CN111005008A - 一种自动拍舟装置 - Google Patents

一种自动拍舟装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111005008A
CN111005008A CN201911193500.0A CN201911193500A CN111005008A CN 111005008 A CN111005008 A CN 111005008A CN 201911193500 A CN201911193500 A CN 201911193500A CN 111005008 A CN111005008 A CN 111005008A
Authority
CN
China
Prior art keywords
boat
bearing
paddle
automatic
cylinder assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201911193500.0A
Other languages
English (en)
Inventor
曹松
王志清
王坤
陆彦辉
王银
刘军
王强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd filed Critical Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority to CN201911193500.0A priority Critical patent/CN111005008A/zh
Publication of CN111005008A publication Critical patent/CN111005008A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
    • C23C16/4582Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1804Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic System
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本发明为解决拍舟时需要大量的时间反复开关接驳台及节省人力提供一种技术方案是:一种自动拍舟装置,包括拍舟单元,气缸组件和固定座,其特征在于,所述拍舟单元通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件的一端通过轴承与拍舟单元连接,另一端通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件带动拍舟单元绕固定座进行拍打动作。

Description

一种自动拍舟装置
技术领域
本发明属于PECVD镀膜及自动插片机装取片技术领域,尤其涉及到硅片与石墨舟叶及石墨舟卡点接触方面的拍舟装置。
背景技术
随着工业社会的不断发展,人类对能源的需求量与日俱增,能源短缺已经成为阻碍经济发展与世界和平的关键因素。近些年来,国际原油储量的下降和价格的不断上升,进一步引起了人们对能源问题的重视,深知寻找可替代资源迫在眉睫。其中太阳能因其清洁、储量大,分布广泛等优点备受关注,以太阳能电池为核心的光伏产业直接将太阳能转化成电能,是目前公认的“绿色能源”。
太阳能电池中属晶硅太阳能电池发展最为迅猛,晶体硅类太阳能电池的制备一般经过制绒、扩散、镀膜、丝网印刷、烧结等工序。其中镀膜工艺是为了减少少数载流子在电池表面的复合,提高晶体硅太阳能电池片的转换效率,而在对硅片表面镀膜时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前,由于石墨舟优良的导热及导电性能,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中,采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。
在PECVD自动插片机装取片时,由于硅片与舟叶及卡点会存在接触不佳的情况,进而需要人工轻拍石墨舟,利用硅片自身的重力与拍舟时振动的原理使硅片与石墨舟叶及卡点接触充分,从而减少因硅片与卡点或舟叶未接触充分造成的打火返工片,甚至硅片脱落破碎等问题。
发明内容
鉴于以上,本发明提供一种自动拍舟装置,该装置充分利用电气自动化及机械原理设计,可以完全取代人为拍舟中的不足,屏蔽掉人为反复开关接驳台进行人工拍舟的缺陷,大大节约人力,减少返工及碎片情况,进而充分提升机台利用率,和电池的成品率。具体技术方案如下:
一种自动拍舟装置,包括拍舟单元,气缸组件和固定座,其特征在于,所述拍舟单元通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件的一端通过轴承与拍舟单元连接,另一端通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件带动拍舟单元绕固定座进行拍打动作。
进一步,所述拍舟单元包括拍舟臂、拍舟板、直线轴承,所述拍舟板通过直线轴承设置在所述拍舟臂的下方,且拍舟板与拍舟臂的中间夹设有减震弹簧。优选的,本发明中拍舟臂及拍舟板使用铝型材材质,以此减轻自身重量,保护石墨舟。
进一步,所述固定座包括支撑柱,支撑柱上设置有两个轴承底座,分别位于支撑柱同侧的上、下两端,所述拍舟臂通过轴承安装在所述支撑柱的上端轴承底座上,所述气缸组件通过轴承安装在所述支撑柱的下端轴承底座上。优选的,本发明中支撑柱采用QT450球墨铸铁,从而提升机架的稳定性,减少拍舟时机架的晃动。
进一步,所述拍舟板上安装有橡胶垫板,所述直线轴承通过销钉固定在所述拍舟臂和所述拍舟板上。
进一步,所述气缸组件包括气缸和气缸固定杆,优选的,本发明中气缸选用德国FESTO标准气缸,用以增加拍舟的稳定性与时效性。
进一步,所述轴承为深沟球轴承。
本发明的有益效果是,可以完全取代人为拍舟中的不足,屏蔽掉人为反复开关接驳台进行人工拍舟的缺陷,大大节约人力,减少返工及碎片且充分提升机台利用率:PE工序碎片率是安装拍舟器前0.6%,安装拍舟器后降至0.4%,对于公司成本控制有很大益处。同时,自动化拍舟装置安全可靠、杜绝人为有不拍舟及漏拍舟的现象,工作效率高,应用前景广阔。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1所示为自动拍舟装置整体结构示意图;
其中,1为拍舟臂,2为拍舟板,3为直线轴承,4为减震弹簧,5为橡胶垫板,6为支撑柱,7为上端轴承底座,8为下端轴承底座,9为深沟球轴承,10为销钉,11为气缸,12为气缸固定杆,13为气缸气管调压阀。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能解释为对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语 “上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
参照图1所示,本实施例优选提供的一种自动拍舟装置,包括拍舟单元,气缸组件和固定座,其中拍舟单元通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件的一端通过轴承与拍舟单元连接,另一端通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件带动拍舟单元绕固定座进行拍打动作。其中所述轴承优选为深沟球轴承9,本申请自动拍舟装置利用多个深沟球轴承9作为连接运动机构,利用气缸组件的伸缩控制拍舟板完成拍打动作。
本发明更为具体的实现方式以下作具体展开:
进一步,所述拍舟单元包括拍舟臂1、拍舟板2、直线轴承3,拍舟板2通过直线轴承3设置在拍舟臂1的下方,且拍舟板2与拍舟臂1的中间夹设有减震弹簧4。优选的,本发明中拍舟臂1及拍舟板2使用铝型材材质,以此减轻自身重量,保护石墨舟。拍舟时利用直线轴承3与减震弹簧4的共同作用,既保证对石墨舟拍舟的力度,同时又利用减震效果对石墨舟叶起到保护作用。拍舟板2上还安装有橡胶垫板5,进一步保护被拍打的石墨舟。另外直线轴承3通过销钉10固定在拍舟臂1和拍舟板2上。
进一步,所述固定座包括支撑柱6,支撑柱6上设置有两个轴承底座,分别位于支撑柱6同侧的上、下两端,拍舟臂1通过深沟球轴承9安装在支撑柱6的上端轴承底座7上,气缸组件通过深沟球轴承9安装在支撑柱6的下端轴承底座8上。优选的,本发明中支撑柱6采用QT450球墨铸铁,从而提升机架的稳定性,减少拍舟时机架的晃动。
所述气缸组件包括气缸11和气缸固定杆12,优选的,本实施例中气缸优选用DSNU—2S—25—P—A FESTO标准气缸,用以增加拍舟的稳定性与时效性。气缸11上还设置有气缸气管调压阀13,用于调节气缸11内气压。进一步具体而言气缸组件是通过两根气缸固定杆12分别连接到拍舟臂1上和支撑柱6的下端轴承底座8上。
另外需要说明的是,本发明中还具有电气控制单元,包括感应器和控制器,感应器用以自动检测有无硅片进入石墨舟,控制器用于接收感应器信号并控制拍舟单元和气缸组件进行拍舟运动,在本实施例中电气控制模组可以为基于可编程控制器PLC(ProgrammableLogic Controller)的工控机,因其为成熟技术且不影响本发明的理解,图示中并没有对电气控制单元做具体的展示,同时在此也不作具体展开说明。
本实施例的自动拍舟装置集自动化于一体,一旦石墨舟自动运行于拍舟器下方时,感应器自动感应有无硅片到舟即能实现自动化拍舟,无需担心在拍舟过程中出现不拍或漏拍的情况,节省人力,安全、操作便捷,故而能够达成本发明的目的。
尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述,但是必须理解,本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例,这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言,在前述公开、附图以及权利要求的范围之内,可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进,而不会脱离本发明的精神。

Claims (6)

1.一种自动拍舟装置,包括拍舟单元,气缸组件和固定座,其特征在于,所述拍舟单元通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件的一端通过轴承与拍舟单元连接,另一端通过轴承活动的设置在所述固定座上,所述气缸组件带动拍舟单元绕固定座进行拍打动作。
2.根据权利要求1所述的自动拍舟装置,其特征在于,所述拍舟单元包括拍舟臂、拍舟板、直线轴承,所述拍舟板通过直线轴承设置在所述拍舟臂的下方,且拍舟板与拍舟臂的中间夹设有减震弹簧。
3.根据权利要求2所述的自动拍舟装置,其特征在于,所述固定座包括支撑柱,支撑柱上设置有两个轴承底座,分别位于支撑柱同侧的上、下两端,所述拍舟臂通过轴承安装在所述支撑柱的上端轴承底座上,所述气缸组件通过轴承安装在所述支撑柱的下端轴承底座上。
4.根据权利要求2所述的自动拍舟装置,其特征在于,所述拍舟板上安装有橡胶垫板,所述直线轴承通过销钉固定在所述拍舟臂和所述拍舟板上。
5.根据权利要求1所述的自动拍舟装置,其特征在于,所述气缸组件包括气缸和气缸固定杆。
6.根据权利要求1或3所述的自动拍舟装置,其特征在于,所述轴承为深沟球轴承。
CN201911193500.0A 2019-11-28 2019-11-28 一种自动拍舟装置 Pending CN111005008A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911193500.0A CN111005008A (zh) 2019-11-28 2019-11-28 一种自动拍舟装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911193500.0A CN111005008A (zh) 2019-11-28 2019-11-28 一种自动拍舟装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111005008A true CN111005008A (zh) 2020-04-14

Family

ID=70112398

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911193500.0A Pending CN111005008A (zh) 2019-11-28 2019-11-28 一种自动拍舟装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111005008A (zh)

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020014811A1 (en) * 2000-05-31 2002-02-07 Jun Tamai Vibration type actuator
US6592323B1 (en) * 2002-02-12 2003-07-15 Tsung-Chang Hsieh Plate member carrier
WO2015033439A1 (ja) * 2013-09-06 2015-03-12 株式会社島津製作所 基板装着姿勢判定装置及び基板装着姿勢判定方法
CN204627755U (zh) * 2015-03-16 2015-09-09 北京华清燃气轮机与煤气化联合循环工程技术有限公司 一种气缸支撑组件
CN205602161U (zh) * 2015-11-19 2016-09-28 上海欧朔包装机械有限公司 一种打袋装置
CN107964879A (zh) * 2017-12-05 2018-04-27 吴丹 一种桥梁湿接缝现浇混凝土自动化振动压实设备
CN108746398A (zh) * 2018-06-29 2018-11-06 江西昌河汽车有限责任公司 一种用于汽车零件侧围落料的拍打器
CN108866512A (zh) * 2018-09-13 2018-11-23 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 自动化石墨舟卡点更换机
CN208189549U (zh) * 2018-05-08 2018-12-04 罗博特科智能科技股份有限公司 一种石墨舟拍舟振动机构
CN109087848A (zh) * 2018-07-12 2018-12-25 孟超 一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置
CN208814353U (zh) * 2018-07-25 2019-05-03 上海勇周纸箱设备制造有限公司 一种纸板自动堆叠拍齐装置
CN209434215U (zh) * 2018-12-29 2019-09-24 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 一种用于石墨舟的拍打机构
CN209652423U (zh) * 2019-04-02 2019-11-19 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟硅片复位拍舟装置
CN211713198U (zh) * 2019-11-28 2020-10-20 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 一种自动拍舟装置

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020014811A1 (en) * 2000-05-31 2002-02-07 Jun Tamai Vibration type actuator
US6592323B1 (en) * 2002-02-12 2003-07-15 Tsung-Chang Hsieh Plate member carrier
WO2015033439A1 (ja) * 2013-09-06 2015-03-12 株式会社島津製作所 基板装着姿勢判定装置及び基板装着姿勢判定方法
CN204627755U (zh) * 2015-03-16 2015-09-09 北京华清燃气轮机与煤气化联合循环工程技术有限公司 一种气缸支撑组件
CN205602161U (zh) * 2015-11-19 2016-09-28 上海欧朔包装机械有限公司 一种打袋装置
CN107964879A (zh) * 2017-12-05 2018-04-27 吴丹 一种桥梁湿接缝现浇混凝土自动化振动压实设备
CN208189549U (zh) * 2018-05-08 2018-12-04 罗博特科智能科技股份有限公司 一种石墨舟拍舟振动机构
CN108746398A (zh) * 2018-06-29 2018-11-06 江西昌河汽车有限责任公司 一种用于汽车零件侧围落料的拍打器
CN109087848A (zh) * 2018-07-12 2018-12-25 孟超 一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置
CN208814353U (zh) * 2018-07-25 2019-05-03 上海勇周纸箱设备制造有限公司 一种纸板自动堆叠拍齐装置
CN108866512A (zh) * 2018-09-13 2018-11-23 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 自动化石墨舟卡点更换机
CN209434215U (zh) * 2018-12-29 2019-09-24 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 一种用于石墨舟的拍打机构
CN209652423U (zh) * 2019-04-02 2019-11-19 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟硅片复位拍舟装置
CN211713198U (zh) * 2019-11-28 2020-10-20 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 一种自动拍舟装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN211713198U (zh) 一种自动拍舟装置
CN111005008A (zh) 一种自动拍舟装置
CN218958822U (zh) 一种光伏组件防倾倒支撑装置
CN205545085U (zh) 一种太阳能固定架
CN206302373U (zh) 一种光伏电板的安装固定装置
CN213783210U (zh) 一种抗震性能优秀的光伏组件
CN212361227U (zh) 一种带有橡胶缓冲结构的汽车管路固定用管夹
CN214045517U (zh) 一种转换效率高的光伏组件
CN210225331U (zh) 一种航空太阳能光伏组件
CN216015318U (zh) 一种自动化上料硅片推齐装置
CN207896909U (zh) 一种太阳能电站安装用连接架
CN206511379U (zh) 一种pecvd双模太阳能电池
CN219018714U (zh) 一种高效率太阳能光伏组件的导入装置
CN211183879U (zh) 一种具备快速安装功能的节能型光伏发电板
CN218724870U (zh) 一种硬盘治具装置
CN215734097U (zh) 一种新能源储能式太阳能光伏板
CN215072276U (zh) 一种抗震效果好的光伏组件
CN219431973U (zh) 一种风力发电用基座
CN208251394U (zh) 一种节能玻璃幕墙
CN214900718U (zh) 一种抗强风太阳能锂电池板
CN220435809U (zh) 一种储能设备框架用铝合金型材
CN218445455U (zh) 一种水质监测标记发光浮标
CN214101260U (zh) 一种公交站台遮雨棚光伏电池板的拆卸支架
CN214699923U (zh) 一种水利水电施工用测量仪器支撑装置
CN207969181U (zh) 一种节约电能的户外通信机柜

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination