CN110486617A - 一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法 - Google Patents

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Abstract

一种含氟混合气的配气系统，包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；主管的一端连通至调压瓶，主管的另一端连通至含氟瓶；钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，钢瓶组管连通至主管；气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，真空泵的输出端连通至尾气处理装置；本发明根据上述内容提出一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法，能够对钢瓶内壁的进行钝化处理，也可以实现配制任何含氟比例的混合气，并且有效地处理尾气的排放。

Description

一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法
技术领域
本发明涉及含氟配气系统技术领域，尤其涉及一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法。
背景技术
含F2准分子激光气用于眼科疾病的治疗已经有约三十年的发展历史。各种含F2准分子激光气体种类众多，其中F2气体是组成其中必不可少的成分，是手术时激光的主要能量提供源。我国从90年代初开始进口准分子激光机，国产机型亦于2001年研制成功。但是其昂贵且消耗大量工作气源激光气，激光气基本上依赖进口，虽有少量国产气投放入市场，但是大多存在能量不稳当，保存期短等不足之处。
近年来，国家产业政策的大力扶持半导体行业，无论是在8寸或是12寸晶圆上都需要使用到光刻机，而在光刻机上也需要使用到含F2的混合气激光气体。主要用在7～28nm晶圆的等离子蚀刻工艺上，对气体的稳定性和气体的配制精度要求极高。
国产的含F2混合气激光气体存在的不足之处主要有：钢瓶内壁比较粗糙，加上在钢瓶内壁钝化时，内壁的预饱和效果达不到预期；配制的精度较低，配制出来的不确定度比较大，气体在钢瓶内的组分不均匀，从而导致使用过程能量不足或是能力波动比较大，无论是在眼科手术上还是晶圆的蚀刻上都达不到预期的效果；F2为剧毒品，其对人体和环境的危害非常大，至极排放达不到环保要求。
发明内容
本发明的目的在于提出一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法，能够对钢瓶内壁的进行钝化处理，也可以实现配制任何含氟比例的混合气，并且有效地处理尾气的排放。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种含氟混合气的配气系统，包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；
所述主管的一端连通至调压瓶，所述主管的另一端连通至含氟瓶；
所述钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，所述钢瓶组管连通至主管；
所述气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；
所述抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置；
所述排空管的一端连通至吸附器的输入端，吸附器的输出端连通至尾气处理装置，所述排空管的另一端连通至第二分管的一端，所述第二分管的另一端连通至抽空管；
所述第一分管的一端连通至主管，所述第一分管的另一端连通至排空管。
进一步，还包括第三分管，其一端连通至主管，其另一端通过安全阀连通至第一分管，所述第三分管设有第十九阀门。
进一步，在主管上，从左至右依次设置有第十三阀门、第十二阀门、第十一阀门、第十阀门、第九阀门和第一阀门；
还包括第八阀门，第八阀门的一端连通至主管，该端的连通处位于第十阀门和第九阀门之间；第八阀门的另一端连通至主管，该端的连通处位于第九阀门与第一阀门之间；
钢瓶组中的钢瓶的数量为六，分别为目标钢瓶、第一原料瓶、第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶；
目标钢瓶、第一原料瓶、第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶分别通过钢瓶组分管连通至钢瓶组管，从左至右的钢瓶组分管依次设有第七阀门、第六阀门、第五阀门、第四阀门、第三阀门和第二阀门；
从所述抽空管上的一端至其另一端依次设有第十四阀门、第十五阀门和第二十四阀门；
所述第二分管设有第十六阀门，第二分管连通至抽空管的那端的连通处位于第十四阀门和第十五阀门之间，第二分管的一端是通过安全阀至排空管的另一端；
所述第一分管设有第十七阀门，第一分管连通至主管的连通处位于第十一阀门和第十阀门之间；
所述气体浓度稀释管上依次设有第二十阀门、流量计和第二十一阀门；
吸附器的输入端设有第二十二阀门，吸附器的输出端设有第二十三阀门，真空泵的输入端设有第二十四阀门；
抽空管设有电阻真空计。
进一步，还包括限流管，其两端分别连通至第一分管，限流管的两端分别位于第十七阀门的前端和后端，所述限流管设有第十八阀门和限流阀，限流阀位于第十八阀门的后端。
进一步，还包括第一压力表、第二压力表、第三压力表、第四压力表、第五压力表和第六压力表；
所述第一压力表设于钢瓶组管；
所述第二压力表设于主管，第二压力表位于第十二阀门与第十一阀门之间；
所述第三压力表设于抽空管，第三压力表位于第十四阀门与第十五阀门之间；
所述第四压力表设于第二分管；
所述第五压力表设于所述第三分管；
所述第六压力表设于所述排空管。
进一步，所述尾气处理装置包括储液池、第一喷淋塔、第二喷淋塔和风机；
所述储液池的顶部为密封的，储液池的侧壁设有透风口，储液池内储存有碱性溶液；
吸附器的输出端是连通至尾气处理装置中的储液池内的碱性溶液；
所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置的储液池内；
所述储液池的顶部通过第一风管连通至第一喷淋塔的输入端，所述第一喷淋塔的输出端通过第二风管连通至第二喷淋塔的输入端，所述第二喷淋塔的输出端通过第三风管连通至风机的输入端，所述风机的输出端设有第四风管。
使用所述的一种含氟混合气的配气系统的钝化方法，
步骤A1：打开第十三阀门、第十二阀门、第十一阀门、第十九阀门、第十四阀门、第十六阀门、第十阀门、第八阀门、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门，打开调压瓶自身的瓶阀，通过第十三阀门对系统加压至1.1MPa,压力静置10分钟不变化，则系统的气密性良好，否则对系统进行逐一检漏处理；
当系统的气密性良好，打开第十七阀门、第二十二阀门、二十三阀门，对系统进行排空处理，系统的压力降至0.05MPa时，第十七阀门和二十三阀门；
启动真空泵，打开第十五阀门，对系统进行抽真空处理，待系统的真空度＜5Pa时，关闭第十四阀门，打开调压瓶自身的瓶阀，通过第十三阀门把系统的压力调至0.2MPa，关闭第十一阀门11，打开第十四阀门，对系统再抽真空，然后关闭第八阀门、第十一阀门11和第十四阀门；
步骤A2：打开含氟瓶自身的瓶阀，通过减压阀对钢瓶组内的目标钢瓶进行加压，压力控制在0.2～0.5MPa之间，关闭含氟瓶自身的瓶阀，关闭第十阀门；
打开第一原料瓶自身的瓶阀，缓慢打开第三阀门，对目标钢瓶进行加压，压力控制在5～10MPa，让目标钢瓶内壁在高压状态下进行钝化，钝化时间控制在24～48h；
步骤A3：启动风机,启动第一喷淋塔中的循环水泵和第二喷淋塔中的循环水泵，缓慢打开第十七阀门，第六压力表的压力值上升至0.2～0.5MPa时，打开二十三阀门，让被吸附器吸附后的气体先流入到储液池再依次进入到第一喷淋塔和第二喷淋塔中进行尾气处理，直至系统的压力降至0.05MPa；
关闭第二十三阀门和第十七阀门，打开第八阀门和第十阀门，打开气体浓度稀释瓶自身的瓶阀，打开第二十阀门，把流量计的流量调至最小档位，打开第二十一阀门，通过流量计调至合适的流量；打开第十八阀门，让系统中的含F2气体流过限流阀，打开第二十三阀门，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门、第十八阀门和第二十一阀门，打开第十一阀门，用调压瓶内的氩气对系统加压至0.5～0.8MPa，关闭第十一阀门，打开第二十一阀门、第十八阀门和第二十三阀门，系统的压力排至0.05MPa；
步骤A4：打开第十四阀门，对系统直接进行抽真空处理，待系统的压力少于5Pa时，关闭第十四阀门，打开第十一阀门，用调压瓶内的氩气对系统加压至0.2MPa，再打开第十四阀门14对系统直接进行抽真空处理；最后对系统加压至0.5MPa进行保压处理；
步骤A5：达到钢瓶钝化的时间后，打开第十八阀门和第二十三阀门，让系统内的气体通过限流阀，缓慢地排放到吸附器中进行吸附，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门和第十八阀门，打开第十一阀门，对系统加压至0.3～0.5MPa，关闭第十一阀门，打开第二十三阀门和第十八阀门，把系统的压力排至0.05MPa；
关闭第二十三阀门和第十八阀门，打开第十四阀门，对钝化好的目标钢瓶进行抽真空处理，直至目标钢瓶的真空度小于3Pa。
使用所述的一种含氟混合气的配气系统的配重方法，
步骤B1：把目标钢瓶转至电子秤上，记录空瓶的重量，连接上系统上，关闭第十阀门，打开第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门，打开第一原料瓶自身的瓶阀，把系统的压力升至10MPa，对系统进行高压试漏，系统保持10min以上没有变化，则系统的气密性良好；
打开第十七阀门、第二十二阀门和第二十三阀门，把系统的压力降至1.1MPa，关闭第十七阀门，打开第十阀门和第八阀门，静置10min，观察压力的变化，若压力没有下降，则系统的气密性良好；
打开第十七阀门17，把系统的压力排空至0.05MPa，启动真空泵，打开第二十四阀门、第十五阀门、第十六阀门和第十四阀门，对系统进行抽真空处理，待系统的真空度＜5Pa时，关闭第十四阀门；
打开调压瓶自身的瓶阀，通过第十三阀门把系统的压力调至0.2MPa，关闭第十一阀门，打开第十四阀门，对系统再抽真空，关闭第八阀门、第十一阀门和第十四阀门；
步骤B2：打开目标钢瓶的自身的瓶阀，检测目标钢瓶的真空度，若目标钢瓶的真空度大于10Pa，钢瓶判断处理不合格，需要重新处理；若目标钢瓶的真空度保持不变，则可以继续使用；关闭目标钢瓶的自身的瓶阀，关闭第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门；
往目标钢瓶加入含氟瓶中的F2/Ne混合气，达到设定重量时，关闭含氟瓶自身的阀门，关闭目标钢瓶自身的阀门，打开第八阀门；
步骤B3：启动风机,启动第一喷淋塔中的循环水泵和第二喷淋塔中的循环水泵，缓慢打开第十七阀门，第六压力表的压力值上升至0.2～0.5MPa时，打开二十三阀门，让被吸附器吸附后的气体先流入到储液池再依次进入到第一喷淋塔和第二喷淋塔中进行尾气处理，直至系统的压力降至0.05MPa；
关闭第二十三阀门和第十七阀门，打开第八阀门和第十阀门，打开气体浓度稀释瓶自身的瓶阀，打开第二十阀门，把流量计的流量调至最小档位，打开第二十一阀门，通过流量计调至合适的流量；打开第十八阀门，让系统中的含F2气体流过限流阀，打开第二十三阀门，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门、第十八阀门和第二十一阀门，打开第十一阀门，用调压瓶内的氩气对系统加压至0.5～0.8MPa，关闭第十一阀门，打开第二十一阀门、第十八阀门和第二十三阀门，系统的压力排至0.05MPa；
步骤B4：打开第十四阀门，对系统进行抽真空处理，当系统真空度小于5Pa时，打开第三阀门，若真空度没有变化或是变小，则关闭第十四阀门、第十阀门和第八阀门，打开第一原料瓶自身的瓶阀把系统的压力调至目标压力；
记录电子秤上显示的数值，缓慢打开目标钢瓶自身的阀门，通过缓慢加入第一原料瓶中的氩气，直至加到目标重量为止；
关闭第一原料瓶自身的阀门，关闭目标钢瓶自身的阀门，打开第十七阀门，把系统的压力排至0.05MPa，关闭第十七阀门，打开第十四阀门，对系统抽真空，当系统真空度小于5Pa时，关闭第三阀门，打开第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门，观察真空度的变化，真空度没有上升，则管道连接的气密性良好，可以继续使用；
依照第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门的顺序对第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶逐支测试钢瓶内的压力，第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶为Ne原料瓶，如果其内的Ne原料均为满瓶，则依第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门的顺序使用，否则以Ne原料瓶内的压力低到高的顺序使用，最低压力的Ne原料瓶必须大于目标钢瓶此时的压力；
打开第十七阀门，把系统的压力排至配制压力的1.05～1.1倍，记录电子秤上的显示数值，当前Ne原料瓶中的Ne原料加入到目标钢瓶的数值小于3g/s时，关闭此Ne原料瓶中的瓶阀，打开另一支Ne原料瓶的瓶阀，以此方法，直至加到目标重量，然后关闭当前Ne原料瓶的瓶阀，关闭目标钢瓶自身的阀门。
步骤B5：通过第十七阀门，缓慢把系统的压力排至0.05MPa，打开第十四阀门，对系统进行抽真空处理，当系统的真空度小于5Pa时，关闭第十四阀门，打开第十一阀门，把系统的压力加至0.2MPa，打开第十四阀门，对系统置换抽真空。
本发明根据上述内容提出一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法，能够对钢瓶内壁的进行钝化处理，也可以实现配制任何含氟比例的混合气，并且有效地处理尾气的排放。
附图说明
图1是本发明其中一个实施例的部分结构示意图；
图2是本发明其中一个实施例的另一部分结构示意图。
其中：尾气处理装置W1、储液池W11、透风口W111、第一喷淋塔W12、第一风管W121、第二风管W122、第二喷淋塔W13、第三风管W131、风机W14、第四风管W141、循环水泵一W101、循环水泵二W102、第一碱液罐W1201、第二碱液罐W1301、真空泵G2、吸附器G3、气体浓度稀释瓶G4、气体浓度稀释管G41、流量计G411、调压瓶G5、钢瓶组G6、目标钢瓶G61、第一原料瓶G62、第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65、第五原料瓶G66、钢瓶组分管G611、电子秤G601、含氟瓶G7、主管G8、钢瓶组管G9、排空管G10、抽空管G11、电阻真空计G111、第一分管G12、第二分管G13、第三分管G14、限流管G15；第一阀门1、第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6、第七阀门7、第八阀门8、第九阀门9、第十阀门10、第十一阀门11、第十二阀门12、第十三阀门13、第十四阀门14、第十五阀门15、第十六阀门16、第十七阀门17、第十八阀门18、第十九阀门19、第二十阀门20、第二十一阀门21、第二十二阀门22、二十三阀门23、第二十四阀门24、安全阀25、单向阀26、限流阀X1、第一压力表P1、第二压力表P2、第三压力表P3、第四压力表P4、第五压力表P5、第六压力表P6。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
需要说明的是，在本实施例中，第一阀门1、第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6、第七阀门7、第八阀门8、第十阀门10、第十一阀门11、第十二阀门12、第十四阀门14、第十五阀门15、第十六阀门16、第十七阀门17、第十八阀门18、第十九阀门19和第二十一阀门21是隔膜阀；第九阀门9、第十三阀门13和第二十阀门20是减压阀；第二十二阀门22、二十三阀门23和第二十四阀门24是截止阀；当然，在系统中还有多个单向阀26，不在附图中一一标出；单向阀26是为了防止气体倒流，对系统进行污染。
气体浓度稀释瓶G4内储存的是N2(氮气)，调压瓶G5内储存的是Ar(氩气)，含氟瓶G7内储存的是F2/Ne混合气，(氟气和氖气的混合气)，第一原料瓶G62内储存的是Ar(氩气)，第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65和第五原料瓶G66内分别储存的是Ne(氖气)；
一种含氟混合气的配气系统，包括尾气处理装置W1、真空泵G2、吸附器G3、气体浓度稀释瓶G4、调压瓶G5、钢瓶组G6、含氟瓶G7、主管G8、钢瓶组管G9、排空管G10、抽空管G11、第一分管G12和第二分管G13；
所述主管G8的一端连通至调压瓶G5，所述主管G8的另一端连通至含氟瓶G7；
所述钢瓶组G6包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管G9，所述钢瓶组管G9连通至主管G8；
所述气体浓度稀释瓶G4通过气体浓度稀释管G41连通至排空管G10；
所述抽空管G11的一端连通至主管G8，抽空管G11的另一端连通至真空泵G2的输入端，所述真空泵G2的输出端连通至尾气处理装置W1；
所述排空管G10的一端连通至吸附器G3的输入端，吸附器G3的输出端连通至尾气处理装置W1，所述排空管G10的另一端连通至第二分管G13的一端，所述第二分管G13的另一端连通至抽空管G11；
所述第一分管G12的一端连通至主管G8，所述第一分管G12的另一端连通至排空管G10。
本申请的系统功能齐全，一套系统即可钝化钢瓶又可配置含F2的混合气，甚至能除去对人体和环境有危害的F2和HF；配制含F2混合气使用的是重量法，其中电子秤G601的精度非常高，配制出来的气体的精度非常高，气体的不确定度小于2％，气体使用过程，能量也能稳定而持续；在尾气处理过程中，使用的都是非常常见和易得的化学试剂，通过一系列化学反应后，有效地解决了现有含氟尾气排放不达标问题，减少了对环境的污染和人体的危害；通过高压法钝化钢瓶，F2在高压下，对钢瓶内壁的渗透能力更强，形成的致密氧化膜更加牢固和稳定，配制出来的气体更均匀，使用过程，能量输出更加稳定；对于高浓度的F2组分，本申请通过稀释的方法进行排放，有效地保护管道和设备，在吸附器G3得到充分的吸附；在抽真空过程，通过惰性气体，多次置换稀释系统中的F2组分，在抽真空过程中，只有非常微量的F2组分进入到真空泵中，从而延长真空泵的使用寿命；钝化钢瓶的管道和配制混合气的管道实现共用，减少了设备的投入；钝化时，一次可以钝化1～6支钢瓶，可以减少操作过程。
进一步，还包括第三分管G14，其一端连通至主管G8，其另一端通过安全阀25连通至第一分管G12，所述第三分管G14设有第十九阀门19，当系统内出现超压工作情况时可通过这个安全阀25进行泄压。
进一步，在主管G8上，从左至右依次设置有第十三阀门13、第十二阀门12、第十一阀门11、第十阀门10、第九阀门9和第一阀门1；
还包括第八阀门8，第八阀门8的一端连通至主管G8，该端的连通处位于第十阀门10和第九阀门9之间；第八阀门8的另一端连通至主管G8，该端的连通处位于第九阀门9与第一阀门1之间；
钢瓶组G6中的钢瓶的数量为六，分别为目标钢瓶G61、第一原料瓶G62、第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65和第五原料瓶G66；
目标钢瓶G61、第一原料瓶G62、第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65和第五原料瓶G66分别通过钢瓶组分管G611连通至钢瓶组管G9，从左至右的钢瓶组分管G611依次设有第七阀门7、第六阀门6、第五阀门5、第四阀门4、第三阀门3和第二阀门2；
从所述抽空管G11上的一端至其另一端依次设有第十四阀门14、第十五阀门15和第二十四阀门24；
所述第二分管G13设有第十六阀门16，第二分管G13的一端与抽空管G11相连通，该连通处位于第十四阀门14和第十五阀门15之间；第二分管G13的另一端是通过安全阀25至排空管G10的另一端；
所述第一分管G12设有第十七阀门17，第一分管G12连通至主管G8的连通处位于第十一阀门11和第十阀门10之间；
所述气体浓度稀释管G41上依次设有第二十阀门20、流量计G411和第二十一阀门21；
吸附器G3的输入端设有第二十二阀门22，吸附器G3的输出端设有第二十三阀门23，真空泵G2的输入端设有第二十四阀门24；
抽空管G11上设有电阻真空计G111，真空电阻计G111是用来检测系统管道的真空度。
进一步，还包括限流管G15，其两端分别连通至第一分管G12，限流管G15的两端分别位于第十七阀门17的前端和后端，所述限流管G15设有第十八阀门18和限流阀X1，限流阀X1位于第十八阀门18的后端。
进一步，还包括第一压力表P1、第二压力表P2、第三压力表P3、第四压力表P4、第五压力表P5和第六压力表P6；
所述第一压力表P1设于钢瓶组管G9；
所述第二压力表P2设于主管G8，第二压力表P2位于第十二阀门12与第十一阀门11之间；
所述第三压力表P3设于抽空管G11，第三压力表P3位于第十四阀门14与第十五阀门15之间；
所述第四压力表P4设于第二分管G13；
所述第五压力表P5设于所述第三分管G14；
所述第六压力表P6设于所述排空管G10，通过各个压力表方便观察系统内各处的压力值。
进一步，所述尾气处理装置W1包括储液池W11、第一喷淋塔W12、第二喷淋塔W13和风机W14；
所述储液池W11的顶部为密封的，储液池W11的侧壁设有透风口W111，储液池W11内储存有碱性溶液；
吸附器G3的输出端是连通至尾气处理装置W1中的储液池W11内的碱性溶液；
所述真空泵G2的输出端连通至尾气处理装置W1的储液池W11内；
所述储液池W11的顶部通过第一风管W121连通至第一喷淋塔W12的输入端，所述第一喷淋塔W12的输出端通过第二风管W122连通至第二喷淋塔W13的输入端，所述第二喷淋塔W13的输出端通过第三风管W131连通至风机W14的输入端，所述风机W14的输出端设有第四风管W141。
无论是使用含F2混合气钝化钢瓶，还是配制含F2混合气，其尾气处理，只需除去F2即可，其他均为惰性气体，对环境不会造成污染，含F2尾气处理需要用到尾气处理装置W1，风机W14为尾气处理时提供尾气流动的动力。
其中在吸附器G3中，里面装填的是活性炭吸附剂，当F2混合气进入到吸附器中G3时，F2会与活性炭进行化学反应，其反应式为：F2+C→CF4，把大部分F2转化成无毒的CF4；少量的F2随其他气体一起进入到储液池W11中，储液池W11内为碱性溶液，碱型溶液为NaOH和Na2CO3的混合溶液，NaOH：Na2CO3为1：3，溶液的PH值控制在9～11之间；F2会与碱性溶液进行化学反应，其反应：F2+H2O→HF+O2，2HF+Na2CO3→2NaF+CO2+H2O或是2HF+NaOH→2NaF+H2O；微量的HF进入到第一喷淋塔W12，第一喷淋塔W12内喷淋的是KOH溶液，其化学反应为：2HF+KOH→2KF+H2O，在此处基本把F2或是HF除完，但是F2和HF为剧毒品，对人体和环境危害极大，为了防止在第一喷淋塔W12中KOH溶液未能及时喷淋的情况下，导致部分HF排放至大气中，故增加了第二喷淋塔W13，第二喷淋塔W13喷淋的是Ca(OH)2溶液，HF会与Ca(OH)2作用，其化学反应为：2HF+Ca(OH)2→CaF2↓+2H2O，把氟元素固化成CaF2，防止其污染环境。
使用所述的一种含氟混合气的配气系统的钝化方法，是对钢瓶的内壁进行钝化，先通入高浓度的含F2混合气，然后再往钢瓶内加压，让F2在高压状态下对钢瓶内壁进行钝化，具体步骤如下。
步骤A1：打开第十三阀门13、第十二阀门12、第十一阀门11、第十九阀门19、第十四阀门14、第十六阀门16、第十阀门10、第八阀门8、第一阀门1、第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6和第七阀门7，打开调压瓶G5自身的瓶阀，将Ar释放至系统，通过第十三阀门13对系统加压至1.1MPa,压力静置10分钟不变化，则系统的气密性良好，否则对系统进行逐一检漏处理；当系统的气密性良好，打开第十七阀门17、第二十二阀门22、二十三阀门23，对系统进行排空处理，系统的压力降至0.05MPa时，第十七阀门17和二十三阀门23；
启动真空泵G2，打开第十五阀门15，对系统进行抽真空处理，待系统的真空度＜5Pa时，关闭第十四阀门14，打开调压瓶G5自身的瓶阀，通过第十三阀门13把系统的压力调至0.2MPa，关闭第十一阀门11，打开第十四阀门14，对系统再抽真空，如此重复3～5次，关闭第八阀门8、第十一阀门11和第十四阀门14；
步骤A2：本发明装置中，可以同时钝化1～6支钢瓶，待钝化的钢瓶均为做过内壁抛光处理和6N加热抽真空处理好的第一次投入使用的新钢瓶(对于已经钝化过的钢瓶和重复使用的钢瓶无需继续钝化，除非钢瓶在进行水压试验时，则需要按新钢瓶来处理)；此次以目标钢瓶G61为例，为了减少原料的损耗，关闭第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6和第七阀门7。
打开含氟瓶G7自身的瓶阀，通过第九阀门9对钢瓶组G6内的目标钢瓶G61进行加压，压力控制在0.2～0.5MPa之间，关闭含氟瓶G7自身的瓶阀，关闭第十阀门10；
打开第一原料瓶G62自身的瓶阀，缓慢打开第三阀门3，对目标钢瓶G61进行加压，压力控制在5～10MPa，让目标钢瓶G61内壁在高压状态下进行钝化，钝化时间控制在24～48h；
步骤A3：此时系统上气体中F2的摩尔浓度小于3000ppm，排放时，没有超过吸附器G3中吸附剂的吸附极限，故可以直接排放进吸附器G3中；
启动风机W14,启动第一喷淋塔W12中的循环水泵一W101和第二喷淋塔W13中的循环水泵二W102，循环水泵一W101把第一喷淋塔W12底部的第一碱液罐W1201内的碱液泵至第一喷淋塔W12内喷淋；循环水泵二W102把第二喷淋塔W13底部的第二碱液罐W1301的碱液泵至第二喷淋塔W13内喷淋；缓慢打开第十七阀门17，第六压力表P6的压力值上升至0.2～0.5MPa时，打开二十三阀门23，让被吸附器G3吸附后的气体先流入到储液池W11再依次进入到第一喷淋塔W12和第二喷淋塔W13中进行尾气处理，直至系统的压力降至0.05MPa；
关闭第二十三阀门23和第十七阀门17，打开第八阀门8和第十阀门10，此时系统中F2的摩尔浓度在5000ppm以上，已经超出了吸附器的吸附范围，故不能直接进行排放，此时需要通过稀释的方式来进行排放，打开气体浓度稀释瓶G4自身的瓶阀，然其中的N2进入系统中，打开第二十阀门20，把流量计G411的流量调至最小档位，打开第二十一阀门21，通过流量计调至合适的流量；打开第十八阀门18，让系统中的含F2气体流过限流阀X1，其中N2的流量：含F2气体的流量控制在10：1为宜，打开第二十三阀门23，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门23、第十八阀门18和第二十一阀门21，打开第十一阀门11，用调压瓶G5内的氩气对系统加压至0.5～0.8MPa，关闭第十一阀门11，打开第二十一阀门21、第十八阀门18和第二十三阀门23，系统的压力排至0.05MPa；再用调压瓶G5内的Ar对系统加压，再排放，如此重复3～5次；
步骤A4：此时管道系统内F2的含量小于10ppm，可以对系统直接进行抽真空处理，打开第十四阀门14，对系统直接进行抽真空处理，待系统的压力少于5Pa时，关闭第十四阀门14，打开第十一阀门11，用调压瓶G5内的氩气对系统加压至0.2MPa，再打开第十四阀门14对系统直接进行抽真空处理；如此重复3～5次，最后打开第十一阀门11，对系统加压至0.5MPa进行保压处理；
步骤A5：达到钢瓶钝化的时间后，打开第十八阀门18和第二十三阀门23，让系统内的气体通过限流阀X1，缓慢地排放到吸附器G3中进行吸附，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门23和第十八阀门18，打开第十一阀门11，用调压瓶G5内的Ar对系统对系统加压至0.3～0.5MPa，关闭第十一阀门11，打开第二十三阀门23和第十八阀门18，把系统的压力排至0.05MPa；
再用调压瓶G5内的氩气对系统对系统加压，然后把系统的压力排至0.05MPa，如此重复3～5次；
关闭第二十三阀门23和第十八阀门18，打开第十四阀门14，对钝化好的目标钢瓶G61进行抽真空处理，直至目标钢瓶G61的真空度小于3Pa。此时，钢瓶为钝化好，待用。
使用所述的一种含氟混合气的配气系统的配重方法，本实施例以配置0.95％F2+3.5％Ar+95.55％Ne的混合气为例说明。
步骤B1：把回笼的含F2混合气钢瓶，进行排空处理和做6N处理后的钢瓶，或是已经钝化处理好的钢瓶(这个钢瓶指的是附图中的目标钢瓶G61)，转至电子秤G601上，记录空瓶的重量，连接上系统上，关闭第十阀门10，打开第二阀门2、第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6、第七阀门7，打开第一原料瓶G62自身的瓶阀，把系统的压力升至10MPa，对系统进行高压试漏，系统保持10min以上没有变化，则系统的气密性良好；
打开第十七阀门17、第二十二阀门22和第二十三阀门23，把系统的压力降至1.1MPa，关闭第十七阀门17，打开第十阀门10和第八阀门8，静置10min，观察压力的变化，若压力没有下降，则系统的气密性良好；
打开第十七阀门17，把系统的压力排空至0.05MPa，启动真空泵G2，打开第二十四阀门24、第十五阀门15、第十六阀门16和第十四阀门14，对系统进行抽真空处理，待系统的真空度＜5Pa时，关闭第十四阀门14；
打开调压瓶G5自身的瓶阀，通过第十三阀门13把系统的压力调至0.2MPa，关闭第十一阀门11，打开第十四阀门14，对系统再抽真空，如此重复3～5次，关闭第八阀门8、第十一阀门11和第十四阀门14；
步骤B2：打开目标钢瓶G61的自身的瓶阀，检测目标钢瓶G61的真空度，若目标钢瓶G61的真空度大于10Pa，钢瓶判断处理不合格，需要重新处理；若目标钢瓶G61的真空度保持不变，则可以继续使用；关闭目标钢瓶G61的自身的瓶阀，关闭第三阀门3、第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6和第七阀门7；
往目标钢瓶G61加入含氟瓶G7中的F2/Ne混合气，达到设定重量时，关闭含氟瓶G7自身的阀门，关闭目标钢瓶G61自身的阀门，打开第八阀门8；此时系统中F2的摩尔浓度比较高，不能直接排放。
步骤B3：启动风机W14,启动第一喷淋塔W12中的循环水泵一W101和第二喷淋塔W13中的循环水泵二W102，缓慢打开第十七阀门17，第六压力表P6的压力值上升至0.2～0.5MPa时，打开二十三阀门23，让被吸附器G3吸附后的气体先流入到储液池W11再依次进入到第一喷淋塔W12和第二喷淋塔W13中进行尾气处理，直至系统的压力降至0.05MPa；
关闭第二十三阀门23和第十七阀门17，打开第八阀门8和第十阀门10，打开气体浓度稀释瓶G4自身的瓶阀，释放其中的N2至系统，打开第二十阀门20，把流量计G411的流量调至最小档位，打开第二十一阀门21，通过流量计调至合适的流量；打开第十八阀门18，让系统中的含F2气体流过限流阀X1，其中N2的流量：含F2气体的流量控制在10：1为宜，打开第二十三阀门23，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门23、第十八阀门18和第二十一阀门21，打开第十一阀门11，用调压瓶G5内的氩气对系统加压至0.5～0.8MPa，关闭第十一阀门11，打开第二十一阀门21、第十八阀门18和第二十三阀门23，系统的压力排至0.05MPa；再用调压瓶G5内的氩气对系统加压，再排放，如此重复3～5次；
步骤B4：排放完成后，打开第十四阀门14，对系统进行抽真空处理，当系统真空度小于5Pa时，打开第三阀门3，若真空度没有变化或是变小，则关闭第十四阀门14、第十阀门10和第八阀门8，打开第一原料瓶G62(装载储存着氩气)自身的瓶阀把系统的压力调至目标压力(此时的压力为Ar的分压加上F2/Ne混合气的分压)；
记录电子秤G601上显示的数值，缓慢打开目标钢瓶G61自身的阀门，通过缓慢加入第一原料瓶G62中的Ar，直至加到目标重量为止；
关闭第一原料瓶G62自身的阀门，关闭目标钢瓶G61自身的阀门，打开第十七阀门17，把系统的压力排至0.05MPa，关闭第十七阀门17，打开第十四阀门14，对系统抽真空，当系统真空度小于5Pa时，关闭第三阀门3，打开第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6和第七阀门7，观察真空度的变化，真空度没有上升，则管道连接的气密性良好，可以继续使用；
依照第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6、第七阀门7的顺序对第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65和第五原料瓶G66逐支测试钢瓶内的压力，如果第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65和第五原料瓶G66内的Ne原料均为满瓶，则依第四阀门4、第五阀门5、第六阀门6、第七阀门7的顺序使用，否则以钢瓶内低到高的压力顺序使用，最低压力的原料瓶必须大于目标钢瓶G61此时的压力；
打开第十七阀门17，把系统的压力排至配制压力的1.05～1.1倍，记录电子秤G601上的显示数值，在计算器上计算需要加入Ne的重量(此处注意在加F2/Ne时，已经加入了部分的Ne，此时需要减去F2/Ne中Ne的量)，当前Ne原料瓶中的Ne原料加入到目标钢瓶G61的数值小于3g/s时，关闭此原料瓶中的原料阀，打开另一支Ne原料瓶的原料阀，以此方法，直至加到目标重量，然后关闭当前Ne原料瓶的阀门，关闭目标钢瓶G61自身的阀门。(此处的Ne原料瓶指的第二原料瓶G63、第三原料瓶G64、第四原料瓶G65和第五原料瓶G66)
步骤B5：通过第十七阀门17，缓慢把系统的压力排至0.05MPa，打开第十四阀门14，对系统进行抽真空处理，当系统的真空度小于5Pa时，关闭第十四阀门14，打开第十一阀门11，把系统的压力加至0.2MPa，打开第十四阀门14，对系统置换抽真空。
重复3～5次，此时可以把目标钢瓶G61进行拆卸，对目标钢瓶G61进行测漏处理，如果没有泄露，把目标钢瓶G61转移到混匀处，待处理。若此时还有钢瓶需要配制，则重复以上步骤。
以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；
所述主管的一端连通至调压瓶，所述主管的另一端连通至含氟瓶；
所述钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，所述钢瓶组管连通至主管；
所述气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；
所述抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置；
所述排空管的一端连通至吸附器的输入端，吸附器的输出端连通至尾气处理装置，所述排空管的另一端连通至第二分管的一端，所述第二分管的另一端连通至抽空管；
所述第一分管的一端连通至主管，所述第一分管的另一端连通至排空管。
2.根据权利要求1所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：还包括第三分管，其一端连通至主管，其另一端通过安全阀连通至第一分管，所述第三分管设有第十九阀门。
3.根据权利要求2所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：在所述主管上，从左至右依次设置有第十三阀门、第十二阀门、第十一阀门、第十阀门、第九阀门和第一阀门；
还包括第八阀门，第八阀门的一端连通至主管，该端的连通处位于第十阀门和第九阀门之间；第八阀门的另一端连通至主管，该端的连通处位于第九阀门与第一阀门之间；
所述钢瓶组中的钢瓶的数量为六，分别为目标钢瓶、第一原料瓶、第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶；
所述目标钢瓶、第一原料瓶、第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶分别通过钢瓶组分管连通至钢瓶组管，从左至右的钢瓶组分管依次设有第七阀门、第六阀门、第五阀门、第四阀门、第三阀门和第二阀门；
从所述抽空管上的一端至其另一端依次设有第十四阀门、第十五阀门和第二十四阀门；
所述第二分管设有第十六阀门，所述第二分管的一端与抽空管相连通，该连通处位于第十四阀门和第十五阀门之间；所述第二分管的另一端通过安全阀与排空管的另一端相连通；
所述第一分管设有第十七阀门，所述第一分管连通至主管的连通处位于第十一阀门和第十阀门之间；
所述气体浓度稀释管上依次设有第二十阀门、流量计和第二十一阀门；
吸附器的输入端设有第二十二阀门，吸附器的输出端设有第二十三阀门，真空泵的输入端设有第二十四阀门；
抽空管设有电阻真空计。
4.根据权利要求3所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：还包括限流管，其两端分别连通至第一分管，限流管的两端分别位于第十七阀门的前端和后端，所述限流管设有第十八阀门和限流阀，限流阀位于第十八阀门的后端。
5.根据权利要求4所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：还包括第一压力表、第二压力表、第三压力表、第四压力表、第五压力表和第六压力表；
所述第一压力表设于钢瓶组管；
所述第二压力表设于主管，第二压力表位于第十二阀门与第十一阀门之间；
所述第三压力表设于抽空管，第三压力表位于第十四阀门与第十五阀门之间；
所述第四压力表设于第二分管；
所述第五压力表设于所述第三分管；
所述第六压力表设于所述排空管。
6.根据权利要求5所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：所述尾气处理装置包括储液池、第一喷淋塔、第二喷淋塔和风机；
所述储液池的顶部为密封的，储液池的侧壁设有透风口，储液池内储存有碱性溶液；
吸附器的输出端是连通至尾气处理装置中的储液池内的碱性溶液；
所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置的储液池内；
所述储液池的顶部通过第一风管连通至第一喷淋塔的输入端，所述第一喷淋塔的输出端通过第二风管连通至第二喷淋塔的输入端，所述第二喷淋塔的输出端通过第三风管连通至风机的输入端，所述风机的输出端设有第四风管。
7.使用如权利要求1-6任意一项所述的一种含氟混合气的配气系统的钝化方法，其特征在于：
步骤A1：打开第十三阀门、第十二阀门、第十一阀门、第十九阀门、第十四阀门、第十六阀门、第十阀门、第八阀门、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门，打开调压瓶自身的瓶阀，通过第十三阀门对系统加压至1.1MPa,压力静置10分钟不变化，则系统的气密性良好，否则对系统进行逐一检漏处理；
当系统的气密性良好，打开第十七阀门、第二十二阀门、二十三阀门，对系统进行排空处理，系统的压力降至0.05MPa时，第十七阀门和二十三阀门；
启动真空泵，打开第十五阀门，对系统进行抽真空处理，待系统的真空度＜5Pa时，关闭第十四阀门，打开调压瓶自身的瓶阀，通过第十三阀门把系统的压力调至0.2MPa，关闭第十一阀门11，打开第十四阀门，对系统再抽真空，然后关闭第八阀门、第十一阀门11和第十四阀门；
步骤A2：打开含氟瓶自身的瓶阀，通过减压阀对钢瓶组内的目标钢瓶进行加压，压力控制在0.2～0.5MPa之间，关闭含氟瓶自身的瓶阀，关闭第十阀门；
打开第一原料瓶自身的瓶阀，缓慢打开第三阀门，对目标钢瓶进行加压，压力控制在5～10MPa，让目标钢瓶内壁在高压状态下进行钝化，钝化时间控制在24～48h；
步骤A3：启动风机,启动第一喷淋塔中的循环水泵和第二喷淋塔中的循环水泵，缓慢打开第十七阀门，第六压力表的压力值上升至0.2～0.5MPa时，打开二十三阀门，让被吸附器吸附后的气体先流入到储液池再依次进入到第一喷淋塔和第二喷淋塔中进行尾气处理，直至系统的压力降至0.05MPa；
关闭第二十三阀门和第十七阀门，打开第八阀门和第十阀门，打开气体浓度稀释瓶自身的瓶阀，打开第二十阀门，把流量计的流量调至最小档位，打开第二十一阀门，通过流量计调至合适的流量；打开第十八阀门，让系统中的含F2气体流过限流阀，打开第二十三阀门，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门、第十八阀门和第二十一阀门，打开第十一阀门，用调压瓶内的氩气对系统加压至0.5～0.8MPa，关闭第十一阀门，打开第二十一阀门、第十八阀门和第二十三阀门，系统的压力排至0.05MPa；
步骤A4：打开第十四阀门，对系统直接进行抽真空处理，待系统的压力少于5Pa时，关闭第十四阀门，打开第十一阀门，用调压瓶内的氩气对系统加压至0.2MPa，再打开第十四阀门14对系统直接进行抽真空处理；最后对系统加压至0.5MPa进行保压处理；
步骤A5：达到钢瓶钝化的时间后，打开第十八阀门和第二十三阀门，让系统内的气体通过限流阀，缓慢地排放到吸附器中进行吸附，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门和第十八阀门，打开第十一阀门，对系统加压至0.3～0.5MPa，关闭第十一阀门，打开第二十三阀门和第十八阀门，把系统的压力排至0.05MPa；
关闭第二十三阀门和第十八阀门，打开第十四阀门，对钝化好的目标钢瓶进行抽真空处理，直至目标钢瓶的真空度小于3Pa。
8.使用如权利要求1-6任意一项所述的一种含氟混合气的配气系统的配重方法，其特征在于：
步骤B1：把目标钢瓶转至电子秤上，记录空瓶的重量，连接上系统上，关闭第十阀门，打开第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门，打开第一原料瓶自身的瓶阀，把系统的压力升至10MPa，对系统进行高压试漏，系统保持10min以上没有变化，则系统的气密性良好；
打开第十七阀门、第二十二阀门和第二十三阀门，把系统的压力降至1.1MPa，关闭第十七阀门，打开第十阀门和第八阀门，静置10min，观察压力的变化，若压力没有下降，则系统的气密性良好；
打开第十七阀门17，把系统的压力排空至0.05MPa，启动真空泵，打开第二十四阀门、第十五阀门、第十六阀门和第十四阀门，对系统进行抽真空处理，待系统的真空度＜5Pa时，关闭第十四阀门；
打开调压瓶自身的瓶阀，通过第十三阀门把系统的压力调至0.2MPa，关闭第十一阀门，打开第十四阀门，对系统再抽真空，关闭第八阀门、第十一阀门和第十四阀门；
步骤B2：打开目标钢瓶的自身的瓶阀，检测目标钢瓶的真空度，若目标钢瓶的真空度大于10Pa，钢瓶判断处理不合格，需要重新处理；若目标钢瓶的真空度保持不变，则可以继续使用；关闭目标钢瓶的自身的瓶阀，关闭第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门；
往目标钢瓶加入含氟瓶中的F2/Ne混合气，达到设定重量时，关闭含氟瓶自身的阀门，关闭目标钢瓶自身的阀门，打开第八阀门；
步骤B3：启动风机,启动第一喷淋塔中的循环水泵和第二喷淋塔中的循环水泵，缓慢打开第十七阀门，第六压力表的压力值上升至0.2～0.5MPa时，打开二十三阀门，让被吸附器吸附后的气体先流入到储液池再依次进入到第一喷淋塔和第二喷淋塔中进行尾气处理，直至系统的压力降至0.05MPa；
关闭第二十三阀门和第十七阀门，打开第八阀门和第十阀门，打开气体浓度稀释瓶自身的瓶阀，打开第二十阀门，把流量计的流量调至最小档位，打开第二十一阀门，通过流量计调至合适的流量；打开第十八阀门，让系统中的含F2气体流过限流阀，打开第二十三阀门，当系统的压力降至0.05MPa时，关闭第二十三阀门、第十八阀门和第二十一阀门，打开第十一阀门，用调压瓶内的氩气对系统加压至0.5～0.8MPa，关闭第十一阀门，打开第二十一阀门、第十八阀门和第二十三阀门，系统的压力排至0.05MPa；
步骤B4：打开第十四阀门，对系统进行抽真空处理，当系统真空度小于5Pa时，打开第三阀门，若真空度没有变化或是变小，则关闭第十四阀门、第十阀门和第八阀门，打开第一原料瓶自身的瓶阀把系统的压力调至目标压力；
记录电子秤上显示的数值，缓慢打开目标钢瓶自身的阀门，通过缓慢加入第一原料瓶中的氩气，直至加到目标重量为止；
关闭第一原料瓶自身的阀门，关闭目标钢瓶自身的阀门，打开第十七阀门，把系统的压力排至0.05MPa，关闭第十七阀门，打开第十四阀门，对系统抽真空，当系统真空度小于5Pa时，关闭第三阀门，打开第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门，观察真空度的变化，真空度没有上升，则管道连接的气密性良好，可以继续使用；
依照第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门的顺序对第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶逐支测试钢瓶内的压力，第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶为Ne原料瓶，如果其内的Ne原料均为满瓶，则依第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门的顺序使用，否则以Ne原料瓶内的压力低到高的顺序使用，最低压力的Ne原料瓶必须大于目标钢瓶此时的压力；
打开第十七阀门，把系统的压力排至配制压力的1.05～1.1倍，记录电子秤上的显示数值，当前Ne原料瓶中的Ne原料加入到目标钢瓶的数值小于3g/s时，关闭此Ne原料瓶中的瓶阀，打开另一支Ne原料瓶的瓶阀，以此方法，直至加到目标重量，然后关闭当前Ne原料瓶的瓶阀，关闭目标钢瓶自身的阀门；
步骤B5：通过第十七阀门，缓慢把系统的压力排至0.05MPa，打开第十四阀门，对系统进行抽真空处理，当系统的真空度小于5Pa时，关闭第十四阀门，打开第十一阀门，把系统的压力加至0.2MPa，打开第十四阀门，对系统置换抽真空。
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Assignee: Jiangmen Xinhui Special Gas Research Institute Co.,Ltd.

Assignor: GUANGDONG HUATE GASES Co.,Ltd.

Contract record no.: X2022980025630

Denomination of invention: A gas distribution system containing fluorine gas mixture and its passivation method and counterweight method

Granted publication date: 20210115

License type: Common License

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