CN110645749A - 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 - Google Patents
一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110645749A CN110645749A CN201911048807.1A CN201911048807A CN110645749A CN 110645749 A CN110645749 A CN 110645749A CN 201911048807 A CN201911048807 A CN 201911048807A CN 110645749 A CN110645749 A CN 110645749A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water
- heat exchange
- water inlet
- pipe
- red copper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 252
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000259 microwave plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 title claims abstract 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 61
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 60
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 60
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 15
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D1/00—Devices using naturally cold air or cold water
- F25D1/02—Devices using naturally cold air or cold water using naturally cold water, e.g. household tap water
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
Abstract
本发明涉及MPCVD设备冷却技术领域，公开了一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，包括纵向设置的排气管，还包括排气管外顺次嵌套半径逐渐增大的进水管、出水管，排气管的上端设有基板，基板内靠近排气管的一侧设有集水腔，基板内远离排气管的一侧水平设有热交换腔，热交换腔水平方向的端部与集水腔水平方向的端部对应连通，进水管独立与热交换腔的中部连通，出水管独立与集水腔的中部连通，排气管独立与基板上方连通。本发明解决了现有MPCVD反应装置结构复杂，不易安装，晶体冷却效果不佳的问题。
Description
技术领域
本发明涉及MPCVD设备冷却技术领域，特别涉及一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置。
背景技术
MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)法是合成高质量金刚石最具潜力的方法之一。MPCVD反设备是通过将微波发生器产生的微波，经波导传输系统进入反应设备的腔内(反应腔)，往反应腔中通入甲烷和氢气的混合气体，在微波的激励下，在反应腔内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在基板台沉积得到金刚石膜。基板台的温度均匀性影响金刚石膜的生长，基板台冷却均匀有利于保持基板台的温度均匀性，进而得到质量好的金刚石膜。
在现有的冷却技术中，多采用冷却液进水管、出水管、出气管分别安装的方式，从而造成结构复杂、在MPCVD反应腔体有限的空间内安装困难，同时，冷却水和晶体生长基座热交换不均匀、不充分，造成基座冷热不均，达不到预期的冷却效果，影响晶体生长的质量的问题。
综上所述，我们急需设计一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置解决以上问题。
发明内容
基于以上问题，本发明提供了一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置水冷却装，解决了现有MPCVD反应装置结构复杂，不易安装，晶体冷却效果不佳的问题。
为解决以上技术问题，本发明采用的技术方案如下：
一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，包括纵向设置的排气管，还包括排气管外顺次嵌套半径逐渐增大的进水管、出水管，排气管的上端设有基板，基板内靠近排气管的一侧设有集水腔，基板内远离排气管的一侧水平设有热交换腔，热交换腔水平方向的端部与集水腔水平方向的端部对应连通，进水管独立与热交换腔的中部连通，出水管独立与集水腔的中部连通，排气管独立与基板上方连通。
本发明的原理及效果：冷却液从进水管的下端独立进入排气管外的进水管内，从进水管的上端进入基板内热交换腔的中部，冷却液在热交换腔的中部向水平方向的端部流动(向热交换腔的各个方向发撒流动)，同时与基板上方的晶体发生热交换，在冷却液流向热交换腔水平方向端部后进入集液腔内，并汇集到集液腔的中部流向进水管外侧的出水管内，最后经出水管的下端部排出，在上述冷却液流动过程中，在基板内冷却液在热交换腔的中部向四周扩散，使冷却液大面积散开，增加了冷却液与基板上侧的接触面积，进而增加了冷却液与晶体的接触面积，使冷却液与晶体的热交换更加均匀，解决了晶体由于热交换不均匀导致冷却效果不佳的问题，排气管外顺次嵌套进水管、出水管，减小了进水管、出水管、出气管独立安装时的占地面积，造成MPCVD反应腔体空间利用不足的问题。本发明的设计解决了现有MPCVD反应装置结构复杂，不易安装，晶体冷却效果不佳的问题。
作为一种优选的方式，基板包括呈凹形状的紫铜热交换盘，且紫铜热交换盘的凹形槽朝向排气管，紫铜热交换盘的凹形槽下端部设有与其密闭配合的集水盘，紫铜热交换盘的凹形槽底部设有圆形槽口，紫铜热交换盘的槽口环侧沿其圆周方向设有多个导流槽，紫铜热交换盘凹形槽的底侧设有挡水板，挡水板的口径大于紫铜热交换盘的槽口口径，且挡水板的口径小于多个导流槽外侧所形成面的口径。
作为一种优选的方式，挡水板与紫铜热交换盘的凹形槽底部之间槽口、条形槽形成热交换腔，挡水板与集水板之间形成集水腔。
作为一种优选的方式，进水管、出水管、排气管同轴线嵌套，排气管的下端连接有出气管接头，出水管的下端设有出水管接头，出水管接头上设有与进水管、出水管分别独立连通的进水口、出水口。
作为一种优选的方式，进水管的上端设有进水管接头，进水管接头上设有独立连通紫铜热交换盘上方与排气管的导气孔，进水管接头上设有独立连通进水管与挡水板上方紫铜热交换盘凹形空间的进水孔，进水管接头上设有独立连通出水管与挡水板下方紫铜热交换盘凹形空间的排水孔。
作为一种优选的方式，进水管接头、出水管接头呈圆柱状，进水管接头、出水管接头罩设在进水管或出水管端部，且进水管接头嵌接在挡水板、集水盘内。
作为一种优选的方式，进水管、出水管、排气管均为不锈钢芯管。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)本发明的设计解决了现有MPCVD反应装置结构复杂，不易安装，晶体冷却效果不佳的问题。
(2)本发明通过基板包括呈凹形状的紫铜热交换盘，且紫铜热交换盘的凹形槽朝向排气管，紫铜热交换盘的凹形槽下端部设有与其密闭配合的集水盘，紫铜热交换盘的凹形槽底部设有圆形槽口，紫铜热交换盘的槽口环侧沿其圆周方向设有多个导流槽，紫铜热交换盘凹形槽的底侧设有挡水板，挡水板的口径大于紫铜热交换盘的槽口口径，且挡水板的口径小于多个导流槽外侧所形成面的口径。紫铜又名红铜就是铜单质，采用铜作为热交换介质，铜的导热率仅次于银，是热的良导体，热交换效率高，且在紫铜盘上。
(3)本发明通过挡水板与紫铜热交换盘的凹形槽底部之间槽口、条形槽为热交换腔，挡水板与集水板之间形成集水腔。沿直径方向铣出若干导流槽，以便使液体更好流动，促进热交换效率，使晶核基座冷热更均匀。
(4)本发明通过进水管、出水管、排气管同轴线嵌套，排气管的下端连接有出气管接头，出水管的下端设有出水管接头，出水管接头上设有与进水管、出水管分别独立连通的进水口、出水口。出水管接头对进水管、出水管下端起密封作用，进水口、和出水口的设计，使出水管接头具有独立的引流作用，便于引流，出水管接头与进水管、出水管连接时设置密封圈，避免漏水。
(5)本发明通过进水管的上端设有进水管接头，进水管接头上设有独立连通紫铜热交换盘上方与排气管的导气孔，进水管接头上设有独立连通进水管与挡水板上方紫铜热交换盘凹形空间的进水孔，进水管接头上设有独立连通出水管与挡水板下方紫铜热交换盘凹形空间的排水孔。进水管接头对进水管、出水管上端起密封作用，进水孔、排水孔的设计，使进水管接头具有独立的引流作用，便于引流，进水管接头与进水管、出水管连接时设置密封圈，避免漏水。
(6)本发明通过进水管接头、出水管接头呈圆柱状，进水管接头、出水管接头罩设在进水管或出水管端部，且进水管接头嵌接在挡水板、集水盘内。进水孔、排水孔沿其圆周方向设有多个，以便于快速引流。
(7)本发明通过进水管、出水管、排气管均为不锈铜芯管。不锈铜(StainlessSteel)是不锈耐酸钢的简称，耐空气、蒸汽、水等弱腐蚀介质或具有不锈性的钢种称为不锈钢，能增加进水管、出水管、排气管的使用寿命。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是图1中A的局部放大图；
图3是图1中基板的爆炸图；
图4是图3中紫铜热交换盘的仰视图；
图5是图1中进水管接头的俯视图；
图6是图1的轴测图；
图中的标记为：1-出水管、2-进水口、3-出水口、4-集水盘、5-挡水板、6-紫铜热交换盘、601-槽口、602-导流槽、7-进水管接头、701-导气孔、702-进水孔、703-排水孔、8-进水管、9-排气管、10-集水腔、11-热交换腔、12-基板、13-出气管接头、14-出水管接头。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。本发明的实施方式包括但不限于下列实施例。
实施例1：
一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，包括纵向设置的排气管9，还包括排气管9外顺次嵌套半径逐渐增大的进水管8、出水管1，排气管9的上端设有基板12，基板12内靠近排气管9的一侧设有集水腔10，基板12内远离排气管9的一侧水平设有热交换腔11，热交换腔11水平方向的端部与集水腔10水平方向的端部对应连通，进水管8独立与热交换腔11的中部连通，出水管1独立与集水腔10的中部连通，排气管9独立与基板12上方连通。
本发明的原理及效果：冷却液从进水管8的下端独立进入排气管9外的进水管8内，从进水管8的上端进入基板12内热交换腔11的中部，冷却液在热交换腔11的中部向水平方向的端部流动(向热交换腔11的各个方向发撒流动)，同时与基板12上方的晶体发生热交换，在冷却液流向热交换腔11水平方向端部后进入集液腔内，并汇集到集液腔的中部流向进水管8外侧的出水管1内，最后经出水管1的下端部排出，在上述冷却液流动过程中，在基板12内冷却液在热交换腔11的中部向四周扩散，使冷却液大面积散开，增加了冷却液与基板12上侧的接触面积，进而增加了冷却液与晶体的接触面积，使冷却液与晶体的热交换更加均匀，解决了晶体由于热交换不均匀导致冷却效果不佳的问题，排气管9外顺次嵌套进水管8、出水管1，减小了进水管8、出水管1、出气管独立安装时的占地面积，造成MPCVD反应腔体空间利用不足的问题。本发明的设计解决了现有MPCVD反应装置结构复杂，不易安装，晶体冷却效果不佳的问题。
实施例2：
本实施例是在是在实施1的基础上作进一步优化，具体是：
基板12包括呈凹形状的紫铜热交换盘6，且紫铜热交换盘6的凹形槽朝向排气管9，紫铜热交换盘6的凹形槽下端部设有与其密闭配合的集水盘4，紫铜热交换盘6的凹形槽底部设有圆形槽口601，紫铜热交换盘6的槽口601环侧沿其圆周方向设有多个导流槽602，紫铜热交换盘6凹形槽的底侧设有挡水板5，挡水板5的口径大于紫铜热交换盘6的槽口601口径，且挡水板5的口径小于多个导流槽602外侧所形成面的口径。紫铜又名红铜就是铜单质，采用铜作为热交换介质，铜的导热率仅次于银，是热的良导体，热交换效率高，且在紫铜盘上。
作为一种优选的方式，挡水板5与紫铜热交换盘6的凹形槽底部之间槽口601、条形槽为热交换腔11，挡水板5与集水板之间形成集水腔10。沿直径方向铣出若干导流槽602，以便使液体更好流动，促进热交换效率，使晶核基座冷热更均匀。
作为一种优选的方式，进水管8、出水管1、排气管9同轴线嵌套，排气管9的下端连接有出气管接头13，出水管1的下端设有出水管接头14，出水管接头14上设有与进水管8、出水管1分别独立连通的进水口2、出水口3。出水管接头14对进水管8、出水管1下端起密封作用，进水口2、和出水口3的设计，使出水管接头14具有独立的引流作用，便于引流，出水管接头14与进水管8、出水管1连接时设置密封圈，避免漏水。
作为一种优选的方式，进水管8的上端设有进水管接头7，进水管接头7上设有独立连通紫铜热交换盘6上方与排气管9的导气孔701，进水管接头7上设有独立连通进水管8与挡水板5上方紫铜热交换盘6凹形空间的进水孔702，进水管接头7上设有独立连通出水管1与挡水板5下方紫铜热交换盘6凹形空间的排水孔703。进水管接头7对进水管8、出水管1上端起密封作用，进水孔702、排水孔703的设计，使进水管接头7具有独立的引流作用，便于引流，进水管接头7与进水管8、出水管1连接时设置密封圈，避免漏水。
作为一种优选的方式，进水管接头7、出水管接头14呈圆柱状，进水管接头7、出水管接头14罩设在进水管8或出水管1端部，且进水管接头7嵌接在挡水板5、集水盘4内。进水孔702、排水孔703沿其圆周方向设有多个，以便于快速引流。
作为一种优选的方式，进水管8、出水管1、排气管9均为不锈钢芯管。不锈钢(Stainless Steel)是不锈耐酸钢的简称，耐空气、蒸汽、水等弱腐蚀介质或具有不锈性的钢种称为不锈钢，能增加进水管8、出水管1、排气管9的使用寿命。
本实施例的其他部分与实施例1相同，这里就不再赘述。
如上即为本发明的实施例。上述实施例以及实施例中的具体参数仅是为了清楚表述本发明的验证过程，并非用以限制本发明的专利保护范围，本发明的专利保护范围仍然以其权利要求书为准，凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
Claims (7)
1.一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，包括纵向设置的排气管(9)，其特征在于，所述排气管(9)外顺次嵌套半径逐渐增大的进水管(8)、出水管(1)，所述排气管(9)的上端设有基板(12)，所述基板(12)内靠近排气管(9)的一侧设有集水腔(10)，所述基板(12)内远离排气管(9)的一侧水平设有热交换腔(11)，所述热交换腔(11)水平方向的端部与集水腔(10)水平方向的端部对应连通，所述进水管(8)独立与热交换腔(11)的中部连通，所述出水管(1)独立与集水腔(10)的中部连通，所述排气管(9)独立与基板(12)上方连通。
2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，其特征在于，所述基板(12)包括呈凹形状的紫铜热交换盘(6)，且紫铜热交换盘(6)的凹形槽朝向排气管(9)，所述紫铜热交换盘(6)的凹形槽下端部设有与其密闭配合的集水盘(4)，所述紫铜热交换盘(6)的凹形槽底部设有圆形槽口(601)，所述紫铜热交换盘(6)的槽口(601)环侧沿其圆周方向设有多个导流槽(602)，所述紫铜热交换盘(6)凹形槽的底侧设有挡水板(5)，所述挡水板(5)的口径大于紫铜热交换盘(6)的槽口(601)口径，且挡水板(5)的口径小于多个导流槽(602)外侧所形成面的口径。
3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，其特征在于，所述挡水板(5)与紫铜热交换盘(6)的凹形槽底部之间槽口(601)、条形槽形成热交换腔(11)，所述挡水板(5)与集水板之间形成集水腔(10)。
4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，其特征在于，所述进水管(8)、出水管(1)、排气管(9)同轴线嵌套，所述排气管(9)的下端连接有出气管接头(13)，所述出水管(1)的下端设有出水管接头(14)，所述出水管接头(14)上设有与进水管(8)、出水管(1)分别独立连通的进水口(2)、出水口(3)。
5.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，其特征在于，所述进水管(8)的上端设有进水管接头(7)，所述进水管接头(7)上设有独立连通紫铜热交换盘(6)上方与排气管(9)的导气孔(701)，所述进水管接头(7)上设有独立连通进水管(8)与挡水板(5)上方紫铜热交换盘(6)凹形空间的进水孔(702)，所述进水管接头(7)上设有独立连通出水管(1)与挡水板(5)下方紫铜热交换盘(6)凹形空间的排水孔(703)。
6.根据权利要求4或5所述的一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，其特征在于，所述进水管接头(7)、出水管接头(14)呈圆柱状，所述进水管接头(7)、出水管接头(14)罩设在进水管(8)或出水管(1)端部，且进水管接头(7)嵌接在挡水板(5)、集水盘(4)内。
7.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD的三层芯管水冷却装置，其特征在于，所述进水管(8)、出水管(1)、排气管(9)均为不锈钢芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911048807.1A CN110645749A (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911048807.1A CN110645749A (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110645749A true CN110645749A (zh) | 2020-01-03 |
Family
ID=69013947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911048807.1A Pending CN110645749A (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110645749A (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU884339A1 (ru) * | 1980-03-18 | 1995-03-10 | Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения | Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы |
| CN2689455Y (zh) * | 2004-03-12 | 2005-03-30 | 林世仁 | 一种液、气冷式散热装置 |
| CN202005111U (zh) * | 2011-02-21 | 2011-10-05 | 海南聚源光电产业发展有限公司 | 循环冷却装置 |
| JP2013122067A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Cornes Technologies Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
| CN103411470A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-11-27 | 苏州威夫曼制冷科技有限公司 | 可调节布水器 |
| CN103947301A (zh) * | 2011-11-22 | 2014-07-23 | 株式会社神户制钢所 | 等离子产生源及具备它的真空等离子处理装置 |
| CN210921897U (zh) * | 2019-10-30 | 2020-07-03 | 四川三三零半导体有限公司 | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 |
-
2019
- 2019-10-30 CN CN201911048807.1A patent/CN110645749A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU884339A1 (ru) * | 1980-03-18 | 1995-03-10 | Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения | Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы |
| CN2689455Y (zh) * | 2004-03-12 | 2005-03-30 | 林世仁 | 一种液、气冷式散热装置 |
| CN202005111U (zh) * | 2011-02-21 | 2011-10-05 | 海南聚源光电产业发展有限公司 | 循环冷却装置 |
| CN103947301A (zh) * | 2011-11-22 | 2014-07-23 | 株式会社神户制钢所 | 等离子产生源及具备它的真空等离子处理装置 |
| JP2013122067A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Cornes Technologies Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置 |
| CN103411470A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-11-27 | 苏州威夫曼制冷科技有限公司 | 可调节布水器 |
| CN210921897U (zh) * | 2019-10-30 | 2020-07-03 | 四川三三零半导体有限公司 | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN210921897U (zh) | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 | |
| CN112573482B (zh) | 一种制氢装置的制氢管以及制氢装置 | |
| CN202403573U (zh) | 一种有效抑制糖化醪、发酵醪染菌的专用冷却换热器 | |
| CN116130826A (zh) | 一种单相浸没式液冷电池箱及储能电站 | |
| CN110645749A (zh) | 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置 | |
| CN214399817U (zh) | 一种制氢装置 | |
| CN109326847A (zh) | 一种电池模组液冷管道 | |
| CN112410761A (zh) | 具串联式冷却室的多流道气体喷射器 | |
| CN215413284U (zh) | 高温管式换热器 | |
| CN214936050U (zh) | 一种制氢装置 | |
| CN109289229B (zh) | 一种开放式冷凝回流装置 | |
| CN220205701U (zh) | 一种蒸汽发生器 | |
| CN111366025B (zh) | 块孔式石墨换热器及其换热方法 | |
| CN213425072U (zh) | 一种一体式口琴管结构液冷板 | |
| CN111256375A (zh) | 一种熔盐流体用传热管及其吸热器 | |
| CN112275232B (zh) | 一种异型高温热管太阳能热化学反应器 | |
| CN216203722U (zh) | 内置喷雾式热网加热器 | |
| CN215637968U (zh) | 一种半导体电加热采暖锅炉 | |
| CN216336596U (zh) | 一种具有丝网结构的自热重整制氢装置 | |
| CN220012880U (zh) | 一种电镀生产线用综合热水分配系统 | |
| CN219449869U (zh) | 一种样品台底座、样品台组件及mpcvd设备 | |
| CN220132411U (zh) | 一种硅棒冷却装置 | |
| CN218627874U (zh) | 一种水性高分子分散剂生产用列管式碳钢泠凝器 | |
| CN219321434U (zh) | 一种单相浸没式液冷电池箱及储能电站 | |
| CN220552142U (zh) | 一种加热板冷却结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |