CN111108586B - 一种巨量转移装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种巨量转移装置及方法，所述巨量转移装置包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。

Description

一种巨量转移装置及方法
技术领域
本发明涉及巨量转移技术领域，尤其涉及的是一种巨量转移装置及方法。
背景技术
巨量转移装置应用于大量微元件(如Micro-LED)的转移，由于Micro-LED等微元件是分为R、G、B三色Micro-LED的，现有技术中的巨量转移装置通产采用的是全取、全转移的方式，无法选择性转移某一部分微元件。
因此，现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种巨量转移装置及方法，旨在解决现有技术中无法选择性转移某一部分微元件的问题。
本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：
一种巨量转移装置，其中，包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。
所述的巨量转移装置，其中，所述吸附孔呈第一点阵列分布。
所述的巨量转移装置，其中，所述真空孔呈第二点阵列或第一线阵列分布；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。
所述的巨量转移装置，其中，所述第一通孔呈第三点阵列或第二线阵列分布；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。
所述的巨量转移装置，其中，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的数量，所述第二线阵列中线的数量小于所述第一线阵列中线的数量。
所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第二通孔，所述第二通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/4处。
所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第三通孔，所述第三通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/2处。
所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第四通孔，所述第四通孔位于相邻两个所述第一通孔的3/4处。
一种巨量转移方法，其中，采用如上述任意一项所述巨量转移装置，所述方法包括步骤：
控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；
控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。
所述的巨量转移方法，其中，所述控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，包括：
控制滑板滑动第一距离以使第一通孔或第二通孔或第三通孔或第四通孔连通真空孔和吸附孔。
有益效果：通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。
附图说明
图1是本发明中巨量转移装置的第一结构示意图。
图2是本发明中巨量转移装置的第二结构示意图。
图3是本发明中滑板的第一结构示意图。
图4是本发明中巨量转移装置的第一截面图。
图5是本发明中巨量转移装置的第二截面图。
图6是本发明中巨量转移装置转移的示意图。
图7是本发明中滑板的第二结构示意图。
图8是本发明中巨量转移装置的第三截面图。
图9是本发明中巨量转移装置的第四截面图。
图10是本发明中巨量转移装置的第五截面图。
图11是本发明中巨量转移装置的第六截面图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请同时参阅图1-图11，本发明提供了一种巨量转移装置的一些实施例。
如图4所示，本发明的一种巨量转移装置，包括：壳体10、设置在所述壳体10内的滑板20；所述壳体10背面设置有用于吸附微元件30的吸附孔121，所述壳体10正面设置有真空孔111，所述滑板20上设置有第一通孔21，所述滑板20可在所述壳体10内滑动并通过所述第一通孔21连通或断开所述吸附孔121和所述真空孔111。
具体地，如图-图4所示，壳体10包括：相互连接的面板11和底板12；真空孔111位于面板11上并贯穿面板11，吸附孔121位于底板12上并贯穿底板12。面板11和底板12之间有间隙，滑板20位于间隙内，间隙的高度与滑板20的厚度相匹配，以使滑板20可在间隙内滑动且不会漏风。
值得说明的是，通过控制滑板20滑动第一距离并连通对应的真空孔111和吸附孔121，即可进行巨量转移；控制滑板20滑动第二距离并连通对应的真空孔111和吸附孔121，也可以进行巨量转移；其中，滑板20滑动第二距离时连通的真空孔111和吸附孔121与滑板20滑动第一距离时连通的真空孔111和吸附孔121不同。也就是说，通过控制滑板20的滑动距离可以选择性连通真空孔111和吸附孔121。
在本发明的一个较佳实施例中，如图2所示，所述吸附孔121呈第一点阵列分布。具体地，微元件30通常采用点阵列分布，因此，将吸附孔121设置成相应的点阵列分布，当然这里的点阵列可以是行列矩阵、圆形矩阵等，采用行列矩阵时，则滑板20沿行或列的方向滑动；采用圆形矩阵时，则滑板20以圆心为转轴，沿圆周方向转动(滑动)。本实施例中以行列矩阵进行说明。
在本发明的一个较佳实施例中，所述真空孔111呈第二点阵列或第一线阵列分布(如图1所示)；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔121的连线对应设置。具体地，真空孔111形成第二点阵列，第二点阵列与第一点阵列对应设置，也就是说，真空孔111必须覆盖所有的吸附孔121，使得每个吸附孔121都能够吸附微元件30。也可以将吸附孔121的点连成线，则形成线阵列，例如，将点阵列的每行或列连接起来形成一行或一列，如此每一行或一列可共用一个真空通道与真空机连接，这一行或一列的真空度也一致，吸附力也相同。
在本发明的一个较佳实施例中，所述第一通孔21呈第三点阵列或第二线阵列分布(如图3所示)；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔121的连线对应设置。
具体地，滑板20上的第一通孔21可以是覆盖所有的吸附孔121，也可以仅覆盖部分的吸附孔121。若干第一通孔21覆盖所有的吸附孔121，则第一通孔21一次可以连通所有的真空孔111和吸附孔121，实现全转移。若第一通孔21覆盖部分吸附孔121，则第一通孔21一次只能连通部分真空孔111和吸附孔121，实现部分转移；在控制滑板20滑动后第一通孔21可以连通另外一部分的真空孔111和吸附孔121，实现相应的部分转移。例如，如图4和图5所示，三色Micro-LED采用均匀分布，每种颜色依次排列，第一通孔21每一次只对应一种颜色，滑板20滑动后可对应第二种颜色，继续滑动滑板20可对应第三种颜色，从而实现不同颜色的选择性转移。
在本发明的一个较佳实施例中，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的数量，如图1-图3所示，所述第二线阵列中线的数量小于所述第一线阵列中线的数量。具体地，采用更少的点的数量或线的数量，可以实现部分转移。具体地，如图4-图5所示，吸附孔121包括：依次设置的第一子吸附孔121a、第二子吸附孔121b、第三子吸附孔121c；以第一子吸附孔121a、第二子吸附孔121b、第三子吸附孔121c为一个重复单元进行重复排布则形成整个吸附孔121。若相邻两个第一吸附孔121的间距为D，相邻两个子吸附孔的间距为3D，也即相邻两个第一吸附孔121的间距的3倍。如图4-图5所示，第一通孔21仅覆盖第一子吸附孔121a、第二子吸附孔121b或第三子吸附孔121c，通过控制滑板20每移动D，则可改变其连通第一子吸附孔121a、第二子吸附孔121b或第三子吸附孔121c，从而可以选择性吸附3种微元件30。
在本发明的一个较佳实施例中，如图7和图11所示，所述滑板20上设置有第二通孔22，所述第二通孔22位于相邻两个所述第一通孔21的1/4处。所述滑板20上设置有第三通孔23，所述第三通孔23位于相邻两个所述第一通孔21的1/2处。所述滑板20上设置有第四通孔24，所述第四通孔24位于相邻两个所述第一通孔21的3/4处。
具体地，在第一通孔21的基础上，设置第二通孔22、第三通孔23或者第四通孔24，可进一步加强巨量转移装置的可选性。例如，第一通孔21采用全覆盖吸附孔121的形式，用第一通孔21连通吸附孔121和真空孔111，则可实现全转移(如图7-图8所示)。第二通孔22、第三通孔23、第四通孔24均采用部分覆盖的形式。相邻两个第一通孔21之间的距离记为D，则第二通孔22位于相邻两个第一通孔21的1/4D处，也就是说，滑板20移动1/4D(或3/4D)时，第二通孔22可替换部分第一通孔21，连通部分吸附孔121和真空孔111，实现部分转移(如图7、图9-图11所示)。同理，滑板20移动1/2D时，第三通孔23可替换部分第一通孔21，连通部分吸附孔121和真空孔111；滑板20移动3/4D(或1/4D)时，第四通孔24可替换部分第一通孔21，连通部分吸附孔121和真空孔111。
第一通孔21、第二通孔22、第三通孔23、第四通孔24中，可以任选一种或多种设置在滑板20上。例如，第一通孔21、第二通孔22、第三通孔23、第四通孔24均设置在滑板20上时，第一通孔21覆盖全部吸附孔121，第二通孔22、第三通孔23、第四通孔24均覆盖1/3的吸附孔121。为了尽量减小滑板20的移动距离，第二通孔22、第三通孔23、第四通孔24靠近其覆盖的吸附孔121设置，具体地，如图所示，第一通孔21包括：依次设置的第一子通孔21a、第二子通孔21b、第三子通孔21c；以第一子通孔21a、第二子通孔21b、第三子通孔21c为一个重复单元进行重复排布则形成整个第一通孔21。若相邻两个第一通孔21的间距为D，相邻两个子通孔(如相邻两个第一子通孔21a)的间距为3D，也即相邻两个第一通孔21的间距的3倍。那么第二通孔22位于第三子通孔21c与第一子通孔21a的1/4处；第三通孔23位于第一子通孔21a和第二子通孔21b的1/2处，或者位于第二子通孔21b和第三子通孔21c的1/2处；第四通孔24位于第三子通孔21c与第一子通孔21a的3/4处。第二通孔22向第三子通孔21c的方向滑动1/4D，则只有第三子吸附孔121c连通(如图8和图11所示)；第三通孔23向第二子通孔21b方向滑动1/2D，则只有第二子吸附孔121b连通(如图8和图10所示)；第四通孔24向第一子通孔21a的方向滑动1/4D，则只有第一子吸附孔121a连通(如图8和图9所示)。
基于上述巨量转移装置，本发明还提供了一种巨量转移方法的较佳实施例：
如图1所示，本发明实施例所述的巨量转移方法，包括以下步骤：
步骤S100、控制滑板20滑动第一距离并连通对应的真空孔111和吸附孔121，并进行巨量转移。
具体地，控制滑板20滑动第一距离以使第一通孔21、第二通孔22、第三通孔23或第四通孔24连通真空孔111和吸附孔121。采用不同通孔连通真空孔111和吸附孔121时可以实现全部或部分转移。
步骤S200、控制滑板20滑动第二距离并连通对应的真空孔111和吸附孔121，并进行巨量转移；其中，滑板20滑动第二距离时连通的真空孔111和吸附孔121与滑板20滑动第一距离时连通的真空孔111和吸附孔121不同。
具体地，控制滑板20不同距离时，可以改变连通的真空孔111和吸附孔121，从而达到选择性转移。
综上所述，本发明所提供的一种巨量转移装置及方法，所述巨量转移装置包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。
应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。
2.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述吸附孔呈第一点阵列分布。
3.根据权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述真空孔呈第二点阵列或第一线阵列分布；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。
4.根据权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一通孔呈第三点阵列或第二线阵列分布；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。
5.根据权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的数量，所述第二线阵列中线的数量小于所述第一线阵列中线的数量。
6.根据权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述滑板上设置有第二通孔，所述第二通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/4处。
7.根据权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述滑板上设置有第三通孔，所述第三通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/2处。
8.根据权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述滑板上设置有第四通孔，所述第四通孔位于相邻两个所述第一通孔的3/4处。
9.一种巨量转移方法，其特征在于，采用如权利要求1-8任意一项所述巨量转移装置，所述方法包括步骤：
控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；
控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。
10.根据权利要求9所述的巨量转移方法，其特征在于，所述控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，包括：
控制滑板滑动第一距离以使第一通孔或第二通孔或第三通孔或第四通孔连通真空孔和吸附孔；所述第二通孔、所述第三通孔以及所述第三通孔设置于所述滑板，所述第二通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/4处，所述第三通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/2处，所述第四通孔位于相邻两个所述第一通孔的3/4处。
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