SU884339A1 - Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы - Google Patents

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Info

Publication number
SU884339A1
SU884339A1 SU2894774/02A SU2894774A SU884339A1 SU 884339 A1 SU884339 A1 SU 884339A1 SU 2894774/02 A SU2894774/02 A SU 2894774/02A SU 2894774 A SU2894774 A SU 2894774A SU 884339 A1 SU884339 A1 SU 884339A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas phase
applying coatings
coatings
applying
phase
Prior art date
Application number
SU2894774/02A
Other languages
English (en)
Inventor
В.Н. Крашенинников
В.А. Костенков
А.С. Карпов
Г.А. Домрачев
Original Assignee
Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения filed Critical Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения
Priority to SU2894774/02A priority Critical patent/SU884339A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU884339A1 publication Critical patent/SU884339A1/ru

Links

SU2894774/02A 1980-03-18 1980-03-18 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы SU884339A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2894774/02A SU884339A1 (ru) 1980-03-18 1980-03-18 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2894774/02A SU884339A1 (ru) 1980-03-18 1980-03-18 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU884339A1 true SU884339A1 (ru) 1995-03-10

Family

ID=60518469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2894774/02A SU884339A1 (ru) 1980-03-18 1980-03-18 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU884339A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2503744C2 (ru) * 2008-04-22 2014-01-10 Пикосун Ой Устройство и способ для реакторов осаждения (варианты)
CN110645749A (zh) * 2019-10-30 2020-01-03 四川三三零半导体有限公司 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2503744C2 (ru) * 2008-04-22 2014-01-10 Пикосун Ой Устройство и способ для реакторов осаждения (варианты)
CN110645749A (zh) * 2019-10-30 2020-01-03 四川三三零半导体有限公司 一种用于mpcvd的三层芯管水冷却装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5687448A (en) Device for plasma coating
GB2076587B (en) Plasma deposition apparatus
GB8302423D0 (en) Apparatus for coating
GB8315185D0 (en) Apparatus for coating materials
GB8410203D0 (en) Coating apparatus
GB8326483D0 (en) Coating apparatus
GB2034356B (en) Coating apparatus
DE3376077D1 (en) Coating apparatus
JPS56163784A (en) Coating device
DE3171518D1 (en) Apparatus for continuously electrostatically coating an elongated object
GB2168623B (en) Coating apparatus
ZA793172B (en) Nozzle valve for in-the-mold coating apparatus
JPS52103444A (en) Apparatus for electrostatic coating
GB2118865B (en) Coating apparatus
GB2100145B (en) Apparatus for detonation coating
GB2096022B (en) Electrostatic coating apparatus
SU884339A1 (ru) Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы
JPS5791768A (en) Coating device
JPS5793151A (en) Device for changing position of phase
YU37881A (en) Device for coating steel tubes
GB8312171D0 (en) Coating apparatus
SU919382A1 (ru) Устройство для получения покрытий из газовой фазы
GB2068256B (en) Phase contacting apparatus
GB2103112B (en) Apparatus for detonation coating
GB2107082B (en) Apparatus for applying coatings by detonation