CN110753793B - 双轴泵 - Google Patents

Abstract

公开了双轴泵，所述双轴泵包括：泵送室；两个可旋转轴，每个被安装在轴承上。两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件，转子元件在泵送室内，并且两个可旋转轴延伸超出泵送室到支撑构件。支撑构件包括安装器件，用于将轴承安装在从彼此隔开的预定距离处，预定距离限定两个轴之间的距离。在泵送室与支撑构件之间提供热中断，用于阻碍泵送室与支撑构件之间的热传导，使得泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下。支撑构件和转子元件由不同材料形成，形成支撑构件的材料的热膨胀系数比形成转子元件的材料的热膨胀系数更高。

Description

双轴泵

技术领域

本发明涉及双轴泵。

背景技术

一些泵的内部表面可需要维持在高温下，以避免过程前体或副产物凝结。通常期望超过220℃的表面温度。然而，泵的其它部件在此类高温下不可良好操作。

例如，轴承的材料可被特殊处理，以承受高达约170℃的温度，而不损害其可靠性。特殊的热处理具有成本，并且如果轴承温度可降低到低于约120℃，则将不要求此类处理。

因此，期望将轴承从泵的高内部温度隔离，以便保持其可靠性。然而，在双轴泵的情况下，当泵在高温下操作时，转子在直径上增加；如果轴被安装在支撑构件（其维持在与转子类似的温度下）上，则总体上轴将以与转子膨胀相同的量移动分开。然而，如果使保持轴承的支撑构件维持在更低温度下，则轴线可以小于转子直径中的增长的量移动分开，这将导致转子在高温下接触，或如果应避免此情况，则导致增加低温条件下的间隙，以便适应差异。增加的间隙对于性能是不利的，并且阻碍泵的有效操作。

将期望的是提供双轴泵，其中，轴承可维持在比泵送室更低的温度下。

发明内容

第一方面提供了双轴泵，所述双轴泵包括：泵送室；两个可旋转轴，每个被安装在轴承上；所述两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件，所述转子元件在所述泵送室内，并且所述两个可旋转轴延伸超出所述泵送室到支撑构件；所述支撑构件包括安装器件，用于将所述轴承安装在从彼此隔开的预定距离处，所述预定距离限定所述两个轴之间的距离；以及至少一个热路径，沿着结构元件连接所述泵送室和所述安装器件；热中断，在所述至少一个热路径中的至少一个中，用于阻碍所述泵送室与所述安装器件之间的热传导，使得所述泵送室和支撑构件可维持在不同的温度下；所述热中断包括所述热路径的一部分，在所述部分中的至少一个物理性质不同于所述热路径的邻接部分的物理性质，使得所述热中断部分的热传导性比所述邻接部分的等效热路径长度的所述热传导性更低多于20％。

在至少一个热路径中的至少一个中的热中断可在所述泵送室与所述轴承之间包括所述可旋转轴中的每个的中空部分。

跨越泵的不同部件维持不同的温度状态的能力可帮助提供适于那些不同区域的操作条件，诸如，泵送室内的高温和对于轴承位置的更低温度。本发明的发明人认识到的是，可通过在轴承支撑构件与泵送室之间插入热中断而提供此类能力。尽管已知的是，试图将轴承保持在与泵送室的温度相比降低的温度下，但热中断在双轴泵中的使用产生其自身的问题，并且特别是由于不同部件的差异热膨胀而引起的问题。

在此方面，需要仔细地设计和制造泵，以便使移动部件与彼此准确地配合。例如，径向间隙当其过小时可导致泵的移动部件卡死，而当其过大时其可导致不良性能。泵的不同部件之间的热膨胀中的差异可不利地影响这些间隙，并且在其中配合的转子一起旋转的双轴泵中可特别是有问题的。两个转子之间的间隙由转子元件的尺寸和轴之间的距离影响。在轴之间的距离由支撑构件在一个温度下固定的情况下，而转子在泵送室内在显著不同的温度下，则在泵操作期间转子元件之间的间隙可随着温度变化而被影响。

因此，在本领域中存在有技术偏见，以将泵送室和安装双轴机器的轴的轴承维持在相差不过大的温度下。然而，本发明人认识到的是，在一些情况下，增加的间隙可为可接受的，并且在其它情况下，可使用其它特征，以减轻由于温差而导致的影响。因此，本发明人提出了泵，所述泵沿着结构元件在热路径中具有热中断，结构元件是在泵送室与用于轴承的安装器件之间延伸的任何物理元件。热中断由结构元件的一部分构成，在所述部分中的至少一个物理性质不同于该结构元件的邻接部分的物理性质，使得热路径的该部分的热传导性比邻接部分的等效热路径长度的热传导性更低多于20％，优选地更低多于30％。

物理性质可例如是材料的类型，其可为材料的厚度，或可能的是，其为中空而不是实心的。因此，结构元件具有适应用于低热传导性的部分，以便在安装轴承的支撑构件与泵送室之间提供一些热隔离。

在一些实施例中，所述支撑构件和所述转子元件由不同材料形成，形成所述支撑构件的材料的热膨胀系数比形成所述转子元件的材料的热膨胀系数更高。

如先前所注意的，维持在不同的温度下的泵的不同部件之间的热膨胀中的差异可不利地影响旋转部件之间的间隙，并且在其中配合的转子一起旋转的双轴泵中可特别是有问题的。例如，如果在操作期间转子温度升高多于200℃，并且轴承壳体从泵送室热隔离和/或冷却，并且仅升高100℃，则（如果所有其它情况相同）转子直径将增长高达转子轴线的间距中的增加的多于两倍。在具有100 mm标称轴间距的机器上，将需要有0.12 mm的间隙，以允许膨胀中的该差异。

通过在不同的温度区域中的每个中提供具有不同热膨胀系数的材料，本发明人已解决了此情况，使得热膨胀被协调。通过选择不同的膨胀系数以补偿不同的温度状态而提供此协调。

为了使热膨胀系数中的差异补偿显著不同的温度状态，所述差异将需要具有显著不同的值。在一些实施例中，形成所述支撑构件的所述材料的所述热膨胀系数比形成所述转子元件的所述材料的热膨胀系数更高多于三分之一。

而在其它实施例中，形成所述支撑构件的所述材料的所述热膨胀系数高达形成所述转子元件的所述材料的热膨胀系数的多于两倍。

应理解的是，取决于预期操作条件和泵的结构而选择材料的热膨胀系数。

尽管双轴可被安装在任何类型的支撑构件上，但在一些实施例中，所述支撑构件包括所述泵的顶板。

可以数种方式配置热中断，在一些实施例中，所述热中断包括更低热传导性的材料，而分隔所述结构元件的由热传导性比邻接区域的材料更高的材料形成的区域。

在一些实施例中，所述热中断在所述泵送室与所述安装器件之间的热路径中包括低热传导性的材料。

热路径可沿着泵的壳体和/或其可沿着转子轴。

通过向转子轴的一部分提供更低的热传导性，减少了沿着转子轴的热路径。这通过使轴对于其长度的一部分是中空的而实现，并且可通过使轴的一部分由具有低传导性的材料形成而进一步增强。中空部分可不为接触支撑构件的部分，因为可为重要的是，轴在此支撑点处是坚固的。

如上文所注意的，提供热中断的一种方式是在泵送室与安装器件之间在热路径中使用低传导性的材料。此材料可包括陶瓷，并且在一些实施例中，其在支撑构件与泵送室之间包括一个或多个陶瓷分隔物。

这些一个或多个陶瓷分隔物可呈垫片的形式，并且在一些实施例中，若干垫片可被安装相邻于彼此，其具有包括突起的表面，使得减少了垫片之间的接触表面。

在一些实施例中，所述泵包括其它热中断，所述其它热中断在所述支撑构件与所述泵送室的端部壁之间包括空隙。

在支撑构件与端部壁之间的空隙避免了支撑构件通过与泵送室直接接触而被加热。可在尺寸上选择空隙，从而减少两个表面之间的对流。

在一些实施例中，泵还包括温度控制器件，用于控制所述支撑构件的温度。

除了在泵送室与安装器件之间提供热中断，使得其不以与泵送室相同的速率或相同的程度被加热之外，还可提供温度控制器件，以将支撑构件维持在期望温度下。

在一些实施例中，此类温度控制器件是可操作的，以取决于所述泵送室的温度和形成所述支撑构件的所述材料和形成所述转子元件的所述材料的所述热膨胀系数的比率而控制所述支撑构件的所述温度，所述支撑构件的所述温度被控制，以提供所述转子元件在所述泵送室内的膨胀，所述膨胀与所述支撑构件的膨胀基本相同。

温度控制器件可用于控制支撑器件的温度，使得由支撑器件经历的膨胀与转子元件的膨胀基本相同，使得此膨胀被补偿，并且当其温度升高时，转子元件不接触，而不管被制造有相对小的间隙。在此方面，温度控制器件可从被安装在泵送室中的温度传感器确定泵送室的温度，并且可将支撑构件温度控制在某一比率下，所述比率由支撑构件和转子元件的不同热系数确定。以此方式，泵送室和支撑构件内的热膨胀取决于彼此而被控制，并且避免或至少减轻了差异膨胀的问题。

在一些实施例中，温度被控制，使得由支撑器件经历的膨胀在转子元件的膨胀的10％内，优选地在5％内。

在一些实施例中，所述轴承在壳体内包括滚动元件。

在一些实施例中，泵还包括供应足以润滑和冷却所述轴承的油流的器件。

除了在比泵送室的温度区域更低的温度区域中提供支撑构件之外，还可通过利用油冷却轴承而进一步保护轴承免受高温。在此方面，可向轴承供应油，以润滑其，并且在一些情况下，可使用附加的油，使得除了润滑轴承之外，还经历了轴承的一些冷却。如果轴承被提供有一些冷却，并且维持在低于支撑构件的温度的温度下，则由于支撑构件在与泵送室不同的温度下，因此可减少保护轴承免受高温的问题以及差异膨胀的问题，因为支撑构件将在比轴承自身更高的温度下，尽管其仍在比泵送室更低的温度下。以此方式，可减小支撑构件与泵送室之间的温度中的差异，而仍保护轴承。

在一些实施例中，所述安装器件在所述支撑构件中包括凹部，所述轴承被安装在所述凹部中。在此类情况下，热中断在支撑构件与泵送室之间，并且安装器件在与泵送室基本相同的温度下。

在其它实施例中，所述安装器件包括壳体，所述壳体从所述支撑构件延伸在所述支撑构件的从所述泵送室远离的一侧处，所述壳体被配置为容纳所述轴承。

将轴承维持在比支撑构件更低的温度下的方式是通过将其容纳在延伸出支撑构件的从泵送室远离的一侧处。在此类布置中，在安装器件与支撑构件之间的热中断可允许将轴承维持在比支撑构件更低的温度下。此布置允许支撑构件的温度更紧密地遵循泵送室的温度，使得转子之间的间隙在操作期间不过度变化。

在一些实施例中，所述壳体由低热传导性的分隔构件从所述支撑构件分隔。

通过使用低热传导性的分隔构件（诸如，陶瓷垫片）以将壳体在一定程度上从支撑构件热隔离，与支撑构件的温度相比，轴承可保持在低温下。

在一些实施例中，所述轴的长度使得所述支撑构件在从所述泵送室隔开的预定距离处，提供所述可旋转轴的径向控制的所述轴承被安装朝向所述可旋转轴的至少一个端部，所述泵包括其它轴承，用于提供所述可旋转轴的轴向控制，所述其它轴承比提供径向控制的所述轴承更靠近所述泵送室。

在支撑构件与泵送室之间提供差异温度的另一方式是将其安装在从泵送室隔开的距离处。这要求的是将轴延伸，并且由于轴的增加长度，因此这可导致轴的轴向热膨胀增加的其自身的问题。这可通过在位于靠近泵送室的轴承处提供可旋转轴的轴向控制而解决，而由维持在更低温度下的从泵送室远离的轴承提供径向控制。因此，轴向控制轴承将在比径向控制轴承更高的温度下操作，并且因此应选择能够抵抗此类温度的轴承。在一些情况下，这些轴承是空气轴承，因为其可在高温下可靠地操作。

在一些实施例中，这些其它轴承位于邻近泵送室。

尽管双轴可在一个支撑构件上经由轴承被支撑，但在一些实施例中，泵在所述泵送室的任一侧上包括两个支撑构件，所述可旋转轴由被安装在所述支撑构件中的每个上的轴承支撑，并且所述支撑构件中的每个由热中断从所述泵送室分隔。

在轴被支撑在泵送室的任一侧上在两个支撑构件上的情况下，则这些支撑构件可被提供有热隔离和/或温度控制两者，以维持支撑构件与泵送室之间的温差。此外，其可由热系数不同于泵送室内的转子元件的热系数的材料制成。

在设备特征被描述为可操作的以提供功能的情况下，将理解的是，这包括提供该功能或适应或被配置为提供该功能的设备特征。

附图说明

现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，其中：

图1示出了双轴泵的一个端部；

图2示出了用于轴承的壳体，所述轴承支撑泵的双轴；

图3示出了根据实施例的具有延伸轴的双轴泵；以及

图4示出了用于双轴泵的轴承壳体的温度控制。

具体实施方式

在更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。

通常期望将泵的不同部分维持在不同的温度下。泵送室可需要维持在高温下，而轴承和齿轮在更低温度下可更好地操作。将泵的不同部分维持在不同的温度下导致不同的部分膨胀不同量。

在此方面，过程可靠性是在半导体应用中对于泵寿命的最大限制因素。升高泵温度是改进此情况的关键。然而，优选的是，不以降低机器的固有可靠性为代价而实现此情况，并且因此，齿轮箱和轴承温度不应根据泵送室的温度而升高。这导致差异膨胀，除非单独解决，否则其要求附加的间隙。这些附加的间隙可损害同时实现低功率和良好真空性能的机会。

本技术提供了泵的不同部分之间的温差，以使用热中断而提供期望的操作条件。

在一些实施例中，通过使用不同的构造材料以在不同的温度下使热膨胀同步，解决了由于不同的温度状态的不同热膨胀量而引起的问题。以此方式，选择具有不同热膨胀系数和不同热传导性的材料，以允许将双轴泵的一个部分维持在比泵的泵送室更低的温度下，而仍提供与由泵送室内的转子元件经历的膨胀类似的膨胀。通过配置泵使得转子的旋转轴线以与转子元件在尺寸上的增加相同的速率移动分开，这允许在双轴泵中被安装在不同轴上的转子元件之间的间隙基本维持恒定，而不管两个位置处的温度变化中的差异。

在其它实施例中，通过将轴承安装在由热中断从支撑构件分隔的安装器件中，解决了这些问题 在此类布置中，支撑构件温度可更紧密地遵循泵送室的温度，使得减小了两者之间的差异膨胀。然而，轴承可维持在更低的操作温度下。

在优选的实施例中，具有减小的热传导性的材料用于将轴承自身从支撑其的支撑构件隔离，而允许轴的轴线之间的轴承支撑的部件在升高的温度下，并且由此膨胀更多，而单独轴承在更低温度下。

在一些实施例中，轴可延伸，使得轴承可被安装在从泵送室隔开的距离处，此距离有助于轴承与泵送室之间的热隔离。在此类情况下，轴的增加长度可导致轴膨胀的问题。在其上安装有轴的轴承提供轴的径向控制和轴向控制两者。增加的轴向膨胀可导致转子与泵送室的端部之间的间隙问题。因此，在一些情况下，为了解决此情况，径向和轴向位置控制的功能被分隔，轴向控制被提供邻近泵送室，使得减小了轴的轴向膨胀的作用。然而，此处的轴承必须能够在泵送室的高温下工作，并且因此，利用非接触式加压空气轴承实现了提供轴向控制的轴承，所述轴承可容易地位于高温区域中。径向控制是位于远离的更凉位置中的传统滚动元件轴承。

在轴承与泵送室之间存在有低热传导性和建立热梯度的器件的情况下，在结构内对于轴承的不同位置可用于提供期望的不同操作温度。当与两个温度区域中的材料的热膨胀性中的差异结合提供时，这允许将双轴泵中的轴承维持在比泵送室更低的温度下，而泵可被制造有小径向间隙。

图1显示了根据实施例的双轴泵。泵具有两个轴10，所述轴10被安装在轴承20上在顶板30中的凹部32内。轴10每个具有位于泵送室40内的转子元件12。在转子元件之间存在有间隙距离c。此间隙距离取决于安装两个可旋转轴10的轴承20之间的距离d。随着泵送室40中的温度升高，转子元件12的温度将升高，并且其将膨胀，作用为减小间隙距离c。如果同时升高顶板30的温度，则这将膨胀，而增加距离d，这作用为使轴进一步移动分开，作用为增加间隙距离c。如果泵可被配置为使得距离d中的增加可被设置为补偿转子元件的膨胀，则距离c将不改变，或至少将减小任何改变。

在图1的实施例中，顶板30由高热膨胀性的金属（诸如，铝）形成。转子元件由具有更低热膨胀性的铸铁制成。在此实施例中，在泵送室40与顶板30之间存在有热中断33，以使两者在一定程度上热隔离。此热中断33由在轴10内的以及在泵的定子42与安装轴10的顶板30之间的低传导性的材料提供。在顶板30与定子42之间还存在有空气空隙48。除了具有低传导性的材料之外，轴还可具有中空部分（未显示）。

在上文的示例中，由于热中断，因此其中轴承所位于的区域的温度增加了泵送室的温度中的增加的约一半。由具有热膨胀系数为转子材料的热膨胀系数的两倍的材料制造顶板30允许了转子间距中的增加匹配转子直径中的增加。在此示例中，转子由铸铁（线性膨胀性为1.2x10^-5 / K）制成，而轴承壳体由铝（线性膨胀性为2.3x10^-5 / K）制成。轴承壳体由空隙48以及由低热传导性的材料33从泵主体热隔离。此外，顶板30还具有一些冷却（未显示），所述冷却帮助维持这些部件之间的温度梯度。空气空隙48被定尺寸（即，足够窄），从而避免在两个部件之间建立任何显著的对流热传递。

图2显示了在泵送室40内的温度改变期间用于维持转子元件之间的基本恒定距离c的不同技术。此处，轴承20被容纳在壳体50中，所述壳体50由低热传导性的路径从顶板30分隔。在此情况下，通过在元件之间插入呈陶瓷垫片60的形式的低热传导性材料，提供了此低热传导性路径。通过使用具有薄截面的壁的轴承壳体50，进一步降低了此路径的热传导性。单独轴承壳体50上的冷却也可用于在其与顶板30之间建立大温度梯度。然而，如果将热传导性充分降低，则仅要求少量的冷却，并且这可利用仅将油溅在轴承20上而实现。附加地，存在有轴的由低热传导性的材料17形成的一部分，这再次帮助将轴承从泵送室热隔离。对于图1，轴可附加地具有中空部分。

转子元件12的间距c通过顶板30的膨胀与距离d中的相关变化连同转子元件12自身的膨胀而被控制。在所显示的示例中，保持轴10的顶板30是高温泵的定子，并且因此，在大程度上遵循泵送室40的温度，并且因此，其膨胀遵循转子元件的膨胀，并且距离c由此控制。同时，通过泵送室与轴承壳体之间的热中断以及轴承的冷却，轴承维持在更低的温度下。

然而，在其它实施例中，或许通过将顶板30从定子稍微移除，顶板30可维持在比泵送室的内部稍微更低的温度下，并且在此类情况下，热膨胀性比转子元件的热膨胀性更高的材料可用于顶板，以补偿温度中的差异。在此方面，通过形成顶板30的材料（其热膨胀率与转子元件12的热膨胀率相比增加）和顶板与轴承之间的温度梯度的组合，距离c可维持跨越大温度范围，所述温度梯度允许顶板30维持在更靠近泵送室40的温度的比轴承20所维持的温度更高的温度下。

图3显示了另一实施例，其中，通过在安装轴的轴承20的顶板30与泵的定子42之间提供增加的距离，至少部分地实现了在两者之间的所要求的热中断。此处，呈轴承20的形式的径向位置控制定位在泵的油箱的远端部处。然而，如果轴向控制也位于该处，则将需要增加泵轴向间隙，以考虑在固定轴向点与第一转子之间的轴的附加长度。因此，径向和轴向位置控制功能被分隔。使用位于邻近泵送室40的空气轴承70而实现了轴向控制。空气轴承70依靠压缩空气，以维持距离，并且可在高温环境中容易地操作。径向控制试图维持径向间隙，诸如，c，而轴向控制试图维持在此处被显示为e的轴向间隙。通过在泵送室40与顶板30之间具有中空部分14的轴10，进一步增加了顶板30与泵送室40之间的温差。

图4示意性地显示了类似于图3的系统的系统，但在此实施例中，存在有顶板30的受控冷却。泵送室内的温度传感器80和顶板30上的温度传感器82用作对于控制电路系统90的输入，所述控制电路系统90控制冷却元件95，所述冷却元件95作用为冷却顶板30，并且在泵送室40与顶板30之间维持适当温差。此温差基于转子元件12和顶板30的材料的信息而被确定，并且被选择使得其相对膨胀类似，并且转子元件12之间的间隙c基本维持恒定。

总之，对于一些泵非常重要的是，在极高的内部温度下操作，以便改进过程可靠性。本技术实现了此情况，并且在一些实施例中，提供了不要求附加间隙的解决方案，所述附加间隙以其它方式可降低泵的性能。

尽管本文已参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但应理解的是，本发明不限于精确的实施例，并且可由本领域的技术人员实现本文的各种改变和修改，而不从如由所附权利要求和其等效物限定的本发明的范围脱离。

附图标记

10 轴

12 转子元件

14 轴的中空部分

17 轴的具有低热传导性的部分

20 轴承

30 顶板

32 用于安装轴承的凹部

40 泵送室

42 定子

50 用于安装轴承的壳体

60 陶瓷垫片

70 轴向轴承

80、82 温度传感器

90 控制电路系统

95 冷却元件。

Claims (21)

1.双轴泵，包括：

泵送室；

两个可旋转轴，每个被安装在轴承上；

所述两个可旋转轴中的每个包括至少一个转子元件，所述转子元件在所述泵送室内，并且所述两个可旋转轴延伸超出所述泵送室到支撑构件；

所述支撑构件包括安装器件，用于将所述轴承安装在从彼此隔开的预定距离处，所述预定距离限定所述两个可旋转轴之间的距离；以及

至少一个热路径，沿着结构元件连接所述泵送室和所述安装器件；

热中断，在所述至少一个热路径中的至少一个中，用于阻碍所述泵送室与所述安装器件之间的热传导，使得所述泵送室和安装器件能够维持在不同的温度下；

所述热中断包括所述热路径的一部分，在所述部分中的至少一个物理性质不同于所述热路径的邻接部分的物理性质，使得所述热中断部分的热传导性比所述邻接部分的等效热路径长度的所述热传导性更低多于20％；其中，

所述热中断在所述泵送室与所述轴承之间包括所述可旋转轴中的每个的中空部分。

2.根据权利要求1所述的双轴泵，其中，

所述支撑构件和所述转子元件由不同材料形成，形成所述支撑构件的材料的热膨胀系数比形成所述转子元件的材料的热膨胀系数更高。

3.根据权利要求2所述的双轴泵，其中，形成所述支撑构件的所述材料的所述热膨胀系数比形成所述转子元件的所述材料的热膨胀系数更高多于三分之一。

4.根据权利要求2所述的双轴泵，其中，形成所述支撑构件的所述材料的所述热膨胀系数高达形成所述转子元件的所述材料的热膨胀系数的多于两倍。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，其中，所述支撑构件包括所述泵的顶板。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，包括其它热中断，所述其它热中断在所述安装器件与所述泵送室的端部壁之间包括空隙。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，其中，所述至少一个热路径中的所述热中断还包括以下中的至少一个：

热传导性比形成所述热路径的邻接部分的材料的热传导性更低的材料；以及

所述结构元件的中空部分。

8.根据权利要求7所述的双轴泵，其中，所述热中断包括更低热传导性的所述材料，所述材料包括陶瓷。

9.根据权利要求8所述的双轴泵，其中，所述热中断在所述安装器件与所述泵送室之间包括陶瓷分隔物。

10.根据权利要求7所述的双轴泵，其中，所述热中断在所述泵送室与所述轴承之间包括所述轴中的每个的一部分，所述部分由热传导性比所述轴的其余部分更低的材料形成。

11.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，所述泵还包括温度控制器件，用于控制所述支撑构件的温度。

12.根据权利要求11所述的双轴泵，所述温度控制器件是可操作的，以取决于所述泵送室的温度和形成所述支撑构件的材料和形成所述转子元件的材料的热膨胀系数的比率而控制所述支撑构件的所述温度，所述支撑构件的所述温度被控制，以提供所述转子元件在所述泵送室内的膨胀，所述膨胀与所述支撑构件的膨胀基本相同。

13.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，其中，所述轴承在壳体内包括滚动元件。

14.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，包括供应足以润滑和冷却所述轴承的油流的器件。

15.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，其中，所述安装器件在所述支撑构件中包括凹部，所述轴承被安装在所述凹部中。

16.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，其中，所述安装器件包括壳体，所述壳体从所述支撑构件延伸在所述支撑构件的从所述泵送室远离的一侧处，所述壳体被配置为容纳所述轴承。

17.根据权利要求16所述的双轴泵，其中，所述壳体由低热传导性的分隔构件从所述支撑构件分隔。

18.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，其中，所述轴的长度使得所述支撑构件在从所述泵送室隔开的预定距离处，提供所述可旋转轴的径向控制的所述轴承被安装朝向所述可旋转轴的至少一个端部，所述泵包括其它轴承，用于提供所述可旋转轴的轴向控制，所述其它轴承比提供径向控制的所述轴承更靠近所述泵送室。

19.根据权利要求18所述的双轴泵，其中，所述其它轴承位于邻近所述泵送室。

20.根据权利要求18所述的双轴泵，其中，所述其它轴承包括空气轴承。

21.根据权利要求1-4中任一项所述的双轴泵，所述泵在所述泵送室的任一侧上包括两个支撑构件，所述可旋转轴由被安装在所述支撑构件中的每个上的轴承支撑，并且所述支撑构件中的每个由热中断从所述泵送室分隔。

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