CN110727177A - 一种异形工件的曝光装置及曝光方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种异形工件的曝光装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上滑动安装有由X动力装置驱动的X滑座，X滑座上设置有固定座，固定座上设置有粗定位装置，工作平台上设置有安装架，安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机。另外，本发明还公开了使用上述曝光装置的曝光方法，该曝光装置和曝光方法可以对异形工件进行直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。

Description

一种异形工件的曝光装置及曝光方法

技术领域

本发明涉及一种异形工件的曝光装置和使用所述曝光装置的曝光方法，属于激光曝光设备技术领域。

背景技术

目前异形工件由于其表面的形状不平整，因此，表面图案的形成也比较困难，一般异形工件上的图案主要是通过丝印或移印的工艺生成，这两种工艺的主要优势是主材油墨价格较低，因此成本低廉，但是这种工艺设备投入较大，油墨膜厚大，线条有锯齿，依赖性检测效果差，图形准确性差。

发明内容

本发明所要解决的第一个技术问题是：提供一种异形工件的曝光装置，所述曝光装置可以对异形工件进行直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。

本发明所要解决的第二个技术问题是：提供一种异形工件的曝光方法，所述曝光方法使用了上述的曝光装置，在根据异形工件的待曝光面的形状自动调节焦距从而形成解析度更高曝光图像，曝光效率更高。

为解决上述第一个技术问题，本发明的技术方案是：一种异形工件的曝光装置，包括机座，所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座上设置有用于固定异形工件的固定座，所述工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，所述固定座上设置有用于对异形工件进行粗定位的粗定位装置，所述工作平台上设置有安装架，所述安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，所述Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，所述Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机。

作为一种优选的方案，所述粗定位装置包括X方向定位机构和Y方向定位机构，所述X方向定位机构安装于固定座上从X方向定位异形工件，所述Y方向定位机构安装于固定座上从Y方向定位异形工件。

作为一种优选的方案，所述X方向定位机构包括间隔设置于固定座上的第一X定位块和第二X定位块，所述第一X定位块和第二X定位块之间的区域构成了异形工件的放置区域，所述第一X定位块或/和第二X定位块沿X方向滑动安装于固定座上，所述第一X定位块或/和第二X定位块由X定位动力装置驱动。

作为一种优选的方案，所述Y滑座上还设置有用来测量曝光头组件与异形工件之间距离的测距传感器，定义X的正方向为异形工件的进给方向，所述测距传感器位于曝光头组件的进给方向的上游侧。

作为一种优选的方案，所述X滑座上还设置有用于固定平板工件的固定夹具。

作为一种优选的方案，所述固定座的上表面与异形工件的下表面形状适配，所述固定座上还设置有负压吸附孔，所述负压吸附孔与负压系统连通。

作为一种优选的方案，所述固定座包括可拆卸固定在X滑座上的底板，所述底板上设置有第一固定座体和第二固定座体，所述第一固定座体和第二固定座体间隔设置，所述第一固定座体和第二固定座体的上表面与异形工件下表面的对应部位适配，所述第一固定座体和第二固定座体上均设置了所述的负压吸附孔。

采用了上述技术方案后，本发明的效果是：由于曝光装置，包括机座，所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座上设置有用于固定异形工件的固定座，所述工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，所述固定座上设置有用于对异形工件进行粗定位的粗定位装置，所述工作平台上设置有安装架，所述安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，所述Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，所述Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机，因此，在工作时，直接将异形工件放置在固定座上，再通过粗定位装置进行粗定位，然后再利用精定位检测相机对异形工件进行精定位，这样就定位好了异形工件的待曝光区域，然后Y动力装置驱动Y滑座进行逐行扫描曝光，而X动力装置驱动X滑座进行逐行进给，从而通过X方向和Y方向的运动就覆盖了异形工件的待曝光面(曝光区域)，而曝光头组件在曝光时，调焦动力装置可以根据异形工件的待曝光面的形状来调节曝光头组件的焦距，从而使其按照最佳的工作距离曝光，使曝光的图像解析度更高。该曝光装置利用了直接激光曝光成型技术对异形工件进行曝光，替代传动的丝印或转印的工艺，提高了曝光的效率和图像的解析度。

又由于所述粗定位装置包括X方向定位机构和Y方向定位机构，所述X方向定位机构安装于固定座上从X方向定位异形工件，所述Y方向定位机构安装于固定座上从Y方向定位异形工件，因此，该粗定位装置利用X方向定位机构和Y方向定位机构可以从X方向和Y方向定位异形工件，定位更准确。

又由于所述Y滑座上还设置有用来测量曝光头组件与异形工件之间距离的测距传感器，定义X的正方向为异形工件的进给方向，所述测距传感器位于曝光头组件的进给方向的上游侧，因此，利用测距传感器就可以测量曝光头组件与异形工件之间的实际距离，该实际距离可以作为调焦动力装置调节曝光头组件的参照，这样当异形工件安装固定座上时发生变形时，可以参考该实际距离调节曝光头组件的焦距，使曝光的图像更清晰，减少虚曝现象的发生。

又由于所述固定座的上表面与异形工件的下表面形状适配，所述固定座上还设置有负压吸附孔，所述负压吸附孔与负压系统连通,该固定座利用负压吸附异形工件的下表面，这样固定更稳定。

又由于作为一种优选的方案，所述X滑座上还设置有用于固定平板工件的固定夹具，这样，该曝光装置不但可以曝光异形工件，还可以曝光平板工件，适应性更广。

又由于所述固定座包括可拆卸固定在X滑座上的底板，所述底板上设置有第一固定座体和第二固定座体，所述第一固定座体和第二固定座体间隔设置，所述第一固定座体和第二固定座体的上表面与异形工件下表面的对应部位适配，所述第一固定座体和第二固定座体上均设置了所述的负压吸附孔，因此，该固定座设置成分体式结构，不但节省了材料，而且第一固定座体和第二固定座体的上表面面积小，因而加工难度更低，更容易保证加工精度，与异形工件的下表面的匹配度更高。

为解决上述第二个技术问题，本发明的技术方案是：一种异形工件的曝光方法，所述曝光方法使用了上述曝光装置，包括以下步骤：

S1、将异形工件的模型或图纸导入到曝光装置的工控电脑中，工控电脑根据曝光头组件的曝光焦距计算出曝光头组件与异形工件的待曝光面中每个点的理论曝光距离，并将异形工件的待曝光面划分若干条扫描带；

S2、将异形工件放置于固定座上并通过粗定位机构进行粗定位；

S3、利用精定位检测相机对异形工件进行精定位；

S4、X动力装置驱动X滑座滑动使异形工件的起始端处于曝光位置；

S5、Y动力装置驱动Y滑座滑动扫描第一条扫描带，在扫描的过程中，调焦动力装置根据待曝光面上第一条扫描带对应点的理论曝光距离调节曝光头组件的焦距，在异形工件的待曝光面上完成第一条带状图形的曝光；

S6、X动力装置驱动X滑座进给一条扫描带的宽度；

S7、Y动力装置驱动Y滑座逆向滑动扫描第二条扫描带，在扫描的过程中，调焦动力装置根据待曝光面上第二条扫描带对应点的理论曝光距离调节曝光头组件的焦距，在异形工件的待曝光面上完成第二条带状图形的曝光；

S8、重复步骤S6至S7，依次曝光形成第三条带状图形、第四条带状图形，……，第N条带状图形，直至待曝光面全部曝光完成。

优选的，所述曝光方法还包括曝光头组件的焦距误差补偿方法，所述焦距误差补偿方法如下：在Y滑座上位于曝光头组件的进给方向上游侧设置测距传感器，所述测距传感器随Y滑座滑动提前测量下一条待曝光的扫描带中各点的实际曝光距离，曝光头组件在曝光下一条扫描带时，调焦动力装置根据实际曝光距离对曝光头组件的焦距进行微调补偿。

优选的，所述曝光方法中还包括平板工件的组合曝光方法；所述组合曝光方法如下：在X滑座上设置一固定夹具，将平板工件放置在固定夹具上，曝光头组件在每次扫描的过程中，调焦动力装置均根据曝光头组件所处位置选择与当前工件匹配的曝光距离调节曝光头组件的焦距曝光。

采用了上述技术方案后，本发明的效果是：该曝光方法采用上述的曝光装置，先根据曝光头组件的曝光焦距计算出曝光头组件与异形工件的待曝光面中每个点的理论曝光距离，并将异形工件的待曝光面划分若干条扫描带；这样，调焦动力装置就可以根据理论曝光距离来进行逐条曝光，曝光的精度更高，图像解析度更高，而曝光之前先对异形工件进行粗定位和精定位，这样更好的确定曝光的区域，方便扫描带的划分，也方便了曝光头组件起始工作位置和结束工作位置的确定，整个曝光方法采用了直接激光成像，替代了目前传统的丝印或转印方式，图像成型的效率更快，图像精度更高。

又由于所述曝光方法还包括曝光头组件的焦距误差补偿方法，所述焦距误差补偿方法如下：在Y滑座上位于曝光头组件的进给方向上游侧设置测距传感器，所述测距传感器随Y滑座滑动提前测量下一条待曝光的扫描带中各点的实际曝光距离，曝光头组件在曝光下一条扫描带时，调焦动力装置根据实际曝光距离对曝光头组件的焦距进行微调补偿，在异形工件的实际曝光过程中，可能因为精定位和固定座的固定导致异形工件出现一些变形，而调焦动力装置此时还根据理论曝光距离进行曝光，那么在一些变形的区域可能出现图形解析度不够的情况，而通过测距传感器就测量出固定好的异形工件的待曝光面与曝光头组件之间的距离，也相应的就计算出实际曝光距离，然后调焦动力装置局会根据实际曝光距离来微调曝光头组件，在一些变形的区域中依旧能得到解析度高的图像。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明实施例1中曝光装置的立体图；

图2是本发明实施例1中省侵略了曝光头组件和调焦动力装置的立体图；

图3是图2在A处的放大示意图；

图4是曝光头组件和调焦动力装置的立体图；

图5是固定座的结构、X方向定位机构和Y方向定位机构的立体图；

图6是图5在B处的放大示意图；

附图中：1.机座；2.工作平台；3.X滑座；4.固定座；41.底板；42.第一固定座体；421.第一支撑板，422.负压吸板；423.负压吸附孔；424.安装台阶；425.吸板定位块；43.第二固定座体；5.异形工件；6.X方向定位机构；61.第一X定位块；62.第二X定位块；63.X定位动力装置；7.Y方向定位机构；71.第一Y定位块；72.第二Y定位块；73.Y定位动力装置；8.固定夹具；9.定位条；10.安装架；11.Y滑座；12.相机支架；13.曝光头组件；14.精定位检测相机；15.测距传感器；16.调焦动力装置；17.X动力装置；18.Y动力装置。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本发明作进一步的详细描述。

实施例1

如图1至图4所示，一种异形工件的曝光装置，包括机座1，所述机座1上设置有工作平台2，所述工作平台2上沿X方向滑动安装有X滑座3，所述X滑座3上设置有用于固定异形工件5的固定座4，所述工作平台2和X滑座3之间安装有驱动X滑座3滑动的X动力装置17。本实施例中，X动力装置17优选为直线电机，当然，X动力装置17也可以采用其他的直线动力，例如伺服电机和丝杠螺母机构配合也可实现直线驱动。而本实施例中优选的，所述固定座4的上表面与异形工件5的下表面形状适配，所述固定座4上还设置有负压吸附孔423，所述负压吸附孔423与负压系统连通，该负压系统为目前的常规系统，通过真空动力元件提供负压，在此不详细描述。固定座4利用负压吸附固定异形工件5，使其固定更稳定。

如图2所示，而本实施中优选的曝光装置可以兼容平板工件的曝光，所述X滑座3上还设置有用于固定平板工件的固定夹具8。本实施例中，固定夹具8优选的为一个固定板，该固定板上同样设置了负压吸附孔，通过负压固定平板工件，而固定板上也设置了定位条9，用来方便定位平板工件。

如图1至图3所示，所述固定座4上设置有用于对异形工件5进行粗定位的粗定位装置，所述粗定位装置包括X方向定位机构6和Y方向定位机构7，所述X方向定位机构6安装于固定座4上从X方向定位异形工件5，所述Y方向定位机构7安装于固定座4上从Y方向定位异形工件5。

其中，所述X方向定位机构6包括间隔设置于固定座上4的第一X定位块61和第二X定位块62，所述第一X定位块61和第二X定位块62之间的区域构成了异形工件5的放置区域，所述第一X定位块61或/和第二X定位块62沿X方向滑动安装于固定座4上，所述第一X定位块61或/和第二X定位块62由X定位动力装置63驱动。由上可知，第一X定位块61和第二X定位块62可以选择其中一个滑动安装在固定座4上，而另一个则固定在固定座4上，这样，可滑动的X定位块则由X定位动力装置63驱动沿X方向滑动，这样第一X定位块61和第二X定位块62相互配合定位异形工件5，而本实施例中优选的是第一X定位块61和第二X定位块62两个都滑动安装且分别由对应的X定位动力装置63驱动，同样也可以定位，而X定位动力装置63优选为气缸。

而所述Y方向定位机构7包括间隔设置于固定座4上的第一Y定位块71和第二Y定位块72，所述第一Y定位块71或/和第二Y定位块72沿Y方向滑动安装于固定座4上，所述第一Y定位块71或/和第二Y定位块72由Y定位动力装置73驱动。同样，第一Y定位块71和第二Y定位块72可以选择其中之一滑动安装，而另一个固定安装，也可以第一Y定位块71和第二Y定位块72均滑动安装。本实施例中，第一Y定位块71和第二Y定位块72的数量为多个，其中第一Y定位块71为滑动安装，而第二Y定位块72固定安装。

所述工作平台2上设置有安装架10，该安装架10采用龙门架的形式，所述安装架10上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置18驱动的Y滑座11，其中Y动力装置18也优选的采用直线电机驱动，当然也不排除其他的直线动力装置。

所述Y滑座11上安装有由调焦动力装置16驱动在Z方向调焦的曝光头组件13，所述Y滑座11上安装有用于对异形工件5进行精定位的精定位检测相机14。

其中本实施例中，Y滑座11上竖直滑动安装有相机支架12，曝光头组件13、精定位检测相机均设置于相机支架12上，而调焦动力装置直接驱动相机支架12沿Z方向滑动，从而调节曝光头组件13的焦距。而本实施例中调焦动力装置16优选的采用伺服电机和丝杠螺母机构实现Z方向的驱动。

本实施例中的图1和图2示意的异形工件5是异形车载玻璃，当然，异形工件5还可以为其他的产品，而平板工件也可以为平板玻璃或其他的平板工件。

如图2所示，本实施例中，异形工件5的尺寸比较大，因此只设置了一个固定座4，而若异形工件5的尺寸较小时，可以设置多个固定座4，从而一次形对多个异形工件5进行曝光。同理，平板工件可以为一整块的平板工件，也可以为若干个小的平板工件，若为小的平板工件，那么需要一个载物框，将多个平板工件固定在载物框内，然后再将载物框固定在固定夹具8上即可一次性曝光多个平板工件。当然，在同时曝光多个工件时，精定位检测相机需要对多个工件均分别精定位。

如图5和图6所示，所述固定座4包括通过螺栓紧固件可拆卸固定在X滑座上的底板41，所述底板41上设置有第一固定座体42和第二固定座体43，所述第一固定座体42和第二固定座体43间隔设置，所述第一固定座体42和第二固定座体43的上表面与异形工件下表面的对应部位适配，所述第一固定座体42和第二固定座体43上均设置了所述的负压吸附孔423，其中，第一固定座体42包括两块间隔设置的第一支撑板421，该第一支撑板421的上端均设置有安装台阶424，所述安装台阶424上安装了负压吸板422，所述负压吸附孔423设置在负压吸板422上，并且在每个第一支撑板421上安装了吸板定位块425，用来定位负压吸板422，负压吸板422和第一支撑板421之间通过螺栓可拆卸固定。而第二Y定位块72是固定在负压吸板422的侧面，而第一Y定位块71则滑动安装在第一支撑板421上并且由Y定位动力装置驱动，实现定位。

而同理，第二固定座体43的结构与第一固定座体42的结构基本相同，只是负压吸板422的尺寸以及表面的形状不同，因此在此不在赘述。

由于该固定座4设置成了分体式结构，节省了材料，并且将一个大的异形上表面化整为零变成了若干个小的异形表面，因而加工难度更低，更容易保证加工精度，最终能更稳定的支撑异形工件5的下表面。

所述Y滑座11上还设置有用来测量曝光头组件13与异形工件5之间距离的测距传感器15，本实施例中测距传感器15优选的采用激光位移传感器或者激光测距传感器15，测距传感器15是固定在相机支架12上，随相机支架12一起运动，从而方便确定曝光头组件13与异形工件5的待曝光面之间的距离，定义X的正方向为异形工件5的进给方向，所述测距传感器15位于曝光头组件13的进给方向的上游侧。以如图2为例，X滑座3的进给方向为X的正方向，那么下游侧则为图2中图纸中的右上角侧，而上游侧则为图2中图纸中的左下角侧，由于测距传感器15位于曝光头组件13的进给方向的上游侧，因此，曝光头组件13在未曝光第一条扫描带时，测距传感器15已经先测量了第一条扫描带的实际曝光距离，而调焦动力装置16就可以利用第一条扫描的实际曝光距离来调节曝光头组件13的焦距。同理，曝光头组件13在曝光第一条扫描带时，测距传感器15已经同步测量了第二条扫描带的实际曝光距离。这样就提前预先测量了下一条扫描带的实际曝光距离，给工控电脑预留了一定计算时间来得出调焦动力装置16的调节方案。

实施例2

本实施例公开了一种异形工件的曝光方法，所述曝光方法使用了实施例1中的曝光装置，包括以下步骤：

S1、将异形工件5的模型或图纸导入到曝光装置的工控电脑中，工控电脑根据曝光头组件13的曝光焦距计算出曝光头组件13与异形工件5的待曝光面中每个点的理论曝光距离，并将异形工件5的待曝光面划分若干条扫描带；其中扫描带的划分优选是按照异形工件5的宽度或长度进行划分，本实施例中，如图2所示，扫描带的长度方向为Y方向，也就是异形工件5的宽度方向，而进给方向则为异形工件5的长度方向。

S2、将异形工件5放置于固定座4上并通过粗定位机构进行粗定位；

S3、利用精定位检测相机14对异形工件5进行精定位，其中精定位的方式是选取异形工件5边缘的至少两个标记点即可精定位；

S4、X动力装置17驱动X滑座3滑动使异形工件5的起始端处于曝光位置；

S5、Y动力装置18驱动Y滑座11滑动扫描第一条扫描带，在扫描的过程中，调焦动力装置16根据待曝光面上第一条扫描带对应点的理论曝光距离调节曝光头组件13的焦距，在异形工件5的待曝光面上完成第一条带状图形的曝光；

S6、X动力装置17驱动X滑座3进给一条扫描带的宽度；

S7、Y动力装置18驱动Y滑座11逆向滑动扫描第二条扫描带，在扫描的过程中，调焦动力装置16根据待曝光面上第二条扫描带对应点的理论曝光距离调节曝光头组件13的焦距，在异形工件5的待曝光面上完成第二条带状图形的曝光；

S8、重复步骤S6至S7，依次曝光形成第三条带状图形、第四条带状图形，……，第N条带状图形，直至待曝光面全部曝光完成。

所述曝光方法还包括曝光头组件13的焦距误差补偿方法，所述焦距误差补偿方法如下：在Y滑座11上位于曝光头组件13的进给方向上游侧设置测距传感器15，所述测距传感器15随Y滑座11滑动提前测量下一条待曝光的扫描带中各点的实际曝光距离，曝光头组件13在曝光下一条扫描带时，调焦动力装置16根据实际曝光距离对曝光头组件13的焦距进行微调补偿，通过焦距误差补偿就可以适应变形的异形工件5，使曝光图像的精度更高。

所述曝光方法中还包括平板工件的组合曝光方法；所述组合曝光方法如下：在X滑座3上设置一固定夹具8，将平板工件放置在固定夹具8上，曝光头组件13在Y方向的每次扫描，调焦动力装置16均根据曝光头组件13所处位置选择与当前工件匹配的曝光距离调节曝光头组件13的焦距曝光。

以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种异形工件的曝光装置，包括机座，其特征在于：所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座上设置有用于固定异形工件的固定座，所述工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，所述固定座上设置有用于对异形工件进行粗定位的粗定位装置，所述工作平台上设置有安装架，所述安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，所述Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，所述Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机。

2.如权利要求1所述的一种异形工件的曝光装置，其特征在于：所述粗定位装置包括X方向定位机构和Y方向定位机构，所述X方向定位机构安装于固定座上从X方向定位异形工件，所述Y方向定位机构安装于固定座上从Y方向定位异形工件。

3.如权利要求2所述的一种异形工件的曝光装置，其特征在于：所述X方向定位机构包括间隔设置于固定座上的第一X定位块和第二X定位块，所述第一X定位块和第二X定位块之间的区域构成了异形工件的放置区域，所述第一X定位块或/和第二X定位块沿X方向滑动安装于固定座上，所述第一X定位块或/和第二X定位块由X定位动力装置驱动。

4.如权利要求1至3任一项所述的一种异形工件的曝光装置，其特征在于：所述Y滑座上还设置有用来测量曝光头组件与异形工件之间距离的测距传感器，定义X的正方向为异形工件的进给方向，所述测距传感器位于曝光头组件的进给方向的上游侧。

5.如权利要求4所述的一种异形工件的曝光装置，其特征在于：所述X滑座上还设置有用于固定平板工件的固定夹具。

6.如权利要求5所述的一种异形工件的曝光装置，其特征在于：所述固定座的上表面与异形工件的下表面形状适配，所述固定座上还设置有负压吸附孔，所述负压吸附孔与负压系统连通。

7.如权利要求6所述的一种异形工件的曝光装置，其特征在于：所述固定座包括可拆卸固定在X滑座上的底板，所述底板上设置有第一固定座体和第二固定座体，所述第一固定座体和第二固定座体间隔设置，所述第一固定座体和第二固定座体的上表面与异形工件下表面的对应部位适配，所述第一固定座体和第二固定座体上均设置了所述的负压吸附孔。

8.一种异形工件的曝光方法，其特征在于：所述曝光方法使用了如权利要求1中的曝光装置，包括以下步骤：

S1、将异形工件的模型或图纸导入到曝光装置的工控电脑中，工控电脑根据曝光头组件的曝光焦距计算出曝光头组件与异形工件的待曝光面中每个点的理论曝光距离，并将异形工件的待曝光面划分若干条扫描带；

S2、将异形工件放置于固定座上并通过粗定位机构进行粗定位；

S3、利用精定位检测相机对异形工件进行精定位；

S4、X动力装置驱动X滑座滑动使异形工件的起始端处于曝光位置；

S5、Y动力装置驱动Y滑座滑动扫描第一条扫描带，在扫描的过程中，调焦动力装置根据待曝光面上第一条扫描带对应点的理论曝光距离调节曝光头组件的焦距，在异形工件的待曝光面上完成第一条带状图形的曝光；

S6、X动力装置驱动X滑座进给一条扫描带的宽度；

S7、Y动力装置驱动Y滑座逆向滑动扫描第二条扫描带，在扫描的过程中，调焦动力装置根据待曝光面上第二条扫描带对应点的理论曝光距离调节曝光头组件的焦距，在异形工件的待曝光面上完成第二条带状图形的曝光；

S8、重复步骤S6至S7，依次曝光形成第三条带状图形、第四条带状图形，……，第N条带状图形，直至待曝光面全部曝光完成。

9.如权利要求8所述的一种异形工件的曝光方法，其特征在于：所述曝光方法还包括曝光头组件的焦距误差补偿方法，所述焦距误差补偿方法如下：在Y滑座上位于曝光头组件的进给方向上游侧设置测距传感器，所述测距传感器随Y滑座滑动提前测量下一条待曝光的扫描带中各点的实际曝光距离，曝光头组件在曝光下一条扫描带时，调焦动力装置根据实际曝光距离对曝光头组件的焦距进行微调补偿。

10.如权利要求9所述的一种异形工件的曝光方法，其特征在于：所述曝光方法中还包括平板工件的组合曝光方法；所述组合曝光方法如下：在X滑座上设置一固定夹具，将平板工件放置在固定夹具上，曝光头组件在每次扫描的过程中，调焦动力装置均根据曝光头组件所处位置选择与当前工件匹配的曝光距离调节曝光头组件的焦距曝光。

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