CN110498417A - 一种芯片生产用硅初步生产设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅纯化附属装置的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用硅初步生产设备，其可以提高硅原料与酸的接触均匀性，提高提纯速度，并且可以方便将处理后的部分倒出；包括底座、多组支撑柱、料仓、传输管、处理箱、过滤网、排液管、翻转箱、驱动轴、左转盘、传动轴、多组搅拌叶和右转盘，传输管上设置有开关阀，处理箱左侧壁和右侧壁分别设置有两组第一通孔，驱动轴和传动轴一端分别穿过两组第一通孔，翻转箱右侧壁上设置有第二通孔，驱动轴和传动轴与两组第一通孔内壁之间分别设置有两组第一机械密封件，并且传动轴与第二通孔内壁之间设置有第二机械密封件，多组搅拌叶均位于翻转箱中，并且多组搅拌叶均安装在传动轴上。
Description
技术领域
本发明涉及硅纯化附属装置的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用硅初步生产设备。
背景技术
众所周知，芯片在生产制造过程中，需要用到硅晶圆这一必不可少的原料，在硅晶圆的生产制造过程中，基本可以分别为三个步骤，依次为硅的初步纯化、多晶硅的制造和硅晶圆的制造，硅的初步纯化则是至关重要的一步，由于硅不溶于酸，因此对粗硅的初步纯化是使用HCl、H2SO4、王水、HF等混酸泡洗至硅含量99.7%以上，提高硅的纯度，以方便对硅进行后续的精馏提纯操作，当对硅进行初步提纯操作时，其不方便将硅原料与酸充分均匀的接触，提纯速度较慢，并且其不方便将处理后的部分倒出。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种可以提高硅原料与酸的接触均匀性，提高提纯速度，并且可以方便将处理后的部分倒出的芯片生产用硅初步生产设备。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，包括底座、多组支撑柱、料仓、传输管、处理箱、过滤网、排液管、翻转箱、驱动轴、左转盘、传动轴、多组搅拌叶和右转盘，所述多组支撑柱两端分别与料仓底部和底座顶部连接，所述料仓内设置有储存腔，并在料仓顶部设置有加料口，加料口与储存腔相通，所述传输管输入端与料仓底部连通，并在传输管上设置有开关阀，所述传输管输出端位于翻转箱上方区域，所述处理箱安装在底座顶部右半区域，并在处理箱内设置有处理腔，所述处理箱顶部设置有进出口，所述进出口与处理腔相通，所述处理箱左侧壁和右侧壁分别设置有两组第一通孔，所述驱动轴和传动轴一端分别穿过两组第一通孔，并且驱动轴和传动轴另一端分别与左转盘和右转盘连接，所述驱动轴与放翻转箱连接，所述翻转箱内设置有工作腔，并在翻转箱顶部设置有进料口，进料口与工作腔相通，所述翻转箱右侧壁上设置有第二通孔，所述传动轴穿过第二通孔伸入至翻转箱中，所述驱动轴和传动轴与两组第一通孔内壁之间分别设置有两组第一机械密封件，并且传动轴与第二通孔内壁之间设置有第二机械密封件，所述多组搅拌叶均位于翻转箱中，并且多组搅拌叶均安装在传动轴上，所述过滤网横向安装在处理箱内下半区域，所述排液管输入端与处理箱右侧壁底部连通。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括两组限位杆、两组移动环、两组移动把手、两组固定杆和刮板，所述两组限位杆左右两端分别与处理箱内左侧壁和内右侧壁上半区域连接，所述两组移动环分别套装至两组限位杆上，所述两组移动把手分别安装在两组移动环上，所述两组固定杆两端分别与两组移动环和刮板连接，所述刮板与过滤网顶部接触。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，所述处理箱左侧壁和右侧壁上分别设置有两组清理口，两组清理口均与处理腔相通，并在两组清理口处分别设置有两组密封盖，两组密封盖通过多组合页固定在处理箱上，并且两组密封盖密封安装在两组清理口处。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括两组移动把手、两组固定绳、两组固定环和两组固定钩，所述两组移动把手分别安装在两组密封盖上，所述两组固定绳两端分别与两组移动把手和两组固定钩连接，所述两组固定环分别安装在处理箱左侧壁和右侧壁上。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括左旋转把手、右旋转把手、套环和定位绳，所述左旋转把手和右旋转把手分别安装在左转盘和右转盘上，所述定位绳两端分别与套环和底座顶部连接，并且套环套装至左旋转把手上。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括支撑杆和支撑环，所述支撑杆两端分别与支撑环和底座顶部连接，所述传输管穿过支撑环。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，还包括支撑板、振动电机、限位弹簧、连接杆和捶打块，所述支撑板底端安装在底座顶部左半区域，所述限位弹簧两端分别与振动电机和支撑板左侧壁上半区域连接，所述支撑板上设置有穿孔，所述连接杆左端穿过穿孔并与振动电机连接，并且连接杆右端与捶打块连接。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，所述支撑环内壁上设置有缓冲垫，所述缓冲垫与传输管外壁接触。
与现有技术相比本发明的有益效果为：可以将所需要进行处理的硅原料加入至料仓中进行储存，并将粗硅初步提纯用酸液倒入至翻转箱中，转动右转盘，使传动轴带动多组搅拌叶一同转动，使翻转箱内的酸液处于流动状态，此时打开开关阀，料仓中的硅原料通过传输管导出，并准确的进入至翻转箱中，随着硅原料的进入，同时配合多组搅拌叶的转动，使硅原料可以充分与其中的酸液接触，从而可以提高硅原料与酸的接触均匀性，将硅原料进行泡洗，随着硅原料的加入，部分酸液溢出进入至处理箱中，并通过排液管排出，由于配合了机械搅拌动作，因此可以提高提纯速度，并且当一次提纯处理基本完成后，可以转动左转盘，使驱动轴带动翻转箱进行翻转，将其中剩余的酸液以及处理后的硅原料倒出，并通过过滤网对其进行过滤，硅原料留在过滤网上方，过滤后的酸液通过排液管排出。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1中A部的局部放大图；
图3是图1中B部的局部放大图；
图4是图1中C部的局部放大图；
附图中标记：1、底座；2、支撑杆；3、料仓；4、传输管；5、处理箱；6、过滤网；7、排液管；8、翻转箱；9、驱动轴；10、左转盘；11、传动轴；12、搅拌叶；13、右转盘；14、开关阀；15、第一机械密封件；16、第二机械密封件；17、限位杆；18、移动环；19、移动把手；20、固定杆；21、刮板；22、密封盖；23、合页；24、移动把手；25、固定绳；26、固定环；27、固定钩；28、左旋转把手；29、右旋转把手；30、套环；31、定位绳；32、支撑杆；33、支撑环；34、支撑板；35、振动电机；36、限位弹簧；37、连接杆；38、捶打块；39、缓冲垫。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图4所示，本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备，其在工作时，可以将所需要进行处理的硅原料加入至料仓3中进行储存，可以通过支撑杆32固定支撑环33的位置，并且可以通过支撑环33对传输管4的位置起到一定的支撑和限定作用，可以通过缓冲垫39减少传输管4与支撑环33之间的磨损，将粗硅初步提纯用酸液倒入至翻转箱8中，转动右转盘13，使传动轴11带动多组搅拌叶12一同转动，使翻转箱8内的酸液处于流动状态，在转动有转盘的同时，将套环30套装至左旋转把手28上，从而可以方便限定左旋转盘的位置，进而限定翻转箱8的位置使翻转箱8不发生转动，此时打开开关阀14，料仓3中的硅原料通过传输管4导出，并准确的进入至翻转箱8中，同时将振动电机35启动，连接杆37以及捶打块38随着振动电机35的振动不断对料仓3进行捶打处理，从而可以方便硅原料的排出，并且可以通过限位弹簧36对振动电机35的位置起到一定的限定作用，随着硅原料的进入，同时配合多组搅拌叶12的转动，使硅原料可以充分与其中的酸液接触，从而可以提高硅原料与酸的接触均匀性，将硅原料进行泡洗，随着硅原料的加入，部分酸液溢出进入至处理箱5中，并通过排液管7排出，由于配合了机械搅拌动作，因此可以提高提纯速度，并且当一次提纯处理基本完成后，将套环30由左旋转把手28上取下，并转动左转盘10，使驱动轴9带动翻转箱8进行翻转，将其中剩余的酸液以及处理后的硅原料倒出，并通过过滤网6对其进行过滤，硅原料留在过滤网6上方，过滤后的酸液通过排液管7排出，当需要将处理箱5内处理后的硅原料导出时，可以将两组密封盖22打开，并将两组固定钩27分别挂钩至两组固定环26上，从而可以方便限定两组密封盖22的张开位置，此时手持两组移动把手19，并左右移动，使两组移动环18沿两组限位杆17左右移动，并通过两组固定杆20带动刮板21沿过滤网6顶部左右移动，将过滤网6上方区域堆积的处理后的硅原料向左或向右推动，并通过两组清理口排出，以便对处理后的硅原料进行收集。
本发明的一种芯片生产用硅初步生产设备在使用时，若需要驱动左转盘、右转盘和刮片的移动时，均可以采用手动的方式或外界驱动装置辅助驱动的方式。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，包括底座（1）、多组支撑柱（2）、料仓（3）、传输管（4）、处理箱（5）、过滤网（6）、排液管（7）、翻转箱（8）、驱动轴（9）、左转盘（10）、传动轴（11）、多组搅拌叶（12）和右转盘（13），所述多组支撑柱（2）两端分别与料仓（3）底部和底座（1）顶部连接，所述料仓（3）内设置有储存腔，并在料仓（3）顶部设置有加料口，加料口与储存腔相通，所述传输管（4）输入端与料仓（3）底部连通，并在传输管（4）上设置有开关阀（14），所述传输管（4）输出端位于翻转箱（8）上方区域，所述处理箱（5）安装在底座（1）顶部右半区域，并在处理箱（5）内设置有处理腔，所述处理箱（5）顶部设置有进出口，所述进出口与处理腔相通，所述处理箱（5）左侧壁和右侧壁分别设置有两组第一通孔，所述驱动轴（9）和传动轴（11）一端分别穿过两组第一通孔，并且驱动轴（9）和传动轴（11）另一端分别与左转盘（10）和右转盘（13）连接，所述驱动轴（9）与放翻转箱（8）连接，所述翻转箱（8）内设置有工作腔，并在翻转箱（8）顶部设置有进料口，进料口与工作腔相通，所述翻转箱（8）右侧壁上设置有第二通孔，所述传动轴（11）穿过第二通孔伸入至翻转箱（8）中，所述驱动轴（9）和传动轴（11）与两组第一通孔内壁之间分别设置有两组第一机械密封件（15），并且传动轴（11）与第二通孔内壁之间设置有第二机械密封件（16），所述多组搅拌叶（12）均位于翻转箱（8）中，并且多组搅拌叶（12）均安装在传动轴（11）上，所述过滤网（6）横向安装在处理箱（5）内下半区域，所述排液管（7）输入端与处理箱（5）右侧壁底部连通。
2.如权利要求1所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，还包括两组限位杆（17）、两组移动环（18）、两组移动把手（19）、两组固定杆（20）和刮板（21），所述两组限位杆（17）左右两端分别与处理箱（5）内左侧壁和内右侧壁上半区域连接，所述两组移动环（18）分别套装至两组限位杆（17）上，所述两组移动把手（19）分别安装在两组移动环（18）上，所述两组固定杆（20）两端分别与两组移动环（18）和刮板（21）连接，所述刮板（21）与过滤网（6）顶部接触。
3.如权利要求2所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，所述处理箱（5）左侧壁和右侧壁上分别设置有两组清理口，两组清理口均与处理腔相通，并在两组清理口处分别设置有两组密封盖（22），两组密封盖（22）通过多组合页（23）固定在处理箱（5）上，并且两组密封盖（22）密封安装在两组清理口处。
4.如权利要求3所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，还包括两组翻转把手（24）、两组固定绳（25）、两组固定环（26）和两组固定钩（27），所述两组翻转把手（24）分别安装在两组密封盖（22）上，所述两组固定绳（25）两端分别与两组翻转把手（24）和两组固定钩（27）连接，所述两组固定环（26）分别安装在处理箱（5）左侧壁和右侧壁上。
5.如权利要求4所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，还包括左旋转把手（28）、右旋转把手（29）、套环（30）和定位绳（31），所述左旋转把手（28）和右旋转把手（29）分别安装在左转盘（10）和右转盘（13）上，所述定位绳（31）两端分别与套环（30）和底座（1）顶部连接，并且套环（30）套装至左旋转把手（28）上。
6.如权利要求5所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，还包括支撑杆（32）和支撑环（33），所述支撑杆（32）两端分别与支撑环（33）和底座（1）顶部连接，所述传输管（4）穿过支撑环（33）。
7.如权利要求6所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，还包括支撑板（34）、振动电机（35）、限位弹簧（36）、连接杆（37）和捶打块（38），所述支撑板（34）底端安装在底座（1）顶部左半区域，所述限位弹簧（36）两端分别与振动电机（35）和支撑板（34）左侧壁上半区域连接，所述支撑板（34）上设置有穿孔，所述连接杆（37）左端穿过穿孔并与振动电机（35）连接，并且连接杆（37）右端与捶打块（38）连接。
8.如权利要求7所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，所述支撑环（33）内壁上设置有缓冲垫（39），所述缓冲垫（39）与传输管（4）外壁接触。
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| CN207507896U (zh) * | 2018-02-14 | 2018-06-19 | 杞县东磁新能源有限公司 | 一种硅料超声清洗装置 |
| CN207973824U (zh) * | 2018-01-24 | 2018-10-16 | 浙江嘉昱达机械有限公司 | 一种光伏材料晶体硅提纯装置 |
| CN210683229U (zh) * | 2019-09-09 | 2020-06-05 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种芯片生产用硅初步生产设备 |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150040821A1 (en) * | 2012-01-26 | 2015-02-12 | Silicor Materials Inc. | Method for purification of silicon |
| CN207973824U (zh) * | 2018-01-24 | 2018-10-16 | 浙江嘉昱达机械有限公司 | 一种光伏材料晶体硅提纯装置 |
| CN207507896U (zh) * | 2018-02-14 | 2018-06-19 | 杞县东磁新能源有限公司 | 一种硅料超声清洗装置 |
| CN210683229U (zh) * | 2019-09-09 | 2020-06-05 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种芯片生产用硅初步生产设备 |
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