CN111094918B - 显微光谱仪模块和用于借助于显微光谱仪模块来记录光谱的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种显微光谱仪模块（100），其由以下组成：光学谐振器（102），用于对光进行滤波；探测装置（104），用于探测被光学谐振器（102）透射的光；和聚焦元件（106）。光学谐振器（102）关于所要滤出的波长范围方面可调。探测装置（104）具有至少一个第一探测元件（108）和至少一个第二探测元件（110）。聚焦元件（106）成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束偏转到第一探测元件（108）上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束偏转到第二探测元件（110）上。

Description

显微光谱仪模块和用于借助于显微光谱仪模块来记录光谱的 方法

技术领域

本发明的出发点是一种根据独立权利要求的前序部分所述的设备或方法。本发明的主题也是一种计算机程序。

背景技术

在US 20140320858 A1中提出了一种显微光谱仪，该显微光谱仪基于光学滤波器、透镜和探测器阵列。视光以哪个角度射到滤波器上而定，使不同的波长范围透过。接着，通过透镜使不同角度的光分别成像到探测器阵列的不同位置并且因此获得光谱。在此，取决于光学滤波器，只能检查大约35nm的波长间隔。为了增加能检查的波长范围，需要使用分辨率高的分段光学滤波元件、微透镜阵列和探测器阵列。然而，在此，来自微透镜阵列的不同区段的光可能在探测器阵列上交叠，这可能导致测量错误。

发明内容

在该背景下，利用这里所提出的方案，提出了根据独立权利要求所述的一种显微光谱仪模块、一种用于借助于显微光谱仪模块来记录光谱的方法，还有一种应用该方法的设备，以及最后一种相对应的计算机程序。通过在从属权利要求中提及的措施，对在独立权利要求中说明的设备的有利的扩展和改进都是可能的。

显微光谱仪例如可以基于可调的、直接布置在单个探测器上的法布里-珀罗干涉仪来实现。在此，所希望的被透过的波长通过法布里-珀罗干涉仪的镜间距来调整，并且测量探测器信号。然而，在该方案中，可用的角度范围（当想要获得良好的分辨率时）受限制，这限制了可探测的光并且因此限制了信噪比。由此，也可以相对应地提高测量时间，因为分别只测量一个波长的信号。

在此，这里所描述的方案的特别之处不是在于滤波器、透镜和探测器阵列的组合，而是在于与可调滤波器的组合。在使用可调滤波器方面的优点在于该可调滤波器更有利，因为需要小得多的探测器面积（以及仅仅一个透镜）。这一点即使在探测器较昂贵的情况下也能够使用。

因而，提出了一种具有如下特征的显微光谱仪模块：

光学谐振器，用于对光进行滤波，其中该光学谐振器关于一个所要滤出的波长范围或者多个所要滤出的波长范围方面可调；

探测装置，用于探测被该光学谐振器透射的光，其中该探测装置具有至少一个第一探测元件和至少一个第二探测元件；和

聚焦元件，该聚焦元件成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束偏转到第一探测元件上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束偏转到第二探测元件上。

显微光谱仪模块可以被理解成用于借助于光学谐振器来分析光的光谱成分的微型模块。例如，显微光谱仪模块可以是用于（近）红外光谱的微型光谱仪。光学谐振器例如可以是法布里-珀罗谐振器，该法布里-珀罗谐振器由两个彼此对置地布置的（部分透光的）镜元件构成。这两个镜元件例如可以彼此以确定的间距平行布置，该间距也可被称作腔体长度。该间距例如可以为了借助于适当的镜驱动来调节该光学谐振器而可变。探测装置可以被理解为光感测器，比如以CCD或CMOS传感器、光电二极管或光电晶体管形式的光感测器。探测装置例如可以实现为由像素作为探测元件来构成的探测器阵列或者由至少两个单独的单探测器作为探测元件来构成的装置。按照一个实施方式，探测元件可以由多个单独的探测像素组成。聚焦元件可以被理解为透镜、例如凸透镜。有利地，这种透镜可以是消色差的。

这里所提出的方案基于如下认识：可调光学谐振器、比如法布里-珀罗干涉仪可以与透镜形式的傅里叶变换元件和探测器阵列或多个单探测器相结合，以便可以进行对所要检查的光谱的分辨率高的取决于角度的测量。有利地，由此可以省去对多个光路径的花费高的光学隔离，如其例如在使用具有副滤波系统的微透镜阵列时所需的那样。这里所提出的方案还能够实现测量时间短并且光效率高。

按照一个实施方式，聚焦元件可以实现为透镜、消色差透镜或者反射器、例如镜。由此，可以避免测量误差。

聚焦元件可以布置在光学谐振器与探测装置之间。由此，显微光谱仪模块可以非常紧凑地来实施。

也有利的是：光学谐振器实现为法布里-珀罗干涉仪。由此，显微光谱仪模块可以精确地针对不同的波长范围来调整。

探测装置还可具有至少一个第三探测元件。在此，聚焦元件可以成型用来使透射光的至少一个在第三入射角范围之内射入的光束偏转到该至少一个第三探测元件上。由此，即使在测量宽的波长范围的情况下也可以实现高分辨率。因此，探测装置可具有多个探测元件。因此，可以实现精细分段的探测装置，其中例如CMOS/CCD探测器的每个像素或精细的像素段都被用于进行分析。

按照另一实施方式，显微光谱仪模块可具有至少一个前置于探测装置的预滤器，用于对光进行预滤波。由此，可以滤出不期望的干涉。在此，预滤器可以布置在光学谐振器前面或者可以布置在光学谐振器后面。其任务在于将法布里-珀罗的单个的或所希望的干涉级滤出的预滤器也可以构造为另一光学谐振器。通过该预滤器，可以对光高效地进行预滤波。由此，尤其可以视应用而定来精确地调整所要滤出的波长范围，或可以避免通过不期望的级引起的干扰。

显微光谱仪模块可具有至少一个光源，用于照射要借助于该显微光谱仪模块来分析的对象。由此，所要分析的对象可以有针对性地用确定的波长范围的光来照明。

这里所提出的方案还提供了一种用于借助于按照上述实施方式之一的显微光谱仪模块来记录光谱的方法，其中该方法包括如下步骤：

对光学谐振器进行操控，以便将该光学谐振器调整到被分配给所预期的光谱的中央波长；而且

对探测装置进行读取，以便获得至少一个强度值，其中该强度值表示由第一探测元件来探测的在第一入射角范围之内射入的光束的强度和/或由第二探测元件来探测的在第二入射角范围之内射入的光束的强度。

在操控的步骤中，可以根据预期有怎样的光谱来开始在另一波长的情况下进行测量。在操控的步骤中，例如可以将电操控信号提供给光学谐振器的接口。在此，该操控信号可适合于操控光学谐振器，使得调整出所希望的中央波长。例如，该操控信号可适合于操控谐振器的执行器，使得将该谐振器的至少一个镜元件移动到被分配给所希望的中央波长的位置。该强度值可以以电信号的形式通过与探测装置的接口来读取。如果存在n个探测元件，则该强度值可以是n元组值。

按照另一实施方式，操控的步骤可以作为对读取的响应而再次被实施，以便将光学谐振器调整到与中央波长相邻的另一中央波长。读取的步骤可以作为对调整到另一中央波长的响应而再次被实施，以便获得至少一个其它强度值，其中该其它强度值可表示透射光的在第一入射角范围之内射入的其它光束的由第一探测元件探测的强度，或者附加地或替选地可表示透射光的在第二入射角范围之内射入的其它光束的由第二探测元件探测的强度。由此，能够实现对整个光谱的持续扫描。尤其是，在这种情况下，光谱的不同分区可以重叠地被扫描或者也可以分别被扫描多次。换言之，对该方法的步骤的重复实施能够实现对整个所希望的光谱范围的逐步巡视。

该方法例如可以以软件或硬件或者以软件和硬件的混合形式来实现，例如在控制设备中实现。

这里所提出的方案还提供了一种设备，该设备被构造为在相对应的装置中执行、操控或实现这里所提出的方法的变型方案的步骤。通过本发明的以设备形式的所述实施变型方案，也可以快速并且高效地解决本发明所基于的任务。

为此，该设备可具有：至少一个计算单元，用于处理信号或数据；至少一个存储单元，用于存储信号或数据；至少一个与传感器或执行器的接口，用于从传感器读入传感器信号或者用于将数据信号或控制信号输出给执行器；和/或至少一个通信接口，用于读入或输出嵌入到通信协议中的数据。计算单元例如可以是信号处理器、微控制器或者诸如此类的，其中存储单元可以是闪速存储器、EPROM或者磁存储单元。通信接口可以被构造为无线地和/或有线地读入或输出数据，其中可以读入或输出有线数据的通信接口可以例如电地或光学地从相对应的数据传输线中读入这些数据或者可以例如电地或光学地将这些数据输出到相对应的数据传输线中。例如，传感器也可以被用在移动终端设备、诸如智能电话中，在该移动终端设备中，例如也可以使用终端设备的存储器。

当前，设备可以被理解为电气设备，所述电气设备对传感器信号进行处理并且根据此来输出控制和/或数据信号。该设备可具有接口，所述接口可以硬件式地和/或软件式地来构造。在硬件式的构造方案中，接口例如可以是所谓的系统ASIC的部分，所述部分包含该设备的各种各样的功能。然而也可能的是，这些接口是特有的集成电路或者至少部分地由分立式器件组成。在软件式的构造方案中，这些接口可以是软件模块，所述软件模块例如除了其它软件模块之外也存在于微控制器上。

也有利的是一种具有程序代码的计算机程序产品或计算机程序，所述程序代码可以存储在机器可读的载体或者存储介质（如半导体存储器、硬盘存储器或光学存储器）上而且尤其是在程序产品或程序在计算机或设备上实施时被用于执行、实现和/或操控根据上述实施方式之一所述的方法的步骤。

附图说明

本发明的实施例在附图中示出并且在随后的描述中进一步予以阐述。其中：

图1示出了按照一个实施例的显微光谱仪模块的示意图；

图2示出了没有透镜的光谱仪的示意图；

图3示出了用于呈现在图2中的光谱仪中透射的波长的图表；

图4示出了如下光束的示意图，该光束在第一入射角范围之内射入到图1中的显微光谱仪模块中；

图5示出了用于呈现图4中的光束的所测量的强度、即每个波长的功率的图表；

图6示出了如下光束的示意图，这些光束在第二入射角范围之内射入到图1中的显微光谱仪模块中；

图7示出了用于呈现图6中的光束的所测量的强度的图表；

图8示出了如下光束的示意图，这些光束在第三入射角范围之内射入到图1中的显微光谱仪模块中；

图9示出了用于呈现图8中的光束的所测量的强度的图表；

图10示出了按照一个实施例的显微光谱仪模块的示意图；

图11示出了按照一个实施例的设备的示意图；而

图12示出了按照一个实施例的方法的流程图。

在随后对本发明的有利的实施例的描述中，相同或者类似的附图标记被用于在不同的附图中示出的并且起类似作用的要素，其中省去了对这些要素的重复的描述。

具体实施方式

图1示出了按照一个实施例的显微光谱仪模块100的示意图。显微光谱仪模块100包括：用于对光进行滤波的光学谐振器102，例如可调法布里-珀罗干涉仪；探测装置104，用于探测被光学谐振器102透射的光；以及聚焦元件106，该聚焦元件这里示例性地以具有焦距f的透镜106的形式来实现。替代这种透镜106，该聚焦元件也可以实现为聚焦镜。探测装置104例如实现为探测器阵列，该探测器阵列具有至少一个第一探测段108和至少一个第二探测元件110。探测装置104以距透镜106的与焦距f相对应的间距来布置，其中按照该实施例的透镜106布置在光学谐振器102与探测装置104之间。透镜106被设计用来使在第一入射角范围、例如相对于垂线的第一入射角范围之内射到光学谐振器102上的光偏转到第一探测段108上。而透镜106使在第二入射角范围之内射到光学谐振器102上的光偏转到第二探测元件110上。例如，透镜106实现为消色差凸透镜。

视实施例而定，探测装置104附加地包括至少一个第三探测元件112。与此相应地，透镜106使在第三入射角范围之内射到光学谐振器102上的光偏转到第三探测段112上。探测装置104尤其具有多个探测元件，用于对被光学谐振器102透射的光的强度的角度分辨的测量。

为了记录光谱，首先借助于可调光学谐振器102来调整所要检查的波长间隔。为此，可以将适当的操控信号提供给谐振器102的接口。接着，经预滤波的光借助于透镜106视光的入射角而定被成像到探测装置104的不同位置上。因为光学谐振器102的透射波长取决于角度，所以在探测装置104的不同的位置探测不同的波长范围。因此，利用对光学谐振器102的每次调整，可以在非常好的分辨率的情况下检查大的波长范围。因此，显微光谱仪模块100具有高的光效率和非常好的信噪比。此外，测量时间很短。

例如，这样可以使用和分析几百纳米的波长范围。即使高于1050nm的波长，这里所提出的方案也能够实现为了光谱学目的的成本低廉的使用，因为不需要精细分段的探测器阵列而且也可以省去在各个微透镜元件之间的光路的花费高的并且昂贵的隔离。有利地，在此只需要微小的探测器面积。所提到的优点也适用于低于1100nm的波长范围。

由于光学谐振器102的简单的可调性，可以特别精确地并且信噪比良好地来扫描光谱的重要范围。例如，可以通过巧妙选择的重叠来避免误差。

按照一个实施例，显微光谱仪模块100包括可调法布里-珀罗干涉仪、傅里叶变换元件或透镜和探测器阵列或者多个单探测器。在此，该傅里叶变换元件或该透镜直接位于该可调法布里-珀罗干涉仪后面。探测器阵列或单探测器布置在透镜的焦平面内，如这在图1中示出的那样。

优选地，光由所要检查的样品直接引到该可调法布里-珀罗干涉仪上。为此，视实施例而定，可选地将不同的光学组件、比如透镜、（定向）漫射器或者对视野进行限制的元件集成到显微光谱仪模块100中。

图2示出了光谱仪200的示意图。示出了经过法布里-珀罗干涉仪202射到探测器204上的光束的光路。由于光在不同的角度下射到法布里-珀罗干涉仪202上，总共使更宽的波长范围透过，这导致光谱仪200的分辨率相对应地变差。

图3示出了用于呈现在图2中的光谱仪中透射的波长的图表300。示出了光取决于波长地经过光谱仪的透射。曲线302表示总共被透过的波长范围。

图4示出了光束400的示意图，该光束在第一入射角范围之内射入到图1中的显微光谱仪模块100中。这里，第一入射角范围示例性地对应于为0-7度的入射角。与此相应地，透镜106使光束400聚焦到第一探测元件108上。

图5示出了用于呈现图4中的光束的所测量的强度、即每个波长的功率的图表500。示出了取决于波长λ的透射T。透过的波长用λ₁来表征。

图6示出了光束600的示意图，这些光束在第二入射角范围之内射入到图1中的显微光谱仪模块100中。这里，第二入射角范围表示例如为7-10度的入射角。与此相应地，光束600借助于透镜106被聚焦到第二探测元件110上。

图7示出了用于呈现图6中的光束的所测量的强度的图表700。示出了取决于波长λ的透射T。透过的波长用λ₂来表征。

图8示出了光束800的示意图，这些光束在第三入射角范围之内射入到图1中的显微光谱仪模块100中。这里，第三入射角范围例如表示为10-12.5度的入射角范围，其中第二入射角范围处在第一入射角范围与第三入射角范围之间。这些入射角范围可以重叠。与此相应地，透镜106使光束800聚焦到第三探测元件112上。

图9示出了用于呈现图8中的光束的所测量的强度的图表900。示出了取决于波长λ的透射T。透过的波长用λ₃来表征。

从图4至9中能看到：利用所集成的透镜106，由于入射角不同而不一样地被透过的波长被成像到探测装置104的不同区域上并且因此彼此能区分地可测量。

视在光学谐振器102的两个镜之间的间距而定，对于每个入射角来说只使确定的波长透过。如果光垂直地射到光学谐振器102上，则在镜间距给定的情况下只有具有波长λ₁（以及更高阶）的光被透过。如果光现在以相对于垂线的角度α射到光学谐振器102上，则透过范围例如向着λ₂移动到蓝色。如果入射光具有相对于垂线还更大的角度，则只有波长λ₃被透射。如果具有不同入射角的光射到没有附加的透镜的光学谐振器上，如例如在图2中示出的那样，则不同的波长间隔的光被透过（λ₁、λ₂、λ₃）。光发生重叠，借此波长分辨率明显变差，如这从图3中可见的那样。

为了防止这一点，按照这里所提出的方案，将附加的透镜106放到光学谐振器102与探测装置104之间。由此，具有不同入射角的光被成像在优选地消色差的透镜106的焦平面内的不同位置。相对于垂线的角度α越大，焦点在透镜106的焦平面内的空间移动就越大。因此，在使用探测器阵列或者多个单探测器的情况下，可以在不同的被透过的波长范围之间良好地进行区分，如这从图5、7和9中可见的那样。

例如，在具有Si/SiN镜层和为1300nm的中央波长的法布里-珀罗干涉仪的情况下，针对相对于垂线的为0至7度的角度范围可以实现被透过的波长段的为10nm的半值宽度（FWHM）。针对7至10度的角度范围，该半值宽度同样为10nm而中央波长被移动了大约7nm。针对10至12.5度的角度范围，该半值宽度又为10nm而中央波长再被移动了9nm，以此类推。因此，对于可调法布里-珀罗干涉仪在几十nm的波长范围内的固定调整，可以记录光谱分辨率和探测效率非常好的光谱。

图10示出了按照一个实施例的显微光谱仪模块100的示意图。示出了经过显微光谱仪模块100的光束400、600、800的相应的光路。这里，探测装置104被实施得具有与图1和4至9相比明显减小的探测器面积。如通过图10中的箭头所表明的那样，光学谐振器102可调。

图11示出了按照一个实施例的设备1100的示意图。设备1100例如构造用来借助于上文依据图1和4至10来描述的显微光谱仪模块来记录光谱。为此，设备1100具有操控单元1110，用来输出用于操控该光学谐振器的操控信号1112。借助于操控信号1112，将该光学谐振器调整到被分配给所要检查的光谱的中央波长。读取单元1120被构造用来同样接收操控单元1110的操控信号1112并且在使用操控信号1112的情况下对探测装置进行读取。在这种情况下，读取单元1120通过与该探测装置的适当的接口来接收至少一个强度值1122，按照该实施例，该强度值表示由第一探测段来探测的在第一入射角范围之内射入的光束的强度、由第二探测段来探测的在第二入射角范围之内射入的光束的强度以及必要时表示由第三探测段来探测的在第三入射角范围之内射入的光束的强度。

图12示出了按照一个实施例的方法1200的流程图。用于记录光谱的方法1200例如可以在使用如上文依据图11所描述的设备的情况下来实施。在此，在步骤1210中，对光学谐振器进行操控。在接下来的步骤1220中，作为对操控光学谐振器的响应，对探测装置进行读取。为了完整地记录光谱，例如依次调整出光学谐振器的不同的中央波长，其中分别执行角度分辨的测量，如这随后进一步予以描述的那样。

为了记录光谱，首先将可调法布里-珀罗干涉仪调整到所希望的第一中央波长（例如在所希望的光谱的边缘），而且同时借助于探测装置来测量该中央波长周围的不同的波长段。接着，使可调法布里-珀罗干涉仪的中央波长移动，使得新的中央波长对应于上一个中央波长的最外侧被探测的波长区域。又记录不同的波长段。这一直被执行，直至整个光谱都被记录。在此，光谱的特别重要的区域也可以多次被测量，例如也可以在不同的重叠的情况下来测量。

视所要检查的光的波长而定，使用不同类型的探测器或探测器阵列来探测被透过的光，例如由Si、Ge、InGaAs、Si上Ge或PbSe构成的探测器。

有利地，通过巧妙地选择透镜以及探测器的直径和焦距，可以使探测器的面积保持得非常小，如这从图10中可见的那样。由此，可以降低制造成本。

按照一个实施例，将边缘或带通滤波器前置于法布里-珀罗干涉仪滤波系统，用于将不期望的级滤出。这也可以通过多个串行的法布里-珀罗干涉仪来实现。

显微光谱仪模块例如与适当的照明系统一起被集成到外壳中。该照明系统包括：光源，用于照射要借助于显微光谱仪模块来检查的对象；以及可选地光导或准直光学装置。例如使用白炽灯、热辐射器、激光器、发光二极管、必要时与照明装置相结合的发光二极管或者等离子体辐射源或者所提到的辐射源中的至少两个辐射源的组合，作为光源。视实施例而定，该照明系统包括多个在光谱上重叠的光源。该光源例如能机械、光学或电调制，以便能够实现锁定（Lock-In）探测。接着，将光束引导到样品上。

尤其是，借助于锁定技术来探测非常小或受噪声干扰的信号。

对于在信噪比方面不那么好却分辨率高的光谱来说，探测装置的像素例如单独地被读取并且被分配给它们相应的波长。对于信噪比方面良好却分辨率差的光谱来说，将多个像素的强度集成为总强度。

如果一个实施例包括在第一特征与第二特征之间的“和/或”逻辑关系，那么这能被解读成，该实施例按照一个实施方式不仅具有第一特征而且具有第二特征，而按照另一实施例只具有第一特征或者只具有第二特征。

Claims (11)

1.一种显微光谱仪模块（100），其具有如下特征：

光学谐振器（102），用于对光进行滤波，其中所述光学谐振器（102）关于至少一个所要滤出的波长范围方面可调；

探测装置（104），用于探测被所述光学谐振器（102）透射的光，其中所述探测装置（104）具有至少一个第一探测元件（108）和至少一个第二探测元件（110）；

聚焦元件（106），所述聚焦元件成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束（400）偏转到所述第一探测元件（108）上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束（600）偏转到所述第二探测元件（110）上；

操控单元（1110），用于输出操控所述光学谐振器（102）的操控信号（1112），其中借助于所述操控信号（1112）将所述光学谐振器（102）调整到分配给待检查光谱的中央波长；和

读取单元（1120），其被构造为从所述操控单元（1110）接收所述操控信号（1112）并且使用所述操控信号（1112）读取所述探测装置（104），其中所述读取单元（1120）经由至所述探测装置（104）的接口接收至少一个强度值（1122），所述强度值表示由所述第一探测元件（108）探测的在第一入射角范围之内射入的光束的强度和由所述第二探测元件（110）探测的在第二入射角范围之内射入的光束的强度，其中对于信噪比不好而分辨率高的光谱，单独地读取所述探测装置（104）的探测元件（108、110）并且将所述探测元件分配给其相应的波长，以及对于信噪比良好而分辨率差的光谱，将所述探测元件（108、110）的强度集成为总强度。

2.根据权利要求1所述的显微光谱仪模块（100），其中所述聚焦元件（106）被实现为透镜、消色差透镜、衍射光学元件或者反射器。

3.根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块（100），其中所述聚焦元件（106）布置在所述光学谐振器（102）与所述探测装置（104）之间。

4.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），其中所述光学谐振器（102）被实现为法布里-珀罗干涉仪。

5.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），其中所述探测装置（104）具有至少一个第三探测元件（112），其中所述聚焦元件（106）成型用来使透射光的至少一个在第三入射角范围之内射入的光束（800）偏转到所述至少一个第三探测元件（112）上。

6.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），所述显微光谱仪模块具有至少一个前置于所述探测装置（104）的预滤器，用于对光进行预滤波。

7.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），所述显微光谱仪模块具有至少一个光源，用于照射要借助于所述显微光谱仪模块（100）来分析的对象。

8.一种用于借助于根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块（100）来记录光谱的方法（1200），其中所述方法（1200）包括如下步骤：

对所述光学谐振器（102）进行操控（1210），以便将所述光学谐振器（102）调整到被分配给所预期的光谱的中央波长；而且

对所述探测装置（104）进行读取（1220），以便获得至少一个强度值（1122），其中所述强度值（1122）表示由所述第一探测元件（108）来探测的在所述第一入射角范围之内射入的光束（400）的强度和/或由所述第二探测元件（110）来探测的在所述第二入射角范围之内射入的光束（600）的强度，其中对于信噪比不好而分辨率高的光谱，单独地读取探测元件（108、110）并且将所述探测元件分配给其相应的波长，以及对于信噪比良好而分辨率差的光谱，将所述探测元件（108、110）的强度集成为总强度。

9.根据权利要求8所述的方法（1200），其中所述操控（1210）的步骤作为对所述读取（1220）的响应而再次被实施，以便将所述光学谐振器（102）调整到与所述中央波长相邻的另一中央波长，其中所述读取（1220）的步骤作为对调整到所述另一中央波长的响应而再次被实施，以便获得至少一个其它强度值，其中所述其它强度值表示透射光的在所述第一入射角范围之内射入的其它光束的由所述第一探测元件（108）探测的强度和/或透射光的在所述第二入射角范围之内射入的其它光束的由所述第二探测元件（110）探测的强度。

10.一种用于借助于显微光谱仪模块（100）记录光谱的设备（1100），所述设备具有单元（1110、1120），所述单元被构造为：实施和/或操控根据权利要求8至9中任一项所述的方法（1200）。

11.一种机器可读的存储介质，在其上存储有指令，所述指令在被执行时促使计算机执行根据权利要求8至9中任一项所述的方法。

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