CN110829181A - 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器 - Google Patents

双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器 Download PDF

Info

Publication number
CN110829181A
CN110829181A CN201911124274.0A CN201911124274A CN110829181A CN 110829181 A CN110829181 A CN 110829181A CN 201911124274 A CN201911124274 A CN 201911124274A CN 110829181 A CN110829181 A CN 110829181A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
hexagonal
semiconductor
disk
micro
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201911124274.0A
Other languages
English (en)
Inventor
曹冰
何耿
王钦华
熊先杰
袁志豪
周浩
罗安林
陈王义博
徐立跃
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou University
Original Assignee
Suzhou University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou University filed Critical Suzhou University
Priority to CN201911124274.0A priority Critical patent/CN110829181A/zh
Publication of CN110829181A publication Critical patent/CN110829181A/zh
Priority to US17/440,775 priority patent/US20220181848A1/en
Priority to PCT/CN2020/119163 priority patent/WO2021098391A1/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/1071—Ring-lasers
    • H01S5/1075—Disk lasers with special modes, e.g. whispering gallery lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
    • H01S5/041—Optical pumping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/1042—Optical microcavities, e.g. cavity dimensions comparable to the wavelength
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
    • H01S5/18361—Structure of the reflectors, e.g. hybrid mirrors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
    • H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
    • H01S5/2018—Optical confinement, e.g. absorbing-, reflecting- or waveguide-layers
    • H01S5/2027—Reflecting region or layer, parallel to the active layer, e.g. to modify propagation of the mode in the laser or to influence transverse modes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/0014—Measuring characteristics or properties thereof
    • H01S5/0035—Simulations of laser characteristics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
    • H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
    • H01S5/323—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
    • H01S5/32308—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength less than 900 nm
    • H01S5/32341—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength less than 900 nm blue laser based on GaN or GaP

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

本发明属于半导体微腔激光器领域，为解决六边形回音壁模式品质因子低与三角形回音壁模式出射难的问题：公开了一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，该装置利用高折射率增益材料的受激辐射物理特性，通过反射衬底提供底面的光反射来降低微腔激光器垂直方向光学损耗，半导体六边形微米碟作为光学谐振腔与激光增益物质，激光器作为光学泵浦源提供光学增益，当泵浦源功率超过微腔激光器阈值后产生激光出射；通过控制泵浦源激光光斑位于六边形微米碟角落，在受激辐射后产生双三角回音壁光学谐振模式的激光出射。本发明相比较常规六边形和三角形回音壁光谐振模式的激光器同时具有高的品质因子和易于激光出射的优点。

Description

双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器
技术领域
本发明涉及半导体微腔激光器领域，具体涉及一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器。
背景技术
半导体材料在微纳发光器件与光电集成领域具有广阔的应用价值从而受到了科学家们的广泛关注。特别对于具有高折射率，直接带隙的半导体，如GaN,ZnO，GaAs，InP,钙钛矿等，可以直接作为增益物质与谐振腔来制作微腔激光器。此外，GaInN，AlGaN,GaInAs等化合物制作的探测器与发光器件还可以覆盖紫外，可见光，以及近红外的宽波段。回音壁模式(Whispering-gallery Mode)微腔激光器由于使用光在介质表面全反射形成周期性谐振的原理，相较于法布里-珀罗模式(Fabry–Pérot Mode)具有体积小，品质因子高，阈值低，易集成等优点而被广泛研究。基于半导体材料的回音壁模式微腔激光器，可用于光通信，光存储，化学生物探测等领域。
目前报道的半导体回音壁模式微腔激光器方面的研究主要使用微米碟结构，其中六边形微米碟被广泛研究，这是由于多数宽禁带，直接带隙的半导体多为纤锌矿结构，导致外延生长获得的微米碟为六棱柱的几何形态。同时在六边形谐振腔光学模式研究中，报道的多为六边形和三角形回音壁模式，例如：六边形回音壁模式方案(参见[Rui Chen and BoLing,”Room Temperature Excitonic Whispering Gallery Mode Lasing from High-Quality Hexagonal ZnO Microdisks”,Advanced Materials,vol.23,no.19.pp.2199+,2011])以及三角形回音壁模式方案(参见[Kouno T,”Lasing Action on WhisperingGallery Mode of Self-Organized GaN Hexagonal Microdisk Crystal Fabricated byRF-Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy”,Ieee Journal of QuantumElectronics,vol.47,no.12,pp.1565-1570,2011])。通过Wiersig,J.(参见[“Hexagonaldielectric resonators and microcrystal lasers”,Physical Review A,vol.67,no.2,pp.12,2003])的理论研究显示六边形回音壁模式光路径位于谐振腔边缘，由于光学衍射原理使得光可以从角落出射，但是其品质因子相较于三角形回音壁模式要低很多。另一方面三角形回音壁模式中光的反射区域位于六边形每个边的中心，使得内部循环的光很难出射从而降低了激光器的出光效率。因此这两个问题降低了半导体六边形微米碟激光器的性能。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，以解决已有方案受限于六边形回音壁模式低品质因子与三角形回音壁模式难出射的缺点，具有兼顾高品质因子与易出射的优点。
为达到上述目的，本发明提供了一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，包括：反射衬底，半导体六边形微米碟，激光器；其中：所述半导体六边形微米碟设置在反射衬底上；激光器的出射光垂直于半导体六边形微米碟表面，且照射在半导体六边形微米碟的六个边角之中任意一个边角处；双三角回音壁光谐振模式的激光从半导体六边形微米碟六个侧壁之中一个侧壁水平出射。
更优的方案：所述激光器为单模高功率激光器，出射激光波长小于所用半导体材料的禁带发光波长，所述半导体六边形微米碟为规则的六边形表面，其侧面垂直于表面且光滑，所述反射衬底表面为光滑平面。使得光学谐振强光损耗降低，增强出射激光光谱的稳定性。
进一步的，通过调节所述激光器的出射功率，可以改变微米碟激光器出射光的强度与线宽。
进一步的，激光器照射于半导体六边形微米碟边角处的激励区域尺寸小于半导体六边形微米碟表面尺寸。
进一步的，通过调节所述激光器的照射光斑尺寸，可以调节双三角回音壁模式激光的稳定性。
由于采用上述技术方案，本发明的有益效果为：本发明提出的一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，和已有的六边形回音壁模式激光器和三角形回音壁模式激光器方案相比，同时具有高品质因子和易出射的优点。
附图说明
图1为本发明提供的半导体六边形微米碟激光器示意图；
图2为氮化镓微米碟扫描电镜图；
图3为氮化镓激光器输出光谱；
图4为双三角回音壁模式仿真光场图；
图5为双三角回音壁模式反射次数与品质因子函数图；
图6a为激励面积与谐振腔面积比为5％仿真光场图；
图6b为激励面积与谐振腔面积比为15％仿真光场图；
图6c为激励面积与谐振腔面积比为20％仿真光场图；
图6d为激励面积与谐振腔面积比为30％仿真光场图；
其中，图1中：1、反射衬底，2、半导体六边形微米碟，3、激光器。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
实施例一
一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，如图1所示，包括：反射衬底1，半导体六边形微米碟2，激光器3；其中：所述半导体六边形微米碟设置在反射衬底上；激光器的出射光垂直于半导体六边形微米碟表面，且照射在半导体六边形微米碟的六个边角之中任意一个边角处；双三角回音壁光谐振模式的激光从半导体六边形微米碟六个侧壁之中一个侧壁水平出射。
本发明所涉及的双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器的具体工作原理如下：
本发明主要是对半导体微米碟的局部进行光激励从而控制激光模式的输出。以往报道的激光激励方式是激光光斑全覆盖微米碟，这种条件下只能激励出六边形回音壁模式和三角形回音壁模式，而本发明所述半导体微米碟具有较大的直径，使得常规激光器泵浦源的光斑只能覆盖微米碟的一部分。由于受激辐射特性具有空间性，即在所激励的工作物质区域内才会发生粒子数反转且只对该区域的光路径进行增强。所以当激励光斑只位于六边形微米碟角落时，只有光路径位于光斑下的光学模式才会发生谐振，这种双三角回音壁模式的光路径位于六边形微米碟角落，所以该光学模式可以得到有效的受激辐射放大。
再通过公式
Figure BDA0002276320570000031
其中m为反射次数，r为六边形外接圆半径，R为有效反射率，可以得到：在相同有效反射率条件下，双三角回音壁模式的品质因子与三角形回音壁模式近似，而明显比六边形回音壁模式高。如图4展示了双三角回音壁模式下的光场仿真图，白色框内为激励区域，正六边形为半导体谐振腔，其外围为空气，最外围边框为完美匹配层来作为吸收层，六边形内的亮色区域为光强密度高的区域，即光路径。同时双三角回音壁模式的光路径位于六边形微米碟边角处，由于角落的光学衍射效果使得双三角回音壁模式的谐振光更易出射。
实施例二
一种双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，所述的反射衬底、半导体六边形微米碟、激光器单依次配置为单晶硅反射衬底、氮化镓六边形微米碟、紫外脉冲激光器，紫外脉冲激光器波长为325nm，线宽100fs，频率1kHz，光斑直径为10μm；氮化镓六边形微米碟直径为25μm；照射在氮化镓六边形微米碟的六个边角之中任意一个边角处的激励区域为正方形。激励区域为本领域专用术语，本实施例中紫外脉冲激光器照射在氮化镓六边形微米碟上，激励区域为紫外脉冲激光对氮化镓产生激励作用的区域。
通过使用Comsol Multiphysics仿真软件寻求最适宜双三角回音壁模式光出射的条件。构建六边形谐振腔模型，外围设置为空气，边缘区域设置为完美匹配层，在六边形谐振腔角落设置电场激励，激励区域为正方形。
通过改变激励区域正方形的面积，即调整激励面积与六边形面积的比值。可以从光场仿真结果图中观察到光场分布的变化，即六边形谐振腔内部的光学模式发生了变化。
为了验证本发明技术方案的效果，进行了实验验证。实验中紫外脉冲激光器波长为325nm，线宽100fs，频率1kHz，光斑直径为10μm。图2为氮化镓微米碟扫描电镜图，可得实验中氮化镓六边形微米碟直径为25μm。图3为氮化镓激光器输出光谱，通过公式Δλ＝λ2/[L(n-λdn/dλ)]，其中λ为微米碟激光器出射波长，图3所示可知λ为375nm左右，L是光路径循环一周的总长度，可以得到双三角回音壁模式间隔为0.35nm，这与实验结果0.36nm十分接近，证实得到的结果是双三角回音壁模式激光出射。同时通过公式Q＝λ/Δλ计算品质因子，可得Q值高达3049。图4为双三角回音壁模式仿真光场图，同样证实激光模式为双三角回音壁模式。图5为双三角回音壁模式反射次数与品质因子函数图，其中标注了三种回音壁模式在相同谐振腔内品质因子所对应的数值。可看到双三角回音壁模式(D3-WGM)对应的品质因子相较六边形回音壁模式(6-WGM)要高。图6a至图6d分别为激励面积与谐振腔面积比为5％、15％、20％和30％时仿真光场图依次对应；从仿真结果中得到最适合双三角回音壁模式激光稳定高效输出的激励面积与六边形谐振腔面积的比是20％，这是由于进一步增加面积比时可见图6d双三角回音壁模式逐渐被破坏，所以在保证最大激励面积比和双三角回音壁模式的稳定性时可以得到最优的方案。
在实验中还发现半导体六边形微米碟材料选用GaN、AlN、GaAs、InAs、ZnO、InP、CdS、钙钛矿中的一种或多种组合，使用本解决方案均可实现双三角回音壁光谐振模式激光输出，品质因子均得到较大提高。所列出的材料均具有高折射率的特性，利用其高折射率增益材料的受激辐射物理特性,通过反射衬底提供底面的光反射来降低微腔激光器垂直方向光学损耗，半导体六边形微米碟作为光学谐振腔与激光增益物质，激光器作为光学泵浦源提供光学增益，当泵浦源功率超过微腔激光器阈值后产生激光出射；通过控制泵浦源激光光斑位于六边形微米碟角落，在受激辐射后产生双三角回音壁光学谐振模式的激光出射。本发明相比较常规六边形和三角形回音壁光谐振模式的激光器同时具有高的品质因子和易于激光出射的优点。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，包括：反射衬底，半导体六边形微米碟，激光器；所述半导体六边形微米碟设置在所述反射衬底上；其特征在于：激光器的出射光垂直于半导体六边形微米碟表面，且照射在半导体六边形微米碟的六个边角之中任意一个边角处；双三角回音壁光谐振模式的激光从半导体六边形微米碟六个侧壁之中一个侧壁水平出射。
2.根据权利要求1所述的双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，其特征在于：所述激光器为高功率激光器，出射激光波长小于所用半导体六边形微米碟材料的禁带发光波长，所述半导体六边形微米碟为规则的正六边形表面。
3.根据权利要求2所述的双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，其特征在于：六边形微米碟激光器出射光的强度与线宽通过所述激光器的出射功率控制。
4.根据权利要求1所述的双三角回音壁光谐振模式的氮化物六边形微米碟激光器，其特征在于：激光器照射于半导体六边形微米碟边角处的激励区域尺寸小于半导体六边形微米碟表面尺寸。
5.根据权利要求1所述的双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，其特征在于：双三角回音壁模式激光的稳定性通过所述激光器的照射光斑尺寸控制。
6.根据权利要求1所述的双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，其特征在于：所述的反射衬底、半导体六边形微米碟、激光器依次配置为单晶硅反射衬底、氮化镓六边形微米碟、紫外脉冲激光器；紫外脉冲激光器波长为325nm，线宽100fs，频率1kHz，光斑直径为10μm；氮化镓六边形微米碟直径为25μm。
7.根据权利要求1所述的双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器，其特征在于：所述半导体六边形微米碟材料选用GaN、AlN、GaAs、InAs、ZnO、InP、CdS中的一种或多种组合。
CN201911124274.0A 2019-11-18 2019-11-18 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器 Pending CN110829181A (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911124274.0A CN110829181A (zh) 2019-11-18 2019-11-18 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器
US17/440,775 US20220181848A1 (en) 2019-11-18 2020-09-30 Laser with hexagonal semiconductor microdisk in double-triangular whispering-gallery optical resonance mode
PCT/CN2020/119163 WO2021098391A1 (zh) 2019-11-18 2020-09-30 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911124274.0A CN110829181A (zh) 2019-11-18 2019-11-18 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110829181A true CN110829181A (zh) 2020-02-21

Family

ID=69556077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911124274.0A Pending CN110829181A (zh) 2019-11-18 2019-11-18 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20220181848A1 (zh)
CN (1) CN110829181A (zh)
WO (1) WO2021098391A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021098391A1 (zh) * 2019-11-18 2021-05-27 苏州大学 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1224148C (zh) * 2001-02-20 2005-10-19 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 光抽运的表面发射半导体激光器件及其制造方法
US6577661B1 (en) * 2002-02-18 2003-06-10 Arima Optoelectronics Corp. Semiconductor laser with lateral light confinement by polygonal surface optical grating resonator
CN100494070C (zh) * 2007-03-12 2009-06-03 东南大学 基于氧化锌单晶微纳米碟的回音壁模激光腔的制备方法
US9093818B2 (en) * 2010-07-15 2015-07-28 The Regents Of The University Of California Nanopillar optical resonator
CN110829181A (zh) * 2019-11-18 2020-02-21 苏州大学 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021098391A1 (zh) * 2019-11-18 2021-05-27 苏州大学 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021098391A1 (zh) 2021-05-27
US20220181848A1 (en) 2022-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Mohideen et al. GaAs/AlGaAs microdisk lasers
US9124062B2 (en) Optically pumped surface emitting lasers incorporating high reflectivity/bandwidth limited reflector
Hayamizu et al. Lasing from a single-quantum wire
US8213473B2 (en) Laser based on quantum dot activated media
CN107959224B (zh) 一种基于金属腔的表面等离激元激光器
JP2013229580A (ja) 第３の反射器を組み込んだ面発光レーザ
Alvarez Active photonic devices based on colloidal semiconductor nanocrystals and organometallic halide perovskites
CN111162453A (zh) 一种半导体六边形微米碟激光器
CN110829181A (zh) 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器
CN211045977U (zh) 一种半导体六边形微米碟激光器
CN210897977U (zh) 双三角回音壁光谐振模式的半导体六边形微米碟激光器
US7965752B1 (en) Native green laser semiconductor devices
US9008145B2 (en) System for frequency conversion, semiconducting device and method for operating and manufacturing the same
EP3435499B1 (en) Method for making a semiconductor laser diode, and laser diode
RU2761318C1 (ru) Излучающее видимый свет полупроводниковое лазерное устройство и способ его изготовления
Chen et al. Study of GaN-based photonic crystal surface-emitting lasers (PCSELs) with AlN/GaN distributed Bragg reflectors
JP2016518031A (ja) 垂直外部共振器面発光レーザーのための導光
Hopkins et al. High‐power vertical external‐cavity surface‐emitting lasers
Morozov et al. Spatio-temporal dynamics of a dual-wavelength vertical-external-cavity surface-emitting semiconductor laser
Cheng et al. Photonic crystal cavity with double heterostructure in GaN Bulk
CN115548835A (zh) 基于单个回音壁模式光学微腔双波长激光的可调谐微波源
Bradley et al. C-and L-band erbium-doped aluminum oxide lasers with silicon nitride distributed Bragg reflector cavities
CN117438883A (zh) 一种双波长垂直外腔面发射激光器
CN115621842A (zh) 一种基于光子晶体的光泵浦半导体碟片激光器
Chen et al. Green Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser from Perovskite (CH (NH2) 2PbBr3) Thin Films

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination