SU919382A1 - Устройство для получения покрытий из газовой фазы - Google Patents

Устройство для получения покрытий из газовой фазы

Info

Publication number
SU919382A1
SU919382A1 SU2889319/02A SU2889319A SU919382A1 SU 919382 A1 SU919382 A1 SU 919382A1 SU 2889319/02 A SU2889319/02 A SU 2889319/02A SU 2889319 A SU2889319 A SU 2889319A SU 919382 A1 SU919382 A1 SU 919382A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas phase
obtaining coatings
coatings
obtaining
phase
Prior art date
Application number
SU2889319/02A
Other languages
English (en)
Inventor
В.Н. Крашенинников
В.А. Костенков
Г.А. Домрачев
П.Д. Григорьев
В.И. Щенников
Original Assignee
Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения filed Critical Дзержинский филиал Научно-исследовательского и конструкторского института химического машиностроения
Priority to SU2889319/02A priority Critical patent/SU919382A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU919382A1 publication Critical patent/SU919382A1/ru

Links

SU2889319/02A 1980-02-27 1980-02-27 Устройство для получения покрытий из газовой фазы SU919382A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2889319/02A SU919382A1 (ru) 1980-02-27 1980-02-27 Устройство для получения покрытий из газовой фазы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2889319/02A SU919382A1 (ru) 1980-02-27 1980-02-27 Устройство для получения покрытий из газовой фазы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU919382A1 true SU919382A1 (ru) 1995-03-27

Family

ID=60523860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2889319/02A SU919382A1 (ru) 1980-02-27 1980-02-27 Устройство для получения покрытий из газовой фазы

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU919382A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2704691C1 (ru) * 2018-07-18 2019-10-30 Общество с ограниченной ответственностью "КАРСИ" (ООО "КАРСИ") Система химического осаждения из газовой фазы для роста графена

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2704691C1 (ru) * 2018-07-18 2019-10-30 Общество с ограниченной ответственностью "КАРСИ" (ООО "КАРСИ") Система химического осаждения из газовой фазы для роста графена

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB2076587B (en) Plasma deposition apparatus
JPS5687448A (en) Device for plasma coating
GB2049232B (en) Apparatus for creating gas flow cycles
GB8302423D0 (en) Apparatus for coating
GB2025532B (en) Fuelsystems for gas generators
ZA815676B (en) Process for generating gas
ZA837604B (en) Sensor for metal coatings
JPS5421973A (en) Gas phase reaction apparatus
DE3064449D1 (en) An apparatus for coating substrates
GR64688B (en) Improvements for the verification of gas
DE3070326D1 (en) Gas sampling system
JPS56150415A (en) Device for removing moisture from gas
AU7698981A (en) Vapor phase polymerisation apparatus
JPS5791327A (en) Gas turbine apparatus
GB2100145B (en) Apparatus for detonation coating
GB2019740B (en) Gas filtering apparatus
EP0040928A3 (en) Gas sampler
JPS5793151A (en) Device for changing position of phase
ZW18580A1 (en) Producer gas apparatus
SU919382A1 (ru) Устройство для получения покрытий из газовой фазы
SU884339A1 (ru) Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы
JPS5742792A (en) Gas generator
JPS5788222A (en) Gas turbine apparatus
GB2068256B (en) Phase contacting apparatus
GB2103112B (en) Apparatus for detonation coating