CN110695087A - 一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，涉及金属材料加工技术领域。本发明的步骤为：一、纯钛铸坯的打磨、抛光处理；二、送入二辊轧机同步冷轧得到纯钛薄板；三、纯钛板去污清洗和退火；四、送入可逆四辊异步轧机，调节辊速和张力，进行异步+张力冷轧得到纯钛薄带；五、再次送入可逆四辊异步冷轧机，调节辊缝、辊速和张力，进行负辊缝异步+张力冷轧。本发明得到的纯钛极薄带的表面平整且抗拉压强度良好，能够替代现有技术生产的极薄带，和现有技术相比，本发明对生产设备的要求较低，减少了生产工序和生产成本。对于制备较厚的纯钛极薄带时，还可以仅使用上述的步骤一、步骤二和步骤四，且制备出的纯钛极薄带质量良好。

Description

一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法
技术领域
本发明属于金属材料加工技术领域，更具体地说，涉及一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法。
背景技术
电子级低氧超高纯钛的纯度在99.999％以上，其极薄带产品广泛用于各个领域。在燃料电池生产中，重量轻且耐蚀性好的钛是构成燃料电池堆外壳部件的主要原料；在扬声器产业中，强度高、延展性好的钛箔是高品质扬声器音膜的最佳选择；近年来，由于超高纯钛的耐蚀性非常好且对身体无害，也正在开发用于骨科手术中包覆骨关节的超高纯钛箔；还有研究表明，用钛箔来覆盖钢结构的桁架端部、拼接板等易腐蚀部位，可以减少涂装维护次数并且提高钢结构的使用寿命。
目前，已经公开的纯钛板材及箔材的生产方式主要是采用750～840℃的热轧温度、使用多辊轧机轧制、并在600～750℃进行真空退火，热轧、退火、除鳞、冷轧、清洗、真空退火等后续处理工艺是制备纯钛板材及箔材的可行工艺，但这种工艺生产只适合生产一般厚度钛箔，对于0.1毫米以下箔材加工并不适合。为了生产更薄的钛材，通常使用20辊或36辊多辊轧机，通过减小工作辊径的方式来轧制箔材，经多辊轧机多次反复轧制、清洗、真空退火等工艺将纯钛带轧制成0.05mm～0.01mm的纯钛极薄带。但是，该方法设备投资昂贵，加工工艺复杂，能耗较高，因此需研发更加简单且低耗的钛箔生产方式。
经检索，中国专利号ZL201510541593.7，授权公告日2017年4月5日，发明创造名称为：一种镁及镁合金极薄带的轧制方法，该申请案的工艺步骤为：(1)镁或镁合金板的均匀化处理；(2)镁或镁合金板的二辊同步热轧；(3)镁或镁合金薄带的热处理；(4)镁或镁合金薄带的可逆四辊异步冷轧；(5)镁或镁合金薄带的负辊缝异步冷轧，制备得到厚度为1～5μm的镁或镁合金极薄带。该申请案可显著细化镁及镁合金的平均晶粒尺寸，并解决了镁或镁合金极薄带边部裂纹产生和异速比过大引起的板形问题，实现镁或镁合金极薄带冷轧制作的同时提高了其在室温下的塑性变形能力，并且该申请案方法对设备要求也较低。但该申请案的初轧阶段为二辊同步热轧，需要对坯料进行加热保温，轧制过程中还要进行多次中间退火，对轧辊的耐热性要求较高，且生产工艺较复杂，能源消耗较多。
发明内容
1.发明要解决的技术问题
本发明的目的是为了解决现有钛箔制备工艺中，生产设备成本昂贵和能源消耗大的问题，提出了一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，本发明结合钛材的特点，利用常见生产设备制备出高强度超高纯钛极薄带材，减少了生产成本且制备工艺简单。
2.技术方案
为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：
本发明的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、对纯钛铸坯切片进行打磨和抛光；
步骤二、将得到的纯钛轧件送入二辊轧机同步冷轧进行开坯轧制；
步骤三、对得到的轧件进行去污清洗，再进行退火处理；
步骤四、采用牵引带固定的方式将步骤三处理过的纯钛薄板送入可逆四辊异步轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用异步+大张力组合成型工艺进行冷轧；
步骤五、采用牵引带固定的方式将步骤四所得到的纯钛薄带再次送入可逆四辊轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用负辊缝异步+大张力组合成型工艺进行冷轧。
更进一步地，步骤二中的轧制为多道次可逆轧制，轧制工艺参数为：轧辊表面粗糙度为100～200nm，轧辊辊速为80～100mm/s，轧制道次为10～20道次，道次压下率为5％～20％，总压下率达到80％以上。
更进一步地，步骤三中使用高纯酒精去除表面油污，并经超声波清洗，清洗温度为25～40℃，清洗时间为15～30min；退火处理在450～550℃的真空加热炉中进行，真空炉的真空度不大于3.0×10-3MPa，所用保护气氛的气体为纯度大于99.99％的氩气，纯钛薄板在真空炉中保温1～3h后随炉冷却至室温。
更进一步地，步骤四中的轧制为多道次轧制，轧制工艺参数为：支承辊直径为120～150mm，工作辊直径为30～50mm，工作辊粗糙度为76～100nm，轧辊的辊速为40～70mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.02～1.50，轧制道次为12～16道次，道次压下率为5％～15％，总压下率达到78％以上，力矩电动机的实际电压控制为150～200V。
更进一步地，步骤五中的轧制为多道次可逆轧制，轧制工艺参数为：支承辊辊径为120～150mm，工作辊辊径为30～50mm，工作辊粗糙度为20～35nm，轧辊的辊速为30～50mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2～1.8，轧制道次为7～13道次，道次压下率为5％～15％，总压下率达到70％以上，力矩电动机的实际电压为100～150V。
更进一步地，步骤四和步骤五的轧制过程中，均对纯钛轧件喷淋润滑油，每次喷淋3～5s，时间间隔为5～10s；且快速辊和慢速辊的辊速在每进行一个新的道次的轧制时会进行对调。
本发明的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、对纯钛铸坯切片进行打磨和抛光；
步骤二、将得到的纯钛轧件送入二辊同步冷轧机进行开坯轧制；
步骤三、采用牵引带固定的方式将步骤二处理过的纯钛薄板送入可逆四辊异步冷轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用异步+大张力组合成型工艺进行轧制。
更进一步地，步骤二中的轧制为多道次轧制，轧制工艺参数为：轧辊表面粗糙度为100～200nm，轧辊辊速为80～100mm/s，轧制道次为10～20道次，道次压下率为5％～20％，总压下率达到80％以上。
更进一步地，步骤三中的轧制为多道次轧制，轧制工艺参数为：支承辊直径为120～150mm，工作辊直径为30～50mm，工作辊粗糙度为48～65nm，轧辊的辊速为30～60mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2～1.5，轧制道次为8～12道次，道次压下率为5％～15％，总压下率达到50％以上，力矩电动机的实际电压控制为130～150V。
更进一步地，步骤三的轧制过程中，对纯钛轧件喷淋润滑油，每次喷淋3～5s，时间间隔为5～10s；且快速辊和慢速辊的辊速在每进行一个新的道次的轧制时会进行对调。
3.有益效果
采用本发明提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下显著效果：
(1)本发明的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，采用异步轧制和张力组合成形技术进行轧制，薄带在处于异步轧制状态的情况下，因设置两个工作辊在不同辊速下运动，使得薄带在轧制区受到剪切变形作用；同时，通过在不同轧制阶段对薄带施加不同的张力，使薄带在轧制过程中受到理想的拉拔和压缩作用，更易薄带减薄且轧制过程稳定，得到的纯钛极薄带的晶粒尺寸达到了纳米级别，且抗拉压强度良好，能达到650MPa，可以替代现有技术生产的纯钛极薄带，具有良好的发展前景和市场。
(2)本发明的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，能够使用现有普通的二辊和四辊轧机进行轧制，轧制过程产简单，容易进行控制和操作；和现有的超高纯钛轧制工艺相比，在轧制设备上的花费减少，且简化了生产工序，尤其是利用组合成型工艺和纯钛的特性，减少了许多中间退火工序，节省了生产时间和生产成本，提高了生产效率。
(3)本发明的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，利用纯钛塑性高的特点，和传统工艺使用热轧或冷、热轧配合的方式相比，其整个轧制过程均采用冷轧的方式，对轧辊的耐热性能要求较低，延长轧辊的使用寿命，在一定程度上降低了生产成本；另外，使用热轧获得的产品表面易出现氧化层，往往需要一系列后续工序处理，而冷轧可直接得到表面平整光滑、外观精致、尺寸精度均匀的产品。
附图说明
图1为本发明超高纯钛极薄带轧制的工艺流程图；
图2为本发明中使用异步+张力组合成形技术的轧制示意图。
示意图中的标号说明：
1、轧辊；2、薄带。
具体实施方式
为进一步了解本发明的内容，结合附图和实施例对本发明作详细描述。
实施例1
结合图1的左侧轧制流程，本实施例的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，能将厚度为8.6mm的电子级低氧超高纯钛板，制备成厚度为5μm的电子级低氧超高纯钛极薄带。按照以下步骤进行：
步骤一、将厚度为8.6mm的纯钛板切割成60mm×60mm的方形纯钛板坯，再对超高纯钛板坯表面进行打磨、抛光，使板坯表面变为平整光滑，为后续轧制做准备。
步骤二、将步骤一所得的纯钛轧件送入二辊轧机，直接通过多道次冷轧初次减薄，得到0.8mm的纯钛薄板。其中所述参数设置为：轧辊表面粗糙度Ra为200nm、轧辊辊速为100mm/s，轧制道次为20道次，道次压下率在5％～15％，总压下率达到90％以上。通过冷轧得到的纯钛薄板强度高，表面光滑，相较于热轧工艺，省去了热处理工序，简化了轧制工艺，减少了能源的消耗。
步骤三、将步骤二所得到的纯钛薄板通过高纯酒精去除表面的油污，并经超声波清洗，清洗温度为30℃，清洗时间为20分钟；为了去除纯钛薄板的残余应力，提高其塑性，将经过去污清洗的纯钛薄板放置于真空加热炉中进行退火处理，其中真空炉的真空度不大于3.0×10-3MPa，所用保护气氛的气体为纯度大于99.99％的氩气，纯钛薄板在真空炉中加热至500℃，经2h的保温再随炉冷却至室温后取出，为下一步轧制极薄带做准备。
步骤四、将步骤三中经过清洗和退火处理的纯钛薄板送入四辊轧机，纯钛薄板两端通过和牵引带焊接，与两台力矩电动机连接，调节工作辊辊速和力矩电动机的电压，经过多道次的可逆冷轧，得到厚度为60μm的纯钛薄带。其中所述参数设置为：支承辊直径为120mm，工作辊直径为30mm，轧辊表面粗糙度Ra为100nm、慢速辊辊速为60mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.02，轧制道次为16道次，道次压下率在5％～15％，总压下率达到90％以上，力矩电动机的电压控制为170V，所用力矩电动机的型号为AJC6334。
值得说明的是，薄带2自两轧辊1之间穿过(参看图2)，两个轧辊1的旋转方向均与薄带2前进方向一致。本实施例所采用的异步+张力组合成型工艺，其所谓的异步轧制即为异速轧制，通过控制两个轧辊1的速度不同(具体到本实施例为快速工作辊与慢速工作辊线速度比值为1.02)，使薄带2在轧制区受到剪切变形作用而更易减薄。所谓张力即为在薄带2的两端施加张力，不仅方便了轧制中薄带2进一步减薄，且能使轧制过程更平稳，该张力如何与辊速相匹配，对于薄带2能否按照需求进一步减薄是十分重要的，本实施例经过多次实验，轧制开始时，力矩电动机电压为170V时产生的张力，与上文所述辊速的设定值最相匹配，基本能够达到在16道次合理轧制次数范围内，薄带总压下率达到90％以上的目的。
另外，由于纯钛薄带越薄，要进行减薄就越困难，所以在轧制减薄过程中要不断地调节异速比和张力，其中异速比要不断增大，一般总压下率每增大20％～35％时，快速辊与慢速辊速度比值就要增大0.1～0.2，最大可增至1.5；张力要不断减小，通过力矩电动机的电压和产生力矩之间的换算公式，调节电压进而改变张力，一般总压下率每增大10％～15％，力矩电动机的电压就要减小5～10V，最小可减至100V，且两个力矩电动机的实际电压改变必须同步进行，保证前后张力的协调一致。
在轧制中，每进行一个道次的轧制时，将快速辊和慢速辊的速度进行对调，以减少纯钛薄带上下两面的结构差异，使轧件组织均匀。同时，为了调控变形区的摩擦力以及对纯钛薄带进行冷却，还会在轧制过程中喷淋润滑油，每次喷淋5s，时间间隔为5s，在纯钛薄带出口处利用被动毛刷将薄带表面的润滑油刮掉。
步骤五、将步骤四所得到的纯钛薄带再次送入四辊轧机，纯钛薄带两端通过和牵引带焊接，与两台力矩电动机连接，调节辊缝、辊速和力矩电动机的电压值，经过多道次的可逆冷轧，得到厚度为5μm的纯钛薄带。其中所述参数设置为：支承辊直径为120mm，工作辊直径为30mm，轧辊表面粗糙度Ra为35nm、慢速辊辊速为30mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2，通过在轧制过程中的调节，最大可增至1.8，轧制道次为13道次，道次压下率在5％～10％，总压下率达到91％以上，力矩电动机的电压控制为100V，通过在轧制过程中的调节，最小可减至50V，对轧件喷淋润滑油的时间间隔为8s，每次喷淋3s。
使用本实施例的方法能够使薄带在轧制区受到剪切变形和拉拔压缩作用，再结合纯钛的特性，可以在仅有一次退火工艺的情况下，使用现有的二辊和四辊轧机，冷轧出表面光滑、厚度尺寸精度高、抗拉压强度良好的电子级低氧纯钛极薄带。
经测量，得到的5μm超高纯钛极薄带的板形平整度高，表面粗糙度可达80nm，抗拉强度可达470MPa，总压下率达到99％以上，该极薄带的塑性和强度较普通工业纯钛要好，能够满足实际需要，具有良好的应用前景。同时，本方法使用的工作辊比普通轧制极薄带轧机的工作辊要粗许多，轧制过程中对轧辊的磨损较小，因而换辊次数也较少，本方法和现有的轧制工艺相比，具有生产工序更简单、生产成本更低的优点。
实施例2
本实施例的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，将厚度为8.6mm的电子级低氧超高纯钛板，制备得到厚度为30μm的电子级低氧超高纯钛极薄带，制备过程基本同实施例1，其不同之处在于，轧制过程的参数不同，具体如下：
步骤一、将厚度为8.6mm的纯钛板切割成50mm×60mm的矩形纯钛板坯；
步骤二、经轧制得到的纯钛薄板厚度为1mm，所述参数设置为：轧辊表面粗糙度Ra为160nm、轧辊辊速为90mm/s，轧制道次为12道次，道次压下率在7％～20％，总压下率达到88％以上；
步骤三、纯钛薄板的清洗温度为40℃，清洗时间为30分钟，退火时在真空炉中加热至550℃，经3h的保温再随炉冷却至室温后取出；
步骤四、经轧制得到的纯钛薄带厚度为100μm，所述参数设置为：支承辊直径为130mm，工作辊直径为40mm，轧辊表面粗糙度Ra为76nm、慢速辊辊速为70mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.1，轧制道次为12道次，道次压下率在5％～15％，总压下率达到90％以上，力矩电动机的电压控制为200V，润滑油喷淋间隔为7s，每次喷淋4s；
步骤五、经轧制得到的纯钛极薄带厚度为30μm，所述参数设置为：支承辊直径为150mm，工作辊直径为50mm，轧辊表面粗糙度Ra为20nm、慢速辊辊速为50mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.5，轧制道次为7道次，道次压下率在7％～15％，总压下率达到70％以上，力矩电动机的电压控制为150V，润滑油喷淋间隔为10s，每次喷淋4s。
实施例3
本实施例的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，将厚度为5mm的电子级低氧超高纯钛板，制备得到厚度为30μm的电子级低氧超高纯钛极薄带，制备过程基本同实施例1，其不同之处在于，轧制过程的参数不同，具体如下：
步骤一、将厚度为5mm的纯钛板切割成60mm×60mm的矩形纯钛板坯；
步骤二、经轧制得到的纯钛薄板厚度为1mm，所述参数设置为：轧辊表面粗糙度Ra为100nm、轧辊辊速为80mm/s，轧制道次为10道次，道次压下率在5％～13％，总压下率达到80％以上；
步骤三、纯钛薄板的清洗温度为25℃，清洗时间为15分钟，退火时在真空炉中加热至450℃，经1h的保温再随炉冷却至室温后取出；
步骤四、经轧制得到的纯钛薄带厚度为150μm，所述参数设置为：支承辊直径为150mm，工作辊直径为50mm，轧辊表面粗糙度Ra为80nm、慢速辊辊速为40mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.3，轧制道次为13道次，道次压下率在5％～10％，总压下率达到78％以上，力矩电动机的电压控制为200V，润滑油喷淋间隔为8s，每次喷淋3s；
步骤五经轧制得到的纯钛极薄带厚度为30μm，其轧制工艺参数为：支承辊直径为140mm，工作辊直径为40mm，轧辊表面粗糙度Ra为22nm、慢速辊辊速为40mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.3，轧制道次为11道次，道次压下率在6％～13％，总压下率达到86％以上，力矩电动机的电压控制为130V，润滑油喷淋间隔为10s，每次喷淋4s。
实施例4
本实施例的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，将厚度为10mm的电子级低氧超高纯钛板，制备得到厚度为60μm的电子级低氧超高纯钛极薄带，制备方法基本同实施例1，其不同之处在于，本实施例制备的纯钛极薄带产品厚度较厚，总变形量和对材料的塑性要求不是很高，因此可以不进行真空退火处理，直接通过异步+张力组合成型工艺制得，且所制备的产品质量良好，结合图2的右侧轧制流程，具体步骤如下：
步骤一、将厚度为10mm的纯钛板切割成60mm×60mm的方形纯钛板坯，再对超高纯钛板坯表面进行打磨、抛光，使板坯表面变为平整光滑，为后续轧制做准备。
步骤二、将步骤一所得的纯钛轧件送入二辊轧机进行多道次同步冷轧得到1mm的纯钛薄板，所述参数设置为：轧辊表面粗糙度Ra为100nm、轧辊辊速为95mm/s，轧制道次为14道次，道次压下率在5％～20％，总压下率达到90％以上。
步骤三、将步骤二所得的纯钛薄板送入可逆四辊轧机，纯钛薄板两端通过和牵引带焊接，与两台力矩电动机连接，调节工作辊辊速和力矩电动机的电压，利用异步+大张力组合成型工艺经过多道次的可逆冷轧，得到厚度为60μm的纯钛薄带。其中所述参数设置为：支承辊直径为120mm，工作辊直径为30mm，轧辊表面粗糙度Ra为65nm、慢速辊辊速为60mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.3，通过在轧制过程中的调节，最大可增至1.5，轧制道次为8道次，道次压下率在5％～15％，总压下率达到60％以上，力矩电动机的电压控制为150V，通过在轧制过程中的调节，最小可减至100V，润滑油喷淋间隔为5s，喷淋时间为3s。
实施例5
本实施例的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，将厚度为10mm的电子级低氧超高纯钛板，制备得到厚度为60μm的电子级低氧超高纯钛极薄带，制备过程基本同实施例4，其不同之处在于，轧制过程的参数不同，具体如下：
步骤一、将厚度为5mm的纯钛板切割成60mm×60mm的方形纯钛板坯；
步骤二、经轧制得到的纯钛薄板厚度为0.8mm，所述参数设置为：轧辊表面粗糙度Ra为65nm、轧辊辊速为75mm/s，轧制道次为7道次，道次压下率在5％～11％，总压下率达到70％以上；
步骤三、经轧制得到的纯钛薄带厚度为50μm，所述参数设置为：支承辊直径为150mm，工作辊直径为50mm，轧辊表面粗糙度Ra为48nm、慢速辊辊速为30mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2，轧制道次为12道次，道次压下率在5％～10％，总压下率达到50％以上，力矩电动机的电压控制为130V，润滑油喷淋间隔为10s，喷淋时间为5s。
实施例6
本实施例的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，将厚度为6.7mm的电子级低氧超高纯钛板，制备得到厚度为50μm的电子级低氧超高纯钛极薄带，制备过程基本同实施例4，其不同之处在于，轧制过程的参数不同，具体如下：
步骤一、将厚度为6.7mm的纯钛板切割成60mm×60mm的方形纯钛板坯；
步骤二、经轧制得到的纯钛薄板厚度为0.9mm，所述参数设置为：轧辊表面粗糙度Ra为70nm、轧辊辊速为8mm/s，轧制道次为8道次，道次压下率在5％～15％，总压下率达到83％以上；
步骤三、经轧制得到的纯钛薄带厚度为50μm，所述参数设置为：支承辊直径为140mm，工作辊直径为40mm，轧辊表面粗糙度Ra为50nm、慢速辊辊速为35mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.25，轧制道次为10道次，道次压下率在5％～11％，总压下率达到53％以上，力矩电动机的电压控制为140V，润滑油喷淋间隔为8s，喷淋时间为4s。
以上示意性的对本发明及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、对纯钛铸坯切片进行打磨和抛光；
步骤二、将得到的纯钛轧件送入二辊轧机同步冷轧进行开坯轧制；
步骤三、对得到的轧件进行去污清洗，再进行退火处理；
步骤四、采用牵引带固定的方式将步骤三处理过的纯钛薄板送入可逆四辊异步轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用异步+大张力组合成型工艺进行冷轧；
步骤五、采用牵引带固定的方式将步骤四所得到的纯钛薄带再次送入可逆四辊轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用负辊缝异步+大张力组合成型工艺进行冷轧。
2.根据权利要求1所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤二中的轧制为多道次可逆轧制，轧制工艺参数为：轧辊表面粗糙度为100～200nm，轧辊辊速为80～100mm/s，轧制道次为10～20道次，道次压下率为5％～20％，总压下率达到80％以上。
3.根据权利要求2所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤三中使用高纯酒精去除表面油污，并经超声波清洗，清洗温度为25～40℃，清洗时间为15～30min；退火处理在450～550℃的真空加热炉中进行，真空炉的真空度不大于3.0×10- 3MPa，所用保护气氛的气体为纯度大于99.99％的氩气，纯钛薄板在真空炉中保温1～3h后随炉冷却至室温。
4.根据权利要求3所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤四中的轧制为多道次轧制，轧制工艺参数为：支承辊直径为120～150mm，工作辊直径为30～50mm，工作辊粗糙度为76～100nm，轧辊的辊速为40～105mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.02～1.50，轧制道次为12～16道次，道次压下率为5％～15％，总压下率达到78％以上，力矩电动机的实际电压控制为100～200V。
5.根据权利要求4所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤五中的轧制为多道次可逆轧制，轧制工艺参数为：支承辊辊径为120～150mm，工作辊辊径为30～50mm，工作辊粗糙度为20～35nm，轧辊的辊速为30～90mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2～1.8，轧制道次为7～13道次，道次压下率为5％～15％，总压下率达到70％以上，力矩电动机的实际电压为50～150V。
6.根据权利要求5所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤四和步骤五的轧制过程中，均对纯钛轧件喷淋润滑油，每次喷淋3～5s，时间间隔为5～10s；且快速辊和慢速辊的辊速在每进行一个新的道次的轧制时会进行对调。
7.一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、对纯钛铸坯切片进行打磨和抛光；
步骤二、将得到的纯钛轧件送入二辊同步冷轧机进行开坯轧制；
步骤三、采用牵引带固定的方式将步骤二处理过的纯钛薄板送入可逆四辊异步冷轧机，调节辊速和力矩电动机的电压，采用异步+大张力组合成型工艺进行轧制。
8.根据权利要求7所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤二中的轧制为多道次轧制，轧制工艺参数为：轧辊表面粗糙度为100～200nm，轧辊辊速为80～100mm/s，轧制道次为10～20道次，道次压下率为5％～20％，总压下率达到80％以上。
9.根据权利要求8所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤三中的轧制为多道次轧制，轧制工艺参数为：支承辊直径为120～150mm，工作辊直径为30～50mm，工作辊粗糙度为48～65nm，轧辊的辊速为30～90mm/s，快速辊与慢速辊速度比为1.2～1.5，轧制道次为8～12道次，道次压下率为5％～15％，总压下率达到50％以上，力矩电动机的实际电压控制为100～150V。
10.根据权利要求9所述的一种电子级低氧超高纯钛极薄带的制备方法，其特征在于：步骤三的轧制过程中，对纯钛轧件喷淋润滑油，每次喷淋3～5s，时间间隔为5～10s；且快速辊和慢速辊的辊速在每进行一个新的道次的轧制时会进行对调。
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