CN110463355B - 信息处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种信息处理装置，该信息处理装置具备控制装置，该控制装置具有：取得部，按时间顺序取得表示向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值；判断部，判断由取得部取得的指标值是否满足设定条件；及报告部，基于由判断部判断为指标值不满足设定条件的次数，报告预定的信息。

Description

信息处理装置

技术领域

本发明涉及一种监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值的信息处理装置。

背景技术

在等离子体产生装置中，向反应室供给处理气体，向配设于反应室的多个电极供给电力。由此，在反应室中产生放电，处理气体被等离子体化。因此，通过监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值，能够恰当地执行基于等离子体产生装置的等离子体处理。在下述专利文献中，记载有这样的等离子体产生装置的一例。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-173973号公报

发明内容

发明所要解决的课题

通过监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值，能够恰当地执行基于等离子体产生装置的等离子体处理。因此，将恰当地监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值作为课题。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本说明书公开一种信息处理装置，所述信息处理装置具备控制装置，该控制装置具有：取得部，按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的所述多个电极供给的电流的指标值，该等离子体装置通过多个电极间的放电而产生等离子体；判断部，判断由所述取得部取得的所述指标值是否满足设定条件；及报告部，基于由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数，报告预定的信息。

发明效果

采用本公开，基于被判断为电流的指标值不满足设定条件的次数，报告预定的信息。由此，能够恰当地监视朝向电极的供给电流的指标值。

附图说明

图1是表示大气压等离子体产生装置的立体图。

图2是表示大气压等离子体产生装置的下端部的立体图。

图3是表示大气压等离子体产生装置的主要部位的剖视图。

图4是表示第一实施例的控制装置的框图。

图5是表示正常时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。

图6是表示等离子体处理能力降低时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。

图7是表示等离子体处理能力降低时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。

图8是表示朝向颜色因等离子体照射而发生变化的指示器的等离子体照射条件与色差的关系的图。

图9是表示第二实施例的控制装置的框图。

图10是表示等离子体处理能力降低时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。

具体实施方式

以下，作为用于实施本发明的方式，参照附图详细地说明本发明的实施例。

(A)第一实施例

(a)大气压等离子体产生装置的结构

在图1～图3中示出大气压等离子体产生装置10。大气压等离子体产生装置10是用于在大气压下产生等离子体的装置，具备等离子体气体喷出装置12、加热气体喷出装置14及控制装置(参照图4)16。此外，图1是自斜上方的视点下的大气压等离子体产生装置10整体的立体图。图2是自斜下方的视点下的大气压等离子体产生装置10的下端部的立体图。图3是大气压等离子体产生装置10的主要部位的剖视图。另外，将大气压等离子体产生装置10的宽度方向称作X方向，将大气压等离子体产生装置10的进深方向称作Y方向，将与X方向和Y方向正交的方向、即上下方向称作Z方向。

等离子体气体喷出装置12由壳体20、罩22、一对电极24、26构成。壳体20包括主壳体30、散热板31、接地板32、下部壳体34及喷嘴块36。主壳体30形成为大致块状，在主壳体30的内部形成有反应室38。另外，在主壳体30以沿上下方向延伸的方式形成有多条第一气体流路(在图3中仅标记一条第一气体流路)50，多条第一气体流路50沿X方向隔开预定的间隔地并排。各第一气体流路50的上端部在反应室38开口，下端部在主壳体30的底面开口。

散热板31配设于主壳体30的Y方向上的一侧的侧面。散热板31具有多个散热片(省略图示)，对主壳体30的热量进行散热。另外，接地板32作为避雷针发挥功能，固定于主壳体30的下表面。在接地板32，与多条第一气体流路50相对应地形成有沿上下方向贯通的多个贯通孔56，各贯通孔56与对应的第一气体流路50连结。

下部壳体34形成为块状，固定于接地板32的下表面。在下部壳体34，与多个贯通孔56相对应地以沿上下方向延伸的方式形成有多条第二气体流路62。各第二气体流路62的上端部与对应的贯通孔56连结，下端部在下部壳体34的底面开口。

喷嘴块36固定于下部壳体34的下表面，与下部壳体34的多条第二气体流路62相对应地以沿上下方向延伸的方式形成有多条第三气体流路66。各第三气体流路66的上端部与对应的第二气体流路62连结，下端部在喷嘴块36的底面开口。

罩22形成为大致斗形，以覆盖下部壳体34及喷嘴块36的方式配设于接地板32的下表面。在罩22的下表面形成有贯通孔70。该贯通孔70比喷嘴块36的下表面大，喷嘴块36的下表面位于贯通孔70的内部。另外，在罩22的加热气体喷出装置14侧的侧面也以沿Y方向延伸的方式形成有贯通孔72。

一对电极24、26被配设为在主壳体30的反应室38的内部相向。在该反应室38连接有处理气体供给装置(参照图4)74。处理气体供给装置74是将氮等非活性气体和氧等活性气体中的至少一方作为处理气体而供给的装置。由此，向反应室38供给处理气体。

另外，加热气体喷出装置14包括保护罩80、气体管82、加热器83及连结块84。保护罩80被配设为覆盖等离子体气体喷出装置12的散热板31。气体管82被配设为在保护罩80的内部沿上下方向延伸，在气体管82连接有加热用气体供给装置(参照图4)86。加热用气体供给装置86是供给氧等活性气体、或者氮等非活性气体的装置。另外，在气体管82的外周面配设有大致圆筒状的加热器83，气体管82被加热器83加热。由此，从加热用气体供给装置86供给至气体管82的气体被加热。

连结块84与气体管82的下端连结，并且固定于罩22的Y方向上的加热气体喷出装置14侧的侧面。在连结块84形成有呈大致L字型弯折的连通路88，连通路88的一端部在连结块84的上表面开口，并且连通路88的另一端部在Y方向上的等离子体气体喷出装置12侧的侧面开口。并且，连通路88的一端部与气体管82连通，连通路88的另一端部与罩22的贯通孔72连通。

另外，如图4所示，控制装置16具备控制器100、多个驱动电路102及控制电路104。多个驱动电路102与上述电极24、26、处理气体供给装置74、加热器83、加热用气体供给装置86连接。控制器100具备CPU、ROM、RAM等，以计算机为主体，且与多个驱动电路102连接。由此，等离子体气体喷出装置12、加热气体喷出装置14的工作由控制器100控制。另外，控制器100经由控制电路104而与显示装置106连接。由此，依据控制器100的指令而在显示装置106显示有图像。进而，控制器100与输入装置107连接。输入装置107由操作按钮等构成，输出基于朝向操作按钮的操作的操作信息。由此，基于朝向操作按钮的操作的操作信息被向控制器100输入。

此外，等离子体气体喷出装置12具有变压器(省略图示)，由电源供给的200伏特的电力被变压器升压至15k伏特，升压后的电力被向电极24、26供给。另外，控制装置16具有检测从电源向变压器供给的电流、即变压器一次电流的检测传感器108，该检测传感器108与控制器100连接。由此，基于检测传感器108的检测值、即向电极24、26供给的变压器一次电流被向控制器100输入。

进而，在控制器100连接有PC110。PC110包括显示装置112和存储装置114，将基于由控制器100发送的信息的图像显示于显示装置112，并将由控制器100发送的信息存储于存储装置114。

(b)基于大气压等离子体产生装置的等离子体处理

在大气压等离子体产生装置10中，在等离子体气体喷出装置12中，采用上述结构，在反应室38的内部将处理气体等离子体化，并从喷嘴块36的第三气体流路66的下端喷出等离子体气体。另外，向罩22的内部供给被加热气体喷出装置14加热后的气体。并且，等离子体气体与加热后的气体一并地从罩22的贯通孔70喷出，从而对被处理体进行等离子体处理。

详细地说，在等离子体气体喷出装置12中，通过处理气体供给装置74而将处理气体向反应室38供给。此时，在反应室38中，向一对电极24、26供给电力，在一对电极24、26间流动有电流。由此，在一对电极24、26间产生放电，通过该放电而将处理气体等离子体化。在反应室38中产生的等离子体在第一气体流路50内朝向下方流动，经由贯通孔56流入到第二气体流路62。并且，等离子体气体在第二气体流路62及第三气体流路66内朝向下方流动。由此，等离子体气体从第三气体流路66的下端喷出。

另外，在加热气体喷出装置14中，通过加热用气体供给装置86而向气体管82供给气体，该气体管82被加热器83加热。由此，向气体管82供给的气体被加热为600℃～800℃。该加热后的气体经由连结块84的连通路88从罩22的贯通孔72流入到罩22的内部。并且，流入到罩22内的加热气体从罩22的贯通孔70喷出。此时，从喷嘴块36的第三气体流路66的下端喷出的等离子体气体被加热气体保护。由此，能够恰当地进行等离子体处理。

详细地说，在等离子体处理时，在从喷出等离子体气体的喷出口起离开预定的距离的位置处载置被处理体，从喷出口向该被处理体喷出等离子体气体。即，在等离子体处理时，将等离子体气体向空气中喷出，将喷出至空气中的等离子体气体向被处理体照射。此时，等离子体气体在空气中与氧等活性气体发生反应而产生有臭氧。因此，存在有等离子体气体失活而无法恰当地进行等离子体处理的隐患。

为此，在大气压等离子体产生装置10中，将被加热气体喷出装置14加热的气体向罩22的内部喷出，并从罩22的贯通孔70喷出。此时，从喷嘴块36的下端喷出的等离子体气体被加热气体保护。由于加热气体在气体管82中被加热至600℃～800℃，因此从贯通孔70喷出的加热气体成为250℃以上。由于臭氧在200℃以上被分解，因此防止了被加热气体覆盖的等离子体气体的臭氧化。由此，防止了等离子体气体的失活，能够恰当地进行等离子体处理。

另外，由于将200℃以上的加热气体与等离子体气体一并地朝向被处理体喷出，因此通过加热气体对被处理体进行加热，对该加热后的被处理体进行等离子体处理。由此，被处理体的反应性提高，能够有效地进行等离子体处理。

(c)报告基于大气压等离子体产生装置的等离子体处理能力的降低

如上所述，在大气压等离子体产生装置10中，在一对电极24、26之间流动有电流而产生放电，从而产生有等离子体气体，通过将该等离子体气体与加热气体一并地从罩22的贯通孔70喷出而执行等离子体处理。不过，在一对电极24、26之间流动有电流而产生放电，从而导致电极24、26劣化。另外，不仅在一对电极24、26之间，还存在有沿划分反应室38的内壁面产生放电的情况。因此，划分反应室38的内壁面也劣化。并且，当电极24、26等劣化时，存在有等离子体处理能力降低的隐患，当电极24、26等的劣化进展时，存在有连放电都无法产生的隐患。因此，在以往的大气压等离子体产生装置中，通过计时器来管理装置的运转时间，每隔预定的时间进行电极24、26等的维护、更换等。

然而，通过计时器来管理运转时间，每隔预定的时间进行的电极24、26等的维护、更换等大多存在浪费。详细地说，电极24、26等的劣化速度根据用户的使用频度、等离子体处理的被处理体的材质、等离子体处理时的温度等而不同。另一方面，作为更换等的标准的预定的时间通常被设定得较短。因此，存在有尽管劣化尚不严重、等离子体处理能力并未过分降低却进行电极24、26的维护、更换等的情况，造成浪费。

因此，考虑检测等离子体处理能力在实际上是否降低。具体地说，基于对向一对电极24、26供给的电力进行标识的指标值、例如由检测传感器108检测的电流值，检测在一对电极24、26是否产生有连续0.1秒未流动有电流的状态。在电极24、26中，在连续0.1秒在电极24、26中未流动有电流的情况下，连续0.1秒间不产生放电，不产生等离子体。另外，在连续0.1秒未流动有电流的情况下，在该0.1秒以外的时间中产生有多次不足0.1秒的未流动有电流的状态。即，在1秒中的0.1秒、即相当于10％的时间中连续地未产生放电的情况下，在该0.1秒以外的时间中多次产生有不足0.1秒的未产生放电的状态。

因此，在发挥通常的等离子体处理能力时，在1秒间产生有几千次的放电，但是在连续0.1秒未流动有电流的情况下，只能发挥50％～70％的等离子体处理能力而非通常的等离子体处理能力的90％。由此，在电极24、26中连续0.1秒未流动有电流的情况下，推断为等离子体处理能力在实际上大幅降低。为此，在电极24、26中产生有连续0.1秒未流动有电流的状态的情况下，进行错误显示等，由作业者来进行电极24、26的更换等。

然而，在等离子体处理能力像这样地大幅降低的时机下进行了错误显示的情况下，需要暂时停止以后的作业，进行电极24、26的更换等，导致以后的作业预定大幅偏差。因此，期望在等离子体处理能力像这样地大幅降低之前，得知降低的预兆，通过得知降低的预兆而能够调整作业预定等。

为此，在大气压等离子体产生装置10中，在等离子体处理能力大幅降低之前报告降低的预兆。具体地说，通过检测传感器108来检测向电极24、26供给的电流，检测该电流中的每一个周期的极大值、即振幅。此时，在电极24、26等未产生有劣化的情况下，向电极24、26供给的电流如图5所示那样发生变化，电流波形周期性地发生变化，电流的振幅大致形成为一定。另一方面，如图6所示，存在有因某种要因而在电流波形产生欠缺、振幅瞬间极端降低的情况。在振幅像这样地瞬间降低的情况下，瞬间不产生放电，但是由于放电的停止是瞬间的，因此几乎不会对等离子体处理能力造成影响。

另外，如图7所示，存在有向电极24、26供给的电流波形在整体上增减而波动的情况。即，存在有向电极24、26供给的电流的极大值增减而在极大值产生有偏差的情况。在这样的情况下，在放电状态产生有偏差，但是由于产生有等离子体，因此并不会对等离子体处理能力造成太大影响。

然而，由于多次产生有电流的极大值的瞬间的降低、偏差，且这些多次产生的电流的极大值的瞬间的降低连续，因此如上所述地成为连续0.1秒未流动有电力的状态。即，将电流的极大值的瞬间的降低、偏差考虑为等离子体处理能力的降低的预兆。为此，在大气压等离子体产生装置10中，监视由检测传感器108检测的电流的每一个周期的极大值。此时，指定通常时的电流的每一个周期的极大值(以下，记作“平均极大值”)X。平均极大值X被设为在电极24、26未产生有劣化等的情况下的通常时的电流的每一个周期的极大值的平均值。

并且，当指定了平均极大值X时，每当检测电流的每一个周期的极大值时，比较检测出的极大值(以下，记作“检测极大值”)与平均极大值X，判定检测极大值是否在以平均极大值X为中心值的预定的范围(例如，X±0.3X)(以下，记作“平均极大值范围”)内。并且，当被判定为检测极大值在平均极大值范围外时，将波形不合格次数加1。

此外，将波形不合格次数在1分钟内累积相加，成为在每单位时间(1分钟)内被判定为检测极大值在平均极大值范围外的次数。并且，每当比较检测极大值与平均极大值范围时，变更1分钟内累积相加的波形不合格次数。即，当将波形不合格次数在1分钟内相加之后比较检测极大值与平均极大值范围时，在波形不合格次数中加上该检测极大值与平均极大值范围的比较结果，从波形不合格次数中删除1分钟前的检测极大值与平均极大值范围的比较结果。由此，比较检测极大值与平均极大值范围时的波形不合格次数成为在从该比较的时机起回溯1分钟的过程中被判定为检测极大值在平均极大值范围外的次数。

并且，每当比较检测极大值与平均极大值范围时，判定波形不合格次数是否不足设定数。并且，在波形不合格次数成为设定数以上的情况下，被判断为存在有等离子体处理能力的降低的预兆，将表示等离子体处理能力的降低的预兆的画面(以下，记作“预兆告知画面”)显示于显示装置106。此外，设定数是由作业者通过朝向输入装置107的操作来设定的。不过，作业者并不知道设定多少次设定数才能够明确等离子体处理能力的降低的预兆。因此，为了寻找恰当的设定数，作业者重复地进行设定数的设定和实际的等离子体处理能力的测定。

具体地说，首先，作业者将较少的数量、例如50次设定为设定数。即，在将设定数设定为50次的情况下，当在1分钟内在电流波形产生有50次欠缺等时，将预兆告知画面显示于显示装置106。并且，当在显示装置106显示有预兆告知画面时，作业者使用接触角测量仪等来测定基于在显示有该预兆告知画面时执行的等离子体处理的被处理物。

详细地说，在基于等离子体处理的被处理物中，湿润性等物理特性因等离子体的照射而发生变化。被处理体的湿润性是根据被处理体表面的接触角而发生变化的物理特性，能够通过利用接触角测量仪来测定被处理体的接触角来评价被处理体的湿润性。因此，通过接触角测量仪来测定被处理体的接触角，从而能够判断是否恰当地执行了等离子体处理。即，能够判断等离子体处理能力有无降低。

另外，作业者也能够使用达因笔来测定被处理体的接触角。因此，通过达因笔来测定被处理体的接触角，从而也能够判断等离子体处理能力有无降低。

进而言之，近年来，开发有光学特性因等离子体的照射而发生变化的指示器，通过使用该指示器，能够判断是否恰当地执行了等离子体处理。指示器的颜色因等离子体的照射而发生变化，由于是公知的仪器，因此以下简略地进行说明。

在颜色因等离子体的照射而发生变化的指示器中，例如，通过包括因与由氮氧化物而获得的氢离子发生反应而发生变化的组成物的粘性流体、包括由偶氮类等的染料、氮含有高分子及阳离子类表面活性剂构成的组成物的粘性流体等而在片材的表面形成有薄膜层。由此，形成有包括因等离子体的照射而变色的薄膜层的指示器。此外，颜色因等离子体的照射而发生变化的指示器的详细内容记载于日本特开2013-178922号公报、日本特开2013-95765号公报、日本特开2013-98196号公报、日本特开2013-95764号公报、日本特开2015-13982号公报、日本特开2015-205995号公报等。

由于上述指示器的颜色因等离子体的照射而发生变化，因此基于等离子体照射后的指示器与未照射等离子体的指示器的色差，判断是否恰当地执行了等离子体处理。具体地说，在色差测量仪中，将与未照射等离子体的指示器、即未处理的指示器的颜色相关的指标值设定为颜色样本。与颜色相关的指标值采用Lab色空间中的明度L＊、表示色相和彩度的色度a＊、b＊。并且，当对被处理体执行等离子体处理时，将指示器设置在被处理体的附近，与被处理体一并地也对指示器照射等离子体。当等离子体的照射完成时，通过色差测量仪来测定与被处理体一并地进行了等离子体照射的指示器，运算等离子体照射后的指示器与未处理的指示器的色差ΔE＊ab。

在图8中示出表示在等离子体照射条件1～6下等离子体照射后的指示器的色差ΔE＊ab和未处理的指示器的色差ΔE＊ab的图表。在此，未处理的指示器的色差ΔE＊ab当然为0。另外，在等离子体的照射条件中，表示条件的数字越大，则等离子体的照射量越多。即，表示条件的数字越大，则等离子体的照射距离越短，等离子体的照射时间越长。

并且，等离子体的照射条件1～6中的照射条件2及3被设为最佳的等离子体照射条件。即，色差ΔE＊ab以4～6左右为最佳的值。因此，在色差ΔE＊ab不足4的情况下，被判定为等离子体照射不足，在色差ΔE＊ab为6以上的情况下，被判定为等离子体照射过多。在等离子体照射不足的情况下，当然未能恰当地执行等离子体处理，被判断为等离子体处理能力降低。

另外，在等离子体照射过多的情况下，也被判断为并未恰当地执行等离子体处理。其理由在于，在被处理体是树脂材料的情况下，被处理体因等离子体照射而变得脆弱。详细地说，在等离子体处理时，若过度地照射等离子体，则存在有被处理体的接触角变低而被判断为恰当地执行了等离子体处理的情况。不过，由于当被处理体是树脂材料时，被处理体中的高分子树脂因过度的等离子体照射而断开，进行低分子化，因此被处理体变得脆弱。由于在像这样地变得脆弱的被处理体中，即使接触角较低，作为产品也并不优选，因此在等离子体照射过多的情况下，也被判断为并未恰当地执行等离子体处理。这样，通过使用指示器，能够抑制基于过度的等离子体照射的被处理体的脆弱化，能够确保恰当的等离子体处理。

并且，在通过上述步骤而被判断为对被处理体进行了恰当的等离子体处理的情况下，假定由用户设定的设定数(50次)过少。为此，用户将比之前设定的设定数(50次)多的数、例如100次再次设定为设定数。由此，当在1分钟内在电流波形中产生有100次欠缺等时，将以等离子体处理能力的降低的预兆为主旨的图像显示于显示装置106。并且，当在显示装置106显示有预兆告知画面时，作业者判断是否依据上述步骤对基于在显示有该预兆告知画面时执行的等离子体处理的被处理物进行了恰当的等离子体处理。

此时，在再次被判断为针对被处理体进行了恰当的等离子体处理的情况下，作业者将比之前设定的设定数(100次)多的数再次设定为设定数。当像这样地重复执行设定数的设定和等离子体处理能力的测定时，表示等离子体的处理能力的测定值逐渐降低。即，例如，被处理体的接触角逐渐升高，色差ΔE＊ab逐渐成为远离5的数值。此外，作业者在再次设定设定数时，若再次设定比之前设定的设定数多得多的设定数，则存在有表示等离子体的处理能力的测定值极端地降低的隐患。因此，作业者在再次设定设定数时，优选再次设定与之前设定的设定数相比增多一定程度的设定数。

并且，重复地执行设定数的设定和等离子体处理能力的测定，将表示等离子体的处理能力的测定值逐渐降低时的设定数指定为能够明确等离子体处理能力的降低的预兆的设定数(以下，记作“第一设定数”)。此外，表示指定第一设定数时的等离子体的处理能力的测定值(以下，记作“第一测定值”)并未达到被判断为无法恰当地进行等离子体处理时的测定值，而是被设为能够恰当地进行等离子体处理的允许范围内的值。这样，通过设定第一设定数，能够在等离子体处理能力比通常时显著降低之前，将预兆告知画面显示于显示装置106。由此，作业者能够恰当地识别等离子体处理能力的降低的预兆，能够调整作业预定等。

此外，通过将第一测定值设为接近被判断为无法恰当地进行等离子体处理时的测定值的值，能够在能够执行恰当的等离子体处理的范围内的最终的阶段得知等离子体处理能力的降低的预兆。另外，通过将第一测定值设定为与被判断为无法恰当地进行等离子体处理时的测定值相差较大的值时，能够在等离子体处理能力的降低的初期阶段得知等离子体处理能力的降低的预兆。这样，在大气压等离子体产生装置10中，作业者通过任意地指定第一测定值而能够识别等离子体处理能力的降低的各种阶段的预兆。

另外，在指定了第一设定数之后，还重复地执行设定数的设定和等离子体处理能力的测定，从而能够得知等离子体处理能力的降低的程度。详细地说，在指定了第一设定数之后，重复地执行设定数的设定和等离子体处理能力的测定，从而表示等离子体的处理能力的测定值进一步降低。为此，直到表示等离子体的处理能力的测定值达到被判断为未执行恰当的等离子体处理时的测定值为止，重复地执行设定数的设定和等离子体处理能力的测定。并且，基于设定数与表示等离子体的处理能力的测定值的关系，将每单位时间的波形不合格次数与表示等离子体的处理能力的测定值的关系数式化。由此，能够恰当地推断与每单位时间的波形不合格次数相应的等离子体处理能力的降低的程度，能够恰当地识别等离子体处理能力的降低的预兆。

此外，在大气压等离子体产生装置10中，每当通过检测传感器108来检测电流的极大值时，将该电流的极大值和每单位时间的波形不合格次数显示于显示装置106。由此，即使在显示装置106显示有预兆告知画面之前，作业者也能够通过识别该电流的极大值和每单位时间的波形不合格次数而在一定程度上推断基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理能力。

另外，在大气压等离子体产生装置10中，每当通过检测传感器108来检测电流的极大值时，从大气压等离子体产生装置10向PC110发送该电流的极大值和每单位时间的波形不合格次数。并且，在PC110中，将接收到的电流的极大值和每单位时间的波形不合格次数显示于显示装置112。由此，例如，工厂的管理者等也能够通过识别大气压等离子体产生装置10的电流的极大值和每单位时间的波形不合格次数而在一定程度上推断基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理能力。另外，在PC110中，在存储装置114中存储有接收到的电流的极大值和每单位时间的波形不合格次数。由此，分析大气压等离子体产生装置10中的朝向电极24、26的供给电流的变化与每单位时间的波形不合格次数的关系，能够在等离子体处理能力的降低的预兆中发挥作用。

此外，如图4所示，大气压等离子体产生装置10的控制器100具有取得部120、判断部122、计数部124、显示部126及输出部128。取得部120是用于按时间顺序取得电流的每一个周期的极大值即振幅而作为表示向电极24、26供给的电流的指标值的功能部。判断部122是用于判断电流的极大值是否满足设定条件的功能部，即，是用于判断检测极大值是否在平均极大值范围内的功能部。计数部124是用于对被判断为电流的极大值不满足设定条件的次数进行计数的功能部，即，是用于对被判定为检测极大值在平均极大值范围外的次数进行计数的功能部。显示部126是用于在由计数部124计数的计数值、即波形不合格次数成为设定数以上的情况下将预兆告知画面显示于显示装置106的功能部。输出部128是用于将电流的极大值和波形不合格次数向PC110输出的功能部。

顺便说一下，在上述第一实施例中，大气压等离子体产生装置10是等离子体产生装置的一例。控制装置16是控制装置及信息处理装置的一例。电极24、26是电极的一例。输入装置107是操作接收部的一例。PC110是外部装置的一例。取得部120是取得部的一例。判断部122是判断部的一例。计数部124是计数部的一例。显示部126是报告部的一例。输出部128是输出部的一例。

(B)第二实施例

在第一实施例的大气压等离子体产生装置10中，作业者重复地执行设定数的设定和等离子体处理能力的测定，在指定了第一设定数之后，通过输入装置107来设定该第一设定数，从而以恰当的时机将预兆告知画面显示于显示装置106。另一方面，在第二实施例的大气压等离子体产生装置10中，通过控制装置16的工作来设定第一设定数，从而以恰当的时机将预兆告知画面显示于显示装置106。此外，第二实施例的大气压等离子体产生装置10除了存储装置及接口以外，均与第一实施例的大气压等离子体产生装置10相同。因此，说明存储装置及接口，省略其它构成要素的说明，使用第一实施例的构成要素的附图标记。

在第二实施例的大气压等离子体产生装置10中，如图9所示，控制装置16具备接口150和存储装置151。接口150用于连接测定因等离子体照射而发生变化的物理特性的测定装置，连接有接触角测量仪152和色差测量仪154。此外，接触角测量仪152及色差测量仪154与第一实施例所说明的内容相同。并且，接口150与控制器100连接，基于接触角测量仪152及色差测量仪154的测定值被向控制器100输入。另外，存储装置151存储第一设定数的指定所使用的各种信息，与控制器100连接。由此，第一设定数的指定所使用的各种信息被向控制器100输入，在控制器100中指定第一设定数。

在这样的构造中，在第二实施例的大气压等离子体产生装置10中，根据基于接触角测量仪152及色差测量仪154的测定值、基于作业者朝向输入装置107的输入信息，推断等离子体处理能力的降低的预兆，设定第一设定数。并且，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，将预兆告知画面显示于显示装置106。

具体地说，在第二实施例中，也与第一实施例相同地通过检测传感器108来检测在电极24、26中流动的电流，每当通过检测传感器108检测到电流的极大值时，判定检测极大值是否在平均极大值范围内。并且，当被判定为检测极大值在平均极大值范围外时，将波形不合格次数加1。即，在第二实施例中，也与第一实施例相同地计数每单位时间(1分钟)的波形不合格次数。此外，将计数的波形不合格次数与计数的时间一并地作为大气压等离子体产生装置10的动作履历并存储于存储装置151。另外，每当通过检测传感器108检测到检测极大值时，也与检测的时间一并地作为大气压等离子体产生装置10的动作履历并存储于存储装置151。

另外，在第二实施例中，作业者在任意的时机下进行被处理体的等离子体处理能力的测定。即，通过接触角测量仪152来测定被大气压等离子体产生装置10照射了等离子体的被处理体的接触角。另外，通过色差测量仪154来测定与被处理体一并地被大气压等离子体产生装置10照射了等离子体的指示器的色差ΔE＊ab。顺便说一下，由于基于接触角测量仪152的被处理体的接触角的测定及基于色差测量仪154的指示器的色差ΔE＊ab的测定手法与第一实施例相同，因此省略说明。

此外，在第一实施例中，作业者基于接触角测量仪152等的测定值，推断等离子体处理能力的降低，但是在第二实施例中，接触角测量仪152及色差测量仪154与控制装置16的接口150连接。因此，接触角测量仪152及色差测量仪154的测定值被输入到控制装置16的控制器100。并且，接触角测量仪152及色差测量仪154的测定值(以下，记作“输入测定值”)与测定时间一并地被存储于存储装置151。此时，输入测定值以使之前存储的大气压等离子体产生装置10的动作履历所包含的时间与输入测定值所包含的时间在预定的范围内一致的方式与动作履历建立关联，并被存储于存储装置151。

另外，当输入测定值被输入到控制器100时，控制器100基于该输入测定值，推断等离子体处理能力。详细地说，与接触角测量仪152和色差测量仪154各自的测定值相应的阈值被存储于存储装置151。各测定值的阈值并未达到被判断为无法恰当地进行等离子体处理时的测定值，而是被设定为能够恰当地进行等离子体处理的允许范围内的值。并且，控制器100判断输入测定值是否达到阈值。

此时，在输入测定值未达到阈值的情况下，推断为大气压等离子体产生装置10的处理能力恰当。另一方面，在输入测定值达到阈值的情况下，虽然大气压等离子体产生装置10的处理能力在允许范围内，但是推断为降低。因此，在输入测定值达到阈值的情况下，与该输入测定值建立关联并被存储的动作履历的波形不合格次数被登记为第一设定数。即，被推断为大气压等离子体产生装置10的处理能力降低的等离子体处理时的波形不合格次数被作为第一设定数存储于存储装置151。并且，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，在显示装置106显示预兆告知画面。

这样，在大气压等离子体产生装置10中，在波形不合格次数成为假定为处理能力降低时的第一设定数以上的情况下，在显示装置106显示预兆告知画面。即，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，被判断为朝向电极24、26的电力供给状态成为假定为处理能力降低时的电力供给状态，显示有预兆告知画面。由此，作业者能够恰当地识别等离子体处理能力的降低的预兆，能够调整作业预定等。

此外，通过将第一测定值的指定时所使用的阈值设为接近被判断为无法恰当地进行等离子体处理时的测定值的值，能够在能够执行恰当的等离子体处理的范围的最终的阶段得知等离子体处理能力的降低的预兆。另外，通过将第一测定值的指定时所使用的阈值设定为与被判断为无法恰当地进行等离子体处理时的测定值相差较大的值，能够在等离子体处理能力的降低的初期阶段得知等离子体处理能力的降低的预兆。这样，在第二实施例中，也能够通过调整阈值来识别等离子体处理能力的降低的各种阶段的预兆。

另外，在第二实施例中，不仅基于输入测定值来登记第一测定值，还基于作业者朝向输入装置107的输入信息来登记第一测定值。详细地说，基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理通常作为被处理体的表面处理的前处理而被进行。作为被处理体的表面处理，是朝向被处理体的表面的粘结处理、涂装处理、涂层处理等。即，作为后处理，针对完成了基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理的被处理体进行朝向被处理体的表面的粘结处理、涂装处理、涂层处理等。

因此，针对完成了基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理的被处理体执行涂层处理等后处理。并且，在执行了涂层处理等后处理之后，确认被处理体的品质。此时，若在被处理体的品质中不存在问题，则推断为恰当地执行了作为前处理的等离子体处理。另一方面，在被处理体的品质中存在有问题的情况下，推断为并未恰当地执行作为前处理的等离子体处理。

为此，在执行了涂层处理等后处理之后的被处理体的品质中存在有问题的情况下，作业者将执行了朝向该被处理体的等离子体处理的时间作为输入信息而向输入装置107输入。由此，输入信息被输入到控制器100，控制器100指定输入信息所包含的等离子体处理的执行时间。进而，控制器100参照存储于存储装置151的动作履历，提取包括指定的时间和预定的范围内的时间的动作履历。并且，该动作履历所含有的波形不合格次数被登记为第一设定数。即，在等离子体处理的后处理的结果不良的情况下，推断为作为前处理而被执行的等离子体处理能力降低，该等离子体处理时的波形不合格次数被登记为第一设定数。并且，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，在显示装置106显示预兆告知画面。

这样，在大气压等离子体产生装置10中，在等离子体处理后执行了后处理的被处理体的品质不良的情况下的波形不合格次数被登记为第一设定数。并且，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，在显示装置106显示预兆告知画面。即，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，被判断为朝向电极24、26的电力供给状态成为因等离子体处理能力的降低而无法恰当地执行后处理的情况下的电力供给状态，显示有预兆告知画面。由此，作业者能够在考虑等离子体处理的后处理的同时识别等离子体处理能力的降低的预兆。

此外，不仅是等离子体处理的后处理的结果，作业者还通过其它手法来预料等离子体处理的能力降低，在预料到等离子体处理的能力降低的情况下，能够将输入信息向输入装置107输入。具体地说，例如，作业者使用达因笔，测定完成了等离子体处理的被处理体的接触角。此时，在接触角比预先假定的角度高的情况下，推断为等离子体处理能力降低。因此，作业者将执行了朝向该被处理体的等离子体处理的时间作为输入信息而向输入装置107输入。由此，第一设定数被登记，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，在显示装置106显示预兆告知画面。

此外，在大气压等离子体产生装置10中，每当输入测定值与动作履历建立关联而被存储于存储装置151时，在显示装置106显示这些输入测定值和动作履历。由此，即使在显示装置106显示有预兆告知画面之前，作业者也能够通过识别接触角测量仪152等的测定值、动作履历所含有的电流的极大值及每单位时间的波形不合格次数而在一定程度上推断基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理能力。

另外，在大气压等离子体产生装置10中，每当输入测定值与动作履历建立关联而被存储于存储装置151时，这些输入测定值和动作履历被从大气压等离子体产生装置10向PC110发送。并且，在PC110中，在显示装置112显示接收到的输入测定值和动作履历。由此，例如，工厂的管理者等也能够通过识别接触角测量仪152等的测定值、动作履历所含有的电流的极大值及每单位时间的波形不合格次数而在一定程度上推断基于大气压等离子体产生装置10的等离子体处理能力。

另外，在PC110中，接收到的输入测定值和动作履历被存储于存储装置114。由此，分析大气压等离子体产生装置10中的朝向电极24、26的供给电流的变化、每单位时间的波形不合格次数、接触角测量仪152等的测定值的关系，并能够在等离子体处理能力的降低的预兆中发挥作用。具体地说，例如，在PC110中，能够将接触角测量仪152等的测定值、即表示等离子体的处理能力的测定值与波形不合格次数的关系数式化。通过使用表示像这样地被数式化了的等离子体的处理能力的测定值与波形不合格次数的关系，能够恰当地推断与波形不合格次数相应的等离子体处理能力的降低的程度，能够恰当地识别等离子体处理能力的降低的预兆。

此外，如图9所示，大气压等离子体产生装置10的控制器100具备取得部160、运算部162、存储部164、状态判断部166、显示部168及输出部170。另外，运算部162具有条件判断部172。取得部160是用于按时间顺序取得电流的每一个周期的极大值即振幅而作为表示向电极24、26供给的电流的指标值的功能部。条件判断部172是用于判断电流的极大值是否满足设定条件的功能部，即，是用于判断检测极大值是否在平均极大值范围内的功能部。运算部162是用于对由条件判断部172判断出的次数并运算波形不合格次数进行计数的功能部。存储部164是用于将预定的时机即被判断为输入测定值达到阈值的情况下、或者向输入装置107输入了输入信息的情况下的波形不合格次数作为第一设定数而存储于存储装置151的功能部。状态判断部166是用于基于波形不合格次数和第一设定数来判断朝向电极24、26的电力供给状态是否成为等离子体处理能力降低时的电力供给状态的功能部。显示部168是用于在朝向电极24、26的电力供给状态成为等离子体处理能力降低时的电力供给状态的情况下将预兆告知画面显示于显示装置106的功能部。输出部170是用于将输入测定值和动作履历向PC110输出的功能部。

此外，本发明并不局限于上述实施例，能够通过基于本领域技术人员的知识实施了各种变更、改良的各种方式来进行实施。具体地说，例如，在上述实施例中，基于由检测传感器108检测的电流的极大值即振幅，计数波形不合格次数，但是也可以基于供电量，计数波形不合格次数。即，例如，如图10所示，在由检测传感器108检测的电流发生了变化的情况下，该电流波形的积分值即面积(图中的斜线部)形成为供电量。因此，监视每一个周期的供电量，在供电量超出设定范围的情况下，例如，在图10中，在供电量极端地降低的情况下，将波形不合格次数加1。这样，即使取代电流的极大值而采用供电量，也能够恰当地计数波形不合格次数。此外，不仅是基于向电极24、26供给的电流，也可以基于向电极24、26供给的电压，计数波形不合格次数。

另外，在上述实施例中，在控制装置16中执行用于推断大气压等离子体产生装置10的等离子体处理能力的降低的处理，但是也可以通过PC110等信息处理装置来执行。在这样的情况下，本发明的信息处理装置成为PC110。

另外，在上述实施例中，作为测定因等离子体照射而发生变化的物理特性的装置，采用了接触角测量仪、色差测量仪，但是只要是能够测定因等离子体照射而发生变化的物理特性的装置，则能够采用各种测定装置。例如，能够采用能够测定被处理体的表面自由能的装置。

另外，在上述实施例中，仅设定有第一设定数，在波形不合格次数成为第一设定数以上的情况下，显示有预兆告知画面，但是也可以设定多个设定数。这样，在设定有多个设定数的情况下，每当波形不合格次数成为各设定数以上时，显示有不同的告知画面。由此，能够多阶段地报告等离子体处理的降低。此外，作为报告的手法，并不局限于画面的显示，能够采用声音、灯的点亮、朝向用纸的印刷等各种手法。

附图标记说明

10：大气压等离子体产生装置(等离子体产生装置)16：控制装置(信息处理装置)24：电极26：电极107：输入装置(操作接收部)110：PC(外部装置)120：取得部122：判断部124：计数部126：显示部128：输出部。

Claims (8)

1.一种信息处理装置，具备控制装置，

所述控制装置具有：

取得部，按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的多个电极供给的电流的指标值，所述等离子体产生装置通过所述多个电极间的放电而产生等离子体；

判断部，判断由所述取得部取得的所述指标值是否满足设定条件；及

报告部，基于由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数，报告预定的信息，

所述指标值是向所述多个电极供给的电流的每一个周期的极大值，

所述判断部在通过所述取得部所取得的所述指标值处于包含平均极大值在内的平均极大值范围之外的情况下判断为不满足所述设定条件，其中所述平均极大值是在所述电极未发生劣化的状态下的极大值的平均值。

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

所述控制装置具有计数部，所述计数部对由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数进行计数，

在由所述计数部计数的计数值为设定数以上的情况下，所述报告部报告所述预定的信息。

3.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中，

所述计数部对由所述判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的每单位时间的次数进行计数。

4.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中，

所述信息处理装置具有操作接收部，该操作接收部接收通过用户操作对所述设定数的输入。

5.根据权利要求3所述的信息处理装置，其中，

所述信息处理装置具有操作接收部，该操作接收部接收通过用户操作对所述设定数的输入。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的信息处理装置，其中，

所述指标值是向所述多个电极供给的电流的振幅和供电量中的至少一方。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的信息处理装置，其中，

所述控制装置具有向外部装置输出所述指标值的输出部。

8.根据权利要求6所述的信息处理装置，其中，

所述控制装置具有向外部装置输出所述指标值的输出部。

Images