CN111289610A - 基板裂纹检测的方法及系统、存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种基板裂纹检测的方法及系统、存储介质,所述基板裂纹检测的方法包括发送步骤、数据库建立步骤、采集步骤、比对步骤以及拦截步骤,本发明通过将获取得到的基板每一行栅极线的周期波形与标准周期波形进行振幅比对,若振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。进而发送报警信号,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板,避免后续基板流入造成机台的污染从而影响产能。
Description
技术领域
本发明涉及面板检测技术领域,尤其涉及一种基板裂纹检测的方法及系统、存储介质。
背景技术
因面板生产过程中基板会因各种原因会产生裂纹而未完全破裂,进入到主制程机台后经过高温高压或基板反转制程时会发生破片从而污染制程机台,造成较大损失。
因此通过对每次后段发生破片时,断线短路测试机(OST)的波形分析,发现裂纹基板波形和正常基板有明显区别,但机台目前无法识别处裂纹处波形无警报产生,因此造成基板在后续制程上发生破片。
发明内容
本发明的目的,提供了一种基板裂纹检测的方法及系统、存储介质,通过获取得到的基板每一行栅极线的周期波形,并且与标准周期波形进行振幅比对,判定该基板是否出现裂纹。
为了达到上述目的,本发明提供一种基板裂纹检测的方法,包括:数据库建立步骤,获取一基板的每一行栅极线的音频信息,并得到每一行的周期波形;采集步骤,采集所述周期波形;比对步骤,将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对的到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。
进一步地,还包括:拦截步骤,拦截出现裂纹的基板。
进一步地,所述数据库建立步骤之前,包括:发送步骤,发送一交流电信号至所述基板的每一行栅极线,所述音频信息为该交流电信号的反馈信号。
进一步地,所述拦截步骤具体包括:报警步骤,发送报警信号;停止步骤,停止所述基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
本发明提供一种基板裂纹检测的系统,包括数据库以及控制系统;所述数据库中存储每一基板的每一行栅极线的音频信息以及周期波形;所述控制系统包括:采集单元,用以采集所述周期波形;比对单元,用以将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对得到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定所述基板出现裂纹。
进一步地,所述控制系统还包括:拦截单元,拦截出现裂纹的基板。
进一步地,所述控制系统还包括:发送单元,发送一交流电信号至所述基板每一行栅极线,所述音频信息为该交流点信号的反馈信号。
进一步地,所述拦截单元具体包括:报警单元,发送报警信号;停止单元,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
进一步地,所述采集单元以及所述比对单元集成于一处理器上。
本发明还提供一种存储介质,该存储介质上存储有计算机程序,执行所述计算机程序时可实现所述的基板裂纹检测的方法。
本发明的有益效果是:本发明提供了一种基板裂纹检测的方法及系统、存储介质,将获取得到的基板每一行栅极线的周期波形与标准周期波形进行振幅比对,若振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。进而发送报警信号,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板,避免后续基板流入造成机台的污染从而影响产能。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本发明提供的基板裂纹检测的方法的流程图。
图2为本发明提供的拦截步骤的流程图。
图3为本发明提供的基板裂纹检测的系统的功能模块图。
图4为本发明提供的拦截单元的功能模块图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“集成”、“相连”、“连接”可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本发明。此外,本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
如图1所示,本发明提供一种基板裂纹检测的方法,包括如下步骤S1~S5。
S1、发送步骤,发送一交流电信号至一基板每一行栅极线。
S2、数据库建立步骤,获取所述基板的每一行栅极线的音频信息,并得到每一行的周期波形。所述音频信息为该交流电信号的反馈信号
S3、采集步骤,采集所述周期波形。
S4、比对步骤,将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对得到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。
S5、拦截步骤,拦截出现裂纹的基板。
如图2所示,所述拦截步骤具体包括:S501~S502。
S501、报警步骤,发送报警信号。
S502、停止步骤,停止所述基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
本发明提供了一种基板裂纹检测的方法,通过获取得到的基板每一行栅极线的周期波形,并且与标准周期波形进行振幅比对,若振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。进而发送报警信号,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板,避免后续基板流入造成机台的污染从而影响产能。
如图3所示,本发明还提供一种基板裂纹检测的系,200,该检测系统应用于制备面板的机台设备,所述基板裂纹检测的系统200包括数据库210以及控制系统220,所述数据库210连接所述控制系统220。
所述数据库210中存储每一基板的每一行栅极线的音频信息以及周期波形。
所述控制系统220包括:发送单元201、采集单元202、比对单元203以及拦截单元204。
所述发送单元201发送一交流电信号至所述基板每一行栅极线,所述音频信息为该交流电信号的反馈信号。
所述采集单元202用以采集所述周期波形。
所述比对单元203用以将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对,若振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。
所述拦截单元204用以拦截出现裂纹的基板。
如图4所示,所述拦截单元204具体包括:报警单元2041以及停止单元2042。
所述报警单元2041用以发送报警信号。
所述停止单元2042用以停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
所述发送单元201、所述采集单元202、所述比对单元203以及所述拦截单元204集成于一处理器上。
本发明提供了一种基板裂纹检测的系统,通过获取得到的基板每一行栅极线的周期波形,并且与标准周期波形进行振幅比对,若振幅差值超过一预设值,则判定该基板出现裂纹。进而发送报警信号,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板,避免后续基板流入造成机台的污染从而影响产能。
本发明还提供一种存储介质,该存储介质上存储有计算机程序,在控制系统执行所述计算机程序时可实现所述的基板裂纹检测的方法。
以上对本发明进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案及其核心思想;本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种基板裂纹检测的方法,其特征在于,包括:
数据库建立步骤,获取一基板的每一行栅极线的音频信息,并得到每一行的周期波形;
采集步骤,采集所述周期波形;
比对步骤,将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对得到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定所述基板出现裂纹。
2.如权利要求1所述的基板裂纹检测的方法,其特征在于,还包括:
拦截步骤,拦截出现裂纹的基板。
3.如权利要求1所述的基板裂纹检测的方法,其特征在于,
所述数据库建立步骤之前,包括:
发送步骤,发送一交流电信号至所述基板的每一行栅极线,所述音频信息为该交流电信号的反馈信号。
4.如权利要求2所述的基板裂纹检测的方法,其特征在于,
所述拦截步骤包括:
报警步骤,发送报警信号;
停止步骤,停止所述基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
5.一种基板裂纹检测的系统,其特征在于,包括数据库以及控制系统;
所述数据库中存储每一基板的每一行栅极线的音频信息以及周期波形;
所述控制系统包括:
采集单元,用以采集所述周期波形;
比对单元,用以将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对得到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定所述基板出现裂纹。
6.如权利要求5所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,所述控制系统还包括:
拦截单元,拦截出现裂纹的基板。
7.如权利要求5所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,
所述控制系统还包括:
发送单元,发送一交流电信号至所述基板每一行栅极线,所述音频信息为该交流点信号的反馈信号。
8.如权利要求6所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,
所述拦截单元具体包括:
报警单元,发送报警信号;
停止单元,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
9.如权利要求5所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,
所述采集单元以及所述比对单元集成于一处理器上。
10.一种存储介质,该存储介质上存储有计算机程序,在控制系统执行
所述计算机程序时可实现如权利要求1~4中任一项所述的方法。
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