CN110836604A - 一种管式真空反应炉 - Google Patents

一种管式真空反应炉 Download PDF

Info

Publication number
CN110836604A
CN110836604A CN201810941107.4A CN201810941107A CN110836604A CN 110836604 A CN110836604 A CN 110836604A CN 201810941107 A CN201810941107 A CN 201810941107A CN 110836604 A CN110836604 A CN 110836604A
Authority
CN
China
Prior art keywords
stainless steel
vacuum
flange
tube
furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810941107.4A
Other languages
English (en)
Inventor
李晔纯
成秋云
罗志敏
张弥涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd
Original Assignee
Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd filed Critical Hunan Red Sun Photoelectricity Science and Technology Co Ltd
Priority to CN201810941107.4A priority Critical patent/CN110836604A/zh
Publication of CN110836604A publication Critical patent/CN110836604A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00—Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • F27B17/0016—Chamber type furnaces
    • F27B17/0025—Especially adapted for treating semiconductor wafers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0073—Seals
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • F27D2007/066—Vacuum

Abstract

本发明公开了一种管式真空反应炉，包括不锈钢炉管、不锈钢前法兰盘、不锈钢后法兰盘、以及炉门，所述不锈钢炉管前端与所述不锈钢前法兰盘焊接，不锈钢炉管后端与所述不锈钢后法兰盘焊接，所述不锈钢前法兰盘中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管的进料孔，所述炉门与所述不锈钢前法兰盘的前端面之间设有密封件，所述不锈钢前法兰盘的后端面焊接有进气管，所述不锈钢后法兰盘的中部开设有抽气孔并于抽气孔处焊接有抽气组件。本发明具有结构简单、安装方便、不易出现漏气等优点。

Description

一种管式真空反应炉
技术领域
本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种管式真空反应炉。
背景技术
目前在半导体等行业中，需要真空密封的管式设备普遍采用石英管作为工艺反应室，石英管两端各设置一组密封法兰，各组密封法兰均配置一套密封炉门，密封法兰和石英管之间采用径向密封，密封法兰和密封炉门之间采用端面密封，通过径向和端面的两级密封圈满足密封要求。石英管真空反应室是通过密封法兰将径向密封圈与石英管压合密封，对密封法兰的加工精度、安装技巧的要求非常高，例如：安装压合不到位可能造成漏气，安装压合过紧可能将石英管压裂，在安装过程中操作不当可能造成密封法兰和石英管之间发生磕碰，容易导致碰碎石英管口而发生漏气。此外在使用过程中，装有待反应物的载具需落在石英管内壁上，石英管长期承受其重力，可能造成管壁破裂而漏气，导致使用过程中需要频繁更换石英管，影响生产效率，也会增加维护成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、安装方便、不易出现漏气的管式真空反应炉。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种管式真空反应炉，包括不锈钢炉管、不锈钢前法兰盘、不锈钢后法兰盘、以及炉门，所述不锈钢炉管前端与所述不锈钢前法兰盘焊接，不锈钢炉管后端与所述不锈钢后法兰盘焊接，所述不锈钢前法兰盘中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管的进料孔，所述炉门与所述不锈钢前法兰盘的前端面之间设有密封件，所述不锈钢前法兰盘的后端面焊接有进气管，所述不锈钢后法兰盘的中部开设有抽气孔并于抽气孔处焊接有抽气组件。
作为上述技术方案的进一步改进：所述不锈钢前法兰盘的前端面开设有安装凹槽，所述密封件嵌装于所述安装凹槽内。
作为上述技术方案的进一步改进：所述安装凹槽为燕尾槽。
作为上述技术方案的进一步改进：所述密封件由氟橡胶制成。
作为上述技术方案的进一步改进：所述进气管包括位于所述不锈钢炉管内的第一进气管和位于所述不锈钢炉管外侧的第二进气管。
作为上述技术方案的进一步改进：所述抽气组件包括不锈钢真空管、不锈钢真空法兰以及真空泵，所述不锈钢真空管一端与所述不锈钢后法兰盘焊接，另一端与所述不锈钢真空法兰焊接，所述真空泵与所述不锈钢真空法兰相连。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的管式真空反应炉，采用不锈钢材质的炉管、前法兰盘、后法兰盘，各主要部件之间采用焊接连接，只需要将炉管位置固定即可完成安装工作，在保证焊接质量的前提下，即可保证焊接位置的密封性能，工艺反应物及其载具可长时间放置在不锈钢炉管的内壁上，不存在石英管壁开裂而需要频繁更换的问题，即便运输、安装、调试和使用过程中发生轻微磕碰也不至于产生缺口、裂纹，不易出现漏气，有利于保证反应炉的密封性能，同时制造成本也可大幅度降低至石英管反应炉的25％左右。
附图说明
图1是本发明管式真空反应炉的主视结构示意图。
图2是图1中A处的放大图。
图中各标号表示：1、不锈钢炉管；2、不锈钢前法兰盘；21、进料孔；22、进气管；221、第一进气管；222、第二进气管；23、安装凹槽；3、不锈钢后法兰盘；31、抽气孔；32、抽气组件；321、不锈钢真空管；322、不锈钢真空法兰；4、炉门；5、密封件。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
图1至图2示出了本发明管式真空反应炉的一种实施例，本实施例的管式真空反应炉，包括不锈钢炉管1、不锈钢前法兰盘2、不锈钢后法兰盘3、以及炉门4，不锈钢炉管1前端与不锈钢前法兰盘2焊接，不锈钢炉管1后端与不锈钢后法兰盘3焊接，不锈钢前法兰盘2中部开设有供反应物载具进出不锈钢炉管1的进料孔21，炉门4与不锈钢前法兰盘2的前端面之间设有密封件5，不锈钢前法兰盘2的后端面焊接有进气管22，不锈钢后法兰盘3的中部开设有抽气孔31并于抽气孔31处焊接有抽气组件32。
该管式反应炉采用不锈钢炉管1、不锈钢前法兰盘2、不锈钢后法兰盘3，各主要部件之间采用焊接连接，只需要将不锈钢炉管1位置固定即可完成安装工作，在保证焊接质量的前提下，即可保证焊接位置的密封性能，工艺反应物及其载具(例如太阳能电池片及石墨舟载具)可长时间放置在不锈钢炉管1的内壁上，不存在石英管壁开裂而需要频繁更换的问题，即便运输、安装、调试和使用过程中发生轻微磕碰也不至于产生缺口、裂纹，不易出现漏气，有利于保证反应炉的密封性能。其中，部件之间的焊接全部采用氩弧满焊，确保无漏点后，需进行人工处理消除应力；作为优选的技术方案，不锈钢炉管1由不锈钢板滚圆后形成圆柱形再焊接而成；不锈钢前法兰盘2的外径大于不锈钢炉管1的外径，进料孔21的直径小于不锈钢炉管1的内径，不锈钢后法兰盘3的外径与不锈钢炉管1的外径相等，其上的抽气孔31直径小于进料孔21的直径；进气管22用于工艺反应时工艺气体进入不锈钢炉管1内的通道，抽气组件32用于使不锈钢炉管1内形成真空，密封件5用于保证炉门4与不锈钢前法兰盘2前端面之间的密封，可在不锈钢前法兰盘2的前端面开设安装凹槽23，密封件5嵌装于安装凹槽23内，相应地要求不锈钢前法兰盘2前端面具有足够的平面度，因此可在焊接应力消除后，再对前端面进行加工保证平整度，最后再加工安装凹槽23，密封件5例如可以是密封胶条、O型密封圈等。
更进一步地，本实施例中，安装凹槽23为燕尾槽。采用燕尾槽能够将密封件5可靠地定位在安装凹槽23内。
进一步地，本实施例中，密封件5由氟橡胶制成。氟橡胶制成的密封圈密封性能好，耐高温，使用寿命长。
进一步地，本实施例中，进气管22包括位于不锈钢炉管1内的第一进气管221和位于不锈钢炉管1外侧的第二进气管222。
进一步地，本实施例中，抽气组件32包括不锈钢真空管321、不锈钢真空法兰322以及真空泵(图中未示出，为已有零件，可市购)，不锈钢真空管321一端与不锈钢后法兰盘3焊接，另一端与不锈钢真空法兰322焊接，真空泵与不锈钢真空法兰322相连。工作时，真空泵启动，将不锈钢炉管1内气体、杂质等依次经过不锈钢后法兰盘3、不锈钢真空管321、不锈钢真空法兰322和真空泵3后排出，从而在不锈钢炉管1内形成真空反应环境。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (6)

1.一种管式真空反应炉，其特征在于：包括不锈钢炉管(1)、不锈钢前法兰盘(2)、不锈钢后法兰盘(3)、以及炉门(4)，所述不锈钢炉管(1)前端与所述不锈钢前法兰盘(2)焊接，不锈钢炉管(1)后端与所述不锈钢后法兰盘(3)焊接，所述不锈钢前法兰盘(2)中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管(1)的进料孔(21)，所述炉门(4)与所述不锈钢前法兰盘(2)的前端面之间设有密封件(5)，所述不锈钢前法兰盘(2)的后端面焊接有进气管(22)，所述不锈钢后法兰盘(3)的中部开设有抽气孔(31)并于抽气孔(31)处焊接有抽气组件(32)。
2.根据权利要求1所述的管式真空反应炉，其特征在于：所述不锈钢前法兰盘(2)的前端面开设有安装凹槽(23)，所述密封件(5)嵌装于所述安装凹槽(23)内。
3.根据权利要求2所述的管式真空反应炉，其特征在于：所述安装凹槽(23)为燕尾槽。
4.根据权利要求1或2或3所述的管式真空反应炉，其特征在于：所述密封件(5)由氟橡胶制成。
5.根据权利要求1或2或3所述的管式真空反应炉，其特征在于：所述进气管(22)包括位于所述不锈钢炉管(1)内的第一进气管(221)和位于所述不锈钢炉管(1)外侧的第二进气管(222)。
6.根据权利要求1或2或3所述的管式真空反应炉，其特征在于：所述抽气组件(32)包括不锈钢真空管(321)、不锈钢真空法兰(322)以及真空泵，所述不锈钢真空管(321)一端与所述不锈钢后法兰盘(3)焊接，另一端与所述不锈钢真空法兰(322)焊接，所述真空泵与所述不锈钢真空法兰(322)相连。
CN201810941107.4A 2018-08-17 2018-08-17 一种管式真空反应炉 Pending CN110836604A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810941107.4A CN110836604A (zh) 2018-08-17 2018-08-17 一种管式真空反应炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810941107.4A CN110836604A (zh) 2018-08-17 2018-08-17 一种管式真空反应炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110836604A true CN110836604A (zh) 2020-02-25

Family

ID=69573532

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810941107.4A Pending CN110836604A (zh) 2018-08-17 2018-08-17 一种管式真空反应炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110836604A (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283512A (ja) * 1996-04-15 1997-10-31 Taiwan Moseki Denshi Kofun Yugenkoshi 半導体用炉管の構造
CN202254809U (zh) * 2011-10-14 2012-05-30 中国矿业大学 一种氟化物热处理用管式炉炉管设备
CN103383189A (zh) * 2013-06-27 2013-11-06 西北核技术研究所 高压高温光学管式气氛炉炉管
CN205403488U (zh) * 2016-03-10 2016-07-27 西安科技大学 一种用于热解的固定床管式气氛加热炉
CN109338333A (zh) * 2018-11-30 2019-02-15 湖南红太阳光电科技有限公司 一种管式lpcvd真空反应室
CN110042370A (zh) * 2019-05-22 2019-07-23 湖南红太阳光电科技有限公司 一种管式pecvd设备的反应室结构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283512A (ja) * 1996-04-15 1997-10-31 Taiwan Moseki Denshi Kofun Yugenkoshi 半導体用炉管の構造
CN202254809U (zh) * 2011-10-14 2012-05-30 中国矿业大学 一种氟化物热处理用管式炉炉管设备
CN103383189A (zh) * 2013-06-27 2013-11-06 西北核技术研究所 高压高温光学管式气氛炉炉管
CN205403488U (zh) * 2016-03-10 2016-07-27 西安科技大学 一种用于热解的固定床管式气氛加热炉
CN109338333A (zh) * 2018-11-30 2019-02-15 湖南红太阳光电科技有限公司 一种管式lpcvd真空反应室
CN110042370A (zh) * 2019-05-22 2019-07-23 湖南红太阳光电科技有限公司 一种管式pecvd设备的反应室结构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109338333B (zh) 一种管式lpcvd真空反应室
CN202989354U (zh) 高温减压扩散炉
CN211595791U (zh) 一种lpcvd双层炉管结构
CN110836604A (zh) 一种管式真空反应炉
CN205055478U (zh) 一种hvpe反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器
KR101670924B1 (ko) 더블 클로 클램프 기밀 유지구조
CN216477855U (zh) 利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备
CN210974871U (zh) 光伏电池镀膜反应炉
CN215113940U (zh) 一种真空气氛管式炉端口冷却装置
CN216478938U (zh) 一种气密封式有机废气氧化处理设备平推阀
CN216972674U (zh) 一种用于lpcvd设备的反应腔室
CN101457350A (zh) 进气装置、低压化学气相沉积设备及化学气相沉积方法
CN111383890B (zh) 进气管路连接装置及含其的用于等离子体刻蚀的进气单元
CN218002187U (zh) 一种高温真空炉反应装置
CN220202036U (zh) 硅片沉积炉
CN111394712A (zh) 双层石英工艺室结构
CN218455068U (zh) 一种新型带进气置换口的异形临时盲板
CN217641209U (zh) 半导体工艺设备
CN219443392U (zh) 一种镁合金熔液输液管
CN216972743U (zh) 一种扩散掺杂设备用双层管式反应室
CN213013168U (zh) 一种扩散炉
CN213643644U (zh) 一种提纯器
CN213708476U (zh) 一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置
CN213977959U (zh) 一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉
CN220121799U (zh) 一种用于半导体机台上下货腔体

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20200225