CN110978546B - 一种背压装置及真空压合装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种背压装置及真空压合装置，该背压装置包括驱动件、执行件、运动件、配合件、传动件和第一导向件。执行件用于压合产品；运动件与驱动件相连；配合件与运动件配合，配合件能够在运动件的带动下运动。传动件为多个，多个传动件的一端均与执行件相连并在驱动件的作用下压合产品，另一端与配合件相连，且依次穿过配合件与运动件，传动件能够相对运动件滑动。第一导向件为多个，多个第一导向件均穿设在运动件上，至少部分传动件能与第一导向件配合以防止传动件自转。多个传动件减小了执行件的精度损耗并可以对产品形成均匀压力，第一导向件能防止传动件自转，从而提高了背压装置对产品的压合精度和压合效率。

Description

一种背压装置及真空压合装置

技术领域

本发明涉及压合装置技术领域，尤其涉及一种背压装置及真空压合装置。

背景技术

目前的背压装置中，执行件在驱动件驱动下对产品进行压合时，执行件的运动与驱动件的运动之间有着较大的精度误差，使得产品压合时的精度下降，进而降低产品的压合效率。此外，执行件对产品进行压合时，产品所受到的执行件的压力容易出现受力不均的现象，使得背压装置对产品的压合效率下降。背压装置对真空环境下的产品进行压合时，执行件与形成真空环境的组件的连接处的密封设置需要频繁更换，使得背压装置维护保养困难，并降低了背压装置的稳定性。

因此，亟需一种能够提高产品的压合精度和压合效率、维护方便、稳定性良好的背压装置。

发明内容

本发明的目的在于提出一种背压装置，该背压装置能够提高使用时执行件对产品的对位精度，提高背压装置的压合效率，提高背压装置的稳定性及使用寿命。

本发明的另一个目的在于提出一种真空压合装置。

为实现上述技术效果，本发明的背压装置的技术方案如下：

一种背压装置，包括：驱动件；执行件，所述执行件用于压合产品；运动件，所述运动件与所述驱动件相连；配合件，所述配合件与所述运动件配合，所述配合件能够在所述运动件的带动下运动；传动件，所述传动件为多个，多个所述传动件穿设于所述配合件和所述运动件中，且所述传动件与所述配合件固定连接，与所述运动件滑动连接，所述传动件的一端与所述执行件相连并能够在所述驱动件的作用下压合产品；第一导向件，所述第一导向件为多个，多个所述第一导向件均穿设在所述运动件上，至少部分所述传动件能与所述第一导向件配合以防止所述传动件自转。

在一些实施例中，所述运动件和所述配合件之间通过限压件相连，所述限压件为多个，多个所述限压件用于当所述执行件在所述驱动件作用下对所述产品造成的压力达到最大值时带动所述配合件沿所述执行件运动的反方向运动。

在一些实施例中，所述背压装置还包括盖板，所述盖板限定出上腔体，所述执行件设置在所述上腔体中，多个所述传动件均穿过所述上腔体的顶壁并与所述执行件相连。

在一些实施例中，所述背压装置还包括：连接件，所述连接件为多个，多个所述连接件均穿设在所述配合件中，多个所述连接件的一端均设有限位件，多个所述限位件用于防止多个连接件脱离所述配合件，多个所述连接件的另一端均通过第一紧固件与所述上腔体的顶壁密封连接；弹性件，所述弹性件为多个，每个所述弹性件穿设在一个所述连接件中，且每个所述弹性件的两端分别止抵于所述配合件和所述第一紧固件之间。

在一些实施例中，所述背压装置还包括弹性密封件，所述弹性密封件为多个，每个所述传动件穿设在一个所述弹性密封件中且与所述弹性密封件的一端密封连接，多个所述弹性密封件的另一端穿设在所述盖板上，且与所述上腔体的顶壁密封配合。

在一些实施例中，多个所述传动件的远离所述执行件的一端设有固定件，多个所述传动件均与所述固定件相连。

在一些实施例中，所述背压装置还包括：机架，所述机架设置在所述固定件和所述运动件之间，所述驱动件设在所述机架上；第二导向件，所述第二导向件为多个，每个所述传动件件穿设在一个所述第二导向件中，至少部分所述传动件能与所述第二导向件配合以防止所述传动件自转，多个第二导向件均与所述机架相连。

在一些实施例中，所述背压装置还包括第二紧固件，所述第二紧固件设置在所述配合件上，所述第二紧固件用于将所述传动件与所述配合件相连。

在一些实施例中，至少部分所述传动件上设有沿其长度方向设置的防转槽，所述第一导向件上设有与所述防转槽配合在防转部。

一种真空压合装置，包括前文所述的背压装置。

本发明的背压装置的有益效果为：传动件直接与执行件连接，减小了传动件通过其他组件带动执行件运动时产生的精度损耗，降低了执行件的压合误差并提高了执行件对产品的压合效率。多个传动件均与执行件相连，避免了执行件表面的受力不均，使得执行件在压合产品时可以对产品形成均匀压力，提高了执行件对产品的压合效率。第一导向件既能对传动件起到导向作用，还能避免传动件自转，从而降低了执行件与产品之间的对位误差，提高了背压装置对产品的压合精度和压合效率。

本发明的真空压合装置的有益效果为：由于具有前文所述的背压装置，能够提高执行件在真空环境中对产品进行压合作业时的对位精度和压合效率。由于使用了前文所述的背压装置的弹性密封件将传动件与盖板的连接处密封，使得真空压合装置维护方便，提高了真空压合装置的稳定性。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是本发明具体实施方式提供的背压装置的立体结构示意图；

图2是本发明具体实施方式提供的背压装置的内部结构示意图；

图3是图2中A处的局部放大示意图；

图4是图2中B处的局部放大示意图；

图5是本发明具体实施方式提供的背压装置的正视结构示意图；

图6是图5中C处的局部放大示意图。

附图标记：

1、驱动件；2、执行件；3、运动件；4、配合件；5、传动件；6、第一导向件；7、限压件；8、盖板；9、连接件；10、限位件；11、第一紧固件；12、弹性件；13、弹性密封件；14、固定件；15、机架；16、第二导向件；17、第二紧固件。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

下面参考图1-图6描述本发明实施例的背压装置的具体结构。

如图1、图2和图6所示，本发明的背压装置包括驱动件1、执行件2、运动件3、配合件4、传动件5和第一导向件6。执行件2用于压合产品。运动件3与驱动件1相连。配合件4与运动件3配合，配合件4能够在运动件3的带动下运动。传动件5为多个，多个传动件5穿设于配合件4和运动件3中，且传动件5与配合件4固定连接，与运动件3滑动连接，传动件5的一端与执行件2相连并能够在驱动件1的作用下压合产品。第一导向件6为多个，多个第一导向件6均穿设在运动件3上，至少部分传动件5能与第一导向件6配合以防止传动件5自转。

可以理解的是，驱动件1能够驱动与驱动件1相连的运动件3运动，与运动件3相连的配合件4在运动件3的带动下运动。穿过运动件3和配合件4并与配合件4相连的多个传动件5能在配合件4的带动下运动，且多个传动件5能相对运动件3滑动。多个传动件5的一端与执行件2相连，使得执行件2能够在传动件5的带动下运动并压合产品。在现有技术中，执行件2在驱动件1通过其他联动件作用下运动时有着较高的精度损耗，导致执行件2对产品施加的预定压力与执行件2实际上对产品施加的压力有着较大误差，而驱动件1又无法直接驱动执行件2运动，因此执行件2的压合精度有待提升。本实施例的结构中，多个传动件5直接与执行件2相连，多个传动件5与配合件4相连并在驱动件1的驱动下运动。由于多个传动件5无需经过其他组件即直接与执行件2相连，从而减小了传动件5通过其他组件带动执行件2运动时产生的精度损耗，进而降低了执行件2的压合误差，提高了执行件2对产品的压合效率。此外，多个传动件5均与执行件2相连，能够避免执行件2的表面受力不均，使得执行件2压合产品时能够对产品形成均匀的压力，进而提高了执行件2对产品的压合效率。

由于部分传动件5在运动时会自转并进一步产生旋转扭曲力，传动件5产生旋转扭曲力时会降低执行件2的位置精度，使得执行件2与产品之间的对位出现误差。为了降低上述误差，背压装置中还设有多个第一导向件6，第一导向件6为多个，且所有传动件5中至少有部分传动件5能够与第一导向件6配合并使传动件5无法自转，从而避免了传动件5产生的旋转扭曲力，进而提高了背压装置对产品的压合精度和压合效率。此外，多个第一导向件6还能对所有传动件5起到运动导向的作用，使得多个传动件5仅能沿指定方向运动，从而降低了执行件2与产品之间的对位误差，提高了执行件2对产品的压合精度。

在一些实施例中，如图6所示，运动件3和配合件4之间通过限压件7相连，限压件7为多个，多个限压件7用于当执行件2在驱动件1作用下对产品造成的压力达到最大值时带动配合件4沿执行件2运动的反方向运动。

可以理解的是，限压件7的两端分别通过螺钉与运动件3和配合件4相连，当运动件3在驱动件1的驱动下运动时，通过限压件7与运动连接的配合件4也能在运动件3的带动下运动，从而进一步带动传动件5使得执行件2完成产品压合。在背压装置对产品的部分压合情况中，产品所受到的压力可能超过其允许的范围，为了避免压力过大对背压装置及产品造成损坏，限压件7用于当执行件2在驱动件1作用下对产品造成的压力达到最大值时带动配合件4执行件2运动的反方向运动，从而使得传动件5也沿执行件2运动的反方向运动，达到了限制压力的目的。具体地，本实施例中的限压件7为倍压气缸，倍压气缸包括缸体和活塞杆，缸体与运动件3相连，活塞杆与配合件4相连。当气缸压力达到最大值时，活塞杆向执行件2运动的方向回缩，并带动配合件4沿执行件2运动的反方向运动，从而达到了限制压力的目的，并提高了背压装置的安全性及使用寿命。

在一些实施例中，如图1、图2和图6所示，背压装置还包括盖板8，盖板8限定出上腔体，执行件2设置在上腔体中，多个传动件5均穿过上腔体的顶壁并与执行件2相连。可以理解的是，在部分使用场合中，背压装置的执行件2需要在密闭腔体中对产品进行压合。在本实施例中，背压装置包括形成密闭腔体所需要的盖板8，盖板8中限定出上腔体，并将执行件2设置在上腔体中，多个所述传动件5均穿过上腔体的顶壁并与执行件2相连。当执行件2需要在密闭腔体中完成产品压合时，盖板8与外部组件形成密闭腔体，执行件2在驱动件1等组件的作用下即可在密闭腔体中完成产品压合，从而提高了背压装置的使用范围。

在一些实施例中，如图5、图6所示，背压装置还包括连接件9和弹性件12。连接件9为多个，多个连接件9均穿设在配合件4中，多个连接件9的一端均设有限位件10，多个限位件10用于防止多个连接件9脱离配合件4，多个连接件9的另一端均通过第一紧固件11与上腔体的顶壁密封连接。弹性件12为多个，每个弹性件12穿设在一个连接件9中，且每个弹性件12的两端分别止抵于配合件4和第一紧固件11之间。

可以理解的是，在部分使用场合中，盖板8需要在配合件4的带动下脱离外部组件以便于密闭腔体内产品的放置和取出。为达上述目的，背压装置中还设置有多个穿设在配合件4中的连接件9，多个连接件9的一端均设有放置多个连接件9脱离配合件4的限位件10，多个连接件9的另一端均通过第一紧固件11与上腔体的顶壁密封连接。具体地，第一紧固件11通过螺钉与盖板8相连，第一紧固件11与连接件9过盈配合并将连接件9锁紧。当盖板8需要升起时，配合件4在驱动件1与运动件3的作用下升起，连接件9在限位件10作用下不会脱离配合件4并带动盖板8升起。此外，连接件9还能对配合件4的运动起到导向作用。连接件9上还穿设有两端分别止抵于配合件4与第一紧固件11上的弹性件12。在实际压合过程中，盖板8会与外部壳体发生碰撞，而弹性件12能够抵消盖板8与外部壳体的碰撞，从而降低压合过程中整个背压装置发生震动避免其影响压合精度。优选地，在本实施例中，弹性件12为弹簧。当然，本实施例并不对弹性件12进行具体限定，只要满足缓冲作用即可。

在一些实施例中，如图2、图4所示，背压装置还包括弹性密封件13，弹性密封件13为多个，每个传动件5穿设在一个弹性密封件13中且与弹性密封件13的一端密封连接，多个弹性密封件13的另一端穿设在盖板8上，且与上腔体的顶壁密封配合。

可以理解的是，在部分使用场合中，背压装置的盖板8所形成的密闭腔体需具有真空环境，此时传动件5与盖板8之间连接处的密封情况直接影响到真空环境的形成。现有技术中完成上述连接处的密封件多为活动密封件，使用时更换频繁、维护保养困难，也容易破坏真空环境。为进一步提高真空环境的密封性，提高背压装置的压合效率，背压装置中还设置弹性密封件13对传动件5和盖板8之间的连接处进行密封。具体地，弹性密封件13为多个，每个传动件5穿设在一个弹性密封件13中并且与弹性密封件13的一端密封连接，每个弹性密封件13的另一端穿设在盖板8上并与上腔体的顶壁密封配合。优选地，本实施例中的弹性密封件13为碟片式波纹密封管，使用碟片式波纹密封管能达到密封效果好、维护方便的效果，从而提高背压装置的稳定性及产品压合效率。

在一些实施例中，如图1、图2和图6所示，多个传动件5的远离执行件2的一端设有固定件14，多个传动件5均与固定件14相连。可以理解的是，固定件14能够对传动件5的运动起到导向作用，使得多个传动件5仅能沿指定方向运动并且保证了多个传动件5能够同步运动，降低了执行件2与产品之间的对位误差，并进一步提高了执行件2对产品的压合精度。

在一些实施例中，如图1、图2和图6所示，背压装置还包括机架15和第二导向件16。机架15设置在固定件14和运动件3之间，驱动件1设在机架15上。第二导向件16为多个，每个传动件5件穿设在一个第二导向件16中，至少部分传动件5能与第二导向件16配合以防止传动件5自转，多个第二导向件16均与机架15相连。

可以理解的是，将驱动件1设置在机架15上，能够使机架15为背压装置提供支撑。将机架15设置在固定件14与运动件3之间，能够为传动件5的产品压合提供一定的行程空间。同时，为了进一步提高传动件5的防自转效果，降低执行件2与产品之间的对位误差，在机架15上连接有第二导向件16，且第二导向件16为多个。每个传动件5穿设在一个第二导向件16中，至少部分传动件5能与第二导向件16配合以防止传动件5自转，从而提高了背压装置对产品的压合精度和压合效率。多个第二导向件16还能对所有传动件5起到运动导向的作用，使得多个传动件5技能沿指定方向运动，降低了执行件2与产品之间的对位误差，提高了执行件2对产品的压合精度。

在一些实施例中，如图1-图2所示，背压装置还包括第二紧固件17，第二紧固件17设置在配合件4上，第二紧固件17用于将传动件5与配合件4相连。可以理解的是，为了使传动件5能在配合件4的带动下运动，在配合件4上设置有第二紧固件17。传动件5穿过第二紧固件17，并且第二紧固件17与传动件5过盈配合以将传动件5锁紧，同时第二紧固件17还与配合件4通过螺钉相连，从而达到了将传动件5与配合件4连接的目的，大大降低了传动件5与配合件4发送相对运动的可能，进而提高了背压装置的稳定性及产品压合效率。

在一些实施例中，至少部分传动件5上设有沿其长度方向设置的防转槽，第一导向件6上设有与防转槽配合的防转部。可以理解的是，当传动件5与第一导向件6配合时，防转部配合设置在防转槽中，第一导向件6的旋转方向的间隙在防转部的作用下接近为零，从而大大降低了传动件5自转的可能性。

优选地，至少部分传动件5为滚珠花键轴，第一导向件6为滚珠花键轴承。第一导向件6上设有若干排滚珠列，至少部分传动件5上设有滚动沟槽，当传动件5与第一导向件6配合时，滚珠列在滚动沟槽内运动，使得传动件5旋转方向的间隙接近为零，同时又由于滚珠能够将传动件5与第一导向件6之间的滑动摩擦转换为滚动摩擦，使得传动件5能够更好的带动执行件2运动并使执行件2更好的完成产品压合。此外，使用滚珠花键轴和滚珠花键轴承能够使传动件5在径向和扭矩方向具有很大的负荷容量，能够进一步提高背压装置的使用寿命及对产品的压合效率。优选地，在第二导向件16中也设有与防转槽配合的防转部。

实施例：

下面参考图1-图6描述本发明的一个具体的实施例的背压装置。

本实施例的背压装置包括驱动件1、执行件2、运动件3、配合件4、传动件5、第一导向件6、限压件7、盖板8、连接件9、限位件10、第一紧固件11、弹性件12、弹性密封件13、固定件14、机架15、第二导向件16和第二紧固件17。运动件3与驱动件1相连，配合件4通过限压件7与运动件3相连，传动件5为多个，多个传动件5穿设于配合件4和运动件3中，且传动件5与配合件4固定连接，与运动件3滑动连接，传动件5的一端与执行件2相连并能够在驱动件1的作用下压合产品。执行件2能在驱动件1的驱动下压合产品。第一导向件6为多个，多个第一导向件6均穿设在运动件3上，至少部分传动件5能与第一导向件6配合以防止传动件5自转。至少部分传动件5上设有沿其长度方向设置的防转槽，第一导向件6和第二导向件16上设有与防转槽配合的防转部。限压件7为多个，多个限压件7用于当执行件2在驱动件1作用下对产品造成的压力达到最大值时带动配合件4沿执行件2运动的反方向运动。盖板8限定出上腔体，执行件2设置在上腔体中，多个传动件5均穿过上腔体的顶壁并与执行件2相连。连接件9为多个，多个连接件9均穿设在配合件4中，多个连接件9的一端均设有限位件10，多个限位件10用于防止多个连接件9脱离配合件4，多个连接件9的另一端均通过第一紧固件11与上腔体的顶壁密封连接。弹性件12为多个，每个弹性件12穿设在一个连接件9中，且每个弹性件12的两端分别止抵于配合件4和第一紧固件11之间。弹性密封件13为多个，每个传动件5穿设在一个弹性密封件13中且与弹性密封件13的一端密封连接，多个弹性密封件13的另一端穿设在盖板8上，且与上腔体的顶壁密封配合。机架15设置在固定件14和运动件3之间，驱动件1设在机架15上。第二导向件16为多个，每个传动件5件穿设在一个第二导向件16中，至少部分传动件5能与第二导向件16配合以防止传动件5自转，多个第二导向件16均与机架15相连。

工作过程：本实施例的背压装置在使用过程中，驱动件1驱动运动件3运动。由于配合件4通过限压件7与运动件3相连，使得配合件4能在运动件3的带动下运动。由于多个传动件5均通过第二紧固件17与配合件4相连，使得多个传动件5均能够在配合件4的带动下运动。当多个传动件5运动时，与多个传动件5相连的执行件2也能在多个传动件5的带动下运动，进而完成对产品的压合工作。当产品所受压力达到最大值时，限压件7能够带动配合件4沿执行件2运动的反方向运动，从而防止产品受到压力超过最大值。当背压装置需要在真空环境下完成压合工作时，盖板8与外部组件形成真空环境，执行件2在真空环境中对产品进行压合工作。连接件9能对配合件4的运动起到导向作用。弹性件12能够抵消盖板8与外部壳体的碰撞，从而降低压合过程中整个背压装置发生震动避免其影响压合精度。当压合工作结束后，驱动件1驱动运动件3升起，运动件3带动配合件4升起，配合件4既能带动多个传动件5升起从而使得执行件2远离产品，还能与连接件9和限位件10配合使得盖板8随配合件4升起，从而便于产品的取出和存放。

本发明的真空压合装置包括前述的背压装置。根据本发明实施例的真空压合装置，由于具有前文所述的背压装置，能够提高执行件2在真空环境中对产品进行压合作业时的对位精度和压合效率。由于使用了前文所述的背压装置的弹性密封件13将传动件5与盖板8的连接处密封，使得真空压合装置维护方便，提高了真空压合装置的稳定性。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (9)

1.一种背压装置，其特征在于，包括：

驱动件(1)；

执行件(2)，所述执行件(2)用于压合产品；

运动件(3)，所述运动件(3)与所述驱动件(1)相连；

配合件(4)，所述配合件(4)与所述运动件(3)配合，所述配合件(4)能够在所述运动件(3)的带动下运动；所述运动件(3)和所述配合件(4)之间通过限压件(7)相连，所述限压件(7)为多个，多个所述限压件(7)用于当所述执行件(2)在所述驱动件(1)作用下对所述产品造成的压力达到最大值时带动所述配合件(4)沿所述执行件(2)运动的反方向运动；

传动件(5)，所述传动件(5)为多个，多个所述传动件(5)穿设于所述配合件(4)和所述运动件(3)中，且所述传动件(5)与所述配合件(4)固定连接，与所述运动件(3)滑动连接，所述传动件(5)的一端与所述执行件(2)相连并能够在所述驱动件(1)的作用下压合产品；

第一导向件(6)，所述第一导向件(6)为多个，多个所述第一导向件(6)均穿设在所述运动件(3)上，至少部分所述传动件(5)能与所述第一导向件(6)配合以防止所述传动件(5)自转。

2.根据权利要求1所述的背压装置，其特征在于，所述背压装置还包括盖板(8)，所述盖板(8)限定出上腔体，所述执行件(2)设置在所述上腔体中，多个所述传动件(5)均穿过所述上腔体的顶壁并与所述执行件(2)相连。

3.根据权利要求2所述的背压装置，其特征在于，所述背压装置还包括：

连接件(9)，所述连接件(9)为多个，多个所述连接件(9)均穿设在所述配合件(4)中，多个所述连接件(9)的一端均设有限位件(10)，多个所述限位件(10)用于防止多个连接件(9)脱离所述配合件(4)，多个所述连接件(9)的另一端均通过第一紧固件(11)与所述上腔体的顶壁密封连接；

弹性件(12)，所述弹性件(12)为多个，每个所述弹性件(12)穿设在一个所述连接件(9)中，且每个所述弹性件(12)的两端分别止抵于所述配合件(4)和所述第一紧固件(11)之间。

4.根据权利要求3所述的背压装置，其特征在于，所述背压装置还包括弹性密封件(13)，所述弹性密封件(13)为多个，每个所述传动件(5)穿设在一个所述弹性密封件(13)中且与所述弹性密封件(13)的一端密封连接，多个所述弹性密封件(13)的另一端穿设在所述盖板(8)上，且与所述上腔体的顶壁密封配合。

5.根据权利要求1所述的背压装置，其特征在于，多个所述传动件(5)的远离所述执行件(2)的一端设有固定件(14)，多个所述传动件(5)均与所述固定件(14)相连。

6.根据权利要求5所述的背压装置，其特征在于，所述背压装置还包括：

机架(15)，所述机架(15)设置在所述固定件(14)和所述运动件(3)之间，所述驱动件(1)设在所述机架(15)上；

第二导向件(16)，所述第二导向件(16)为多个，每个所述传动件(5)件穿设在一个所述第二导向件(16)中，至少部分所述传动件(5)能与所述第二导向件(16)配合以防止所述传动件(5)自转，多个第二导向件(16)均与所述机架(15)相连。

7.根据权利要求1所述的背压装置，其特征在于，所述背压装置还包括第二紧固件(17)，所述第二紧固件(17)设置在所述配合件(4)上，所述第二紧固件(17)用于将所述传动件(5)与所述配合件(4)相连。

8.根据权利要求1所述的背压装置，其特征在于，至少部分所述传动件(5)上设有沿其长度方向设置的防转槽，所述第一导向件(6)上设有与所述防转槽配合的防转部。

9.一种真空压合装置，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的背压装置。

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