CN110939800B - 波纹管以及薄膜沉积设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种波纹管以及薄膜沉积设备，属于沉积设备技术领域，其可至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题。本发明的一种波纹管，包括：本体，本体能够在轴向上伸长或者缩短；销轴，设于本体外侧，且处于本体的轴向上的第一位置；挂钩，挂钩的第一端与本体外侧连接，且处于本体的轴向上的第二位置，挂钩的第二端具有与销轴匹配的挂接结构，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴能卡入挂接结构内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。

Description

波纹管以及薄膜沉积设备

技术领域

本发明属于沉积设备技术领域，具体涉及一种波纹管以及薄膜沉积设备。

背景技术

波纹管作为一种特殊的管道，其应用范围十分广泛，例如可作为沉积设备的通气管道、作为压力测量仪表的测量元件等。

现有技术中一种波纹管94可作为一种薄膜沉积设备的通气管道，如图1a所示。该薄膜沉积设备的加热基座91的工作台(用于承载待沉积薄膜的基底)位于加热腔室92中，而加热基座91的支撑柱与设于加热腔室92外的升降基座95连接，使得升降基座95的升降可以调整加热基座91的位置。为在升降基座95运动时能保持加热腔室92的密封，在位于加热腔室92外面的支撑柱上套设一个波纹管94，波纹管94两端分别密封的连接加热腔室92具有通孔的外壁和升降基座95，故当升降基座95升降时，波纹管94伸缩，但加热腔室92一直保持密封。同时，波纹管94与支撑柱形成与加热腔室92连通的环状空腔，从而可通过该环状空腔向加热基座91背面吹气体，避免在加热基座91背面成膜。

由于波纹管94的一端与加热腔室92外侧固定、另一端与升降基座95固定，而加热基座91的支撑柱需要固定在波纹管94内，因此，对加热基座91的安装或者拆卸过程如下，如图1b所示，首先需要人工将波纹管94与升降基座95固定的一端拆下并抬升，此时的波纹管94收缩，然后在波纹管94与升降基座95之间放置支撑件93，以固定波纹管94收缩后的形状，使升降基座95与波纹管94具有一定距离，最后再进行加热基座91的安装或者拆卸。

然而，位于波纹管94与升降基座之间的用于限定波纹管94形状的支撑件93在实际安装或者拆卸过程中需要挪动位置，这样不仅可能导致收缩后波纹管94不稳定，从而影响加热基座91拆卸或者安装的效率，而且可能产生一些安全隐患，例如由于波纹管94的被支撑的一端突然下落而挤伤工作人员手。

发明内容

本发明至少部分解决现有的可伸长或者收缩的波纹管不能自限位的问题，提供一种自限位的可伸长或者收缩的波纹管。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种波纹管，包括：

本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；

销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；

挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度。

进一步优选的是，所述销轴与所述挂钩的第一端之间的连线平行于所述本体的轴向。

进一步优选的是，所述本体外侧设有转轴，所述挂钩的第一端与所述转轴转动连接，从而使所述挂钩与所述本体转动连接。

进一步优选的是，所述挂钩为板状，包括两个相对的主表面和连接在两所述主表面间的侧面，所述挂钩的第一端具有连通两所述主表面的孔，所述转轴穿设于所述孔中；所述挂钩的第二端具有远离所述第一端的下侧面，以及与所述下侧面相连的两个边侧面，所述挂接结构为设于其中一个所述边侧面的凹槽；当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述挂钩的下侧面能够在所述销轴上滑动，以使所述销轴卡入所述凹槽内。

进一步优选的是，所述挂钩的下侧面与所述凹槽所在的所述边侧面之间的夹角为120°至150°。

进一步优选的是，所述第一位置和所述第二位置分别处于所述本体的两端。

进一步优选的是，所述本体两端分别具有第一法兰和第二法兰。

进一步优选的是，所述预定长度不大于所述挂钩的第一端与所述挂接结构之间的距离。

进一步优选的是，所述销轴与所述挂钩的数量相同，均为至少两个，且分别沿所述本体的周向均匀分布。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种薄膜沉积设备，包括：

加热腔室，包括位于所述加热腔室底部的安装孔，所述安装孔将所述加热腔室与外界连通；

上述任意之一所述的波纹管，所述波纹管的本体的一端与所述加热腔室外壁连接，并与所述安装孔对应；

升降基座，设于所述加热腔室外，所述波纹管的本体的另一端与所述升降基座连接，所述升降基座上升或者下降时，带动所述波纹管缩短或者伸长；

加热基座，包括位于所述加热腔室内的工作台以及用于支撑所述工作台的支撑杆，所述支撑杆的一端与所述工作台连接，另一端穿过所述安装孔和所述波纹管通道安装在所述升降基座上。

本发明的波纹管，其销轴和挂钩结构的相互配合可以限定波纹管本体的长度，从而使得该波纹管的运用范围更加广泛。

此外，该波纹管可运用在避免加热基座底面沉积的薄膜沉积设备中，在拆卸或者安装该薄膜沉积设备的加热基座的过程中，该波纹管可以自行限定其被压缩后的形状，可以不必使用现有技术中的支撑件，这样不仅使收缩后波纹管形状更加稳定，从而提高加热基座拆卸或者安装的效率，而且避免一些安全隐患，例如可以避免由于波纹管的被支撑的一端突然下落而挤伤工作人员手的事故等。

附图说明

图1a和图1b为现有的具有波纹管的薄膜沉积设备的结构示意图；

图2a为本发明的实施例的一种波纹管的结构示意图；

图2b为本发明的实施例的一种波纹管的挂钩的结构示意图；

图3a-图3e为本发明的实施例的一种薄膜沉积设备安装加热基座的各个步骤示的结构示意图；

其中，附图标记为：10、94波纹管；11本体；20销轴；30挂钩；31转轴；32边侧面；33下侧面；34挂接结构；41第一法兰；42第二法兰；50、92加热腔室；60、95升降基座；70、91加热基座；93支撑件。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例1：

如图2a和图2b所示，本实施例提供一种波纹管10，包括：

本体11，本体11能够在轴向上伸长或者缩短；

销轴20，设于本体11外侧，且处于本体11的轴向上的第一位置；

挂钩30，挂钩30的第一端与本体11外侧连接，且处于本体11的轴向上的第二位置，挂钩30的第二端具有与销轴20匹配的挂接结构34，当第一位置与第二位置之间的轴向长度处于预定长度时，销轴20能卡入挂接结构34内，以限定第一位置与第二位置之间的轴向长度。

其中，也就是说波纹管10的本体11是具有波纹的管状，并且该管状的波纹管10的长短可以改变。销轴20和挂钩30分别连接在波纹管10长度变化的方向上的不同位置，即第一位置和第二位置在波纹管10长度变化的方向上的不同位置。第一位置和第二位置之间的自然长度(无外力作用下的长度)一般不等于预定长度，当波纹管10由于外力作用的使其第一位置和第二位置之间达到预定长度时，销轴20卡入挂接结构34将第一位置和第二位置之间的长度固定。

本实施例的波纹管10具有可以限定波纹管10本体11的长度的结构，从而可以适应实际运用中对不同长度的波纹管10的需求，进而使得该波纹管10的运用范围更加广泛。

优选的，销轴20与挂钩30的第一端之间的连线平行于本体11的轴向。

其中，也就是说销轴20、挂钩30的第一端以及挂钩30的挂接结构34可以位于轴向的同一线上。

当波纹管10的销轴20卡入挂接结构34时，挂钩30的第一端与挂接结构34的连线也是轴向，这样的结构可以增强挂钩30与销轴20对波纹管10限定的稳定性。进一步的，若挂钩30为长条状，当波纹管10的销轴20卡入挂接结构34时，长条状的挂钩30的长边方向为轴向，可以进一步的增强挂钩30与销轴20对波纹管10限定的稳定性。

优选的，本体11外侧设有转轴31，挂钩30的第一端与转轴31转动连接，从而使挂钩30与本体11转动连接。

其中，这里的转轴31可以大致与波纹管10本体11的轴线垂直。与转轴31转动连接的挂钩30可以以转轴31为轴转动。

挂钩30与波纹管10的本体11转动连接可以更加方便的将挂接结构34与销轴20卡合，从而提高该波纹管10的自限位性能。

优选的，挂钩30为板状，包括两个相对的主表面和连接在两主表面间的侧面，挂钩30的第一端具有连通两主表面的孔，转轴31穿设于孔中；挂钩30的第二端具有远离第一端的下侧面33，以及与下侧面33相连的两个边侧面32，挂接结构34为设于其中一个边侧面32的凹槽；当第一位置与第二位置之间的轴向长度时，挂钩30的下侧面33能够在销轴20上滑动，以使销轴20卡入凹槽内。

其中，这里以竖直放置的波纹管10本体11的第二位置在其第一位置上面为例来说明，即挂钩30的第二端可以自然垂置在第一位置与第二位置之间。该挂钩30转动时所在的平面大致是与波纹管10本体11的外侧相切的平面，凹槽所在的边侧面32可以是大致与挂钩30转动时所在的平面垂直的平面，下侧面33可以是当位于第一位置与第二位置之间的本体11压缩时挂钩30首先与销轴20接触的侧面。

具体的，当位于第一位置与第二位置之间的本体11长度大于预定长度时，通过外力将波纹管10压缩，直到销轴20与下侧面33接触，随着波纹管10继续缩短，下侧面33在销轴20上滑动，最终销轴20卡在凹槽内。在以上整个过程中，销轴20与凹槽的卡合主要是借助由于重力而垂置的挂钩30的下侧面33，并不需要人为的或者其他外力将销轴20与凹槽卡合，这样使得波纹管10限位功能的操作更加方便快捷。

优选的，挂钩30的下侧面33与凹槽所在的边侧面32之间的夹角为120°至150°。

其中，也就是说挂钩30的下侧面33与凹槽所在的边侧面32至之间的夹角可以是钝角，而该夹角为120°至150°时，会使销轴20与凹槽的更容易卡合，具体的，挂钩30的下侧面33与凹槽所在的边侧面32之间的夹角可以为135°。

优选的，第一位置和第二位置分别处于本体11的两端。

其中，也就是说位于第一位置与第二位置之间的本体11就是波纹管10本体11的整个长度，即挂钩30和销轴20可以限定波纹管10的整个本体11的长度。

这样的结构可以使得波纹管10的限位更加稳定，并且可以运用到的定的环境或者设备中。

优选的，本体11两端分别具有第一法兰41和第二法兰42。

其中，也就是说通过位于波纹管10第一位置的第一法兰41来安装销轴20，通过位于波纹管10第二位置的第二法兰42来安装转轴31，以连接挂钩30。

这样可以使得销轴20与波纹管10本体11的连接更加稳固、以及使得挂钩30与波纹管10本体11的连接更加稳固，进一步加强挂钩30与销轴20对波纹管10本体11限位的稳定性。

优选的，预定长度不大于挂钩30的第一端与挂接结构34之间的距离。

具体的，当本体11的第一位置与第二位置不在同一轴线上，即当销轴20与挂接结构34卡合时，挂钩30的第一端与挂接结构34的连线与轴线呈一角度，而预定长度是本体11的第一位置与第二位置之间的轴向长度，则此时预定长度小于挂钩30的第一端与挂接结构34之间的距离；当本体11的第一位置与第二位置在同一轴线上，即当销轴20与挂接结构34卡合时，挂钩30的第一端与挂接结构34的连线与轴线平行，而预定长度是本体11的第一位置与第二位置之间的轴向长度，则此时预定长度等于挂钩30的第一端与挂接结构34之间的距离。

优选的，销轴20与挂钩30的数量相同，均为至少两个，且分别沿本体11的周向均匀分布。

其中，当销轴20以及销轴20分别为对应的多个时，可以将波纹管10本体11外侧的多个位置进行长度限位，从而提高被限位的波纹管10的稳定性。此外，当多个销轴20以及多个销轴20在轴向均匀分布时，可以进一步加强挂钩30与销轴20对波纹管10本体11限位的稳定性。

实施例2：

如图3a-3e所示，本实施例提供一种薄膜沉积设备，包括：

加热腔室50，包括位于加热腔室50底部的安装孔，安装孔将加热腔室50与外界连通；

实施例1中的波纹管10，波纹管10的本体11的一端与加热腔室50外壁连接，并与安装孔对应；

升降基座60，设于加热腔室50外，波纹管10的本体11的另一端与升降基座60连接，升降基座60上升或者下降时，带动波纹管10缩短或者伸长；

加热基座70，包括位于加热腔室50内的工作台以及用于支撑工作台的支撑杆，支撑杆的一端与工作台连接，另一端穿过安装孔和波纹管10通道安装在升降基座60上。

具体的，波纹管10与加热腔室50外壁连接的一端为第二位置，而波纹管10与升降基座60连接的一端为第二位置，并且波纹管10与加热腔室50外壁连接、波纹管10与升降基座60连接可以通过本领域常见的连接件连接，例如螺栓等。

优选的，本实施例的薄膜沉积设备中的波纹管10可以是实施例1中最优选的波纹管10。

以下为本实施例的薄膜沉积设备安装加热基座70的具体步骤：

S10、如图3a所示，将升降基座60上升，直到销轴20与挂钩30的下侧面33接触，使得挂钩30的下侧面33在销轴20上滑动，并且使得挂钩30与竖直方向呈现一定角度。

S30、如图3b所示，升降基座60继续上升，直到与下侧面33接近的凹槽卡在销轴20上。

S40、如图3c所示，将升降基座60下降，以备安装加热基座70。

S50、如图3d所示，安装加热基座70。

S60、如图3e所示，通过升降基座60的上升将挂钩30与销轴20松开，并将波纹管10的第一位置固定在升降基座60上，并还原波纹管10的长度。

本实施例的薄膜沉积设备中，在拆卸或者安装该薄膜沉积设备的加热基座70的过程中，其中的波纹管10可以自行限定其被压缩后的形状，可以不必使用现有技术中的支撑件，这样不仅使收缩后波纹管10形状更加稳定，从而提高加热基座70拆卸或者安装的效率，而且避免一些安全隐患，例如可以避免由于波纹管10的被支撑的一端突然下落而挤伤工作人员手的事故等。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本发明的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (9)

1.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括：

加热腔室，包括位于所述加热腔室底部的安装孔，所述安装孔将所述加热腔室与外界连通；

波纹管，包括：

本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；

销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；

挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度；

所述波纹管的本体的一端与所述加热腔室外壁连接，并与所述安装孔对应；

升降基座，设于所述加热腔室外，所述波纹管的本体的另一端与所述升降基座连接，所述升降基座上升或者下降时，带动所述波纹管缩短或者伸长；

加热基座，包括位于所述加热腔室内的工作台以及用于支撑所述工作台的支撑杆，所述支撑杆的一端与所述工作台连接，另一端穿过所述安装孔和所述波纹管通道安装在所述升降基座上。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述销轴与所述挂钩的第一端之间的连线平行于所述本体的轴向。

3.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述本体外侧设有转轴，所述挂钩的第一端与所述转轴转动连接，从而使所述挂钩与所述本体转动连接。

4.根据权利要求3所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述挂钩为板状，包括两个相对的主表面和连接在两所述主表面间的侧面，所述挂钩的第一端具有连通两所述主表面的孔，所述转轴穿设于所述孔中；

所述挂钩的第二端具有远离所述第一端的下侧面，以及与所述下侧面相连的两个边侧面，所述挂接结构为设于其中一个所述边侧面的凹槽；当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述挂钩的下侧面能够在所述销轴上滑动，以使所述销轴卡入所述凹槽内。

5.根据权利要求4所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述挂钩的下侧面与所述凹槽所在的所述边侧面之间的夹角为120°至150°。

6.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述第一位置和所述第二位置分别处于所述本体的两端。

7.根据权利要求6所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述本体两端分别具有第一法兰和第二法兰。

8.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述预定长度不大于所述挂钩的第一端与所述挂接结构之间的距离。

9.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述销轴与所述挂钩的数量相同，均为至少两个，且分别沿所述本体的周向均匀分布。

Images