUV using active disturbance rejection controller
DE112011104865B4 (de) Sensorsteuervorrichtung
CN102540877A (zh) 一种基于快速倾斜镜校正的振动控制装置的控制方法
US10919111B2 (en) Laser engraver mirror adjustment system
CN114415597B (zh) 一种平台振镜联动加工方法、系统、设备、装置及工控机
CN107491012A (zh) 一种振镜控制转换系统
JP4935981B2 (ja) レーザスキャニング装置
CN104714483A (zh) 激光加工的控制方法及系统
RU2325671C1 (ru) Следящая локационно-оптическая система сопровождения подвижных объектов
JP2013037448A (ja) 制御装置、照射装置及び駆動装置
CN111505768A (zh) 一种移动单模光纤跟瞄方法以及移动单模光纤跟瞄装置
KR20090128036A (ko) 펄스변조용 커넥터 및 모션 제어 펄스의 실시간 변조방법
CN116423084B (zh) 无需附加设备的2d振镜自动校正方法及系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20220727

Address after: 518000 101, building 6, Wanyan Industrial Zone, Qiaotou community, Fuhai street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province

Patentee after: Shenzhen Han's Semiconductor Equipment Technology Co.,Ltd.

Address before: 518000 9 new West Road, North Nanshan District high tech park, Shenzhen, Guangdong

Patentee before: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right