CN110488395B - 一种衍射光栅保护结构及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种衍射光栅保护结构，为多层结构，包括衍射光栅，及表面尺寸与衍射光栅的表面尺寸相同的分离层、反射层、树脂层、保护玻璃；分离层采用真空蒸镀的方法镀于衍射光栅的表面，反射层采用真空蒸镀的方法镀于分离层上，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于反射层上，保护玻璃与衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，环氧树脂固化后形成位于反射层与保护玻璃间的树脂层。本发明还提供了一种衍射光栅保护结构的制备方法，在衍射光栅的表面依次真空蒸镀分离层、反射层，在反射层上用环氧树脂粘接保护玻璃。本发明的衍射光栅保护结构及其制备方法，对衍射光栅的表面进行有效保护，避免衍射光栅在存储、运输过程中受到污染和损坏。

Description

一种衍射光栅保护结构及其制备方法
技术领域
本发明涉及衍射光栅的表面保护技术领域，具体涉及一种衍射光栅保护结构及其制备方法。
背景技术
衍射光栅通过有规律的结构，使入射光的振幅或相位(或两者同时)受到周期性空间调制。衍射光栅在光学上的最重要应用是作为分光器件，常被用于单色仪和光谱仪上。由于衍射光栅具有精细的表面浮雕结构，极易受损，在存储、运输过程中，不仅空气中的水蒸气、操作者的唾液、手指的汗液会污染衍射光栅表面，而且衍射光栅受到外力挤压的情况都会导致衍射光栅形成不可挽回的损坏。所以，在存储、运输衍射光栅的时候首先对其表面进行保护是十分必要的。但是在现有技术中，没有用于存储、运输的衍射光栅的保护方法公开。
鉴于此，亟需研究一种衍射光栅表面的有效保护方法，避免衍射光栅在存储、运输过程中造成的污染和损坏。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的上述缺陷，提供一种衍射光栅保护结构及其制备方法，对衍射光栅的表面进行有效保护，避免衍射光栅在存储、运输过程中受到污染和损坏。
本发明的目的可通过以下的技术措施来实现：
本发明提供了一种衍射光栅保护结构，为多层结构，包括衍射光栅、分离层、反射层、树脂层、保护玻璃；所述分离层、所述反射层、所述树脂层、所述保护玻璃的表面尺寸与所述衍射光栅的表面尺寸相同；
所述分离层采用真空蒸镀的方法镀于所述衍射光栅的表面，所述反射层采用真空蒸镀的方法镀于所述分离层上，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于所述反射层上，所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，环氧树脂固化后形成位于所述反射层与所述保护玻璃间的所述树脂层。
进一步地，所述分离层的材质为275硅油，所述分离层的厚度小于10nm。
进一步地，所述反射层为金属反射层。
进一步地，所述金属反射层的材质为Al、Ag、Au中的任意一种。
进一步地，所述树脂层采用的环氧树脂为618号环氧树脂或6828号环氧树脂。
进一步地，所述树脂层采用的固化剂为咪唑类固化剂。
进一步地，所述保护玻璃为平板光学玻璃，厚度为1-3mm。
本发明还提供了一种衍射光栅保护结构的制备方法，包括以下步骤：
S1：制备获得所述衍射光栅、准备与所述衍射光栅的表面尺寸相同的所述保护玻璃，清洁后备用；
S2：在所述衍射光栅的表面真空蒸镀所述分离层，将所述衍射光栅置于真空镀膜机中，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上，将分离层材料真空蒸镀到所述衍射光栅的表面形成所述分离层；
S3：继续真空蒸镀所述反射层，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上，将反射层材料真空蒸镀到所述分离层上形成所述反射层，取出完成真空蒸镀后衍射光栅；
S4：粘接所述保护玻璃，将环氧树脂与固化剂按比例配制混合均匀，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆涂满所述反射层上，将所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，静置固化，实现所述保护玻璃与所述衍射光栅粘接，获得所述衍射光栅保护结构。
本发明的衍射光栅保护结构，采用多层结构对衍射光栅的表面进行了有效保护，避免了衍射光栅的表面直接暴露在空气中，避免衍射光栅在存储、运输过程中空气中的水蒸气、操作者的唾液、手指的汗液以及其他物体接触衍射光栅表面造成的污染，以及受到外力挤压造成的损坏。本发明的衍射光栅保护结构的制备方法，工艺步骤简单可控，采用的材料价格低廉，制备成本低。此外，当需要使用衍射光栅的时候，用刀片将衍射光栅保护结构沿边沿切开保护玻璃即可，不会对衍射光栅表面造成损伤，不影响衍射光栅的使用。
附图说明
图1是本发明的衍射光栅保护结构的结构示意图；
附图标记说明：1-衍射光栅；2-分离层；3-反射层；4-树脂层；5-保护玻璃。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不限定本发明。
为了使本揭示内容的叙述更加详尽与完备，下文针对本发明的实施方式与具体实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本发明具体实施例的唯一形式。实施方式中涵盖了多个具体实施例的特征以及用以建构与操作这些具体实施例的方法步骤与其顺序。然而，亦可利用其它具体实施例来达成相同或均等的功能与步骤顺序。
如图1所示，为本发明的衍射光栅保护结构的结构示意图，为多层结构，包括衍射光栅1、分离层2、反射层3、树脂层4、保护玻璃5；所述分离层2、所述反射层3、所述树脂层4、所述保护玻璃5的表面尺寸与所述衍射光栅1的表面尺寸相同；
所述分离层2采用真空蒸镀的方法镀于所述衍射光栅1的表面，所述反射层3采用真空蒸镀的方法镀于所述分离层2上，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于所述反射层3上，所述保护玻璃5与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，环氧树脂固化后形成位于所述反射层3与所述保护玻璃5间的所述树脂层4。
其中，所述分离层2的材质为275硅油，厚度一般小于10nm。所述反射层3为金属反射层，厚度一般在数百纳米，材质可以为Al、Ag、Au中的任意一种。所述树脂层4采用的环氧树脂可以为618号环氧树脂或6828号环氧树脂，采用的固化剂为咪唑类固化剂，所述树脂层4的厚度一般在数十微米。所述保护玻璃5为平板光学玻璃，厚度为1-3mm。
分离层2的作用是用来将被保护的衍射光栅1与保护玻璃5隔离，并可以在特定条件(如刀片切入)使衍射光栅1与保护玻璃5分开。金属反射层3可以理解为分离层2的边界层或者保护层，因为分离层呈液态，而且很薄，单独存在不能保持完整状态，使用金属反射层3可以将其隔离，起到保护分离层2的作用。树脂层4的作用是将金属反射层3与保护玻璃5粘接在一起，具有较高的粘接力。在衍射光栅1需要保护时候，使其共同成为一个整体，在需要分离时候，可以保证沿分离层2分开衍射光栅1和保护玻璃5。
本发明还提供了一种衍射光栅保护结构的制备方法，包括以下步骤：
S1：制备获得所述衍射光栅、准备与所述衍射光栅的表面尺寸相同的所述保护玻璃，清洁后备用；
S2：在所述衍射光栅的表面真空蒸镀所述分离层，将所述衍射光栅置于真空镀膜机中，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上，将分离层材料真空蒸镀到所述衍射光栅的表面形成所述分离层；
S3：继续真空蒸镀所述反射层，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上，将反射层材料真空蒸镀到所述分离层上形成所述反射层，取出完成真空蒸镀后衍射光栅；
S4：粘接所述保护玻璃，将环氧树脂与固化剂按比例配制混合均匀，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆涂满所述反射层上，将所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，静置固化，实现所述保护玻璃与所述衍射光栅粘接，获得所述衍射光栅保护结构。
本发明的衍射光栅保护结构，采用多层结构对衍射光栅的表面进行了有效保护，避免了衍射光栅的表面直接暴露在空气中，避免衍射光栅在存储、运输过程中空气中的水蒸气、操作者的唾液、手指的汗液以及其他物体接触衍射光栅表面造成的污染，以及受到外力挤压造成的损坏。本发明的衍射光栅保护结构的制备方法，工艺步骤简单可控，采用的材料价格低廉，制备成本低。此外，当需要使用衍射光栅的时候，用刀片将衍射光栅保护结构沿边沿切开保护玻璃即可，不会对衍射光栅表面造成损伤，不影响衍射光栅的使用。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种衍射光栅保护结构，其特征在于，为多层结构，包括衍射光栅、分离层、反射层、树脂层、保护玻璃；所述分离层、所述反射层、所述树脂层、所述保护玻璃的表面尺寸与所述衍射光栅的表面尺寸相同；
所述分离层采用真空蒸镀的方法镀于所述衍射光栅的表面，所述反射层采用真空蒸镀的方法镀于所述分离层上，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于所述反射层上，所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，环氧树脂固化后形成位于所述反射层与所述保护玻璃间的所述树脂层；
所述分离层的材质为275硅油，所述分离层的厚度小于10nm；
所述反射层为金属反射层；
所述金属反射层的材质为Al、Ag、Au中的任意一种；
所述分离层在刀片切入时使所述衍射光栅与所述保护玻璃分离，实现去保护。
2.根据权利要求1所述的衍射光栅保护结构，其特征在于，所述树脂层采用的环氧树脂为618号环氧树脂或6828号环氧树脂。
3.根据权利要求2所述的衍射光栅保护结构，其特征在于，所述树脂层采用的固化剂为咪唑类固化剂。
4.根据权利要求2所述的衍射光栅保护结构，其特征在于，所述保护玻璃为平板光学玻璃，厚度为1-3mm。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的衍射光栅保护结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：制备获得所述衍射光栅、准备与所述衍射光栅的表面尺寸相同的所述保护玻璃，清洁后备用；
S2：在所述衍射光栅的表面真空蒸镀所述分离层，将所述衍射光栅置于真空镀膜机中，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上，将分离层材料真空蒸镀到所述衍射光栅的表面形成所述分离层；
S3：继续真空蒸镀所述反射层，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上，将反射层材料真空蒸镀到所述分离层上形成所述反射层，取出完成真空蒸镀后衍射光栅；
S4：粘接所述保护玻璃，将环氧树脂与固化剂按比例配制混合均匀，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆涂满所述反射层上，将所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，静置固化，实现所述保护玻璃与所述衍射光栅粘接，获得所述衍射光栅保护结构。
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US6740366B2 (en) * 2000-12-22 2004-05-25 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Article having predetermined surface shape and method for preparing the same
CN1253731C (zh) * 2004-05-20 2006-04-26 中国科学院上海技术物理研究所 大口径轻质复合材料反射镜及制备方法
CN101329419A (zh) * 2008-01-04 2008-12-24 华工科技产业股份有限公司 衍射光栅组件及制作方法
US20140368917A1 (en) * 2012-02-16 2014-12-18 Shimadzu Corporation Diffraction grating
JP6407918B2 (ja) * 2016-05-30 2018-10-17 住友化学株式会社 樹脂積層体、表示装置及び偏光板

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