CN110813397A - 药液喷出装置 - Google Patents

药液喷出装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110813397A
CN110813397A CN201910717501.4A CN201910717501A CN110813397A CN 110813397 A CN110813397 A CN 110813397A CN 201910717501 A CN201910717501 A CN 201910717501A CN 110813397 A CN110813397 A CN 110813397A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure chambers
chemical liquid
pulse
drive
liquid medicine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910717501.4A
Other languages
English (en)
Inventor
横山周平
楠龙太郎
黄明辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba TEC Corp
Original Assignee
Toshiba TEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba TEC Corp filed Critical Toshiba TEC Corp
Publication of CN110813397A publication Critical patent/CN110813397A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/02—Burettes; Pipettes
    • B01L3/0241—Drop counters; Drop formers
    • B01L3/0268—Drop counters; Drop formers using pulse dispensing or spraying, eg. inkjet type, piezo actuated ejection of droplets from capillaries
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0829—Multi-well plates; Microtitration plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0861—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices
    • B01L2300/0864—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices comprising only one inlet and multiple receiving wells, e.g. for separation, splitting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/1437—Back shooter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/15—Moving nozzle or nozzle plate
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/10—Devices for transferring samples or any liquids to, in, or from, the analysis apparatus, e.g. suction devices, injection devices
    • G01N2035/1027—General features of the devices
    • G01N2035/1034—Transferring microquantities of liquid
    • G01N2035/1041—Ink-jet like dispensers

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

本发明提供能够降低由串扰导致的喷出故障的药液喷出装置。根据实施方式，药液喷出装置具备基板、保持容器、多个第一致动器、多个第二致动器、第一导电线及第二导电线。基板形成有多个第一压力腔和分别与多个第一压力腔相邻的多个第二压力腔，且具有向多个第一压力腔和第二压力腔提供药液的药液供给口。多个第一致动器改变多个第一压力腔内的药液的压力，使药液从各个喷嘴中喷出。多个第二致动器改变多个第二压力腔内的药液的压力，使药液从各个喷嘴中喷出。第一导电线向多个第一致动器提供第一驱动信号。第二导电线向多个第二致动器提供第二驱动信号。

Description

药液喷出装置
技术领域
本发明的实施方式涉及药液喷出装置。
背景技术
在生物学、药学等领域的研究开发、医疗诊断或检查、农业试验中，有时会进行分装皮升(pL)至微升(μL)液体的操作。
它们通常被称为剂量反应实验，为了确定化合物的有效浓度而在微孔板的微孔等容器内制作多种不同浓度的化合物。具有在这样的用途下使用的药液滴加装置。该药液滴加装置具有可装卸的药液喷出装置。在剂量反应实验中，会使用多种药液。另外，在医疗、生物用途中，为了防止污染，药液喷出装置采用一次性的。
药液喷出装置中具有从与一个药液保持容器连通的多个压力腔中同时喷出药液的类型。这样的药液喷出装置通过驱动致动器来控制压力腔内的压力，从而从喷嘴中喷出压力腔内的药液。
在使用药液喷出装置滴加高挥发性的药液的情况下，若在滴加作业期间，药液保持容器中的药液挥发而导致药液的溶质浓度变化，则不能准确地掌握滴加至每个微孔的药液的浓度。因此，作为减少向微孔数多达1536微孔以上的微孔板滴加药液的时间的方法，增加配置在微孔板的微孔开口内的喷嘴数量较为有效。
但是，若从配置在药液喷出装置的微孔开口内的多个喷嘴中同时喷出药液，则会产生对于压力腔内的药液的压力振动使经由药液保持容器中的药液而连通的其它周围的压力腔内的药液的压力产生变动的串扰。因此，与位于外周部的喷嘴相比，相邻的喷嘴数量多的位于内侧的喷嘴更容易受到串扰的影响，导致药液的喷出速度变慢。而且，在微孔开口内配置越多的喷嘴，喷嘴之间的距离越小，串扰的影响越大，还会产生不能喷出药液的问题。因此，若在微孔开口内配置大量喷嘴，则不能滴加准确量的药液。
发明内容
本实施方式涉及的技术问题在于提供以简单的电极布线即可降低串扰影响的药液喷出装置。
根据实施方式，喷出药液的药液喷出装置具备基板、保持容器、多个第一致动器、多个第二致动器、第一导电线以及第二导电线。基板形成有多个第一压力腔和多个第二压力腔，所述第一压力腔与喷出药液的喷嘴连通，并且药液填充在所述第一压力腔的内部，所述多个第二压力腔分别与所述多个第一压力腔相邻，所述基板具有向所述多个第一压力腔和所述多个第二压力腔提供药液的药液供给口。保持容器经由所述药液供给口与所述多个第一压力腔和所述多个第二压力腔连通，所述保持容器保持药液。多个第一致动器改变所述多个第一压力腔内的药液的压力，使药液从连通的各个所述喷嘴喷出。多个第二致动器改变所述多个第二压力腔内的药液的压力，使药液从连通的各个所述喷嘴喷出。第一导电线向所述多个第一致动器提供第一驱动信号。第二导电线向所述多个第二致动器提供第二驱动信号。
附图说明
图1为表示第一实施方式涉及的喷出系统的简要结构的立体图。
图2为表示第一实施方式涉及的药液喷出装置的上表面(药液保持容器侧)的平面图。
图3为表示第一实施方式涉及的药液喷出装置的下表面(药液喷出侧)的平面图。
图4为第一实施方式涉及的图2的F4-F4线剖视图。
图5为第一实施方式涉及的图4的F5-F5线的药液喷出阵列的平面图(药液喷出侧)。
图6为第一实施方式涉及的图5的F6-F6线剖视图。
图7为第一实施方式涉及的图5的F7-F7线剖视图。
图8表示第一实施方式涉及的驱动信号的例子。
图9表示第二实施方式涉及的驱动信号的例子。
图10为表示第三实施方式涉及的喷出系统的简要结构的立体图。
图11为表示第三实施方式涉及的药液喷出装置的下表面(药液喷出侧)的平面图。
图12为第三实施方式涉及的图11的F12-F12线剖视图。
附图标记说明
1…药液滴加装置、2…药液喷出装置、2’…药液喷出装置、4…微孔板、5…安装模块、11a…第一驱动电路、11b…第二驱动电路、21…基底部件、21a…药液保持容器用凹陷部、21b…电装基板用凹陷部、21d…药液喷出阵列部开口、22…药液保持容器、22a…下表面开口部、22b…上表面开口部、23…电装基板、24…电装基板布线、24a…布线图案、24b…布线图案、24c…布线图案、25…控制信号输入端子、26…电极连接端子、27…药液喷出阵列、51…驱动电路基板、52…驱动电路输入端子、53a…驱动电路输出端子、53b…驱动电路输出端子、53c…驱动电路输出端子、100…喷嘴板、110…喷嘴、110a…第一喷嘴、110b…第二喷嘴、120…振动板、130a…第一驱动元件、130b…第二驱动元件、131…下部电极、131a…电极部、131b…布线部、131c…端子部、133…第一上部电极、133a…电极部、133b…布线部、133c…端子部、134…第二上部电极、134a…电极部、134b…布线部、134c…端子部、140…绝缘膜、150…保护膜、160…疏液膜、170…致动器、200…压力腔结构体、200a…第一面、200b…第二面、201…硅片、210…压力腔、210a…第一压力腔、210b…第二压力腔、220…翘曲抑制膜、300…微孔开口、500…喷出系统、500’…喷出系统。
具体实施方式
下面，参考附图对实施方式进行说明。需要指出，各图为用于促进实施方式及其理解的示意图，其形状、尺寸、比值等可能与实物不符，但这些能够适当进行设计变更。
(第一实施方式)
首先，对第一实施方式进行说明。
实施方式涉及的喷出系统通过压电喷射方式喷出规定的药液。
下面，将参考图1至图7对实施方式的喷出系统的物理性构成例进行说明。图1为表示喷出系统500的简要结构的立体图。图2为药液喷出装置2的俯视图。图3示出药液喷出装置2喷出液滴的面即底面的视图。图4示出图2的F4-F4线的药液喷出阵列27喷出液滴一侧的平面图。图5为图4的F5-F5线剖视图。图6为图5的F6-F6线剖视图。图7为图5的F7-F7线剖视图。
如图1所示，喷出系统500由药液滴加装置1及药液喷出装置2等构成。需要指出，除图1所示的构成以外，喷出系统500还可以具备符合需要的构成或去除特定构成。
药液滴加装置1控制药液喷出装置2滴加填充在药液喷出装置2中的药液。
药液滴加装置1具有矩形平板状的基座3以及安装药液喷出装置2的安装模块5。在实施方式中，假设药液滴加装置1向1536孔的微孔板4滴加药液。在此，将基座3的前后方向称为X方向(第一方向)，将基座3的左右方向称为Y方向(第二方向)。X方向和Y方向正交。
微孔板4固定于基座3。微孔板4具备多个微孔开口300。微孔板4的各微孔开口300保持规定的药液。例如，药液为含有细胞、血球、细菌、血浆、抗体、DNA、核酸或蛋白质的溶液等。需要指出，保持在微孔开口300中的药液的构成不限定于特定的构成。
药液滴加装置1在基座3之上，于微孔板4的两侧具有沿X方向延伸设置的左右一对X方向导轨6a及6b。各X方向导轨6a及6b的两端部固定于突出设置在基座3上的固定台7a及7b。
沿Y方向延伸设置的Y方向导轨8架设在X方向导轨6a及6b之间。Y方向导轨8的两端分别固定于可沿X方向导轨6a及6b在X方向上滑动的X方向移动台9。
在Y方向导轨8上设置有能够使安装模块5在Y方向上沿Y方向导轨8移动的Y方向移动台10。安装模块5安装于Y方向移动台10。药液喷出装置2固定于安装模块5。
通过Y方向移动台10沿Y方向导轨8在Y方向上移动的动作和X方向移动台9沿X方向导轨6a及6b在X方向上移动的动作相组合，药液喷出装置2被支撑为能够移动到正交的XY方向上的任意位置。
在安装模块5上形成有固定药液喷出装置2的狭缝32。当药液喷出装置2从狭缝32的前表面开口部侧插入到狭缝32的内部时，则药液喷出装置2固定于药液滴加装置1。
安装模块5具备第一驱动电路11a及第二驱动电路11b等。
第一驱动电路11a及第二驱动电路11b驱动药液喷出装置2。例如，第一驱动电路11a及第二驱动电路11b向药液喷出装置2提供驱动信号，以使药液从药液喷出装置2中喷出。
第一驱动电路11a及第二驱动电路11b也可以基于来自控制药液滴加装置1的控制部等的信号而向药液喷出装置2提供驱动信号。例如，第一驱动电路11a及第二驱动电路11b基于来自控制部的信号而向药液喷出装置2输出驱动信号。
关于第一驱动电路11a及第二驱动电路11b所输出的驱动信号，将在后文详细叙述。
药液喷出装置2基于药液滴加装置1的控制而喷出药液。
药液喷出装置2具有作为矩形板状的板体的平板状的基底部件21。如图2所示，在基底部件21的表面侧，多个药液保持容器22沿Y方向并排设置为一列。在实施方式中，以八个药液保持容器22进行了说明，但个数不限定于八个。药液保持容器22为如图4所示那样上表面开口的有底圆筒形状的容器。在基底部件21的表面侧，与各药液保持容器22对应的位置处形成有圆筒形的药液保持容器用凹陷部21a。
药液保持容器22的底部粘合固定于药液保持容器用凹陷部21a。而且，在药液保持容器22的底部，于中心位置处形成有作为药液出口的下表面开口部22a。药液保持容器22的上表面开口部22b的开口面积大于药液出口的下表面开口部22a的开口面积。
另外，如图2所示，在基底部件21的两端分别形成有用于安装固定于安装模块5的安装固定用缺口28。安装固定用缺口28与安装模块5配合。基底部件21的两个缺口28形成为半椭圆形的缺口形。需要指出，安装固定用缺口28也可以为半圆形、半椭圆形或三角形的缺口形等。在实施方式中，两个缺口28的形状彼此不同。由此，基底部件21的左右的形状不同，从而容易确认基底部件21的姿势。
如图3所示，在基底部件21的背面侧，与药液保持容器22数量相同的电装基板23在Y方向上并排设置为一列。电装基板23为矩形的平板部件。如图4所示，在基底部件21的背面侧形成有用于安装电装基板23的矩形的电装基板用凹陷部21b、和与电装基板用凹陷部21b连通的药液喷出阵列部开口21d。电装基板用凹陷部21b的基端部延伸设置到基底部件21的图3中的上端部附近位置(图4中的右端部附近位置)。如图4所示，电装基板用凹陷部21b的先端部延伸设置至与药液保持容器22的一部分重叠的位置。电装基板23粘合固定于电装基板用凹陷部21b。
在电装基板23中与和电装基板用凹陷部21b的粘合固定面相反一侧的面上形成有电装基板布线24的图案。电装基板布线24由布线图案24a、24b及24c等构成。在布线图案24a、24b及24c的一端形成有通过布线电线12与驱动元件130(第一驱动元件130a及第二驱动元件130b)连接的电极连接端子26。布线图案24a、24b及24c经由电极连接端子26分别与图5所示的第一上部电极133(第一导电线)、下部电极131及第二上部电极134(第二导电线)连接。
在电装基板布线24的一端部形成有用于输入来自第一驱动电路11a及第二驱动电路11b的驱动信号的控制信号输入端子25。例如，控制信号输入端子25为能够与板簧连接器等连接的形状。
来自第一驱动电路11a的驱动信号被输入布线图案24a和布线图案24b。即，来自第一驱动电路11a的驱动信号被输入作为第一上部电极133与下部电极131之间的电位差。来自第二驱动电路11b的驱动信号被输入布线图案24b和布线图案24c。即，来自第二驱动电路11b的驱动信号被输入作为第二上部电极134与下部电极131之间的电位差。在此，下部电极131被维持为一定的电压。
第一上部电极133由电极部133a、布线部133b及端子部133c构成。端子部133c与布线部133b的一端电连接。布线部133b的另一端与电极部133a电连接。
第一上部电极133由Pt薄膜形成。作为第一上部电极133的其它电极材料，也可以使用Ni(镍)、Cu(铜)、Al(铝)、Ti(钛)、W(钨)、Mo(钼)、Au(金)、SrRuO3(锶钌氧化物)等。作为其它成膜法，也可以使用蒸镀、电镀。第一上部电极133也能够层叠使用各种金属。
第二上部电极134由电极部134a、布线部134b及端子部134c构成。端子部134c与布线部134b的一端电连接。布线部134b的另一端与电极部134a电连接。第二上部电极134由Pt薄膜形成。作为第二上部电极134的其它电极材料，也可以使用Ni、Cu、Al、Ti、W、Mo、Au、SrRuO3等。作为其它成膜法，也可以使用蒸镀、电镀。第二上部电极134也能够层叠使用各种金属。
下部电极131由电极部131a、布线部131b及端子部131c构成。端子部131c与布线部131b的一端电连接。布线部131b的另一端与电极部131a电连接。下部电极131例如通过溅射法层叠Ti(钛)和Pt(铂)而形成为厚度0.5μm。下部电极131的膜厚大致在0.01～1μm的范围。下部电极131能够使用Ni、Cu、Al、Ti、W、Mo、Au、SrRuO3等其它材料。下部电极131也能够层叠使用各种金属。
另外，在基底部件21上设有药液喷出阵列部开口21d。如图3所示，药液喷出阵列部开口21d为矩形的开口部，形成在基底部件21的背面侧与药液保持容器用凹陷部21a重叠的位置处。
药液喷出阵列27以覆盖药液保持容器22的下表面开口部22a的状态粘合固定于药液保持容器22的下表面。药液喷出阵列27配置于基底部件21的与药液喷出阵列部开口21d对应的位置。
如图5所示，在药液喷出阵列27中呈格子状形成有多个第一压力腔210a及多个第二压力腔210b。在此，第一压力腔210a和第二压力腔210b按照4×4列配置。
多个第一压力腔210a按照规定间隔形成。另外，多个第一压力腔210a形成于彼此斜对的位置。
第二压力腔210b与第一压力腔210a相邻。如图5所示，第二压力腔210b在X轴方向及Y轴方向上与第一压力腔210a相邻。即，第一压力腔210a和第二压力腔210b在X轴方向及Y轴方向上交替形成。
如图6所示，药液喷出阵列27由喷嘴板100和压力腔结构体200层叠而成。喷嘴板100具备：喷出药液的喷嘴110(第一喷嘴110a及第二喷嘴110b)、振动板120、作为驱动部的驱动元件130(第一驱动元件130a及第二驱动元件130b)、使下部电极131和第一上部电极133的布线部133b及第二上部电极134的布线部134b绝缘的绝缘膜140、作为保护层的保护膜150以及疏液膜160。致动器170由振动板120和驱动元件130构成。实施方式的多个喷嘴110位于药液保持容器22的药液出口的下表面开口部22a的内侧。
振动板120通过面状的驱动元件130的动作而沿厚度方向变形。在药液喷出装置2中，压力腔结构体200的压力腔210的容积因振动板120的变形而变化，压力腔210内的药液的压力因容积的变化而发生变化，从而使提供给喷嘴110的药液喷出。
第一压力腔210a的容积通过第一驱动元件130a驱动而进行变化。另外，在药液喷出阵列27中形成有与第一压力腔210a连通的第一喷嘴110a。第一压力腔210a内的药液通过第一喷嘴110a而喷出。第一驱动元件130a与电极部133a及电极部131a电连接。
第二压力腔210b的容积通过第二驱动元件130b驱动而进行变化。另外，在药液喷出阵列27中形成有与第二压力腔210b连通的第二喷嘴110b。第二压力腔210b内的药液通过第二喷嘴110b而喷出。第二驱动元件130b与电极部134a及电极部131a电连接。
即，第一驱动元件130a通过第一上部电极133及下部电极131而与第一驱动电路11a电连接。另外，第二驱动元件130b通过第一上部电极133及下部电极131而与第二驱动电路11b电连接。
多个喷嘴110相对于一个1536微孔的微孔板的微孔开口300，排列为4×4列。例如，1536微孔的微孔板的微孔开口300的开口尺寸为一边约1.7mm的正方形。排列为4×4列的多个喷嘴110中相邻的喷嘴110的中心间距离为0.25mm。配置于微孔开口300内的4×4列的喷嘴110的中心的尺寸是，X方向为0.75mm，Y方向为0.75mm，小于1536微孔的微孔板的微孔开口300的尺寸。
振动板120例如与压力腔结构体200一体形成。若在氧气氛下对用于制造压力腔结构体200的硅片201进行加热处理，则在硅片201的表面上形成SiO2(二氧化硅)膜。振动板120使用在氧气氛下进行加热处理而形成的硅片201表面的SiO2(二氧化硅)膜。振动板120也可以利用CVD法(化学气相成膜法)在硅片201的表面成膜SiO2(二氧化硅)膜而形成。
优选地，振动板120的膜厚在1～30μm的范围。振动板120也可以使用SiN(氮化硅)等半导体材料或者Al2O3(氧化铝)等来代替SiO2(二氧化硅)膜。
驱动元件130形成于各喷嘴110。驱动元件130为包围喷嘴110的圆环形的形状。驱动元件130的形状没有限定，例如，也可以为切除圆环的一部分而成的C字形。
如图7所示，驱动元件130隔着作为压电体的压电体膜132而具备电极部131a和电极部133a或电极部134a。
图5中，在第一驱动元件130a中，压电体膜132形成在电极部131a和电极部133a之间。另外，在第二驱动元件130b中，压电体膜132形成在电极部131a和电极部134a之间。
电极部131a、压电体膜132以及电极部133a或电极部134a为与喷嘴110同轴且大小相同的圆形图案。
压电体膜132例如为厚度2μm的压电材料。压电体膜132由PZT(Pb(Zr、Ti)O3：锆钛酸铅)构成。压电体膜132例如为与喷嘴110同轴且与电极部131a形状相同的外径133μm、内径42μm的圆环形的形状。压电体膜132的膜厚大致在1～5μm的范围内。压电体膜132例如也能够使用PTO(PbTiO3：钛酸铅)、PMNT(Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3)、PZNT(Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3)、ZnO、AlN等压电材料。
压电体膜132在厚度方向上产生极化。若对压电体膜132施加与极化相同方向的电场，则压电体膜132沿与电场方向正交的方向伸缩。换而言之，压电体膜132沿与膜厚正交的方向收缩或伸长。
喷嘴板100具备使下部电极131和第一上部电极133或第二上部电极134绝缘的绝缘膜140。绝缘膜140在第一驱动元件130a的形成区域中覆盖电极部131a、压电体膜132及电极部133a的周缘。另外，绝缘膜140在第二驱动元件130b的形成区域中覆盖电极部131a、压电体膜132及电极部134a的周缘。
另外，绝缘膜140覆盖下部电极131的布线部131b。绝缘膜140在第一上部电极133的布线部133b和第二上部电极134的布线部134b的一部分区域内覆盖振动板120。另外，绝缘膜140具备接触部140a，该接触部140a为使第一上部电极133的电极部133a和布线部133b或第二上部电极134的电极部134a和布线部134b电连接的开口部。
保护膜150具备与振动板120的喷嘴110连通的圆筒形的药液通过部141。
喷嘴板100具备覆盖保护膜150的疏液膜160。疏液膜160通过旋涂具有排斥药液的特性的例如硅类树脂而形成。疏液膜160也能够由含氟树脂等具有排斥药液的特性的材料而形成。
压力腔结构体200在与振动板120相反一侧的面上具备作为翘曲抑制层的翘曲抑制膜220。压力腔结构体200具备贯穿翘曲抑制膜220并到达振动板120的位置而与喷嘴110连通的压力腔210。压力腔210例如形成为与喷嘴110位于同轴上的圆形。
压力腔210具备与药液保持容器22的下表面开口部22a连通的开口部(药液供给口)。优选地，使压力腔210的深度方向上的尺寸L大于开口部的宽度方向上的尺寸D。通过使深度方向上的尺寸L>宽度方向上的尺寸D，从而延迟因喷嘴板100的振动板120的振动而施加给压力腔210内的药液的压力向药液保持容器22释放。
将压力腔210的配置振动板120的一侧设为第一面200a，将配置翘曲抑制膜220的一侧设为第二面200b。药液保持容器22例如通过环氧类粘合剂粘合于压力腔结构体200的翘曲抑制膜220侧。压力腔结构体200的压力腔210在翘曲抑制膜220侧的开口部处与药液保持容器22的下表面开口部22a连通。
接着，对喷出系统500喷出药液的动作例进行说明。
喷出系统500的药液喷出装置2固定于药液滴加装置1的安装模块5进行使用。例如，操作员从模块主体15的狭缝32的前表面开口部侧将药液喷出装置2插入模块主体15的狭缝32中，以将药液喷出装置2安装于安装模块5。
操作员一旦将药液喷出装置2插入到狭缝32中，则利用图中未示出的移液器等，从药液保持容器22的上表面开口部22b向药液保持容器22提供规定量的药液。药液被保持在药液保持容器22的内面。药液保持容器22的底部的下表面开口部22a与药液喷出阵列27连通。因此，保持在药液保持容器22中的药液经由药液保持容器22的底面的下表面开口部22a而填充至药液喷出阵列27的各压力腔210。
保持在药液喷出装置2中的药液例如含有低分子化合物、荧光试剂、蛋白质、抗体、核酸、血浆、细菌、血球、细胞中任一种。药液的主溶剂(重量比或体积比最高的物质)通常为水、甘油、二甲基亚砜。需要指出，保持在药液喷出装置2中的药液的构成不限定于特定的构成。
操作员当将药液提供给了药液保持容器22时，向药液滴加装置1输入开始喷出药液的操作。需要指出，操作员也可以从用于控制药液滴加装置1的主机等向药液滴加装置1输入开始喷出药液的操作。
药液滴加装置1在接收到该操作的输入时，向药液喷出装置2提供用于喷出药液的驱动信号。即，第一驱动电路11a及第二驱动电路11b分别向药液喷出装置2的第一驱动元件130a及第二驱动元件130b提供驱动信号。
从电装基板布线24的电极连接端子26分别向下部电极131、第一上部电极133及第二上部电极134提供驱动信号。与向驱动元件130施加驱动信号相应地，致动器170的振动板120变形而改变压力腔210的容积。通过压力腔210内的药液的压力变化，药液作为药液滴从药液喷出阵列27的喷嘴110喷出。其结果，药液喷出装置2从喷嘴110向微孔板4的各微孔开口300中滴加规定量的液体。
例如，从药液喷出装置2的喷嘴110喷出的一滴的液量为2至5pL。因此，药液滴加装置1通过控制滴加次数，从而可以进行控制以向微孔板4的各微孔开口300中滴加pL至μL量级的液体。
图8示出第一驱动电路11a及第二驱动电路11b所输出的驱动信号。在图8所示的例子中，第一驱动信号为第一驱动电路11a提供给第一驱动元件130a的驱动信号。第二驱动信号为第二驱动电路11b提供给第二驱动元件130b的驱动信号。
在此，第一驱动信号表示第一驱动电路11a施加于第一上部电极133的电压。另外，第二驱动信号表示第二驱动电路11b施加于第二上部电极134的电压。另外，假设第一驱动电路11a及第二驱动电路11b向下部电极131施加V2。
首先，对第一驱动信号进行说明。
第一驱动电路11a向第一上部电极133施加V1、V2或V3的电压。在此，V1<V3<V2。另外，V1为0V。
在初始状态(t1之前的时段或t3至t7的时段等)下，第一驱动电路11a向第一上部电极133施加V1。在该情况下，在下部电极131与第一上部电极133之间施加V2，在第一驱动元件130a的厚度方向上产生电场。其结果，第一驱动元件130a沿与厚度方向正交的方向收缩。通过第一驱动元件130a的收缩，振动板120和保护膜150在收缩方向上产生应力。
在此，振动板120的杨氏模量大于保护膜150的杨氏模量。因此，在与厚度方向正交的方向上，保护膜150较振动板120更为收缩。其结果，致动器170向朝第一压力腔210a内突出的方向弯曲。因此，与未在第一驱动元件130a的厚度方向上产生电场时相比，第一压力腔210a的容积变小。
第一驱动电路11a向第一压力腔210a的第一驱动元件130a施加驱动脉冲P(第一驱动脉冲)。驱动脉冲P由减压脉冲和加压脉冲构成。在图8所示的例子中，在t1至t2的时段施加减压脉冲，在t2至t3的时段施加加压脉冲。
第一驱动电路11a向第一上部电极133施加减压脉冲。即，第一驱动电路11在t1至t2的时段向第一上部电极133施加V2。当向第一上部电极133施加了V2时，在下部电极131与第一上部电极133之间无电位差。其结果，在第一驱动元件130a的厚度方向上电场消失，第一驱动元件130a伸长至原来的长度。因此，致动器170的弯曲解除，第一压力腔210a的容积较初始状态扩大。当第一压力腔210a的容积扩大时，第一压力腔210a内的药液的压力降低。因此，第一喷嘴110a内的药液的弯月面的位置向第一压力腔210a的内部方向后退。随后，从药液保持容器22向第一压力腔210a提供药液。其结果，第一压力腔210a内的药液的压力虽然暂时降低，但随后升高。
第一驱动电路11a在施加减压脉冲之后，向第一上部电极133施加加压脉冲。即，第一驱动电路11a在t2至t3的时段向第一上部电极133施加V3。当向第一上部电极133施加了V3时，在下部电极131与第一上部电极133之间施加电压(V2-V3)，在第一驱动元件130a的厚度方向上产生电场。其结果，第一驱动元件130a向与厚度方向正交的方向收缩，致动器170向朝第一压力腔210a内突出的方向弯曲。因此，第一压力腔210a的容积减少。需要指出，该时间点的第一压力腔210a的容积大于初始状态的容积。
在时刻t2，第一压力腔210a的容积减少，因此，第一压力腔210a内的药液的压力进一步升高。其结果，第一喷嘴110a内的药液的弯月面的位置开始向外部方向前进，药液从第一喷嘴110a喷出。在施加有加压脉冲的时段内，药液持续从第一喷嘴110a喷出。
另外，在施加有加压脉冲的时段内，第一压力腔210a内的药液的压力从t2开始持续降低。在t3时，第一压力腔210a内的药液的压力达到最低(负压的状态)。其结果，第一喷嘴110a内的药液的弯月面停止喷出。但是，已经从喷嘴110排出的药液形成液滴而继续飞行。
在该时机t3时，第一驱动电路11a向第一上部电极133施加V1。其结果，第一压力腔210a的容积变为与初始状态的容积相同。其结果，第一压力腔210a的压力从负压的状态开始被加压并实质上大致达到0，药液的压力振动停止。即，第一压力腔210a内的药液的压力振动在t3时被致动器170的位移抵消而停止。因此，在t3时，第一压力腔210a内的压力大致为0(大致为大气压)。
经过t3之后，从第一喷嘴110a排出的药液滴仍向微孔板4的微孔开口300飞行。伴随着药液滴的飞行，第一喷嘴110a内的药液自然地与药液滴的尾部切断，在填充了药液时的喷嘴内的位置附近重新形成第一喷嘴110a内的药液的弯月面。如上所述，通过驱动脉冲P，从第一压力腔210a的第一喷嘴110a向微孔板4的微孔开口300内滴加药液滴。
在t3至t7的时段内，第一驱动电路11a向第一驱动元件130a施加V1。
在t7至t9的时段内，第一驱动电路11a再次向第一驱动元件130a施加驱动脉冲P。第一驱动电路11a通过施加驱动脉冲P，从而再次使药液滴从第一压力腔210a的第一喷嘴110a中喷出。第一驱动电路11a通过多次施加驱动脉冲P而使药液滴多次喷出。
接着，对第二驱动信号进行说明。
第二驱动电路11b在与第一驱动电路11a施加驱动脉冲P的时段不同的时段内向第二压力腔210b的第二驱动元件130b施加驱动脉冲P。
在此，也是在初始状态(t3之前的时段或t6至t10的时段等)下，第二驱动电路11b向第一上部电极133施加V1。其结果，与在第二驱动元件130b中未产生电场时相比，第二压力腔210b的容积变小。
在t4至t6的时段内，第二驱动电路11b向第二驱动元件130b施加驱动脉冲P(第二驱动脉冲)。第二驱动电路11b使药液滴从第二喷嘴110b中喷出的动作与第一驱动电路11a使药液喷出的动作相同，故不予赘述。
第二驱动电路11b在t6至t10的时段内向第二驱动元件130b施加V1。
第二驱动电路11b在t10至t12的时段内再次向第二驱动元件130b施加驱动脉冲P。第二驱动电路11b通过施加驱动脉冲P，从而再次使药液滴从第二压力腔210b的第二喷嘴110b中喷出。第二驱动电路11b通过多次施加驱动脉冲P而使药液滴多次喷出。
如上所述，药液喷出装置2利用来自第一驱动电路11a的第一驱动信号及来自第二驱动电路11b的第二驱动信号将药液滴从各喷嘴110滴加至微孔开口300内。
另外，药液滴加装置1使药液喷出装置2沿X方向或Y方向移动。药液滴加装置1使药液喷出装置2移动之后，再次使药液向微孔开口300内喷出。药液滴加装置1重复上述动作而使药液向微孔开口300内喷出。
需要指出，药液喷出装置2也可以将与第一上部电极133连接的第一驱动元件130a的第一压力腔210a和与第二上部电极134连接的第二驱动元件130b的第二压力腔210b配备成一列。在这种情况下，药液喷出装置2交替地具备第一压力腔210a的列和第二压力腔210b的列。
另外，第一驱动电路11a和第二驱动电路11b也可以形成为一个驱动电路。
如上所述构成的喷出系统在未向第二驱动元件施加驱动脉冲的时段内向第一驱动元件施加驱动脉冲。另外，喷出系统在未向第一驱动元件施加驱动脉冲的时段内向第二驱动元件施加驱动脉冲。
因此，在第一驱动元件驱动的期间，与第一驱动元件相邻的第二驱动元件不进行驱动。其结果，第一压力腔没有来自相邻的第二压力腔的串扰的影响。同样地，第二压力腔没有来自相邻的第一压力腔的串扰的影响。因此，药液喷出装置通过降低串扰的影响，能够防止喷出故障，从而可以滴加准确量的药液。
另外，药液喷出装置具备与多个第一驱动元件连接的第一上部电极和与多个第二驱动元件连接的第二上部电极。因此，药液喷出装置能够以简单的连接布线降低串扰的影响。
(第二实施方式)
接着，对第二实施方式进行说明。
第二实施方式涉及的喷出系统500与第一实施方式涉及的喷出系统的不同点在于，在第一驱动电路11a施加加压脉冲的时段内，第二驱动电路11b施加减压脉冲。因此，关于其它的构成部分标注相同的符号，并省略详细的说明。
第二实施方式涉及的喷出系统500的构成与第一实施方式涉及的喷出系统的构成相同，故不予赘述。
接着，对第一驱动电路11a及第二驱动电路11b所输出的驱动信号进行说明。图9示出第一驱动电路11a及第二驱动电路11b所输出的驱动信号。在图9所示的例子中，第一驱动信号为第一驱动电路11a提供给第一驱动元件130a的驱动信号。第二驱动信号为第二驱动电路11b提供给第二驱动元件130b的驱动信号。
首先，对第一驱动信号进行说明。
在t1至t3的时段内，第一驱动电路11a向第一驱动元件130a施加驱动脉冲P。在t1至t2的时段内，第一驱动电路11a施加驱动脉冲P的减压脉冲。另外，在t2至t3的时段内，第一驱动电路11a施加驱动脉冲P的加压脉冲。
在t3至t5的时段内，第一驱动电路11a向第一驱动元件130a施加V1。
在t5至t7的时段内，第一驱动电路11a向第一驱动元件130a施加驱动脉冲P。在t5至t6的时段内，第一驱动电路11a施加驱动脉冲P的减压脉冲。另外，在t6至t7的时段内，第一驱动电路11a施加驱动脉冲P的加压脉冲。
接着，对第二驱动信号进行说明。
在t2至t4的时段内，第二驱动电路11b向第二驱动元件130b施加驱动脉冲P。在t2至t3的时段内，第二驱动电路11b施加驱动脉冲P的减压脉冲。另外，在t3至t4的时段内，第二驱动电路11b施加驱动脉冲P的加压脉冲。
在t4至t6的时段内，第二驱动电路11b向第二驱动元件130b施加V1。
在t6至t8的时段内，第二驱动电路11b向第二驱动元件130b施加驱动脉冲P。在t6至t7的时段内，第二驱动电路11b施加驱动脉冲P的减压脉冲。另外，在t7至t8的时段内，第二驱动电路11b施加驱动脉冲P的加压脉冲。
如上所述，在t2至t3的时段内，第一驱动电路11a向第一驱动元件130a施加加压脉冲，第二驱动电路11b向第二驱动元件130b施加减压脉冲。另外，在t6至t7的时段内，第一驱动电路11a向第一驱动元件130a施加加压脉冲，第二驱动电路11b向第二驱动元件130b施加减压脉冲。即，第二驱动电路11b在第一驱动电路11a施加加压脉冲的时段内以施加减压脉冲的方式施加驱动脉冲P。
如上所述构成的喷出系统在向第一驱动元件施加加压脉冲的期间，向第二驱动元件施加减压脉冲。因此，在第一压力腔内的药液的压力升高的期间，第二压力腔内的药液的压力降低。其结果，由第一压力腔内的药液所产生的压力振动和由第二压力腔内的药液所产生的压力振动相互抵消。因此，药液喷出装置通过降低来自彼此相邻的压力腔的串扰的影响，能够防止喷出故障，从而可以滴加准确量的药液。
(第三实施方式)
接着，对第三实施方式进行说明。
第三实施方式涉及的喷出系统与第一实施方式涉及的喷出系统的不同点在于，药液喷出装置输出施加给第一驱动元件130a及第二驱动元件130b的驱动信号。因此，关于其它方面标注相同的符号，并省略详细的说明。
图10为表示第三实施方式涉及的喷出系统500’的简要结构的立体图。图11示出药液喷出装置2’喷出液滴的面即底面的视图。图12为图11的F12-F12线剖视图。
如图10所示，喷出系统500’具备药液喷出装置2’。
如图11所示，在基底部件21的背面侧，与药液保持容器22数量相同的驱动电路基板51沿Y方向并排设置为一列。
驱动电路基板51为矩形的平板部件。如图12所示，在基底部件21的背面侧形成有用于安装驱动电路基板51的矩形电装基板用凹陷部21b。另外，在基底部件21的背面侧形成有与电装基板用凹陷部21b连通的药液喷出阵列部开口21d。
在驱动电路基板51上，在与和电装基板用凹陷部21b的粘合固定面相反一侧的面上形成有驱动电路输入端子52和驱动电路输出端子53a、53b及53c。
驱动电路输入端子52为用于从外部输入驱动电路的控制信号、驱动电路的电源电压的连接部。
驱动电路输出端子53a、53b及53c为用于与形成于药液喷出阵列27的端子部133c、端子部131c、端子部134c连接的连接部。驱动电路输出端子53a将由驱动电路基板51所生成的第一驱动信号提供给第一上部电极133的端子部133c。驱动电路输出端子53b将由驱动电路基板51所生成的恒定电压(V2)提供给下部电极131的端子部131c。驱动电路输出端子53c将由驱动电路基板51所生成的第二驱动信号提供给第二上部电极134的端子部134c。
接着，对喷出系统500’喷出药液的动作例进行说明。
喷出系统500’的药液喷出装置2’固定于药液滴加装置1的安装模块5进行使用。例如，操作员从模块主体15的狭缝32的前表面开口部侧将药液喷出装置2插入模块主体15的狭缝32中，以将药液喷出装置2’安装于安装模块5。
操作员一旦将药液喷出装置2’插入到狭缝32中，则利用图中未示出的移液器等，从药液保持容器22的上表面开口部22b向药液保持容器22提供规定量的药液。药液被保持在药液保持容器22的内面。药液保持容器22的底部的下表面开口部22a与药液喷出阵列27连通。因此，保持在药液保持容器22中的药液经由药液保持容器22的底面的下表面开口部22a而填充至药液喷出阵列27的各压力腔210。
操作员当将药液提供给了药液保持容器22时，向药液滴加装置1输入开始喷出药液的操作。需要指出，操作员也可以从用于控制药液滴加装置1的主机等向药液滴加装置1输入开始喷出药液的操作。
药液滴加装置1在接收到该操作的输入时，向药液喷出装置2’的驱动电路基板51提供开始喷出药液的开始信号。
药液喷出装置2’的驱动电路基板51在接收到开始信号时，向第一驱动元件130a及第二驱动元件130b提供驱动信号。
从驱动电路输出端子53a、53b及53c分别向第一上部电极133的端子部133c、下部电极131的端子部131c及第二上部电极134的端子部134c提供驱动信号。
驱动电路基板51向第一驱动元件130a提供第一驱动信号。即，驱动电路基板51向第一上部电极133施加第一驱动信号。另外，驱动电路基板51向第二驱动元件130b提供第二驱动信号。即，驱动电路基板51向第二上部电极134施加第二驱动信号。另外，驱动电路基板51向下部电极131施加V2。
关于第一驱动信号及第二驱动信号，因与第一实施方式相同，故不予赘述。
药液喷出装置2’根据来自驱动电路基板51的第一驱动信号及第二驱动信号，从各喷嘴110向微孔开口300内滴加药液滴。
另外，药液滴加装置1使药液喷出装置2’沿X方向或Y方向移动。药液滴加装置1在使药液喷出装置2’移动之后，再次使药液向微孔开口300内喷出。药液滴加装置1重复上述动作而使药液向微孔开口300内喷出。
需要指出，驱动电路基板51也可以由输出第一驱动信号的第一驱动电路和输出第二驱动信号的第二驱动电路构成。
另外，驱动电路基板51也可以输出第二实施方式涉及的第一驱动信号及第二驱动信号。
如上所述构成的第三实施方式的药液喷出装置具备输出第一驱动信号及第二驱动信号的驱动电路基板，通过降低串扰的影响，由此能够防止喷出故障，从而可以滴加准确量的药液。
在以上说明的实施方式中，将作为驱动部的驱动元件130设为了圆形，但驱动部的形状不限。驱动部的形状例如也可以为菱形或椭圆等。另外，压力腔210的形状也不限定于圆形，还可以为菱形或椭圆形、甚至矩形等。
另外，在实施方式中，喷嘴110配置在驱动元件130的中心，但只要能够喷出压力腔210的药液即可，喷嘴110的位置不限。例如，也可以将喷嘴110形成在驱动元件130的外侧，而不是驱动元件130的区域内。
根据以上说明的至少一种实施方式，能够提供以简单的电极布线即可降低串扰影响的药液喷出装置。
虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (10)

1.一种药液喷出装置，喷出药液，并具备：
基板，形成有多个第一压力腔和多个第二压力腔，所述第一压力腔与喷出药液的喷嘴连通，并且药液填充在所述第一压力腔的内部，所述多个第二压力腔分别与所述多个第一压力腔相邻，所述基板具有向所述多个第一压力腔和所述多个第二压力腔提供药液的药液供给口；
保持容器，经由所述药液供给口与所述多个第一压力腔和所述多个第二压力腔连通，所述保持容器保持药液；
多个第一致动器，改变所述多个第一压力腔内的药液的压力，使药液从连通的各个所述喷嘴喷出；
多个第二致动器，改变所述多个第二压力腔内的药液的压力，使药液从连通的各个所述喷嘴喷出；
第一导电线，向所述多个第一致动器提供第一驱动信号；以及
第二导电线，向所述多个第二致动器提供第二驱动信号。
2.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其中，
所述多个第二压力腔在第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上分别与所述多个第一压力腔相邻。
3.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其中，
所述第一导电线提供使药液从与所述多个第一压力腔连通的所述喷嘴喷出的第一驱动脉冲作为所述第一驱动信号，
所述第二导电线在与从所述第一导电线提供所述第一驱动脉冲的时段不同的时段提供使药液从与所述多个第二压力腔连通的所述喷嘴喷出的第二驱动脉冲作为所述第二驱动信号。
4.根据权利要求2所述的药液喷出装置，其中，
所述第一导电线提供使药液从与所述多个第一压力腔连通的所述喷嘴喷出的第一驱动脉冲作为所述第一驱动信号，
所述第二导电线在与从所述第一导电线提供所述第一驱动脉冲的时段不同的时段提供使药液从与所述多个第二压力腔连通的所述喷嘴喷出的第二驱动脉冲作为所述第二驱动信号。
5.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其中，
所述第一导电线提供使药液从与所述多个第一压力腔连通的所述喷嘴喷出的第一驱动脉冲作为所述第一驱动信号，所述第一驱动脉冲由扩大所述多个第一压力腔的容积的减压脉冲和减小所述多个第一压力腔的容积的加压脉冲构成，
所述第二导电线提供使药液从与所述多个第二压力腔连通的所述喷嘴喷出的第二驱动脉冲作为所述第二驱动信号，所述第二驱动脉冲由扩大所述多个第二压力腔的容积的减压脉冲和减小所述多个第二压力腔的容积的加压脉冲构成，
在所述第一导电线提供所述第一驱动脉冲的所述加压脉冲的时段，所述第二导电线提供所述第二驱动脉冲的所述减压脉冲。
6.根据权利要求2所述的药液喷出装置，其中，
所述第一导电线提供使药液从与所述多个第一压力腔连通的所述喷嘴喷出的第一驱动脉冲作为所述第一驱动信号，所述第一驱动脉冲由扩大所述多个第一压力腔的容积的减压脉冲和减小所述多个第一压力腔的容积的加压脉冲构成，
所述第二导电线提供使药液从与所述多个第二压力腔连通的所述喷嘴喷出的第二驱动脉冲作为所述第二驱动信号，所述第二驱动脉冲由扩大所述多个第二压力腔的容积的减压脉冲和减小所述多个第二压力腔的容积的加压脉冲构成，
在所述第一导电线提供所述第一驱动脉冲的所述加压脉冲的时段，所述第二导电线提供所述第二驱动脉冲的所述减压脉冲。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的药液喷出装置，其中，所述药液喷出装置还具备：
输出所述第一驱动信号的第一驱动电路；以及
输出所述第二驱动信号的第二驱动电路。
8.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其中，
所述第一驱动信号和所述第二驱动信号是电压信号。
9.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其中，
所述第一致动器通过改变所述第一压力腔的容积而改变所述第一压力腔内的药液的压力，
所述第二致动器通过改变所述第二压力腔的容积而改变所述第二压力腔内的药液的压力。
10.根据权利要求1所述的药液喷出装置，其中，
所述第一压力腔和所述第二压力腔形成为与所述喷嘴位于同轴上的圆形。
CN201910717501.4A 2018-08-10 2019-08-05 药液喷出装置 Pending CN110813397A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018151330A JP7149765B2 (ja) 2018-08-10 2018-08-10 薬液吐出装置
JP2018-151330 2018-08-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110813397A true CN110813397A (zh) 2020-02-21

Family

ID=67544128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910717501.4A Pending CN110813397A (zh) 2018-08-10 2019-08-05 药液喷出装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20200047178A1 (zh)
EP (1) EP3608023A1 (zh)
JP (1) JP7149765B2 (zh)
CN (1) CN110813397A (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7458894B2 (ja) * 2020-05-15 2024-04-01 東芝テック株式会社 液滴分注装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020121529A1 (en) * 2000-06-15 2002-09-05 Moussa Hoummady High-performance system for the parallel and selective dispensing of micro-droplets, transportable cartridge as well as dispensing kit, and applications of such a system
CN101665022A (zh) * 2008-09-04 2010-03-10 精工爱普生株式会社 液体喷出装置及液体喷出装置的控制方法
US20110037813A1 (en) * 2009-08-12 2011-02-17 Rohm Co., Ltd. Inkjet printer head
CN102211454A (zh) * 2010-03-23 2011-10-12 精工爱普生株式会社 液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置
CN102689510A (zh) * 2011-03-22 2012-09-26 精工爱普生株式会社 液体喷射装置
EP3278988A1 (en) * 2013-08-27 2018-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Element substrate, printhead, and printing apparatus

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104703801B (zh) 2012-10-02 2016-08-24 柯尼卡美能达株式会社 喷墨头的驱动方法、喷墨头的驱动装置以及喷墨记录装置
WO2015025524A1 (ja) 2013-08-22 2015-02-26 コニカミノルタ株式会社 インクジェット染色方法
WO2015137497A1 (ja) 2014-03-14 2015-09-17 コニカミノルタ株式会社 インクジェット記録方法
JP2017015466A (ja) * 2015-06-29 2017-01-19 東芝テック株式会社 液滴噴射装置
JP6935174B2 (ja) * 2016-08-05 2021-09-15 東芝テック株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ
JP2018048928A (ja) 2016-09-23 2018-03-29 東芝テック株式会社 液滴噴射装置
JP6789764B2 (ja) 2016-11-04 2020-11-25 東芝テック株式会社 液滴噴射装置
JP7012430B2 (ja) 2016-12-21 2022-01-28 東芝テック株式会社 薬液吐出装置と薬液滴下装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020121529A1 (en) * 2000-06-15 2002-09-05 Moussa Hoummady High-performance system for the parallel and selective dispensing of micro-droplets, transportable cartridge as well as dispensing kit, and applications of such a system
CN101665022A (zh) * 2008-09-04 2010-03-10 精工爱普生株式会社 液体喷出装置及液体喷出装置的控制方法
US20110037813A1 (en) * 2009-08-12 2011-02-17 Rohm Co., Ltd. Inkjet printer head
CN102211454A (zh) * 2010-03-23 2011-10-12 精工爱普生株式会社 液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置
CN102689510A (zh) * 2011-03-22 2012-09-26 精工爱普生株式会社 液体喷射装置
EP3278988A1 (en) * 2013-08-27 2018-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Element substrate, printhead, and printing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
EP3608023A1 (en) 2020-02-12
JP2020025916A (ja) 2020-02-20
US20200047178A1 (en) 2020-02-13
JP7149765B2 (ja) 2022-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10189254B2 (en) Droplet ejecting head and droplet ejecting apparatus
US10241125B2 (en) Droplet ejecting apparatus
US10245584B2 (en) Droplet ejecting apparatus
US10369562B2 (en) Droplet ejecting apparatus
US10201971B2 (en) Liquid-tolerant liquid droplet ejecting apparatus
EP3339036B1 (en) Liquid medicine discharge device and liquid medicine dispensing device
US20180085757A1 (en) Droplet ejecting apparatus
JP7019342B2 (ja) 薬液滴下装置
JP2019037906A (ja) 薬液吐出装置及び薬液滴下装置
US20190184390A1 (en) Solution ejecting device and solution dropping device
CN109420572B (zh) 药液滴下装置及药液滴下系统
JP7149765B2 (ja) 薬液吐出装置
JP6842884B2 (ja) 溶液滴下装置
JP6789764B2 (ja) 液滴噴射装置
JP2007240354A (ja) マイクロピペット
JP2022098926A (ja) 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP7069361B2 (ja) 液滴分注装置と溶液滴下装置
CN112622445B (zh) 药液滴下装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20200221