CN110955863B - 半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,从而在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。

Description

半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质。

背景技术

随着半导体存储器件(如动态随机存取存储器(DRAM))变得高度集成，器件工艺也越发复杂，因此，需要采用先进的量测技术对复杂的器件制造过程进行管控，目前，对量测出的数据仍采用人工统计及分析的方法，采用此方法对良率进行分析速度慢，效率低。特别地，当制程过程中的异常或制程工艺的变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况从而导致货批(Lot)良率异常时，无法对其良率进行快速有效的分析及监控。因此，需要一种新的半导体产品良率分析系统及方法，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批(key Lot)进行备注并加以统计分析,以在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,以在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种半导体产品良率分析系统，包括：

备注设置装置，其被配置为预设多种备注方式以及选取一种备注方式；

输入装置，其被配置为根据所述备注方式，输入需备注的货批名单；

备注装置，其被配置为给所述货批名单中的所有货批添加备注；以及，

输出装置，其被配置为关联所有货批的制程和量测数据系统，并输出具有所述备注对应的所述货批的信息，以及，根据所述信息输出统计分析报告，且所述备注与所述统计分析报告相关联。

可选地，所述预设的多种备注方式包括货批名称或货批批号、时间、特殊情况以及产品异常通知，所述特殊情况包括特殊工作需求实验、临时工程变更通知和工程更改通知中的至少一种。

可选地，所述输出装置进一步被配置为输出包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出对应的所述统计分析报告。

可选地，所述信息表格中的信息还包含添加所述备注的用户、所述备注的更新时间、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量，以及，具有所述备注的所有货批的总数量中的至少一种。

可选地，所述统计分析报告中的统计信息包括在所述备注时刻之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值、在所述备注时刻之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值、具有所述备注的各个所述货批的目前进程、以及，具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势中的至少一种。

可选地，所述输入装置进一步被配置为输入具有所述备注的任一所述货批的相关资料，所述输出装置进一步被配置为输出具有所述备注的任一所述货批的所述相关资料，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关。

可选地，所述输入装置进一步被配置为输入需要查询的所述备注，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置输入的所述备注输出具有所述备注的所有货批的信息；和/或，所述输入装置进一步被配置为输入需要查询的货批的名称或货批批号，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置输入的所述货批的名称或货批批号，输出所述货批的名称或货批批号对应的所述货批的信息表格，所述信息表格中包含所述货批的所有的备注。

可选地，所述输入装置进一步被配置为选择需要输出所述统计分析报告的货批，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置选择的所述货批输出对应的所述统计分析报告。

可选地，所述的半导体产品良率分析系统，还包括用户界面装置，其被配置为向用户提供操作所述输入装置、所述备注设置装置、所述备注装置以及所述输出装置的界面，以及向用户展示所述输入装置输入的数据、所述备注设置装置预设和选取的备注方式、所述备注装置添加的备注以及所述输出装置输出的结果。

本发明还提供一种半导体产品良率分析方法，包括：

预设多种备注方式，并从中选取一种备注方式；

根据选取的所述备注方式，输入需备注的货批名单；

给输入的所述货批名单中的所有货批添加一个备注；以及，

根据具有所述备注的所有货批的对应的制程和量测数据，输出具有所述备注的各个所述货批的统计分析报告。

可选地，所述预设的多种备注方式包括货批名称或货批批号、时间、特殊情况以及产品异常通知，所述特殊情况包括特殊工作需求实验、临时工程变更通知以及工程更改通知中的至少一种。

可选地，在添加所述备注后，输出包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出所述货批的统计分析报告。

可选地，所述信息表格中的信息还包含添加所述备注的用户、所述备注的更新时间、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量，以及，具有所述备注的所有货批的总数量中的至少一种。

可选地，所述统计分析报告中的统计信息包括在所述备注时刻之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值、在所述备注时刻之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值、具有所述备注的各个所述货批的目前进程、以及，具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势中的至少一种。

可选地，所述的半导体产品良率分析方法，还包括：上传具有所述备注的任一所述货批的相关资料至所述信息表格中，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关。

可选地，所述的半导体产品良率分析方法，还包括：输入需要查询的所述备注，根据输入的所述备注，输出具有所述备注的所有货批的信息表格；和/或，输入需要查询的货批的名称或货批批号，根据输入的所述货批的名称或货批批号，输出所述货批的名称或货批批号对应的所述货批的信息表格，所述信息表格中包含所述货批的所有的备注。

本发明还提供一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现本发明所述的半导体产品良率分析方法。

与现有技术相比，本发明的半导体产品良率分析系统及方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,能够缩短良率分析时间，且有利于快速找到良率变化的原因，提高良率分析效率。

附图说明

图1是本发明具体实施例的半导体产品良率分析系统的模块框图。

图2是本发明具体实施例在用户界面装置中选取第一种备注方式(Lot)时的界面示意图。

图3是本发明具体实施例在用户界面装置中选取第二种备注方式(Time) 时的界面示意图。

图4a～4b是本发明具体实施例在用户界面装置中选取第三种备注方式 (SWR/TECN/ECN)时的界面示意图。

图5a～5b是本发明具体实施例在用户界面装置中选取第四种备注方式 (PAN)时的界面示意图。

图6是本发明具体实施例在用户界面装置中显示备注后的输出结果的界面示意图。

图7a～图7d是本发明具体实施例的统计分析报告中的各种统计信息。

图8是本发明具体实施例中通过输入一个货批批号进行信息检索后输出的信息表格。

图9是本发明具体实施例的半导体产品良率分析方法的流程示意图。

其中，附图标记如下：

11-输入装置；

12-备注设置装置；

13-备注装置；

14-输出装置；

15-用户界面装置；

1511、1512、1513、1514-第一类窗口；

152-第二类窗口；

153-第三类窗口；

154-第四类窗口；

155-第五类窗口；

156-第六类窗口；

157-第七类窗口。

具体实施方式

为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的技术方案作详细的说明，然而，本发明可以用不同的形式实现，不应只是局限在所述的实施例。此外，需要说明的是，本公开的技术可以硬件和/或软件(包括固件、微代码等)的形式来实现。

请参考图1，本发明提供一种半导体产品良率分析系统，包括：备注设置装置11、输入装置12、备注装置13、输出装置14以及用户界面装置15。

其中，备注设置装置11被配置为预设多种备注方式以及选取一种备注方式以用于对所述输入装置输入的货批名单进行备注。所述输入装置12被配置为根据所述备注设置装置选取的所述备注方式输入需备注的货批名单。备注装置13 被配置为根据所述备注设置装置选取的备注方式为所述输入装置中输入的所述货批名单中的所有货批添加一个备注。输出装置14被配置为关联所述输入装置 12输入的所述货批名单中的所有货批对应的制程和量测数据系统，并输出具有所述备注对应的所有货批的信息，以及，根据所述信息输出统计分析报告，且所述备注与所述统计分析报告相关联。

用户界面装置15被配置为向用户提供操作所述输入装置12、备注设置装置11、备注装置13以及输出装置15的界面，以及向用户展示所述输入装置12输入的数据、所述备注设置装置11预设和选取的备注方式、所述备注装置13添加的备注以及所述输出装置14输出的结果。具体地，请参考图2至图6，本实施例的用户界面装置15具有以下窗口：用于使得输入装置12能够输入货批名单的第一类窗口1511、1512、1513、1514，用于展示和选择所述备注设置装置 11中预设的各种备注方式的第二类窗口152，用于提供备注装置13所需的备注(可以为备注内容、名称、关键字等)以及向输入装置12提供需要查询的备注的第三类窗口153、用于触发所述输入装置12、备注设置装置11、备注装置13 以及输出装置14工作的第四类窗口154以及用于展示输出装置14输出结果的第五类窗口155。

本实施例中，请参考图2至图6，所述备注设置装置11中预设有四种备注方式，包括货批名称或货批批号(Lot ID)、时间(Time)、特殊情况以及产品异常通知(ProductionAbnormal Notice，以下记为“PAN”)，所述特殊情况(以下记为“SWR/TECN/ECN”)包括特殊工作需求实验(Special Work Request，以下记为“SWR”)、临时工程变更通知(TemporaryEngineering Change Notice，以下记为“TECN”)以及工程更改通知(Engineering ChangeNotice，以下记为“ECN”)中的至少一种。用户可以通过用户界面装置15中的第二类窗口152查看到所述备注设置装置11中预设的所有备注方式，并能通过所述第二类窗口 152选择将用于备注的备注方式。

所述输入装置12可以链接到集成电路制造相关的数据系统，并根据用户在用户界面装置15中所选取的备注方式输入其链接的集成电路制造相关的数据系统中存在的一些货批数据。例如当用户通过用户界面装置15中的第二类窗口152 选择货批名称或货批批号(Lot ID)这种备注方式时，请参考图2，用户可以进一步通过第一类窗口1511手动输入需要备注的货批名单，如AP0000001、 AP0000002、AP0000003、AP0000004、……等等，由此输入装置12可以将该货批名单提供给备注装置13和输出装置14，并同时将该货批名单中各个货批对应的集成电路制造相关的数据提供给输出装置14，所述相关的数据可以包括所述货批当前进行的制程、所述货批当前是否还在生产线上且还没有进入测试阶段(Inline)、所述货批当前是否已完成所有制程且已在测试阶段(Probe)、所述货批完成测试后的良率信息等。再例如，当用户通过用户界面装置15中的第二类窗口152选择工艺时间(Time)这种备注方式时，请参考图3，用户可以进一步通过第一类窗口1512输入工艺时间段(Process Time)、制程编号(Operation No.)、机台(tool)、腔室(Chamber)等信息，由此输入装置12可以根据第一类窗口1512输入的信息，到其链接的集成电路制造相关的数据系统中找到对应的货批名单，并将该货批名单提供给备注装置13和输出装置14，并同时将该货批名单中各个货批对应的集成电路制造相关的数据提供给输出装置14。再例如，当用户通过用户界面装置15中的第二类窗口152选择SWR/TECN/ECN等特殊情况这种备注方式时，请参考图4a和4b，用户可以进一步通过第一类窗口1513 输入SWR/TECN/ECN编号(SWR/TECN/ECN No.)，由此输入装置12可以根据第一类窗口1513输入的编号，到其链接的集成电路制造相关的数据系统中找到对应的货批名单，并将该货批名单提供给备注装置13和输出装置14，并同时将该货批名单中各个货批对应的集成电路制造相关的数据提供给输出装置14。再例如，当用户通过用户界面装置15中的第二类窗口152选择PAN这种备注方式时，请参考图4a，用户可以进一步通过第一类窗口1514输入PAN编号(PAN No.) 并在类似第三类窗口153功能的关键字窗口1531中输入相应的关键字，由此输入装置12可以根据第一类窗口1514输入的编号以及关键字窗口1531中输入的关键字，到其链接的集成电路制造相关的数据系统中找到对应的货批名单，并将该货批名单提供给备注装置13和输出装置14，并同时将该货批名单中各个货批对应的集成电路制造相关的数据提供给输出装置14。其中，关键字窗口1531 的设置可以提高输入装置12获货批名单的速度和精准性。

用户可以通过用户界面装置15的第三类窗口153输入一个即将使用的备注(Remark)，例如图2中的“BW Shallow”，并进一步通过输入装置12提供给备注装置13。用户可以通过用户界面装置15中的第四类窗口154中的“备注 /Remark”按钮激活备注装置13的工作。所述备注装置13在激活后，根据所述输入装置12提供的货批名单、需要使用的备注以及备注设置装置11提供的备注方式，为所述货批名单中的各个货批添加所述备注。请参考图6，当选用lot 备注方式时，备注装置13为输入装置12提供的货批名单中的所有货批添加了“BW Shallow”这个备注。

请参考图6，所述输出装置14进一步被配置为：根据输入装置12提供的货批名单输出包含货批名称或货批批号(Lot ID)和所述备注装置备注的备注在内的所有货批的信息为一信息表格。在本实施例中，该信息表格可以通过用户界面装置15的第五类窗口155向用户展示，用户在所述信息表格中的任一所述货批对应的备注(图6中最下方的表格中的Remark一栏)能链接输出所述货批的统计分析报告。本实施例中，所述信息表格中的信息按列依次排布为货批批号 (Lot ID)、备注(Remark)、添加所述备注的用户(User)、所述备注的更新时间(Update Time)、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间(Lead Probe)、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间 (LastProbe)、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量(Inline Count)、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已进入或已经完成测试阶段的测试货批数量(Probe Count)、具有所述备注的所有货批的总数量(Total Count)以及输入装置12为相应的货批上传的相关资料(File)。在本发明的其他实施例中，所述信息表格中的信息也可以适当删减和增加，即所述信息表格中的信息包括User、Update Time、Lead Probe、Last Probe、Inline Count、Probe Count、File中得至少一种即可。其中， Update Time、Lead Probe、Last Probe可以是精确到秒的日期时间格式，也可以是精确到天的日期时间格式。

需要说明的是，在进行备注的时刻，当这些被备注的货批全都在生产线上(Inline)时，可以根据这些货批的工艺制程等数据来预测出其中制程进行最快的货批和制程进行最慢的货批，进而得到具有所述备注的所有货批中最早完成测试的预计时间LeadProbe以及具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的预计时间Last Probe，并将这些显示到所述信息表格中。本实施例中，请参考图6，当用户通过用户界面装置15中得第五类窗口155，可以选取信息表格中任一行的备注“BW Shallow”，可以输出该行货批对应的统计分析报告，请参考图7a～7d，所述统计分析报告中的统计信息可以包括在当前时刻(即查看统计分析报告的时刻)之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值(WIP ratio prediction)、在当前时刻(即查看统计分析报告的时刻)之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值(probe time forecast)、具有所述备注的各个所述货批的目前进程(Layer V.S Lot Count)，以及具有所述备注并已完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势(Time V.S YPS trend)中的至少一种。为了直观且方便地观看所述统计信息，本实施例中进一步地，将所述统计分析报告中的WIP ratioprediction统计信息图形化为一个WIP ratio prediction表格，如图7a所示，WIP ratioprediction表格中显示了需要评估的时间段Probe week为2018年第29周(2018W29)，预计出的测试货批数量为 36，所述测试货批数量与所述总数量的比值为48％，通过此表格可以以评断具有备注的所有货批什么时候能够完全完成制程；还将probe time forecast统计信息图形化为一散点图，如图7b所示，其中当前时刻(即查看统计分析报告的时刻)为第0天，横坐标上的负值表示当前时刻之前已经经历的天数，正值表示当前时刻之后需要经历的天数，即需要预测的天数，纵坐标表示具备所述备注的货批中每天进入测试阶段的货批，进而可以根据此图来预测出后续每天具有备注的所有货批中的测试货批数量(ProbeCount)与总数量(Total Count)的比值，或者，具有备注的所有货批中的线上货批数量与所述总数量的比值，以评断具有备注的所有货批什么时候能够完全完成测试；还将所述LayerV.S Lot Count 统计信息图形化为柱状图，请参考图7c所示，从图7c中可以直观的看出目前每个制程上加工的货批数量(即线上货批数量)，由此可以直观地看到货批具体做到哪个制程；还将Time V.S YPS trend统计信息图形化为曲线图，如图7d所示，图7d中显示了基线(baseline)产品的良率(YPS)随时间(Time)变化的趋势以及具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的随时间变化的趋势，通过比较两条曲线，可以直观的看出具有备注的所有货批对良率造成不利影响，进而也能够预测出具有备注的所有货批中仍处于线上而未进入测试阶段的货批对良率的影响，即能够进一步有效预测良率变化趋势。由于通过统计分析报告可以快速看到具有备注的货批进行到哪个制程，预计什么时候能进入测试阶段,并可以基于两条良率随时间变化的曲线，判断出正好处于测试阶段的具有备注的货批就是最有可能导致良率变化的原因，由此大大提高了良率分析的效率。

此外，为了统计分析报告的导出方便，所述统计分析报告的文件展示形式可以是演示文档(PowerPoint，PPT)、文档(Word)、PDF、JPG图片等格式，例如当采用PPT展示统计分析报告时，统计分析报告中的各项统计信息对应的图形分别呈现在所述PPT中得相应页上。

本实施例中，所述输入装置12进一步被配置为输入具有所述备注的任一所述货批的相关资料，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关，例如所述相关资料中包括关于对这些货批进行备注的原因、描述和/或备注货批的测试数据等；所述输出装置14进一步被配置为输出具有所述备注的任一所述货批的所述相关资料。具体地，用户界面装置15中为实现输入装置12上传相关资料配置了第六类窗口156，用户可以通过用户界面装置15中的信息表格所在的用户界面上的第六类窗口156将相关资料上传，在上传相关资料之前，选择单击信息表格中相应行的“Remark”栏位，以选中该行货批，并在第六类窗口156 中选取需要上传的资料(此时通过输入装置12输入资料)，通过点击该第六类窗口156中的“Upload”按钮(此时可以激活输入装置12到输出装置14之间的数据传输链路)，可以将该行货批的相关资料上传至信息表格的所述行的“File”一栏，信息表格中在所述行的“File”一栏会显示上传资料的集合，该集合中的各个文件名称具有超链接功能，在点击时可以打开所述相关资料。

此外，由于每个SWR/TECN/ECN编号和PAN编号本身都对应了多个货批，因此当备注方式为SWR/TECN/ECN和PAN时，在本发明的不同实施例中，备注装置13对输入的每个SWR/TECN/ECN编号对应的所有货批添加备注的方法可以选择采用图4a或图4b所示的不同方案，对输入的每个PAN编号对应的所有货批添加备注的方法可以选择采用图5a或图5b所示的不同方案。

具体地，请参考图4a，当备注方式为SWR/TECN/ECN时，在本发明的一实施例中，备注装置13对输入的每个SWR/TECN/ECN编号对应的所有货批添加备注的一种方法包括：首先，将用户界面装置15的第一类窗口1513中输入的SWR/TECN/ECN编号直接作为即将使用的备注，进一步通过第四类窗口154 中的“信息检索/Submit”按钮激活输出装置14的工作，此时不激活备注装置 13的工作，这种方法相当于直接将输入的SWR/TECN/ECN编号看作是一个已有备注，并作为需要检索的备注，进而检索出SWR/TECN/ECN编号下的所有货批的信息，输出装置14输出的信息表格中的“Remark”栏中的内容就是 SWR/TECN/ECN编号。在本发明的其他实施例中，通过“信息检索/Submit”按钮激活输出装置14的同时，也可以同时激活备注装置13的工作，使得备注装置13可以输入的为SWR/TECN/ECN编号下的货批添加SWR/TECN/ECN编号作为备注，此时，输出装置14输出的信息表格有三种形式：一是、信息表格中可以有“SWR/TECN/ECN编号”一栏，而省略“Remark”栏；二是、信息表格中可以同时有“SWR/TECN/ECN编号”栏和“Remark”栏，且“Remark”栏中的内容与“SWR/TECN/ECN编号”栏的内容相同；三是、信息表格中有“Remark”栏，而无“SWR/TECN/ECN编号”栏，“Remark”栏中的内容就是 SWR/TECN/ECN编号。

请参考图4b，当备注方式为SWR/TECN/ECN时，在本发明的另一实施例中，备注装置13对输入的每个SWR/TECN/ECN编号对应的所有货批添加备注的另一种方法：在用户界面装置15的第一类窗口1513中输入SWR/TECN/ECN 编号，并在第三类窗口153中输入不同于SWR/TECN/ECN编号的内容作为即将使用的备注，此时输入装置12将输入的每个SWR/TECN/ECN编号直接作为一个货批名单，即每个SWR/TECN/ECN编号中所涉及的货批自动形成一个货批名单，进一步通过第四类窗口154中的“备注/Remark”按钮激活备注装置13和输出装置14的工作，备注装置13会为输入的SWR/TECN/ECN编号下的所有货批添加所述备注，输出装置14输出的信息表格可以同时有“SWR/TECN/ECN 编号”栏和“Remark”栏，或者有“Remark”栏而无“SWR/TECN/ECN编号”栏，且“Remark”栏中的内容为所述备注。

当备注方式为PAN时，请参考图5a，在本发明的一实施例中，备注装置13 对输入的每个PAN编号对应的所有货批添加备注的一种方法：首先，在用户界面装置15的第一类窗口1514中输入的PAN编号，并在第三类窗口153中输入所述PAN编号对应的产品异常通知的关键字直接作为即将使用的备注，进一步通过第四类窗口154中的“信息检索/Submit”按钮激活输出装置14的工作，此时不激活备注装置13的工作，这种方法相当于将输入的PAN编号和关键字看作是一个已有备注，并作为需要检索的备注，进而检索出PAN编号下的所有货批中涉及所述关键字问题的货批的信息，输出装置14输出的信息表格中的“Remark”栏中的内容就是PAN编号对应的产品异常通知中的关键字。在本发明的其他实施例中，通过“信息检索/Submit”按钮激活输出装置14的同时，也可以同时激活备注装置13的工作，使得备注装置13可以再次为PAN编号下的货批添加所述关键字作为备注，此时，输出装置14输出的信息表格有三种形式：一是、信息表格中可以有“PAN编号”一栏，而省略“Remark”栏；二是、信息表格中可以同时有“PAN编号”栏和“Remark”栏，且“Remark”栏中的内容为PAN编号对应的产品异常通知中的关键字；三是、信息表格中有“Remark”栏，而无“PAN编号”栏，“Remark”栏中的内容就是PAN编号对应的产品异常通知中的关键字。

当备注方式为PAN时，请参考图5b，在本发明的另一实施例中，备注装置 13对每个PAN编号对应的所有货批添加备注的另一种方法：在用户界面装置15 的第一类窗口1513中输入PAN编号，并在第三类窗口153中输入不同于PAN 编号的内容作为即将使用的备注，此时输入装置12将输入的每个PAN编号直接作为一个货批名单，即每个PAN编号中所涉及的货批自动形成一个货批名单，进一步通过第四类窗口154中的“备注/Remark”按钮激活备注装置13和输出装置14的工作，备注装置13会为输入的PAN编号下的所有货批添加所述备注，输出装置14输出的信息表格可以同时有“PAN编号”栏和“Remark”栏，或者有“Remark”栏而无“PAN”栏，且“Remark”栏中的内容为所述备注。

从上述内容中应当认识到，备注时，具有备注的所有货批中部分货批可能还在线上而并未进入到测试阶段，因此需要在备注之后，能让用户随时查看这些具有备注的货批的情况，也就是说需要随时查看具有备注的所有货批对应的信息表格，因此，本实施例中，为了实现该功能，所述输入装置12进一步被配置为输入需要查询的备注，所述输出装置14进一步被配置为根据所述输入装置输入的备注输出具有所述备注的所有货批对应的信息表格。具体地，请参考图6，在用户界面装置15的第二类窗口152中选取备注方式，并在第三类窗口153或第七类窗口157中输入需要查询的备注，或者在第一类窗口1511或第七类窗口157中输入货批批号(Lot ID)，输入的该备注、备注方式以及货批批号均由输入装置12提供给输出装置14，点击第四类窗口154中的“信息检索/Submit”按钮，即可激活输出装置14的工作，输出装置14即可根据输入装置12输入的内容输出所述货批批号的货批对应的信息表格或者具有所述备注的所有货批对应的信息表格。

此外，在实际使用过程中，存在同一个货批在生产制程中遇到多种特殊事件或处于多种特殊条件下的情况，由此就需要本发明的半导体产品良率分析系统能够对某个货批进行多次备注。具体地，请参考图1和图8，当输入装置12 中输入某货批后，可以在备注设置装置11中设置多种备注，进而使得备注装置 13能够为同一个货批添加多个不同的备注。当登录用户通过用户界面装置15和输入装置12输入某个货批的名称或货批批号后，输出装置14可以检索并输出所述货批的所有备注情况，并将包含所述货批的所有备注的数据生成一信息表格。具体地，请参考图8，当登录用户通过用户界面装置15的第一类窗口1511 或第七类窗口157中输入货批的名称或货批批号AP0000001后，再通过用户界面装置15的第四类窗口154中的“信息检索/Submit”按钮，可以检索到之前为货批AP0000001添加的三次备注信息，这些信息被输出装置14输出为一表格(该表格与备注时产生的表格形式相同)，并显示在用户界面装置15的界面上。从该表格中可以看出，有三个用户CC、AA、EE在对应的更新时间Update Time 分别为AP0000001和对应不同事件或条件下的Lot添加了对应不同事件或条件的备注：BW shallow、SWR200-1以及PAN001，具有备注SWR200-1的货批总量为P+Q(包括AP0000001在内)，具有备注BW shallow的货批总量为M+N(包括AP0000001在内)，具有备注PAN的货批总量为R+T(包括AP0000001在内)。为了使得本发明的半导体产品良率分析系统与其他系统兼容，本发明的半导体产品良率分析系统还可以包含向其他系统发送数据的功能，例如输出装置14进一步被配置为能够向别的系统导出(Export)信息表格和统计分析报告，以及，向邮件系统发送通知、信息表格和统计分析报告等邮件(Email)，此时用户界面装置15的第四类窗口154中设有对应的“输出报告/Export”、“Email”按钮。

此外，本发明的半导体产品良率分析系统还可以包含删除功能，所述输入装置12进一步被配置为选择需要删除的备注、相关资料或者所述信息表格中的货批行等，所述输出装置12进一步被配置为根据所述输入装置12的选择删除相关数据。此时用户界面装置15的第四类窗口154中设有对应的“删除/Delete”按钮。

此外，本发明的半导体产品良率分析系统还可以包含用户登录功能，此时用户界面装置15可以提供一个用户登录界面，用户可以在该用户登录界面上通过预先给定的用户名(User)和密码登录该分析系统，然后方可以进行Remark (备注)、Upload(上传相关资料)、Email(发送邮件)、Submit(信息检索)、 Delete(数据删除)、Export(统计分析报告等信息输出)等操作。同时，不同的用户还可以根据各自的需求去配置Export的统计分析报告的格式内容，例如表格、散点图、柱状图、曲线图和/或箱形图等。进一步地，在用户未登录该分析系统时，用户也是能够使用系统的部分功能，例如利用备注输入功能以及Submit 功能等来查询具有备注的货批Lot及其相关信息和/或利用Export功能来输出所述相关信息等。

可以理解的是，输入装置12、备注设置装置11、备注装置13、输出装置14以及用户界面装置15可以合并在一个模块中实现，或者其中的任意一个装置可以被拆分成多个模块，或者，这些装置中的一个或多个装置的至少部分功能可以与其他装置的至少部分功能相结合，并在一个模块中实现。根据本发明的实施例，输入装置12、备注设置装置11、备注装置13、输出装置14以及用户界面装置15中的至少一个可以至少被部分地实现为硬件电路，例如现场可编程门阵列(FPGA)、可编程逻辑阵列(PLA)、片上系统、基板上的系统、封装上的系统、专用集成电路(ASIC)，或可以以对电路进行集成或封装的任何其他的合理方式等硬件或固件来实现，或以软件、硬件以及固件三种实现方式的适当组合来实现。或者，输入装置12、备注设置装置11、备注装置13、输出装置 14以及用户界面装置15中的至少一个可以至少被部分地实现为计算机程序模块，当该程序被计算机运行时，可以执行相应模块的功能。

请参考图9，本发明还提供一种半导体产品良率分析方法，包括：

S1,预设多种备注方式，并从中选取一种备注方式；

S2,根据选取的所述备注方式，输入需备注的货批名单；

S3，给输入的所述货批名单中的所有货批添加一个备注；以及，

S4，根据具有所述备注的所有货批的对应的制程和量测数据，输出具有所述备注的各个所述货批的统计分析报告。

请参考图2至图6，在步骤S1中，预设的多种备注方式包括货批名称或货批批号(Lot ID)、时间(Time)、特殊情况以及产品异常通知(PAN)，所述特殊情况包括特殊工作需求实验(SWR)、临时工程变更通知(TECN)以及工程更改通知(ECN)中的至少一种。选取一种备注方式，且根据选取的备注方式来设置需要添加的备注，所述备注可以包括大写字母、小写字母、数字以及特殊字符中的至少一种。例如当选取的备注方式为Lot时，可以使用包括大写字母、小写字母、数字以及特殊字符中的至少一种组成的内容来作为即将使用的备注；当选取的备注方式为SWR/TECN/ECN时，可以直接将SWR/TECN/ECN编号作为所需的备注；当选取的备注方式为PAN时，可以直接将PAN编号及对应输入的关键字作为所需的备注。

请参考图2至图6，在步骤S2中，可以采用手动的方式或者自动的方式或者半自动的方式输入需备注的货批名单。其中手动的方式例如图2中所示，手动输入所有需要备注的货批的货批批号；半自动的方式例如为图4a～4b和图5a～5b中，先手动输入SWR/TECN/ECN编号或者PAN编号，然后自动关联到输入的编号对应的所有货批；所述自动的方式例如可以直接连接到集成电路制造相关的数据系统，并从中选择相应的货批。当在步骤S1中选择的备注方式为 Lot时，可以在步骤S2中自动输入需要备注的货批名单(也可以说货批列表)；当在步骤S1中选取的备注方式为SWR/TECN/ECN时，可以在步骤S2中根据输入的SWR/TECN/ECN编号直接链接到集成电路制造相关的数据系统，以找到 SWR/TECN/ECN编号下的所有货批的货批批号，自动形成需要备注的货批名单；当步骤S1中选取的备注方式为PAN时，可以在步骤S2中根据输入的PAN 编号和PAN关键字直接链接到集成电路制造相关的数据系统，以找到PAN关键字对应的所有货批的货批批号，自动形成需要备注的货批名单。

请参考图2至图6，在步骤S3中，根据步骤S1中选取的备注方式，来对步骤S2中形成的货批名单中的所有货批添加备注，其中，当在步骤S1中选择的备注方式为Lot时，可以在步骤S3中为货批名单中的所有货批添加步骤S1中设置的即将使用的备注；当在步骤S1中选取的备注方式为SWR/TECN/ECN时，可以在步骤S3中直接将输入的SWR/TECN/ECN编号作为所述货批名单中的所有货批的备注；当步骤S1中选取的备注方式为PAN时，可以在步骤S3中直接将输入的PAN编号和PAN关键字作为所述货批名单中的所有货批的备注。当然，在本发明的其他实施例中，当在步骤S1中选取的备注方式为SWR/TECN/ECN 或者PAN时，还可以在步骤S1中设置额外的备注，在步骤S2中将 SWR/TECN/ECN编号看作一个货批名单，或者根据输入的PAN关键字来从输入的PAN编号对应的所有货批中筛选出相应的货批形成一个货批名单，以在步骤S3中为货批名单中的所有货批添加步骤S1中设置的额外的备注，具体可以参考上文中有关图4b和图5b的内容描述，在此不再赘述。

请参考图2至图6，在步骤S3添加所述备注后，步骤S4中可以将包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息输出为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出所述货批的统计分析报告。所述信息表格中的信息包括货批批号(LotID)、备注(Remark)、添加所述备注的用户 (User)、所述备注的更新时间(Update Time)、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间(Lead Probe)、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间(Last Probe)、目前具有所述备注的所有货批中还在线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量(Inline Count)、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量(Probe Count)、具有所述备注的所有货批的总数量(Total Count)的至少一种。在本发明的一实施例中，所述的半导体产品良率分析方法还包括：上传具有所述备注的任一所述货批的相关资料至所述信息表格中，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关，此时所述信息表格中得信息还包括上传的相关资料(File)，所述相关资料以数据集合的形式存放，其中包括进行备注的原因。

请参考图7a～7d，所述统计分析报告中的统计信息可以包括在当前时刻(即查看统计分析报告的时刻)之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值(WIP ratio prediction)、在当前时刻(即查看统计分析报告的时刻)之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值(probe time forecast)、具有所述备注的各个所述货批的目前进程(Layer V.S Lot Count)，以及具有所述备注并已完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势(Time V.S YPS trend)中的至少一种。为了直观且方便地观看所述统计信息，本实施例中进一步地，将所述统计分析报告中的WIP ratioprediction统计信息图形化为一个WIP ratio prediction表格，如图7a所示，WIP ratioprediction表格中显示了需要评估的时间段Probe week为2018年第29周(2018W29)，预计的测试货批数量为36，所述测试货批数量与所述总数量的比值为48％，通过此表格可以以评断具有备注的所有货批什么时候能够完全完成制程；还将probe time forecast统计信息图形化为一散点图，如图7b所示，其中当前时刻(即查看统计分析报告的时刻)为第0天，横坐标上的负值表示在当前时刻之前已经经历的天，正值表示当前时刻之后需要经历的天，即需要预测的天，纵坐标表示具备所述备注的货批中每天进入测试阶段的货批，进而在形成备注之后，可以根据此图来预测出后续每天具有备注的所有货批中的测试货批数量(Probe Count)与总数量(Total Count)的比值，或者，具有备注的所有货批中的线上货批数量(Inline Count)与所述总数量(Total Count)的比值，以评断具有备注的所有货批什么时候能够完全完成测试；还将所述Layer V.S Lot Count统计信息图形化为柱状图，请参考图7c所示，从图7c中可以直观的看出目前每个制程上加工的货批数量(即线上货批数量)，由此可以直观地看到货批具体做到哪个制程；还将Time V.S YPS trend统计信息图形化为曲线图，如图7d所示，图7d中显示了基线(baseline) 产品的良率(YPS)随时间(Time)变化的趋势以及具有所述备注并已完成测试阶段的所有货批的良率随时间变化的趋势，通过比较两条曲线，可以直观的看出具有备注的所有货批中的哪个货批对良率造成不利影响，进而也能够预测出具有备注的所有货批中仍处于线上而未进入测试阶段的货批对良率的影响，即能够进一步有效预测良率变化趋势。由于通过统计分析报告可以快速看到具有备注的货批进行到哪个制程，预计什么时候能进入测试阶段,并可以基于两条良率随时间变化的曲线，判断出正好处于测试阶段的具有备注的货批就是最有可能导致良率变化的原因，由此大大提高了良率分析的效率。

此外，在实际使用过程中，存在用户对某个货批进行多角度分析的情况以及不同用户对同一个货批进行不同角度的分析的情况，因此本发明的半导体产品良率分析方法，可以通过多次不同的备注过程(即多次执行步骤S1至S4)来对同一个货批进行多次备注。

在本发明的一实施例中，所述的半导体产品良率分析方法，还包括：输入需要查询的备注，根据输入的所述备注，输出具有所述备注的所有货批的信息表格；和/或(即二选一或二者兼具)，输入需要查询的货批的名称或货批批号或特殊情况的编号或者产品异常通知编号(或称为产品异常通知单编号，PAN编号)，根据输入的所述货批的名称或货批批号或特殊情况的编号或者产品异常通知编号，输出所述货批的名称或货批批号或特殊情况的编号或者产品异常通知编号对应的所述货批的信息表格，所述信息表格中包含所述货批的所有的备注。所述特殊情况的编号包括特殊工作需求实验编号(SWR编号)、临时工程变更通知编号(或称为临时工程变更通知单编号，TECN编号)和工程更改通知编号(或称为工程更改通知单编号，ECN编号)中的至少一种。其中，当输入需要查询的备注后，进行信息检索并输出相应的信息表格的过程可以参考上文的半导体产品良率分析系统中有关信息检索的内容描述，在此不再赘述。当输入SWR编号、TECN编号、ECN编号后，进行信息检索并输出相应的信息表格的过程可以参考上文中有关图4a的内容描述，在此不再赘述；当输入PAN编号和关键字后，进行信息检索并输出相应的信息表格的过程可以参考上文中有关图5a的内容描述，在此不再赘述；当输入一个货批批号后，进行信息检索并输出相应的信息表格的过程可以参考上文中有关图8的内容描述，在此不再赘述。

本发明的半导体产品良率分析方法优选地采用本发明的半导体产品良率分析系统来实现。

此外，请继续参考图2至图9，本发明还提供一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序可以包括代码/计算机可执行指令，所述计算机程序被处理器执行时实现图9所示的自动检测集成电路参数间的相关性的方法的步骤S1至S4及其任何变形。所述计算机存储介质可以是能够包含、存储、传送、传播或传输指令的任意介质。例如，所述计算机存储介质可以包括但不限于电、磁、光、电磁、红外或半导体系统、装置、器件或传播介质。所述计算机存储介质的具体示例包括：磁存储装置，如磁带或硬盘(HDD)；光存储装置，如光盘(CD-ROM)；存储器，如随机存取存储器(RAM)或闪存；和/或有线/无线通信链路。

综上所述，本发明的半导体产品良率分析系统及方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,能够缩短良率分析时间，快速找到良率变化的原因，提高良率分析效率。

显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种半导体产品良率分析系统，其特征在于，包括：

备注设置装置，其被配置为预设多种备注方式以及选取一种备注方式，所述预设的多种备注方式包括lot ID、时间、特殊情况以及产品异常通知，所述lot ID为货批名称或货批批号，所述特殊情况包括特殊工作需求实验、临时工程变更通知和工程更改通知中的至少一种；

输入装置，其被配置为根据所述备注方式，输入需备注的货批名单；

备注装置，其被配置为给所述货批名单中的所有货批添加备注；以及，

输出装置，其被配置为关联所有货批的制程和量测数据系统，并输出具有所述备注对应的所述货批的信息，以及，根据所述信息输出统计分析报告，且所述备注与所述统计分析报告相关联，进而根据所述统计分析报告，从所述货批名单中找出最有可能导致良率变化的原因的货批。

2.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输出装置进一步被配置为输出包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出对应的所述统计分析报告。

3.如权利要求2所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述信息表格中的信息还包含添加所述备注的用户、所述备注的更新时间、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量，以及，具有所述备注的所有货批的总数量中的至少一种。

4.如权利要求3所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述统计分析报告中的统计信息包括在当前时刻之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值、在当前时刻之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值、具有所述备注的各个所述货批的目前进程、以及，具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势中的至少一种。

5.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输入装置进一步被配置为输入具有所述备注的任一所述货批的相关资料，所述输出装置进一步被配置为输出具有所述备注的任一所述货批的所述相关资料，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关。

6.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输入装置进一步被配置为输入需要查询的所述备注，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置输入的所述备注输出具有所述备注的所有货批的信息；和/或，所述输入装置进一步被配置为输入需要查询的货批的名称或货批批号，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置输入的所述货批的名称或货批批号，输出所述货批的名称或货批批号对应的所述货批的信息表格，所述信息表格中包含所述货批的所有的备注。

7.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输入装置进一步被配置为选择需要输出所述统计分析报告的货批，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置选择的所述货批输出对应的所述统计分析报告。

8.如权利要求1至7中任一项所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，还包括用户界面装置，其被配置为向用户提供操作所述输入装置、所述备注设置装置、所述备注装置以及所述输出装置的界面，以及向用户展示所述输入装置输入的数据、所述备注设置装置预设和选取的备注方式、所述备注装置添加的备注以及所述输出装置输出的结果。

9.一种半导体产品良率分析方法，其特征在于，包括：

预设多种备注方式，并从中选取一种备注方式，所述预设的多种备注方式包括lot ID、时间、特殊情况以及产品异常通知，所述lot ID为货批名称或货批批号，所述特殊情况包括特殊工作需求实验、临时工程变更通知和工程更改通知中的至少一种；

根据选取的所述备注方式，输入需备注的货批名单；

给输入的所述货批名单中的所有货批添加一个备注；以及，

根据具有所述备注的所有货批的对应的制程和量测数据，输出具有所述备注的各个所述货批的统计分析报告，并根据所述统计分析报告从所述货批名单中找出最有可能导致良率变化的原因的货批。

10.如权利要求9所述的半导体产品良率分析方法，其特征在于，在添加所述备注后，输出包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出所述货批的统计分析报告。

11.如权利要求10所述的半导体产品良率分析方法，其特征在于，

所述信息表格中的信息还包含添加所述备注的用户、所述备注的更新时间、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量，以及，具有所述备注的所有货批的总数量中的至少一种。

12.如权利要求11所述的半导体产品良率分析方法，其特征在于，所述统计分析报告中的统计信息包括在所述备注时刻之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值、在所述备注时刻之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值、具有所述备注的各个所述货批的目前进程、以及，具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势中的至少一种。

13.如权利要求11所述的半导体产品良率分析方法，其特征在于，还包括：上传具有所述备注的任一所述货批的相关资料至所述信息表格中，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关。

14.如权利要求11所述的半导体产品良率分析方法，其特征在于，还包括：输入需要查询的所述备注，根据输入的所述备注，输出具有所述备注的所有货批的信息表格；和/或，输入需要查询的货批的名称或货批批号，根据输入的所述货批的名称或货批批号，输出所述货批的名称或货批批号对应的所述货批的信息表格，所述信息表格中包含所述货批的所有的备注。

15.一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求9至14中任一项所述的半导体产品良率分析方法。

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