CN110864810A - 炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种炉管晶舟温度的检测设备，包括：温度检测仪和控制系统，所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统，所述控制系统对晶舟的温度进行判断，本发明还提供了一种炉管晶舟温度的监控方法，包括：温度检测仪检测晶舟的温度；所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统；所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。在本发明提供的一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法中，温度检测仪能智能地感知晶舟的温度并传输给控制系统，控制系统智能地判断是否达到卸载硅片的温度条件，并控制卸载硅片。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法。
背景技术
炉管机台在降舟后采用在循环氮气流通的方法来达到晶舟降温的目的，在一定时间的氮气循环后，再将硅片从晶舟上卸载下来。现有技术无法监控晶舟的温度，也无法确认机台在卸载硅片时晶舟以及硅片的温度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法，可以智能地感知晶舟的温度，方便得知卸载硅片的具体时间。
为了达到上述目的，本发明提供了一种炉管晶舟温度的检测设备，包括：温度检测仪和控制系统，所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统，所述控制系统对晶舟的温度进行判断。
可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述温度检测仪和所述控制系统通过有线或无线方式连接。
可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述温度检测仪包括红外热像仪。
可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述红外热像仪位于所述晶舟一侧，并且所述红外热像仪发出的光垂直于所述晶舟。
可选的，所述的炉管晶舟温度的检测设备中，所述炉管晶舟温度的检测设备还包括传输装置。
本发明还提供了一种炉管晶舟温度的监控方法，包括：
温度检测仪检测晶舟的温度；
所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统；
所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。
可选的，所述的炉管晶舟温度的监控方法中，温度检测仪检测晶舟的温度之前，所述炉管晶舟温度的监控方法还包括：设定一温度阈值。
可选的，所述的炉管晶舟温度的监控方法中，若晶舟的温度达到阈值，则卸载晶舟内的硅片。
可选的，所述的炉管晶舟温度的监控方法中，若晶舟的温度没有达到阈值，则继续等待，待检测到的晶舟的温度达到阈值时再卸载硅片。
可选的，在所述的炉管晶舟温度的监控方法中，所述卸载硅片的方法包括：所述控制系统控制传输装置卸载硅片。
在本发明提供的一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法中，温度检测仪能智能地感知晶舟的温度并传输给控制系统，控制系统智能地判断是否达到卸载硅片的温度条件，并控制卸载硅片。
附图说明
图1是本发明实施例的炉管晶舟温度的检测设备的结构示意图；
图中：110-温度检测仪、120-控制系统、130-晶舟。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
参照图1，本发明提供了一种炉管晶舟温度的检测设备，包括：温度检测仪110和控制系统120，所述温度检测仪110用于监测晶舟130的温度并传给所述控制系统120，所述控制系统120对晶舟130的温度进行判断。
优选的，所述温度检测仪110和所述控制系统120通过有线或无线方式连接。温度检测仪110和控制系统120的连接方式选择有线或者无线都可以，只要使得温度检测仪110的温度能够传输到控制系统120就可以。
本实施例中，所述温度检测仪110包括红外热像仪。红外热像仪，主要用于研发或工业检测与设备维护中，在防火、夜视以及安防中也有广泛应用。通俗地讲热像仪就是将物体发出的红外能量转变为可见的热图像。热图像的上面的不同颜色代表被测物体的不同温度。在本发明的其他实施例中也可以用其他温度检测仪110例如传感器。
优选的，所述红外热像仪位于所述晶舟130一侧，并且所述红外热像仪发出的光垂直于所述晶舟130。晶舟130是竖直立于地面上的一个设备，两个侧壁都有多个卡槽，可以用于放置多个硅片，每个硅片放置在一个卡槽内，多个硅片平行并分开放置在多个卡槽内。红外热像仪垂直晶舟130一侧设置，红外热像仪发出的光垂直于晶舟130，能同时获取晶舟130上多段位置的不同温度。
进一步的，所述炉管晶舟温度的检测设备还包括传输装置(图中未示出)。传输装置包括叉手装置，用于在卸载硅片时将硅片从晶舟130内托出并传输到下一工位。
本发明还提供了一种炉管晶舟温度的监控方法，包括：
温度检测仪110检测晶舟130的温度；
所述温度检测仪110将监测到的晶舟的温度传给控制系统120；
所述控制系统120对所述晶舟的温度进行判断。
进一步的，温度检测仪110检测晶舟130的温度之前，所述炉管晶舟温度的监控方法还包括：设定一温度阈值。这个阈值由操作人员设置，可以在控制系统120内设置，当控制系统120获取的温度并判断在阈值内时，就可以控制传输装置卸载硅片，这个阈值一般是一个范围，例如10℃-30℃或者0℃-30℃，这只是举个例子，具体的值不对本发明有所限制。
本实施例中，若晶舟130的温度达到阈值，则卸载晶舟130内的硅片。如果阈值是0℃-30℃，则是当温度检测仪传给控制系统的温度在这个范围内时，就可以卸载硅片了。
本实施例中，若晶舟130的温度没有达到阈值，则继续等待，待检测到的晶舟130的温度达到阈值时再卸载硅片。当温度大于30℃时，需要继续等待硅片冷却，直到温度冷却到这个范围内时再卸载硅片。
本实施例中，所述卸载硅片的方法包括：所述控制系统控制传输装置卸载硅片。控制系统120获取晶舟130的温度，控制系统120判断温度是否达到阈值，控制系统120控制传输装置卸载硅片，整个过程都是自动，大大地减少了人力物力，并且对晶舟130的温度判断更加准确。
综上，在本发明实施例提供的一种炉管晶舟温度的检测设备及炉管晶舟温度的监控方法中，温度检测仪能智能地感知晶舟的温度并传输给控制系统，控制系统智能地判断是否达到卸载硅片的温度条件，并控制卸载硅片。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，包括：温度检测仪和控制系统，所述温度检测仪用于监测晶舟的温度并传给所述控制系统，所述控制系统对晶舟的温度进行判断。
2.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述温度检测仪和所述控制系统通过有线或无线方式连接。
3.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述温度检测仪包括红外热像仪。
4.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述红外热像仪位于所述晶舟一侧，并且所述红外热像仪发出的光垂直于所述晶舟。
5.如权利要求1所述的炉管晶舟温度的检测设备，其特征在于，所述炉管晶舟温度的检测设备还包括传输装置。
6.一种基于权利要求1-5任一项所述的炉管晶舟温度的检测设备的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，包括：
温度检测仪检测晶舟的温度；
所述温度检测仪将监测到的晶舟的温度传给控制系统；
所述控制系统对所述晶舟的温度进行判断。
7.如权利要求6所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，温度检测仪检测晶舟的温度之前，所述炉管晶舟温度的监控方法还包括：设定一温度阈值。
8.如权利要求6所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，若晶舟的温度达到阈值，则卸载晶舟内的硅片。
9.如权利要求8所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，若晶舟的温度没有达到阈值，则继续等待，待检测到的晶舟的温度达到阈值时再卸载硅片。
10.如权利要求6所述的炉管晶舟温度的监控方法，其特征在于，所述卸载硅片的方法包括：所述控制系统控制传输装置卸载硅片。
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