CN111037135A - 一种铍与不锈钢的焊接方法及铍窗与不锈钢窗的焊接方法 - Google Patents
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Abstract
一种铍与不锈钢的焊接方法及铍窗与不锈钢窗的焊接方法,所述铍与不锈钢的焊接方法包括步骤:在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10‑20%的InGa合金加热至熔融状态;将铍与不锈钢预热;将熔融的InGa合金涂布于不锈钢上;将铍放置于涂有熔融InGa合金的不锈钢上;等待自然冷却。本发明提供的一种铍与不锈钢的焊接方法及铍窗与不锈钢窗的焊接方法,可以将铍与不锈钢焊接在一起,从而将铍窗与不锈钢窗焊机在一起,在不造成信号损失的情况下保证了XRF设备的气密性;同时该焊接方法具有低温焊接特性,焊接件在具有一定机械强度的同时具有一定的抗环境老化能力。
Description
技术领域
本发明属于在线测试装置技术领域,具体涉及一种铍与不锈钢的焊接方法及铍窗与不锈钢窗的焊接方法。
背景技术
XRF(X射线荧光分析)设备具有能量型及色散型两种类型,其中能量型XRF设备结构较色散型简单,在便携式检测和在线检测中应用广泛。
常规的检测环境多为大气环境。但是随着生产技术的更新换代,工艺人员对在线检测技术的要求越来越高,近年来在线检测装置使用环境逐渐变得复杂起来。其中,真空设备多用于半导体材料制备,制备过程中材料处于真空环境中。在工艺过程中需要腔室内视工艺需求保持在低真空-超高真空之间。同时由于沉积手段不同会伴随着使用环境多样化及复杂化。
现有材料中XRF探测装置过渡窗口材料最优材质为金属铍。但是由于铍与不锈钢可焊性很差,常规焊接手段无法满足工艺要求,从而使得铍窗与不锈钢过渡窗口无法很好地连接。
发明内容
为解决上述问题,本申请提供了一种铍与不锈钢的焊接方法,所述方法包括步骤:
在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10-20%的InGa合金加热至熔融状态;
将铍与不锈钢预热;
将熔融的InGa合金涂布于不锈钢上;
将铍放置于涂有熔融InGa合金的不锈钢上;
等待自然冷却。
本申请还提供了一种铍窗与不锈钢窗的焊接方法,所述方法包括步骤:
对铍窗和不锈钢窗的焊接面进行增加粗糙度处理;
在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10-20%的InGa合金加热至熔融状态;
将不锈钢窗的焊接面及铍窗预热;
将熔融的InGa合金涂布于不锈钢窗的焊接面上;
将铍窗焊接面与不锈钢窗焊接面对准并黏贴;
等待自然冷却。
本发明提供的一种铍与不锈钢的焊接方法及铍窗与不锈钢窗的焊接方法,可以将铍与不锈钢焊接在一起,从而将铍窗与不锈钢窗焊机在一起,在不造成信号损失的情况下保证了XRF设备的气密性;同时该焊接方法具有低温焊接特性,焊接件在具有一定机械强度的同时具有一定的抗环境老化能力。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是不锈钢窗的结构示意图;
图2是铍窗的结构示意图;
图3是在线测试装置结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本发明进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本发明的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。
在本申请实施例中,本申请提供了一种铍与不锈钢的焊接方法,可以将铍与不锈钢焊接在一起,所述方法包括步骤:
在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10-20%的InGa合金加热至熔融状态;
将铍与不锈钢预热;
将熔融的InGa合金涂布于不锈钢上;
将铍放置于涂有熔融InGa合金的不锈钢上;
等待自然冷却。
通过上述步骤,铍与不锈钢可以焊接在一起,从而为XRF设备中的铍窗与不锈钢窗焊接提供了可能。
在本申请实施例中,本申请还提供了一种铍窗与不锈钢窗的焊接方法,所述方法包括步骤:
对铍窗和不锈钢窗的焊接面进行增加粗糙度处理;
在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10-20%的InGa合金加热至熔融状态;
将不锈钢窗的焊接面及铍窗预热;
将熔融的InGa合金涂布于不锈钢窗的焊接面上;
将铍窗焊接面与不锈钢窗焊接面对准并黏贴;
等待自然冷却。
在本申请实施例中,如图1为不锈钢窗的结构示意图,如图2为铍窗的结构示意图,如图3为在线测试装置结构示意图。焊接面可以为二者结构上互相匹配的连接面,比如不锈钢窗上的焊接面为内陷结构的内底面(如图1),而铍窗上的焊接面为与内陷结构内底面大小匹配的圆形底面(如图2),圆形底面与内底面焊接在一起,从而使得铍窗安装于在线测试装置上的不锈钢窗上,二者紧密贴合,使得在线测试装置的气密性得到保证。
在本申请实施例中,上述焊接过程可以在手套箱中完成。
本发明提供的一种铍与不锈钢的焊接方法及铍窗与不锈钢窗的焊接方法,可以将铍与不锈钢焊接在一起,从而将铍窗与不锈钢窗焊机在一起,在不造成信号损失的情况下保证了XRF设备的气密性;同时该焊接方法具有低温焊接特性,焊接件在具有一定机械强度的同时具有一定的抗环境老化能力。
应当理解的是,本发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本发明的原理,而不构成对本发明的限制。因此,在不偏离本发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。此外,本发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。
Claims (2)
1.一种铍与不锈钢的焊接方法,其特征在于,所述方法包括步骤:
在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10-20%的InGa合金加热至熔融状态;
将铍与不锈钢预热;
将熔融的InGa合金涂布于不锈钢上;
将铍放置于涂有熔融InGa合金的不锈钢上;
等待自然冷却。
2.一种铍窗与不锈钢窗的焊接方法,其特征在于,所述方法包括步骤:
对铍窗和不锈钢窗的焊接面进行增加粗糙度处理;
在Ar气气氛中将Ga的质量分数为10-20%的InGa合金加热至熔融状态;
将不锈钢窗的焊接面及铍窗预热;
将熔融的InGa合金涂布于不锈钢窗的焊接面上;
将铍窗焊接面与不锈钢窗焊接面对准并黏贴;
等待自然冷却。
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