CN110760810A - 转架及具有其的镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本公开涉及镀膜技术领域，提出了一种转架及具有其的镀膜设备。转架包括第一转盘、第二转盘、转动杆、第一驱动组件以及第二驱动组件，第一转盘与第二转盘相对设置，且同步可转动地设置；转动杆穿设在第一转盘与第二转盘上，且相对于第一转盘与第二转盘可转动地设置；第一驱动组件与第一转盘驱动连接，以驱动第一转盘、第二转盘以及转动杆绕第一轴线同步转动；第二驱动组件与转动杆驱动连接，以驱动转动杆绕第二轴线转动。通过转动杆的公转和自转，以及第一转盘和第二转盘的转动，可以适应不同产品在镀膜过程中对转动过程的要求，以此保证产品的镀膜效果。

Description

转架及具有其的镀膜设备

技术领域

本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种转架及具有其的镀膜设备。

背景技术

转架是PVD物理气相沉积(真空镀膜等)设备中必不可少的工作台，用于悬挂工件、产品。

目前，转架结构多是单纯的实现主体转动，即绕着单轴线转动，但此结构并不能很好地适用于某些特殊的镀膜产品，如360度周向均需镀膜的产品，利用此类转架可能会出现某些周向表面镀膜效果较差的问题，从而需要进行二者镀膜，整个镀膜时间就会增加。

发明内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种转架及具有其的镀膜设备。

根据本发明的第一个方面，提供了一种转架，包括：

第一转盘；

第二转盘，第一转盘与第二转盘相对设置，且同步可转动地设置；

转动杆，转动杆穿设在第一转盘与第二转盘上，且相对于第一转盘与第二转盘可转动地设置；

第一驱动组件，第一驱动组件与第一转盘驱动连接，以驱动第一转盘、第二转盘以及转动杆绕第一轴线同步转动；

第二驱动组件，第二驱动组件与转动杆驱动连接，以驱动转动杆绕第二轴线转动。

在本发明的一个实施例中，第一驱动组件包括第一驱动电机，第一驱动电机与第一转盘驱动连接，第二驱动组件包括第二驱动电机，第二驱动电机与转动杆驱动连接；

其中，第一驱动电机与第二驱动电机可独立运行。

在本发明的一个实施例中，第二驱动组件还包括：

驱动齿轮，第二驱动电机与驱动齿轮驱动连接；

自转齿轮，驱动齿轮与自转齿轮相啮合，自转齿轮设置在转动杆上。

在本发明的一个实施例中，自转齿轮为多个，多个自转齿轮沿驱动齿轮的周向方向间隔设置，转动杆为多个，多个转动杆与多个自转齿轮一一相对应地设置。

在本发明的一个实施例中，第一转盘、第二转盘以及驱动齿轮的中心线与第一轴线均相重合；自转齿轮的中心线与第二轴线相重合。

在本发明的一个实施例中，第一驱动组件还包括第一驱动轴，第一驱动电机与第一驱动轴的一端相连接，第一驱动轴的另一端与第一转盘相连接，第二驱动组件还包括第二驱动轴，第二驱动电机与第二驱动轴的一端相连接，第二驱动轴的另一端与驱动齿轮相连接；

其中，当第一驱动电机运行时，转动杆绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动；当第二驱动电机运行时，转动杆绕第二轴线转动；当第一驱动电机与第二驱动电机同步运行时，转动杆绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动，或转动杆绕第一轴线转动。

在本发明的一个实施例中，第二驱动电机的转速大于等于第一驱动电机的转速，以在第一驱动电机与第二驱动电机同步运行，且转速相等时，转动杆绕第一轴线转动；

或，在第一驱动电机与第二驱动电机同步运行，且第二驱动电机的转速大于第一驱动电机的转速时，转动杆绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动。

在本发明的一个实施例中，转架还包括：

固定杆，固定杆的两端分别连接第一转盘与第二转盘，以使第一转盘与第二转盘同步可转动地设置。

在本发明的一个实施例中，转动杆包括相连接的本体杆段和固定轴段，转架还包括：

第一轴承座，第一轴承座设置在第一转盘上，本体杆段设置在第一轴承座内；

第二轴承座，第二轴承座设置在第二转盘上，固定轴段穿过第二轴承座后与第二驱动组件相连接；

其中，本体杆段与固定轴段可拆卸地相连接。

根据本发明的第二个方面，提供了一种镀膜设备，包括上述的转架和镀膜设备本体，转架放置在镀膜设备本体内。

本发明的转架由第一转盘、第二转盘、转动杆、第一驱动组件以及第二驱动组件组成，且第一驱动组件与第二驱动组件可以驱动转动杆实现绕第一轴线以及第二轴线转动，即转动杆可以在实现公转和自转，且第一转盘和第二转盘也能够绕第一轴线转动。通过转动杆的公转和自转，以及第一转盘和第二转盘的转动，可以适应不同产品在镀膜过程中对转动过程的要求，以此保证产品的镀膜效果。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本公开的优选实施方式的详细说明，本公开的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本公开的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是根据一示例性实施方式示出的一种转架的第一个视角的结构示意图；

图2是根据一示例性实施方式示出的一种转架的第二个视角的结构示意图；

图3是根据一示例性实施方式示出的一种转架的第三个视角的结构示意图；

图4是图1中A处的放大结构示意图。

附图标记说明如下：

10、第一转盘；20、第二转盘；30、转动杆；31、本体杆段；32、固定轴段；40、第一驱动组件；41、第一驱动电机；42、第一驱动轴；50、第二驱动组件；51、第二驱动电机；52、驱动齿轮；53、自转齿轮；54、第二驱动轴；60、固定杆；61、第一螺母；70、第一轴承座；71、定位螺盖；72、第二螺母；80、第二轴承座；81、轴承；82、端盖；83、锲件；84、紧固螺钉；85、螺钉；90、第一固定座；91、第二固定座。

具体实施方式

体现本公开特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本公开能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本公开的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本公开。

在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构，系统和步骤。应理解的是，可以使用部件，结构，示例性装置，系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”，“之间”，“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。

本发明的一个实施例提供了一种转架，请参考图1和图2，转架包括：第一转盘10；第二转盘20，第一转盘10与第二转盘20相对设置，且同步可转动地设置；转动杆30，转动杆30穿设在第一转盘10与第二转盘20上，且相对于第一转盘10与第二转盘20可转动地设置；第一驱动组件40，第一驱动组件40与第一转盘10驱动连接，以驱动第一转盘10、第二转盘20以及转动杆30绕第一轴线同步转动；第二驱动组件50，第二驱动组件50与转动杆30驱动连接，以驱动转动杆30绕第二轴线转动。

本发明一个实施例的转架由第一转盘10、第二转盘20、转动杆30、第一驱动组件40以及第二驱动组件50组成，且第一驱动组件40与第二驱动组件50可以驱动转动杆30实现绕第一轴线以及第二轴线转动，即转动杆30可以在实现公转和自转，且第一转盘10和第二转盘20也能够绕第一轴线转动。通过转动杆30的公转和自转，以及第一转盘10和第二转盘20的转动，可以适应不同产品在镀膜过程中对转动过程的要求，以此保证产品的镀膜效果。

在一个实施例中，第一轴线以及第二轴线相平行，绕第一轴线转动，即以第一轴线为中心轴转动，第一转盘10和第二转盘20的周向外表面在转动的过程中有一个环绕转动的过程。相应地，转动杆30绕第一轴线的转动过程为一个公转过程。而转动杆30绕第二轴线转动的过程是一个自转的过程。

如图1和图2所示，第一驱动组件40包括第一驱动电机41，第一驱动电机41与第一转盘10驱动连接，第二驱动组件50包括第二驱动电机51，第二驱动电机51与转动杆30驱动连接；其中，第一驱动电机41与第二驱动电机51可独立运行。转架在具体运行工作过程中，可以根据实际使用需要，通过控制第一驱动电机41与第二驱动电机51的运行状态来调节转动杆30、第一转盘10和第二转盘20的转动状态。

在一个实施例中，第一驱动电机41与第二驱动电机51可独立控制。

如图1和图3所示，第二驱动组件50还包括：驱动齿轮52，第二驱动电机51与驱动齿轮52驱动连接；自转齿轮53，驱动齿轮52与自转齿轮53相啮合，自转齿轮53设置在转动杆30上。

在一个实施例中，第二驱动电机51运行时，第二驱动电机51驱动齿轮52转动，此时驱动齿轮52驱动自转齿轮53转动，而使得固定在转动杆30上的自转齿轮53带动转动杆30转动，此时转动杆30的运行状态为自转。当第一驱动电机41运行时，第一转盘10和第二转盘20带动转动杆30绕第一轴线转动，由于自转齿轮53会沿着驱动齿轮52的周向方向移动，此时自转齿轮53会绕着第二轴线转动，即转动杆30在公转的同时会自转。由于驱动齿轮52与自转齿轮53的设置，第一驱动电机41也可以用于控制转动杆30自转。当然还可以通过调整第一驱动电机41和第二驱动电机51的转速使得转动杆30仅公转。第一驱动电机41和第二驱动电机51的转速均可调节地设置。

在一个实施例中，自转齿轮53为多个，多个自转齿轮53沿驱动齿轮52的周向方向间隔设置，转动杆30为多个，多个转动杆30与多个自转齿轮53一一相对应地设置。转动杆30的数量可以根据实际需求进行相应的布置，其沿第一转盘10和第二转盘20的周向方向间隔布置。

在一个实施例中，第一转盘10、第二转盘20以及驱动齿轮52的中心线与第一轴线均相重合；自转齿轮53的中心线与第二轴线相重合。第一转盘10和第二转盘20均为圆盘，第一转盘10位于第二转盘20的上方，驱动齿轮52位于第二转盘20的下方，驱动齿轮52与第二转盘20之间无连接关系。

如图1所示，第一驱动组件40还包括第一驱动轴42，第一驱动电机41与第一驱动轴42的一端相连接，第一驱动轴42的另一端与第一转盘10相连接，第二驱动组件50还包括第二驱动轴54，第二驱动电机51与第二驱动轴54的一端相连接，第二驱动轴54的另一端与驱动齿轮52相连接；其中，当第一驱动电机41运行时，转动杆30绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动；当第二驱动电机51运行时，转动杆30绕第二轴线转动；当第一驱动电机41与第二驱动电机51同步运行时，转动杆30绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动，或转动杆30绕第一轴线转动。

在一个实施例中，第二驱动电机51的转速大于等于第一驱动电机41的转速，以在第一驱动电机41与第二驱动电机51同步运行，且转速相等时，转动杆30绕第一轴线转动；或，在第一驱动电机41与第二驱动电机51同步运行，且第二驱动电机51的转速大于第一驱动电机41的转速时，转动杆30绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动。

在一个实施例中，当仅第一驱动电机41运行时，转动杆30绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动，即转动杆30在公转的同时也自转，其公转和自转速度均由第一驱动电机41控制。当第一驱动电机41与第二驱动电机51同步运行时，如果第一驱动电机41与第二驱动电机51的转动速度相等，则转动杆30仅实现公转，如果第二驱动电机51的转速大于第一驱动电机41的转速，则转动杆30在公转的同时也自转，其公转速度均由第一驱动电机41控制，而自转速度则由第二驱动电机51控制。当今第二驱动电机51运行时，转动杆30仅进行自转。

如图1和图2所示，转架还包括：固定杆60，固定杆60的两端分别连接第一转盘10与第二转盘20，以使第一转盘10与第二转盘20同步可转动地设置。固定杆60为多个，多个固定杆60间隔地设置在第一转盘10与第二转盘20之间；其中，固定杆60的延伸方向与转动杆30的延伸方向相一致。

在一个实施例中，固定杆60和转动杆30均为多个，固定杆60和转动杆30交错设置。

如图2和图4所示，转动杆30包括相连接的本体杆段31和固定轴段32，转架还包括：第一轴承座70，第一轴承座70设置在第一转盘10上，本体杆段31设置在第一轴承座70内；第二轴承座80，第二轴承座80设置在第二转盘20上，固定轴段32穿过第二轴承座80后与第二驱动组件50相连接；其中，本体杆段31与固定轴段32可拆卸地相连接。转动杆30通过第一轴承座70和第二轴承座80相对于第一转盘10和第二转盘20转动，且其与第一轴承座70和第二轴承座80仅是插接关系，从而拆卸较为方便。

在一个实施例中，本体杆段31与固定轴段32之间属于插接，由于第一转盘10和第二转盘20的存在可以保证二者不会脱离，而在拆卸时仅需将第一转盘10和第二转盘20分离即可实现固定轴段32和本体杆段31的分离。

在一个实施例中，固定杆60连接第一转盘10和第二转盘20，需保证第一转盘10和第二转盘20的同心度，固定杆60采用螺纹的方式紧固，其端部通过第一螺母61紧固。第一轴承座70通过定位螺盖71和第二螺母72固定在第一转盘10上，且内部设置有轴承，以保证转动杆30可转动，其中，定位螺盖71用于定位轴承。第二轴承座80通过螺钉85固定在第二转盘20上，第二轴承座80内部设置有轴承81。固定轴段32与本体杆段31插接，固定轴段32上装配有自转齿轮53，自转齿轮53和固定轴段32用锲件83、端盖82和紧固螺钉84连接。固定杆60的数量和转动杆30的数量根据转架大小和工件载装板的大小而定。

本发明的转架，其公转和自转相互关系可脱离，相互间不受限制，也可相互配合；二者速度、转向和启停分开控制。工件或工件载装板固定在转动杆30上，可在同一个工作时间段，不改变公转速度的状态下，快速实现转动杆30转动的启停、更变转速等多种变化的工作，适用于复杂工艺的高要求产品的生产任务。大量缩短生产时间和降低生产成本。

本发明的一个实施例还提供了一种镀膜设备，包括上述的转架和镀膜设备本体，转架放置在镀膜设备本体内。

在一个实施例中，转架通过第一固定座90和第二固定座91放置在镀膜设备本体内。第一固定座90和第二固定座91属于支撑结构，其只要不影响第一转盘10、第二转盘20以及转动杆30的转动即可。

在一个实施例中，转架是一种PVD物理气相沉积(真空镀膜等)工件转架，其公转和自转二者相互关系脱离，二者速度、转向和启停分开控制，相互不受限制的转架。工件或工件载装板固定在转动杆30上，可在同一个工作时间段，不改变公转速度的状态下，快速实现转动杆30转动的启停、更变转速等工作。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本发明旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和示例实施方式仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种转架，其特征在于，包括：

第一转盘(10)；

第二转盘(20)，所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)相对设置，且同步可转动地设置；

转动杆(30)，所述转动杆(30)穿设在所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)上，且相对于所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)可转动地设置；

第一驱动组件(40)，所述第一驱动组件(40)与所述第一转盘(10)驱动连接，以驱动所述第一转盘(10)、所述第二转盘(20)以及所述转动杆(30)绕第一轴线同步转动；

第二驱动组件(50)，所述第二驱动组件(50)与所述转动杆(30)驱动连接，以驱动所述转动杆(30)绕第二轴线转动。

2.根据权利要求1所述的转架，其特征在于，所述第一驱动组件(40)包括第一驱动电机(41)，所述第一驱动电机(41)与所述第一转盘(10)驱动连接，所述第二驱动组件(50)包括第二驱动电机(51)，所述第二驱动电机(51)与所述转动杆(30)驱动连接；

其中，所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)可独立运行。

3.根据权利要求2所述的转架，其特征在于，所述第二驱动组件(50)还包括：

驱动齿轮(52)，所述第二驱动电机(51)与所述驱动齿轮(52)驱动连接；

自转齿轮(53)，所述驱动齿轮(52)与所述自转齿轮(53)相啮合，所述自转齿轮(53)设置在所述转动杆(30)上。

4.根据权利要求3所述的转架，其特征在于，所述自转齿轮(53)为多个，多个所述自转齿轮(53)沿所述驱动齿轮(52)的周向方向间隔设置，所述转动杆(30)为多个，多个所述转动杆(30)与多个所述自转齿轮(53)一一相对应地设置。

5.根据权利要求3所述的转架，其特征在于，所述第一转盘(10)、所述第二转盘(20)以及所述驱动齿轮(52)的中心线与所述第一轴线均相重合；所述自转齿轮(53)的中心线与所述第二轴线相重合。

6.根据权利要求3所述的转架，其特征在于，所述第一驱动组件(40)还包括第一驱动轴(42)，所述第一驱动电机(41)与所述第一驱动轴(42)的一端相连接，所述第一驱动轴(42)的另一端与所述第一转盘(10)相连接，所述第二驱动组件(50)还包括第二驱动轴(54)，所述第二驱动电机(51)与所述第二驱动轴(54)的一端相连接，所述第二驱动轴(54)的另一端与所述驱动齿轮(52)相连接；

其中，当所述第一驱动电机(41)运行时，所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动的同时，绕所述第二轴线转动；当所述第二驱动电机(51)运行时，所述转动杆(30)绕所述第二轴线转动；当所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)同步运行时，所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动的同时，绕所述第二轴线转动，或所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动。

7.根据权利要求6所述的转架，其特征在于，所述第二驱动电机(51)的转速大于等于所述第一驱动电机(41)的转速，以在所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)同步运行，且转速相等时，所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动；

或，在所述第一驱动电机(41)与所述第二驱动电机(51)同步运行，且所述第二驱动电机(51)的转速大于所述第一驱动电机(41)的转速时，所述转动杆(30)绕所述第一轴线转动的同时，绕所述第二轴线转动。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的转架，其特征在于，所述转架还包括：

固定杆(60)，所述固定杆(60)的两端分别连接所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)，以使所述第一转盘(10)与所述第二转盘(20)同步可转动地设置。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的转架，其特征在于，所述转动杆(30)包括相连接的本体杆段(31)和固定轴段(32)，所述转架还包括：

第一轴承座(70)，所述第一轴承座(70)设置在所述第一转盘(10)上，所述本体杆段(31)设置在所述第一轴承座(70)内；

第二轴承座(80)，所述第二轴承座(80)设置在所述第二转盘(20)上，所述固定轴段(32)穿过所述第二轴承座(80)后与所述第二驱动组件(50)相连接；

其中，所述本体杆段(31)与所述固定轴段(32)可拆卸地相连接。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的转架和镀膜设备本体，所述转架放置在所述镀膜设备本体内。

Images