CN110441501B - 一种检测方法和检测系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种检测方法和检测系统，所述检测方法包括步骤：接收前制程机台制造传输来的基板以执行检测；采集基板的状态信息；根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息；判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台。本申请当检测到基板不合格后，会自动控制前制程机台停机，避免人工的一些意外事物所耽误的时间，提高停机动作的执行速率，从而提高了基板的生产效率。
Description
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种检测方法和检测系统。
背景技术
面板包括基板，基板为玻璃材质，在基板的生产中，由于生产设备、材料或者人工原因等，基板经常会存在缺陷,缺陷比较少或者没有的为合格产品，缺陷较多或者较严重的则为不合格的产品。
为了避免大量的缺陷产品的流出，需要进行基板的质量检测，基板的质量检测过程一般是通过人工检测基板是否合格，或者通过拍照等生成基板的缺陷图，然后人工判断是否合格，这样生产效率低。。
发明内容
本申请的目的是提供一种检测方法和检测系统，以提高生产率。
为实现上述目的，本申请提供了一种检测方法，包括步骤：
接收前制程机台制造传输来的基板以执行检测；
采集基板的状态信息；
根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息；
判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台。
可选的，所述判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则判定合格；否则，判定不合格，自动停机对应的前制程机台的步骤之后还包括步骤：
将不合格的基板传输到指定位置。
可选的，所述根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息的步骤包括步骤：
检测基板的型号，根据基板的型号调取对应的预设规则配置文件；
根据预设规则配置文件检测采集到的基板的状态信息。
可选的，所述根据预设规则配置文件检测采集到的基板的状态信息的步骤包括步骤：
根据预设规则配置文件采集基板的图片信息；
根据预设规则配置文件分析图片信息，计算生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息。
可选的，所述根据预设规则配置文件采集基板的图片信息的步骤包括步骤：
扫描基板以及基板上的缺陷；
根据预设规则配置文件选取缺陷中的预设类型缺陷，生成基板预设类型缺陷地图作为图片信息。
可选的，所述根据预设规则配置文件分析图片信息，计算生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息的步骤包括步骤：
根据预设规则配置文件分析作为图片信息的预设类型缺陷地图；
在预设类型缺陷地图定位预设类型缺陷的位置；
以每个预设类型缺陷为中心，为每个预设类型缺陷建立对应缺陷范围矩形框；
计算每个预设类型缺陷对应的缺陷范围矩形框内预设类型缺陷的数量，并分别对应每个预设类型缺陷生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息。
可选的，所述判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则判定合格；否则，判定不合格，自动停机对应的前制程机台的步骤包括步骤：
遍历所有预设范围缺陷数量信息，并判断是否全部满足预设标准；
若所有对应的预设缺陷范围信息均满足预设标准，则判定检测的基板符合预设标准，为合格的基板；
否则，检测的基板不符合预设标准，判定待检测的基板具有群聚性缺陷，则为不合格基板，并自动停机对应的前制程机台。
可选的，所述将不合格的基板传输到指定位置的步骤还包括步骤：
将不合格的基板传输到回收利用处。
本申请还提供了一种检测方法，包括步骤：
接收前制程机台制造并传输来的基板以执行检测；
检测基板的型号，根据型号调取对应的预设规则配置文件；
扫描基板以及基板上的缺陷；
根据预设规则配置文件检测缺陷中是否存在预设类型缺陷，若存在，则根据检测到的预设类型缺陷生成基板预设类型缺陷地图作为图片信息；否则，则判定基板为合格基板；
根据预设规则配置文件分析作为图片信息的预设类型缺陷地图；
在预设类型缺陷地图定位预设类型缺陷的位置；
以每个预设类型缺陷为中心，根据预设规则配置文件中的缺陷范围信息为每个预设类型缺陷建立对应缺陷范围矩形框；
计算每个预设类型缺陷对应的缺陷范围矩形框内预设类型缺陷的数量，并分别对应每个预设类型缺陷生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息；
遍历所有预设范围缺陷数量信息，并判断是否全部满足预设标准；
若所有对应的预设缺陷范围信息均满足预设标准，则判定检测的基板符合预设标准，基板为合格；
否则，检测的基板不符合预设标准，判定检测的基板具有群聚性缺陷，则为不合格的基板，并自动停机对应的前制程机台，将不合格的基板传输到指定位置。
本申请还提供了一种检测系统，使用本申请公开的检测方法，所述检测系统连接于前制程机台，所述检测系统包括传输模块、采集模块、分析处理模块以及控制模块；所述传输模块被配置为将所述前制程机台生产出的基板传输到检测位置；所述采集模块被配置为采集所述传输模块传输来的基板的状态信息；所述分析处理模块被配置为根据预设规则检测和分析所述采集模块采集到的基板的状态信息，并判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则判定基板为合格；否则，判定基板为不合格；所述控制模块根据检测结果决定是否控制前制程机台停机。
示例性技术中，当检测到基板不合格后，会人工通知前制程机台停机，然后会有专人根据不合格信息来对应检查前制程机台，避免前制程机台继续生产出不合格的基板，造成经济损失，而人工通知前制程机台停机过程中经常会出现通知速度慢、不及时等情况，导致不合格的基板继续产出，造成经济损失；而本申请中，当检测到基板不合格后，会自动控制前制程机台停机，这样，在要对前制程机台进行停机时，相对示例性技术，本申请可以排除人工的一些意外事物所耽误的时间，提高停机动作的执行速率，从而提高了基板的生产效率。
附图说明
所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是本申请的一种检测系统的示意图；
图2是本申请的检测系统运作流程的流程图；
图3是本申请的检测系统另一运作流程的流程图；
图4是本申请的其中一种检测方法的流程图；
图5是图4中步骤S13的其中一种展开的流程图；
图6是图4中步骤S14的其中一种展开的流程图；
图7是本申请的另一种检测方法的流程图；
图8是图7中步骤S31的其中一种展开的流程图。
其中，100、制造企业生产过程的执行管理系统MES；110、检测系统；111、传输模块；112、采集模块；113、分析处理模块；114、控制模块；120、前制程机台。
具体实施方式
这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本申请的示例性实施例的目的。但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
下面结合附图和实施例对本申请作说明。
示例性技术对基板上的缺陷进行检测和判断检测的基板是否合格的步骤都是由人工来完成的，例如可以是人眼来观察基板是否合格，或者是采集对应的缺陷照片后，人工判断是否合格，但是人工判断缺陷时具有一定主观性和一些不确定的因素影响判断准确性，而且人工判断的效率低，同时，在判断基板为不合格时，需要人工通知前制程机台的操作人员停机，而通知期间，整个产线仍在工作并可能继续产生不合规基板，造成经济损失。
图1是本申请的一种检测系统的示意图，如图1所示，本申请提供了一种检测系统，使用本申请公开的检测方法，所述检测系统连接于前制程机台，所述检测系统包括传输模块111、采集模块112、分析处理模块113以及控制模块114；所述传输模块111被配置为将所述前制程机台120生产出的基板传输到检测位置；所述采集模块112被配置为采集所述传输模块111传输来的基板的状态信息；所述分析处理模块113被配置为根据预设规则检测和分析所述采集模块112采集到的基板的状态信息，并判断基板的检测结果是否符合预设标准；所述控制模块114根据检测结果决定是否控制前制程机台120停机。所述检测系统110由制造企业生产过程的执行管理系统MES100控制。
其中，制造企业生产过程执行管理系统MES100与检测系统110之间通过信号连接；检测系统的传输模块111与检测系统的采集模块112、检测系统的控制模块114分别通过信号连接；检测系统的采集模块112与检测系统的分析处理模块113通过信号连接；检测系统的分析处理模块113与检测系统的控制模块114通过信号连接；检测系统的控制模块114与前制程机台120通过信号连接。
具体的，如图2所示，本申请检测系统运作流程的流程图，执行基板检测的检测系统110运行包括步骤：
S10、前制程机台将基板传输到检测系统的传输模块上；
S20、检测系统的传输模块将基板传输到检测系统的检测位置；
S30、检测系统的采集模块采集检测位置的基板的状态信息；
S40、检测系统的分析处理模块根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息，并判断基板的检测结果是否符合预设标准；符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板；
S50、当基板被判定为合格基板时，前制程机台正常运作；
S60、当基板被判定为不合格基板时，检测系统的控制模块向前制程机台发送停机信号，控制前制程机台停机。
本方案相对于示例性技术来说，自动化程度高，运作速率快，生产效率高。
另外，如图3所示，是本申请检测系统另一运作流程图，采用如下的方案：所述执行基板检测的检测系统110运行包括步骤：
S100、前制程机台将基板传输到检测系统的传输模块上；
S200、检测系统的传输模块将基板传输到检测系统的检测位置；
S300、检测系统的采集模块采集检测位置的基板的状态信息；
S400、检测系统的分析处理模块根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息，并判断基板的检测结果是否符合预设标准；符合，则判定基板为合格基板；否则，判定基板为不合格基板，并将不合格基板传输到指定位置；
S500、统计不合格基板占已检测基板的比例；
S600、判断比率是否满足预设要求，满足，则基板前制程机台正常运作；否则，检测系统的控制模块向前制程机台发送停机信号，控制前制程机台停机。
该基板不合格率的计算可以是统计已检测基板数量，以及检测到的不合格基板的数量，然后实际计算不合格基板占已检测基板数量的比率，要是比率较大，则合格率不满足预设要求，需要将对前制程机台发送停机信号，控制前制程机台停机。
考虑到基板的生产上质量合格率问题，合格率低会导致生产成本升高，而且合格率也反应了生产过程中是否有问题产生，如工艺参数设置、机械状态以及产线上的其它问题，还反应出一个制造业的生产实力，所以本方案根据基板的合格率来管控前制程机台，这样有助于优化产线。
当然，也可以根据在产出预设数量内，所允许的不合格基板的数量作为判断标准，即在产出预设数量内，若不合格基板的数量超标，例如产出预设数量为1000个，不合格数量不能超过5个，则若是在检测1000个基板之前，不合格数量达到5个，则检测系统的控制模块将对前制程机台发送停机信号，控制前制程机台停机。这样可以有效降低不合格基板的产出，还方便了解前制程机台的运行状况。
应用于上述的检测系统的检测方法，更具体的展示如下：
如图4所示，是本申请的其中一种检测方法的流程图，本申请一实施例公开了一种检测方法，包括步骤：
S11、接收前制程机台制造传输来的基板以执行检测；
S12、采集基板的状态信息；
S13、根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息；
S14、判断所述基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台。
对基板上的缺陷进行检测的步骤以及判断检测后的基板是否合格的步骤都是自动完成的，而非人工完成，这样检测与判断缺陷的标准相对人工来说更客观，误差更小，即准确率高，而且速率相对人工来说更快；当判定基板为不合格时，会自动控制前制程机台停机，这样，在要对前制程机台进行停机时，相对示例性技术，本申请可以排除人工的一些意外事物所耽误的时间，提高停机动作的执行速率，从而提高了基板的生产率。
具体的，如图5所示，是图4中步骤S13的其中一种展开的流程图，步骤S13还包括步骤：
S131、检测基板的型号，根据基板的型号调取对应的预设规则配置文件；
S132、根据预设规则配置文件检测采集到的基板的状态信息。
因为基板有多种型号，而不同型号的基板一般对检测有不同的预设规则，所以检测基板时要先确认基板的型号，然后根据型号调取对应的预设规则，然后利用对应调取的预设规则作为依据来检测基板，这样可以防止检测规则与基板型号不对应的问题，提高检测准确性。
其中，步骤S132还包括步骤：
S1321、根据预设配置文件采集基板的图片信息；
S1322、根据预设规则配置文件分析图片信息，计算生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息。
确认基板的缺陷状态是通过采集基板的图片信息，然后利用所述基板的预设规则来识别图片信息，并计算预设范围内的缺陷数量，因为本方案判断基板是否合格是以一定范围内缺陷数量是否合格为依据的，所以只需计算预设范围缺陷数量信息即可。
进一步的，步骤S1321还包括步骤：
S13211、扫描基板以及基板上的缺陷；
S13212、根据预设规则配置文件选取缺陷中的预设类型缺陷，生成基板预设类型缺陷地图作为图片信息。
因为每种类型的基板要求检测的缺陷类型不同，例如，预设缺陷类型可以预设包括L型缺陷，M型缺陷和S型缺陷，若当前检测的基板，只需要检测L型缺陷和M型缺陷两种类型的缺陷，那么在扫描基板时，会根据预设规则配置文件只对L型缺陷和M型缺陷两种类型的缺陷进行采集，然后生成预设类型缺陷地图。这样缺陷采集类型明确，可以提高效率，然后等比例还原到地图上不会产生过程误差，增加后续缺陷检测的准确性。其中，基板会作为基板预设类型缺陷地图的地图，而各预设类型缺陷则会对应在基板上的位置和排布等比例地被扫描到地图上以形成对应的基板预设类型缺陷地图。具体的，步骤S13212还包括步骤：
S132121、根据预设规则配置文件分析作为图片信息的预设类型缺陷地图；
S132122、在预设类型缺陷地图定位预设类型缺陷的位置；
S132123、以每个预设类型缺陷为中心，根据缺陷范围信息为每个预设类型缺陷建立对应缺陷范围矩形框；
S132124、计算每个预设类型缺陷对应的缺陷范围矩形框内预设类型缺陷的数量，并分别对应每个预设类型缺陷生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息。
对图片信息内的缺陷进行检测时，是以每个缺陷为中心的矩形框范围来确定围绕该缺陷的矩形框范围内的缺陷数量，这样后续只需判断每个缺陷对应的矩形框范围内的缺陷数量即可，规则简单，执行准确率高。当然，也可以是以每个缺陷为中心的圆形框范围，还可以是其它形状的范围，适用并合理即可。
其中，如图6所示，是图4中步骤S14的其中一种展开的流程图，步骤S14还包括步骤：
S141、遍历所有预设范围缺陷数量信息，并判断是否全部满足预设标准；
S142、符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台。
具体的，步骤S142还包括步骤：
S1421、若所有对应的预设缺陷范围信息均满足预设标准，则判定检测结果符合预设标准，检测合格；
S1422、否则，检测结果不符合预设标准，判定待检测基板具有群聚性缺陷，则为不合格基板，并自动停机对应的前制程机台。
对于检测到不合格基板，会自动停机对应的前制程机台，相比示例性技术，本方案的工作效率更高。
更具体的，步骤S1422还包括步骤：
S14221、将不合格基板传输到指定位置。
步骤S1421还包括步骤：
S14211、将合格基板传输到另一指定位置。
将不合格基板与合格基板分开放置可以防止混淆，方便管控和之后的处理。
当然，因为不合格基板的缺陷程度也有轻重，对于缺陷程度较轻的，为了节省成本，提高材料利用率，本方案会将缺陷程度较轻的基板传输到回收利用处进行除缺陷处理，然后重新利用；对于缺陷程度较重的基板，由于重新利用率低，会选择报废处理，即会将缺陷程度较重的基板传输到报废处理处，如此严格管控基板质量，保证了面板的质量。
其中，若没有检测到预设类型缺陷，则判定基板检测为合格。当然，还可能会送到其它检测装置或机械来检测。
如图7所示，是本申请的另一种检测方法的流程图，本申请一实施例还公开了一种检测方法，包括步骤：
S21、接收前制程机台制造并传输来的基板以执行检测；
S22、检测基板的型号，根据型号调取对应的预设规则配置文件；
S23、扫描基板以及基板上的缺陷；
S24、根据预设规则配置文件检测缺陷中是否存在预设类型缺陷，若存在，则根据检测到的预设类型缺陷生成基板预设类型缺陷地图作为图片信息；否则，则判定基板为合格基板；
S25、根据预设规则配置文件分析作为图片信息的预设类型缺陷地图；
S26、在预设类型缺陷地图定位预设类型缺陷的位置；
S27、以每个预设类型缺陷为中心，根据预设规则配置文件中的缺陷范围信息为每个预设类型缺陷建立对应缺陷范围矩形框；
S28、计算每个预设类型缺陷对应的缺陷范围矩形框内预设类型缺陷的数量，并分别对应每个预设类型缺陷生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息；
S29、遍历所有预设范围缺陷数量信息，并判断是否全部满足预设标准；
S30、若所有对应的预设缺陷范围信息均满足预设标准，则判定检测的基板符合预设标准，基板为合格；
S31、否则，检测的基板不符合预设标准，判定检测的基板具有群聚性缺陷，则为不合格的基板，并自动停机对应的前制程机台，将不合格的基板传输到指定位置。
本方案在检测基板时首先确定基板的型号，因为不同型号的基板对缺陷的类型要求不同，检测标准不同，这样确定对应的预设规则配置文件准确无误。然后根据预设规则配置文件可以高效率的采集并检测基板的对应要求的缺陷，通过以对应类型的每个缺陷为中心，根据缺陷范围信息为每个缺陷建立对应缺陷范围矩形框，然后对每个矩形框范围内的缺陷数量进行统计，将每一个统计数量与预设规则配置文件中的标准进行比较，只要有一个矩形框范围内的缺陷数量超标即可确定对应基板存在群聚性缺陷，为不合格基板，这样判断标准简单，整个基板的检测流程都是自动执行，排出人为等主观判断的误差，使检测准确性高。而检测到不合格基板时，会自动停机对应的前制程机台，这样使整个执行动作更迅速，效率更高，可以立刻停止不合格基板的继续产出，然后人员可以根据检测不合格的基板对前制程机台进行检查，如此，可以极大的提高生产率与基板的合格率；将不合格基板传输到指定位置可以防止不合格基板与合格基板混淆，提高管控效率。
其中，如图8所示，是图7中步骤S31的其中一种展开的流程图，步骤S31还包括步骤：
S311、判断前制程机台内是否有正在生产的基板；
S312、有，则先等前制程机台将所述基板产出，再使前制程机台停机；
S313、无，则立刻将前制程机台停机。
若前制程机台120内有正在生产的基板，立刻停机会造成该基板无法排出机台，前制程机台120也停止于加工的某一状态，这样加大了人员对前制程机台120检查的难度，同时，再次开机时，该基板也无法继续完成，导致浪费，所以应先等前制程机台将所述基板产出，再使前制程机台120停机，以节省基板材料以及检查时间；同理，若前制程机台120刚好完成一个基板，下一个基板的制程还没开始，这时前制程机台120处于复位状态，此时停止运行，可以方便人员进行检查，这样所花费的时间也较少。
本申请提供的所述预设规则配置文件内存储了产品编号，即基板型号Productid；对应基板型号的缺陷类型Defect Size Type-L、M，即L型缺陷和M型缺陷，缺陷类型可以根据缺陷的尺寸大小、形状等进行划分；以每个缺陷为中心的预设矩形框范围；每个矩形框范围内的对应预设类型缺陷的数量标准，例如300个；具体文件如下表1所示:
表1：预设规则配置文件的存储表
| Product id | Defect Size Type | 点范围(X) | 点范围(Y) | 范围内数目 |
| A | M、L | 5 | 5 | 300 |
本申请还提供了一种基板的缺陷检测文件，即本检测方法完成之后，可以根据检测结果对应生成基板的缺陷检测文件，所述基板的缺陷检测文件内存储了经过检测的基板型号Productid、玻璃原材型号Glassid、面板型号Panelid、前制程机台编号FPM(FrontProcessing Machine)、对应缺陷的矩形框范围的缺陷横坐标Defect-X1、缺陷纵坐标Defect-Y1、对应缺陷类型DST(Defect Size Type)包括M、L等类型、对应缺陷尺寸Defect-Size,以及对应缺陷的图片信息IFM(Image-File-Name)。保存基板的检测记录可以方便产品追溯，尤其是当产品出现问题，可以通过追溯来找到问题产生的根源，并及时解决问题，提高产线效率；具体基板的缺陷检测文件如下表2所示:
表2：基板的缺陷检测文件存储表
需要说明的是，本申请中涉及到的各步骤的限定，在不影响具体申请实施的前提下，并不认定为对步骤先后顺序做出限定，写在前面的步骤可以是在先执行的，也可以是在后执行的，甚至也可以是同时执行的，只要能实施本申请，都应当视为属于本申请的保护范围。
本申请涉及到柔性显示面板，所述的面板可以是(TN，Twisted Nematic)扭曲向列型面板、(VA，Vertical Alignment)垂直配向面板或(MVA，Multi-domain VerticalAlignment)多象限垂直配向面板，当然，也可以是其他类型的面板，适用即可。
以上内容是结合具体的可选实施方式对本申请所作的详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。
Claims (7)
1.一种检测方法，其特征在于，包括步骤：
接收前制程机台制造传输来的基板以执行检测；
采集基板的状态信息；
根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息；以及
判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则基板被判定为合格基板；否则，基板被判定为不合格基板，自动停机对应的前制程机台；
其中，所述根据预设规则来检测采集到的基板的状态信息的步骤包括步骤：
检测基板的型号，根据基板的型号调取对应的预设规则配置文件；
扫描基板以及基板上的缺陷；
根据预设规则配置文件分析作为图片信息的预设类型缺陷地图；
在预设类型缺陷地图定位预设类型缺陷的位置；
以每个预设类型缺陷为中心，为每个预设类型缺陷建立对应缺陷范围矩形框；
计算每个预设类型缺陷对应的缺陷范围矩形框内预设类型缺陷的数量，并分别对应每个预设类型缺陷生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息；
所述基板作为基板预设类型缺陷地图的地图，所述预设类型缺陷对应在所述基板上的位置和排布等比例地被扫描到地图上以形成对应的所述基板预设类型缺陷地图。
2.如权利要求1所述的一种检测方法，其特征在于，所述判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则判定合格；否则，判定不合格，自动停机对应的前制程机台的步骤之后还包括步骤：
将不合格的基板传输到指定位置。
3.如权利要求1所述的一种检测方法，其特征在于，所述判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则判定合格；否则，判定不合格，自动停机对应的前制程机台的步骤包括步骤：
遍历所有预设范围缺陷数量信息，并判断是否全部满足预设标准；
若所有对应的预设缺陷范围信息均满足预设标准，则判定检测的基板符合预设标准，为合格的基板；
否则，检测的基板不符合预设标准，判定待检测的基板具有群聚性缺陷，则为不合格基板，并自动停机对应的前制程机台。
4.如权利要求2所述的一种检测方法，其特征在于，所述将不合格的基板传输到指定位置的步骤还包括步骤:
将不合格的基板传输到回收利用处。
5.如权利要求1所述的一种检测方法，其特征在于，所述预设类型缺陷包括L型缺陷，M型缺陷和S型缺陷。
6.一种检测方法，其特征在于，包括步骤:
接收前制程机台制造并传输来的基板以执行检测；
检测基板的型号，根据型号调取对应的预设规则配置文件；
扫描基板以及基板上的缺陷；
根据预设规则配置文件检测缺陷中是否存在预设类型缺陷，若存在，则根据检测到的预设类型缺陷生成基板预设类型缺陷地图作为图片信息；否则，则判定基板为合格基板；
根据预设规则配置文件分析作为图片信息的预设类型缺陷地图；
在预设类型缺陷地图定位预设类型缺陷的位置；
以每个预设类型缺陷为中心，根据预设规则配置文件中的缺陷范围信息为每个预设类型缺陷建立对应缺陷范围矩形框；
计算每个预设类型缺陷对应的缺陷范围矩形框内预设类型缺陷的数量，并分别对应每个预设类型缺陷生成预设范围缺陷数量信息作为状态信息；
遍历所有预设范围缺陷数量信息，并判断是否全部满足预设标准；
若所有对应的预设缺陷范围信息均满足预设标准，则判定检测的基板符合预设标准，基板为合格；
否则，检测的基板不符合预设标准，判定检测的基板具有群聚性缺陷，则为不合格的基板，并自动停机对应的前制程机台，将不合格的基板传输到指定位置；
所述基板作为基板预设类型缺陷地图的地图，所述预设类型缺陷对应在所述基板上的位置和排布等比例地被扫描到地图上以形成对应的所述基板预设类型缺陷地图。
7.一种检测系统，使用如权利要求1-6任意一项所述的检测方法，所述检测系统连接于前制程机台，其特征在于，包括：
传输模块,被配置为将所述前制程机台生产出的基板传输到检测位置；
采集模块，被配置为采集所述传输模块传输来的基板的状态信息；
分析处理模块，被配置为根据预设规则检测和分析所述采集模块采集到的基板的状态信息，并判断基板的检测结果是否符合预设标准，符合，则判定基板为合格；否则，判定基板为不合格；以及
控制模块，根据检测结果决定是否控制前制程机台停机。
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