CN110662340A - 一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置,包括电极室、电极室内所设的固定架与固定架中间所插配的电极板，所述电极室为方型箱体结构，所述电极室的内壁上固定安装有固定架，所述固定架的左右两侧对称设有四条T型条状结构的竖直导轨；本发明中，电极室作为一极电极，两个电极板同为另一极电极，这种结构使得电极板与电极室之间的放电较为均衡，工件放置在电极板上后，其表面可以得到充分的清洗，因此保证了等离子表面处理的质量；两电极板与电极室之间均可形成辉光放电效应，因此提高了放电腔体的范围，两电极板上均可放置工件进行等离子表面处理，提高了放电腔体的空间利用率。
Description
技术领域
本发明涉及等离子体放电装置技术领域，具体为一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置。
背景技术
等离子体表面处理已逐步在半导体制造、微电子封装、集成电路等行业普遍应用。所谓的等离子体表面处理，就是利用等离子体通过化学或物理作用时对工件表面进行处理，实现分子水平的表面清洗、粗化、改性，改变表面性状的工艺。
常规等离子体表面处理装置的放电方式是采用在射频电源下，方形腔体内放置下上两层电极平板，各自作为电源一极相互启辉放电，而处理基材放置于平板上，在辉光放电的作用下，达到表面清洗的目的，这也是目前常用的等离子清洗电极的一般放电方式，但它在实际使用的过程中仍存在以下弊端：
1.由于电极板的结构以及工件的放置位置不确定等因素，会在电极板间放电出现不均匀的现象，从而影响基材的表面处理质量；
2.由于两电极板之间的空间位置有限，因此在一个放电腔体内，工件的防止位置有限，因此整个放电腔体的空间利用率较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置,包括电极室、电极室内所设的固定架与固定架中间所插配的电极板，所述电极室为方型箱体结构，所述电极室的内壁上固定安装有固定架，所述固定架的左右两侧对称设有四条T型条状结构的竖直导轨，所述竖直导轨通过连接螺栓组I与电极室的内壁固定连接在一起，所述竖直导轨的侧面滑配有滑块，且在滑块上固定安装有水平导轨，所述水平导轨上端的一侧开设有直角型槽体结构的引导槽，且在引导槽内插配有板状结构的电极板，所述电极板的下端固定焊接有两个接线桩；
所述电极室的后端面上固定安装有导线套头，且在导线套头内穿配有导线，所述导线与电极板下端的接线桩相绕接在一起。
优选的，所述滑块的侧面开设有与竖直导轨相滑配的T型槽体结构的滑槽，且在滑槽的侧面螺接有调节螺钉。
优选的，所述滑块的上端开设有连接螺栓孔，所述水平导轨的下端螺接有与连接螺栓孔相穿配的连接螺栓II。
优选的，所述电极板的左右两侧设有直角型结构的引导条，且引导条与引导槽相插配。
优选的，所述电极室的前端面上嵌配有密封条，且在电极室前端面的一侧铰接有封闭门。
优选的，所述滑块在固定架左右两侧的竖直导轨上呈对称分布，且滑块的数量为八个。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设置合理，功能性强，具有以下优点：
1.本发明中，电极室作为一极电极，两个电极板同为另一极电极，这种结构使得电极板与电极室之间的放电较为均衡，工件放置在电极板上后，其表面可以得到充分的清洗，因此保证了等离子表面处理的质量；
2.本发明中，两电极板与电极室之间均可形成辉光放电效应，因此提高了放电腔体的范围，两电极板上均可放置工件进行等离子表面处理，提高了放电腔体的空间利用率。
附图说明
图1为本发明结构轴侧视图；
图2为本发明结构主视图；
图3为图2中A-A处剖面结构示意图；
图4为电极板轴侧结构视图；
图5为竖直导轨轴侧结构视图；
图6为滑块轴侧结构视图；
图7为水平导轨轴侧结构视图。
图中：1、电极室；2、固定架；3、电极板；4、封闭门；5、竖直导轨；6、滑块；7、水平导轨；8、导线套头；9、导线；101、密封条；301、引导条；302、接线桩；501、连接螺栓组I；601、滑槽；602、调节螺钉；603、连接螺栓孔；701、引导槽；702、连接螺栓II。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1至图7，本发明提供一种技术方案：一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置,包括电极室1、电极室1内所设的固定架2与固定架2中间所插配的电极板3，电极室1为方型箱体结构，电极室1的内壁上固定安装有固定架2，固定架2的左右两侧对称设有四条T型条状结构的竖直导轨5，竖直导轨5通过连接螺栓组I 501与电极室1的内壁固定连接在一起，竖直导轨5的侧面滑配有滑块6，且在滑块6上固定安装有水平导轨7，水平导轨7上端的一侧开设有直角型槽体结构的引导槽701，且在引导槽701内插配有板状结构的电极板3，电极板3的下端固定焊接有两个接线桩302；
电极室1的后端面上固定安装有导线套头8，且在导线套头8内穿配有导线9，导线9与电极板3下端的接线桩302相绕接在一起，这使得两个电极板3构成同一极电极。
进一步的，滑块6的侧面开设有与竖直导轨5相滑配的T型槽体结构的滑槽601，且在滑槽601的侧面螺接有调节螺钉602，通过调节调节螺钉602的松紧，使得滑块6在竖直导轨5上滑动或者固定，进而调整了竖直导轨5内侧两个电极板3的相对距离。
进一步的，滑块6的上端开设有连接螺栓孔603，水平导轨7的下端螺接有与连接螺栓孔603相穿配的连接螺栓II 702，这种结构使得滑块6与水平导轨7固定连接在一起，这种结构便于固定架2的组装与拆卸。
进一步的，电极板3的左右两侧设有直角型结构的引导条301，且引导条301与引导槽701相插配，这种结构使得电极板3可以较为平稳的固定在两个水平导轨7之间。
进一步的，电极室1的前端面上嵌配有密封条101，且在电极室1前端面的一侧铰接有封闭门4，当封闭门4与电极室1的前端关合后，保证电极室1内形成一个相对封闭的空间，进而对电极室1内的放电起到一个隔绝保护的作用。
进一步的，滑块6在固定架2左右两侧的竖直导轨5上呈对称分布，且滑块6的数量为八个，每个竖直导轨5上滑配有两个滑块6，且每四个一组分配在同一位置高度上，进而保证了水平导轨7在固定架2左右两侧呈对称设置，最终保证电极板3在固定架2中间呈水平放置。
工作原理：固定架2左右两侧的竖直导轨5分别固定在电极室1腔体左右两侧的内壁上，调节调节螺钉602将竖直导轨5上的滑块6分别固定在一个设定的高度，通过连接螺栓II 702将水平导轨7固定在滑块6的上端，将导线9从电极室1后端的导线套头8内引入，然后分别固定在两个电极板3下端的接线桩302上，将两个电极板3分别插配在引导槽701内，进而使电极板3在电极室1内形成同一极电极，将封闭门4与电极室1的前端关合，将电极室1接通另一电极，进而使电极室1形成电极的表面表面积增加几倍，更好的与电极板3在空间中形成三维放电，另外可以在腔体内可以形成一个封闭的法拉第笼式放电，使辉光均匀地锁定在电极板3上所放工件的指定区域内，进而提高了工件的表面处理质量，并且可同时在两个电极板3上放置多个工件，充分提高了整个放电腔体的空间利用率，进一步的提高了工件表面处理的效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置,包括电极室（1）、电极室（1）内所设的固定架（2）与固定架（2）中间所插配的电极板（3），其特征在于：所述电极室（1）为方型箱体结构，所述电极室（1）的内壁上固定安装有固定架（2），所述固定架（2）的左右两侧对称设有四条T型条状结构的竖直导轨（5），所述竖直导轨（5）通过连接螺栓组I（501）与电极室（1）的内壁固定连接在一起，所述竖直导轨（5）的侧面滑配有滑块（6），且在滑块（6）上固定安装有水平导轨（7），所述水平导轨（7）上端的一侧开设有直角型槽体结构的引导槽（701），且在引导槽（701）内插配有板状结构的电极板（3），所述电极板（3）的下端固定焊接有两个接线桩（302）；
所述电极室（1）的后端面上固定安装有导线套头（8），且在导线套头（8）内穿配有导线（9），所述导线（9）与电极板（3）下端的接线桩（302）相绕接在一起。
2.根据权利要求1所述的一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述滑块（6）的侧面开设有与竖直导轨（5）相滑配的T型槽体结构的滑槽（601），且在滑槽（601）的侧面螺接有调节螺钉（602）。
3.根据权利要求1所述的一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述滑块（6）的上端开设有连接螺栓孔（603），所述水平导轨（7）的下端螺接有与连接螺栓孔（603）相穿配的连接螺栓II（702）。
4.根据权利要求1所述的一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述电极板（3）的左右两侧设有直角型结构的引导条（301），且引导条（301）与引导槽（701）相插配。
5.根据权利要求1所述的一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述电极室（1）的前端面上嵌配有密封条（101），且在电极室（1）前端面的一侧铰接有封闭门（4）。
6.根据权利要求1所述的一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置，其特征在于：所述滑块（6）在固定架（2）左右两侧的竖直导轨（5）上呈对称分布，且滑块（6）的数量为八个。
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