CN110630757A - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀，通过改进真空阀的主阀芯及副阀芯来实现小形化和构造的简略化。具有连结第一端口(15)和第二端口(16)的主流路(17)、将该主流路(17)包围的主阀座(19)、通过相对于该主阀座(19)接触离开来开闭前述主流路(17)的主阀芯(20)、形成在该主阀芯(20)的内部的副流路(21)、形成在前述主阀芯(20)的外面上的副阀座(24)、通过在前述主阀芯(20)的外部相对于该副阀座(24)接触离开来开闭前述副流路(21)的副阀芯(25)和使前述主阀芯(20)及副阀芯(25)开闭的杆(35)，前述副阀芯(25)通过由前述杆(35)直接操作来开闭前述副流路(21)，前述主阀芯(20)通过由前述杆(35)经前述副阀芯(25)操作来开闭前述主流路(17)。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及真空阀，更详细地说，涉及为了阶段性地开闭将两个端口连结的流路而并列地设置了开度大的主阀部和开度小的副阀部的真空阀。
背景技术
为了阶段性地开闭将两个端口连结的流路而并列地设置了开度大的主阀部和开度小的副阀部的真空阀，如在专利文献1-3中公开的那样是公知的。此种真空阀，例如是在半导体处理装置中连接在真空腔和真空泵之间，在对前述真空腔进行减压的情况下使用的阀。
但是，公知的真空阀因为被构成为，在设置于前述主阀部的主阀芯的内部设置截面积小的副流路和包围该副流路的副阀座，并且收容副阀芯，通过使该副阀芯在前述主阀芯的内部位移，并使该副阀芯相对于前述副阀座接触离开来开闭前述副流路，所以前述主阀芯在大形化的同时，其构造也复杂化，存在容易导致真空阀整体的大形化及构造的复杂化这样的问题。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开昭52-16017号公报
专利文献2：日本特开平9-137879号公报
专利文献3：日本特开2007-16996号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的技术课题是通过改进真空阀的主阀芯及副阀芯来实现该真空阀的小形化和构造的简略化。
为了解决课题的手段
为了解决课题，本发明的真空阀，具有第一端口及第二端口、主流路、主阀座、主阀芯、副流路、副阀座、副阀芯和开闭操作机构，所述第一端口及第二端口形成在外壳上，所述主流路以将该第一端口和第二端口连结的方式形成在前述外壳的内部，所述主阀座包围该主流路，所述主阀芯通过相对于该主阀座接触离开来开闭前述主流路，所述副流路以与前述主流路呈并列的方式形成在该主阀芯的内部，所述副阀座以包围该副流路的方式形成在前述主阀芯上，所述副阀芯通过相对于该副阀座接触离开来开闭前述副流路，所述开闭操作机构开闭操作前述主阀芯及副阀芯，在前述外壳的内部，以滑动自由地贯通前述主阀芯的方式配设了杆，在该杆的作为轴线方向的一端的基端部连结了前述开闭操作机构，并且在该杆的作为轴线方向的另一端的前端部以在前述主阀芯的外部相对于该主阀芯接触离开的方式配设了前述副阀芯，在该主阀芯的外面的前述副阀芯抵接的部分上形成了前述副阀座，前述副阀芯通过由前述杆直接操作来开闭前述副流路，前述主阀芯通过由前述杆经前述副阀芯操作来开闭前述主流路。
在本发明中，前述杆具有可分离地被连结的前端侧的第一杆部和基端侧的第二杆部，前述第一杆部贯通前述主阀芯，在该第一杆部的前端设置了前述副阀芯，前述第二杆部与前述开闭操作机构连结，前述主阀芯通过使前述第一杆部从前述第二杆部分离，可从前述杆拆下。
在此情况下，希望前述主阀芯具有相对于前述主阀座接触离开的圆盘部件和与该圆盘部件分体地形成而与该圆盘部件组合的圆筒部件，在前述圆盘部件和圆筒部件之间形成了前述副流路，并且在前述圆盘部件上形成了前述副阀座，在前述圆筒部件的内周设置了对前述杆进行导向的轴承部件和将该圆筒部件的内周和前述杆的外周之间密封的密封部件。
另外，希望在前述杆上以沿该杆位移自由但通过与前述第二杆部卡定而不能从该第二杆部分离的方式安装了做成筒状的弹簧承载部件，在前述弹簧承载部件上设置了前述主阀芯的圆筒部件嵌合的筒状的罩部和第一弹簧座及第二弹簧座，在前述第一弹簧座和形成在前述外壳上的主弹簧座之间，呈压缩状态地夹设了将前述主阀芯向与前述主阀座抵接的方向加载的主阀弹簧，在前述第二弹簧座和形成在前述杆上的副弹簧座之间，呈压缩状态地夹设了经该杆将前述副阀芯向与前述副阀座抵接的方向加载的副阀弹簧，在前述主阀芯上连结了将前述主阀弹簧及副阀弹簧包围的波纹管的一端，该波纹管的另一端与前述外壳连结。
在本发明中，也可以构成为，前述副阀芯由前述杆的前进动作从前述副阀座离开，将前述副流路开放，前述主阀芯由前述杆的后退动作经前述副阀芯进行位移，从前述主阀座离开，将前述主流路开放。
进而，被构成为，前述开闭操作机构由一个流体压缸形成，具有与前述杆连结的活塞、形成在该活塞的一侧的第一压力室和形成在该活塞的另一侧的第二压力室，前述活塞与前述杆连结，若向前述第一压力室供给压力流体，则前述活塞及杆前进，前述副阀芯将副流路开放，若向前述第二压力室供给压力流体，则前述活塞及杆后退，前述主阀芯将主流路开放。
另外，也可以是，前述真空阀被构成为，具有调整前述副阀芯的开度的开度调整机构，该开度调整机构具有可通过形成在前述外壳的侧面上的操作口进行旋转操作的调整螺母和该调整螺母啮合的挡块，该挡块可通过旋转操作前述调整螺母在轴线方向位移，前述副阀芯的开度与该挡块的位置相应地被调整。
发明的效果
本发明的真空阀，通过以在主阀芯的外部设置副阀座并由配置在前述主阀芯的外部的副阀芯开闭此副阀座的方式构成，与以往的真空阀的那样由收容在主阀芯的内部的副阀芯开闭设置在该主阀芯的内部的副阀座的真空阀相比，能够实现真空阀的构造的简略化和小型化。
附图说明
图1是有关本发明的真空阀的立体图。
图2是图1的真空阀的中央纵剖视图，是主流路及副流路均被封闭了的状态的图。
图3是图2的主要部分放大图。
图4是将图1的真空阀的一部分分解表示的立体图，在此立体图中，作为外壳的一部分的第一外壳部件被省略。
图5是副阀芯将副流路开放，主阀芯将主流路封闭了的状态的真空阀的剖视图。
图6是主阀芯将主流路开放了的状态的真空阀的剖视图。
图7是表示由开度调整机构调整了副阀芯的开度的状态的真空阀的主要部分放大剖视图。
具体实施方式
为了实施发明的方式
图是表示有关本发明的真空阀的一实施方式的图，此真空阀是在半导体处理装置中连接在真空腔和真空泵之间，为了对前述真空腔进行减压而使用的阀。
前述真空阀，如从图1～图3明确的那样，具有俯视形状呈矩形形状的外壳10，该外壳10通过由多个连结螺钉14经矩形的隔壁部件13将空心的第一外壳部件11和空心的第二外壳部件12在轴线L方向结合而形成。
前述第一外壳部件11具有在前述轴线L方向开口的第一端口15和在与该轴线L正交的方向开口的第二端口16，在前述第一外壳部件11的内部形成了将前述第一端口15和第二端口16连结的主流路17。
前述第一端口15及第二端口16中的一方(例如，第二端口16)与半导体制造装置的真空腔连接，另一方(例如，第一端口15)与真空泵连接。
在前述主流路17的一部分中形成了阀室18，在该阀室18的内部形成了在轴线L上的位置包围前述主流路17的环状的主阀座19，并且收容了相对于该主阀座19接触离开而开闭前述主流路17的主阀芯20。
在前述主阀芯20的内部以与前述主流路17呈并列的方式形成了副流路21。该副流路21的一端通过在前述主阀芯20的下面上开口的第一开口部22与前述第一端口15连通，该副流路21的另一端通过在前述主阀芯20的上面上开口的第二开口部23与前述第二端口16连通。前述副流路21的截面积比前述主流路17的截面积小。
另外，在前述主阀芯20的下面上以在轴线L上的位置将前述副流路21的第一开口部22包围的方式形成了环状的副阀座24，在前述主阀芯20的下方以在该主阀芯20的外部相对于前述副阀座24接触离开的方式配设了板状的副阀芯25，由该副阀芯25开闭前述副流路21。前述副阀芯25的直径比前述主阀芯20的直径小。
这样，通过以在主阀芯20的外部设置副阀座24并由配置在前述主阀芯20的外部的副阀芯25开闭此副阀座24的方式构成，与以往的真空阀的那样由收容在主阀芯的内部的副阀芯开闭设置在该主阀芯的内部的副阀座的真空阀相比，能够实现真空阀的构造的简略化和小型化。
前述主阀芯20如从图4也明确的那样，由圆盘部件30和与该圆盘部件30相比为小径的圆筒部件31形成。
在前述圆盘部件30的下面上安装了相对于前述主阀座19接触离开的环状的主阀密封件32，在该圆盘部件30的上面上形成了圆形的凹陷33。在前述凹陷33的底面中央位置形成了前述第一开口部22，在前述凹陷33的直径方向的相对的位置形成了切口部34，所述切口部34形成前述第二开口部23。
前述圆筒部件31在下端部具有做成了法兰状的嵌合部31a，通过将该嵌合部31a嵌合在前述圆盘部件30的凹陷33的内部，该圆筒部件31和前述圆盘部件30相互组合，在该圆筒部件31和前述圆盘部件30之间形成了将前述第一开口部22和前述第二开口部23连结的前述副流路21。在此情况下，前述圆盘部件30和圆筒部件31也可以由压入等方法相互固定，但优选预先不相互固定，在维护时能够分离。
另外，在前述外壳10的内部以将前述隔壁部件13气密且滑动自由地贯通的方式配设了沿前述轴线L延伸的杆35。该杆35的前端部(下端部)贯通前述主阀芯20的中心，向该主阀芯20的下方延伸，在该杆35的前端部设置了前述副阀芯25，在前述杆35的基端部(上端部)连结了用于开闭操作前述副阀芯25和主阀芯20的开闭操作机构50。
前述杆35具有将前述主阀芯20的圆盘部件30和圆筒部件31贯通的前端侧的第一杆部36和与前述开闭操作机构50连结的基端侧的第二杆部37，前述第一杆部36和第二杆部37由螺纹旋入等方法可分离地连结。而且，在前述第一杆部36的前端形成了做成圆板状的前述副阀芯25，在前述第二杆部37的基端连结了前述开闭操作机构50的活塞51。
在图示的例子中，前述副阀芯25与前述第一杆部36一体地形成，但该副阀芯25也可以与前述第一杆部36分体地形成，与该第一杆部36连结。图中的符号38是被安装在前述副阀芯25上的环状的副阀密封件。
在前述主阀芯20中的前述圆筒部件31的内周，设置了对前述杆35的第一杆部36进行导向的轴承部件39和将该圆筒部件31的内周和前述第一杆部36的外周之间密封的密封部件40。
前述主阀芯20，在如上述的那样被安装到前述杆35的第一杆部36后，通过将前述外壳10的第一外壳部件11从隔壁部件13分离，然后，将前述杆35的第一杆部36从前述第二杆部37分离，能够将该主阀芯20从前述杆35拆下，并且也能够从前述第一杆部36拆下。进而，从前述杆35拆下了的主阀芯20也能够将前述圆盘部件30和圆筒部件31分离。
另外，在前述杆35的外周，与前述主阀芯20的圆筒部件31相比在上方位置，配设了筒状的弹簧承载部件41。此弹簧承载部件41可沿前述杆35位移，但通过与形成在前述第二杆部37的卡定环42卡定，不能从卡定的位置向下方移动。
在前述弹簧承载部件41上形成了向前述主阀芯20侧延伸的圆筒状的罩部41a，前述主阀芯20的圆筒部件31分离自由地嵌合在该罩部41a的内部。
在前述弹簧承载部件41上，在其下端部形成了做成法兰状的第一弹簧座41b，并且在其上端部形成了第二弹簧座41c。而且，在前述第一弹簧座41b和形成在前述隔壁部件13上的主弹簧座13a之间呈压缩状态地夹设了主阀弹簧44，前述主阀芯20由该主阀弹簧44向与前述主阀座19抵接的方向加载。另外，在前述第二弹簧座41c和形成在前述杆35的第二杆部37的副弹簧座35a之间呈压缩状态地夹设了副阀弹簧45，前述副阀芯25由该副阀弹簧45经前述杆35向与前述副阀座24抵接的方向加载。
另一方面，在前述主阀芯20的圆筒部件31上，由焊接等方法经与该波纹管46做成一体的环状的安装部46a固定了由金属构成的伸缩自由的波纹管46的一端，该波纹管46的另一端与环状的支承部件47连结，该支承部件47被夹持在前述外壳10的第一外壳部件11和前述隔壁部件13之间。
前述波纹管46是包围前述杆35、弹簧承载部件41、主阀弹簧44及副阀弹簧45和前述主阀芯20的一部分并将它们与工艺气体隔断的部件。
前述波纹管46，在将前述外壳10的第一外壳部件11从隔壁部件13分离后，能够将前述杆35的第一杆部36从前述第二杆部37分离，在将前述主阀芯20从前述杆35拆下时，与前述主阀芯20一起拆下。
与此相对，因为前述弹簧承载部件41卡定在前述杆35的第二杆部37而留存在该位置，所以前述主阀弹簧44及副阀弹簧45也与该弹簧承载部件41一起留存在该位置。
这样，前述真空阀，为了进行因与工艺气体的接触而容易劣化的前述波纹管46、主阀密封件32或副阀密封件38等的检查、更换等，能够简单地将前述波纹管46、主阀芯20或副阀芯25等与其它的零件分离取出到外部。因此，该真空阀的保养、检查容易，并且分解作业也容易，另外，保养、检查后的再组装作业也容易。
接着，对前述开闭操作机构50进行说明。如图2所示，该开闭操作机构50由一个流体压缸构成，本实施方式的流体压缸是空气缸。
前述开闭操作机构50具有形成在前述第二外壳部件12的内部的圆形的缸孔52，前述活塞51经安装在该活塞51的外周的环状的导向部件53和活塞密封件54在轴线L方向滑动自由地收容在该缸孔52的内部。
前述缸孔52的一端由气密地安装在前述第二外壳部件12上的端板55堵塞，该缸孔52的另一端由前述隔壁部件13和构成后述的开度调整机构70的调整螺母71及挡块72堵塞。
前述缸孔52的内部由前述活塞51划分为该活塞51和前述端板55之间的第一压力室56以及前述活塞51和前述隔壁部件13及调整螺母71之间的第二压力室57，前述第一压力室56及第二压力室57与形成在前述第二外壳部件12的侧面上的第一操作端口58及第二操作端口59单独连通。
前述杆35的基端部即上端部，气密地贯通前述隔壁部件13的中心孔而延伸到前述缸孔52内，与前述活塞51连结。
图中的符号60是被夹设在前述隔壁部件13的内周和杆35的外周之间的轴承部件，同样，符号61是将前述隔壁部件13的内周和杆35的外周之间密封的密封部件。
前述活塞51，在前述主阀芯20与前述主阀座19抵接而将前述主流路17封闭并且前述副阀芯25与前述副阀座24抵接而将前述副流路21封闭时，通过由前述副阀弹簧45朝向图的上方加载，占据了从前述挡块72的上端的抵接面72a离开了的位置(闭阀位置)。
而且，若从此状态如图5所示的那样通过前述第一操作端口58向第一压力室56供给压力空气，并且通过第二操作端口59将前述第二压力室57向外部开放，则前述活塞51下降(前进)到与挡块72的抵接面72a抵接的位置，前述杆35也与该活塞51一起下降(前进)。因此，前述副阀芯25从副阀座24离开，前述副流路21开放。此时的前述副阀芯25的行程S，如图2所示，是该副阀芯25处于前述闭阀位置时的活塞51的下面和前述挡块72的抵接面72a的距离。
接着，若通过前述第二操作端口59向前述第二压力室57供给压力空气，并且通过第一操作端口58将前述第一压力室56向外部开放，则如图6所示，前述活塞51上升(后退)到与端板55抵接的位置，前述杆35也与该活塞51一起上升(后退)。而且，因为在前述杆35上升的途中前述副阀芯25与主阀芯20抵接而将该主阀芯20抬起，所以该主阀芯20从前述主阀座19离开，前述主流路17开放。此时，通过前述副阀芯25与副阀座24抵接，前述副流路21被封闭，但不存在真空阀的动作上的问题。
在前述开闭操作机构50上，设置了用于调整前述副阀芯25的开度的前述开度调整机构70。此开度调整机构70由前述调整螺母71和前述挡块72构成，其具体的结构如下。
首先，说明前述隔壁部件13的具体的结构。如从图7明确的那样，在前述隔壁部件13的上面上形成了环状的凹部13b，在该凹部13b的中央位置形成了高度与该凹部13b的深度大致相同的圆筒部13c，前述杆35贯通该圆筒部13c的中心。另外，在前述隔壁部件13的侧面上设置了通往前述凹部13b的操作口13d。
前述调整螺母71具有与前述缸孔52的内部嵌合的圆筒状的嵌合部71a和形成在该嵌合部71a的下部的环状的操作部71b，在该调整螺母71的中心形成了前述隔壁部件13的圆筒部13c嵌合的嵌合孔71c和前述挡块72啮合的螺纹孔71d。前述操作部71b的外径比前述嵌合部71a的外径大，该操作部71b的轴线L方向高度比前述隔壁部件13的凹部13b的深度稍小。
前述调整螺母71被配设成，将前述操作部71b收容在前述隔壁部件13的凹部13b内，使该操作部71b空开些许的间隙地夹在前述隔壁部件13的凹部13b的底面和前述第二外壳部件12的下端面之间，由此，在限制了轴线L方向的移动的状态下，以该轴线L为中心旋转自由。
在前述操作部71b的外周形成了用于防滑的做成齿轮状的凹凸71e，该操作部71b的一部分通过前述操作口13d从隔壁部件13的侧面向外部露出，能够用手指通过该操作口13d旋转操作前述操作部71b。另外，在前述隔壁部件13的侧面上安装了固定螺钉75，通过将此固定螺钉75拧入而使其前端卡定在前述调整螺母71的侧面上，将该调整螺母71固定，以便前述调整螺母71除了进行开度调整时以外不会旋转。
图中的符号73是将前述嵌合部71a的外周和前述缸孔52的内周之间密封的密封部件，同样，符号74是将前述调整螺母71的内周和前述隔壁部件13的圆筒部13c的外周之间密封的密封部件。
前述挡块72是做成了圆筒状的部件，在外周具有与前述调整螺母71的螺纹孔71d啮合的外螺纹72b，前述杆35滑动自由地贯通该挡块72的中心孔72c。在此情况下，为了使得前述挡块72相对于前述杆35在轴线L方向相对地位移自由但不以该轴线L为中心相对地旋转，前述中心孔72c和杆35以截面形状做成六边形的方式形成。
前述杆35做成了六边形的部分，如图5所示，仅是前述第二杆部37的基端侧的大径部37a，该第二杆部37的前端侧的小径部37b和与该小径部37b连结的前述第一杆部36的截面形状是圆形，并且相互同径。因此，安装在前述隔壁部件13的中心孔中的前述轴承部件60及密封部件61是能够与六边形的杆35对应的部件。
在前述开度调整机构70中，如图2所示，若通过从前述挡块72的上端的抵接面72a处于与前述调整螺母71的上端面相同的位置的状态松开前述固定螺钉75，并对前述操作部71b进行操作，使前述调整螺母71向一方向旋转，则前述挡块72因为不能相对于前述杆35旋转，所以如图7所示的那样沿前述轴线L向上方位移，前述抵接面72a从调整螺母71突出。而且，与其突出量相应地，前述副阀芯25的行程S即开度变小。
另外，因为若在前述挡块72的抵接面72a从前述调整螺母71的上端面突出的状态下使该调整螺母71向反方向旋转，则前述挡块72沿轴线L下降，所以前述抵接面72a的突出量减少，与其减少量相应地，前述副阀芯25的行程S变大。
此外，在前述实施方式中，前述开闭操作机构50由流体压缸形成，但此开闭操作机构50也能够由电动马达形成。在此情况下，前述开度调整机构70也能够省略。
符号的说明
10：外壳；13：隔壁部件；13a：主弹簧座；13d：操作口；15：第一端口；16：第二端口；17：主流路；18：阀室；19：主阀座；20：主阀芯；21：副流路；24：副阀座；25：副阀芯；30：圆盘部件；31：圆筒部件；35：杆；35a：副弹簧座；36：第一杆部；37：第二杆部；39：轴承部件；40：密封部件；41：弹簧承载部件；41a：罩部；41b：第一弹簧座；41c：第二弹簧座；44：主阀弹簧；45：副阀弹簧；46：波纹管；50：开闭操作机构；51：活塞；56：第一压力室；57：第二压力室；70：开度调整机构；71：调整螺母；72：挡块；L：轴线。

Claims (7)

1.一种真空阀，其特征在于，
具有第一端口及第二端口、主流路、主阀座、主阀芯、副流路、副阀座、副阀芯和开闭操作机构，所述第一端口及第二端口形成在外壳上，所述主流路以将该第一端口和第二端口连结的方式形成在前述外壳的内部，所述主阀座包围该主流路，所述主阀芯通过相对于该主阀座接触离开来开闭前述主流路，所述副流路以与前述主流路呈并列的方式形成在该主阀芯的内部，所述副阀座以包围该副流路的方式形成在前述主阀芯上，所述副阀芯通过相对于该副阀座接触离开来开闭前述副流路，所述开闭操作机构开闭操作前述主阀芯及副阀芯，
在前述外壳的内部，以滑动自由地贯通前述主阀芯的方式配设了杆，在该杆的作为轴线方向的一端的基端部连结了前述开闭操作机构，并且在该杆的作为轴线方向的另一端的前端部以在前述主阀芯的外部相对于该主阀芯接触离开的方式配设了前述副阀芯，在该主阀芯的外面的前述副阀芯抵接的部分上形成了前述副阀座，
前述副阀芯通过由前述杆直接操作来开闭前述副流路，
前述主阀芯通过由前述杆经前述副阀芯操作来开闭前述主流路。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，
前述杆具有可分离地被连结的前端侧的第一杆部和基端侧的第二杆部，
前述第一杆部贯通前述主阀芯，在该第一杆部的前端设置了前述副阀芯，
前述第二杆部与前述开闭操作机构连结，
前述主阀芯通过使前述第一杆部从前述第二杆部分离，可从前述杆拆下。
3.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，前述主阀芯具有相对于前述主阀座接触离开的圆盘部件和与该圆盘部件分体地形成而与该圆盘部件组合的圆筒部件，在前述圆盘部件和圆筒部件之间形成了前述副流路，并且在前述圆盘部件上形成了前述副阀座，在前述圆筒部件的内周设置了对前述杆进行导向的轴承部件和将该圆筒部件的内周和前述杆的外周之间密封的密封部件。
4.如权利要求2或3所述的真空阀，其特征在于，
在前述杆上以沿该杆位移自由但通过与前述第二杆部卡定而不能从该第二杆部分离的方式安装了做成筒状的弹簧承载部件，
在前述弹簧承载部件上设置了前述主阀芯的圆筒部件嵌合的筒状的罩部和第一弹簧座及第二弹簧座，
在前述第一弹簧座和形成在前述外壳上的主弹簧座之间，呈压缩状态地夹设了将前述主阀芯向与前述主阀座抵接的方向加载的主阀弹簧，
在前述第二弹簧座和形成在前述杆上的副弹簧座之间，呈压缩状态地夹设了经该杆将前述副阀芯向与前述副阀座抵接的方向加载的副阀弹簧，
在前述主阀芯上连结了将前述主阀弹簧及副阀弹簧包围的波纹管的一端，该波纹管的另一端与前述外壳连结。
5.如权利要求1至3中的任一项所述的真空阀，其特征在于，
前述副阀芯由前述杆的前进动作从前述副阀座离开，将前述副流路开放，
前述主阀芯由前述杆的后退动作经前述副阀芯进行位移，从前述主阀座离开，将前述主流路开放。
6.如权利要求1至3中的任一项所述的真空阀，其特征在于，前述开闭操作机构由一个流体压缸形成，具有与前述杆连结的活塞、形成在该活塞的一侧的第一压力室和形成在该活塞的另一侧的第二压力室，前述活塞与前述杆连结，若向前述第一压力室供给压力流体，则前述活塞及杆前进，前述副阀芯将副流路开放，若向前述第二压力室供给压力流体，则前述活塞及杆后退，前述主阀芯将主流路开放。
7.如权利要求1至3中的任一项所述的真空阀，其特征在于，前述真空阀被构成为，具有调整前述副阀芯的开度的开度调整机构，该开度调整机构具有可通过形成在前述外壳的侧面上的操作口进行旋转操作的调整螺母和该调整螺母啮合的挡块，该挡块可通过旋转操作前述调整螺母在轴线方向位移，前述副阀芯的开度与该挡块的位置相应地被调整。
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