CN110396677A - 一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 94
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims description 3
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- PZZOEXPDTYIBPI-UHFFFAOYSA-N 2-[[2-(4-hydroxyphenyl)ethylamino]methyl]-3,4-dihydro-2H-naphthalen-1-one Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CCNCC1C(=O)C2=CC=CC=C2CC1 PZZOEXPDTYIBPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000033764 rhythmic process Effects 0.000 description 1
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H3/00—Air heaters
- F24H3/02—Air heaters with forced circulation
- F24H3/04—Air heaters with forced circulation the air being in direct contact with the heating medium, e.g. electric heating element
- F24H3/0405—Air heaters with forced circulation the air being in direct contact with the heating medium, e.g. electric heating element using electric energy supply, e.g. the heating medium being a resistive element; Heating by direct contact, i.e. with resistive elements, electrodes and fins being bonded together without additional element in-between
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
本发明公开一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，所述方法包括下述步骤：将所述设备置于载具上，将所述载具水平或竖直放置，向所述载具的受热面通入热风；所述热风的温度为150‑500℃，所述热风的速度为不小于0.1米/秒。本发明能够提高加热效率，缩短加热时间，进而减少生产节拍。
Description
技术领域
本发明涉及光伏电池制造技术领域，具体涉及一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法。
背景技术
大规模原子层沉积设备生产能力受到装载量和生产节拍两个因素制约，为了提高产量尽量提高装载量，尽量减少生产节拍。生产节拍又包含插片、传动、加热、抽真空、镀膜工艺（含预处理和吹扫管路）、冷却、卸片等过程，为了节约时间，传动可能贯穿于其他过程中对节拍时间影响较小；抽真空也可以同时发生在加热过程中对节拍影响也较小；连续生产时插片和分片通常同时进行，称为插分片（或导片）。这样关键节拍的过程为插分片、加热、镀膜工艺、冷却等4个环节。
通常大规模原子层沉积设备都采用热辐射或自然对流加热，加热速率低加热时间15分钟以上甚至达到50分钟，大大影响节拍时间进一步影响设备生产能力。
发明内容
发明目的：本发明目的在于针对现有技术的不足，提供一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，提高加热效率，缩短加热时间，进而减少生产节拍。
技术方案：本发明所述一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，所述方法包括下述步骤：将所述设备置于载具上，将所述载具水平或竖直放置，向所述载具的受热面通入热风；所述热风的温度为150-500℃，所述热风的速度为不小于0.1米/秒。
优选地，所述设备为硅片或晶圆，所述受热面为载具表面，所述设备垂直于受热面，所述热风以30°-90°的角度吹向受热面。
优选地，所述设备为硅片或晶圆，所述受热面为载具表面，所述设备平行于受热面，所述热风的风向与受热面平行。
优选地，所述受热面为光滑平面或粗糙起伏面。粗糙起伏面可以增加受热面积，使加热效果更佳。
优选地，所述热风的热源包括加热元件和风管路，所述加热元件与风管路位于相同或不同的空间。
优选地，所述风管路为每平米不小于20个出风口。
优选地，所述风管路为每平米大于200个出风口。
优选地，所述加热元件为电热管或电热丝或电热片。
优选地，所述风管路出风口与载具的间距为小于200mm。
优选地，所述风管路出风口与载具的间距为2-10mm。
优选地，所述热风的热源包括加热元件和风管路，所述风管路的单个出风口的面积为100-10000平方毫米，累计出风口的面积为1000-1000000平方毫米。
所述热风为循环风或者有源风；所述热风的介质为空气或氮气。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：本发明采用强制对流方法进行加热，大大增加加热速率，可以将加热时间减少到15分钟以下，甚至5分钟以下，同时加热过程往往伴随其他耗能，比如设备表面热耗散，真空泵等附属设备的耗能等，本发明可以有效减少加热过程中的能量消耗，达到减少节拍时间增加设备生产能力的目的。作为优选方案，所述风管路的出风口为每平米不小于20个出风口，更优为每平米大于200个出风口，有利于对设备的均匀加热。
附图说明
图1为本发明实施例1的结构图。
图2为本发明实施例2的结构图。
图3为本发明实施例3的结构图。
图4为本发明实施例4的结构图。
附图中，1-载具，2-热源，3-热风，4-加热元件，5-风管路。
具体实施方式
下面通过具体实施例和附图对本发明技术方案进行详细说明，但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。
实施例1
一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，参照图1，所述方法包括下述步骤：将设备置于载具1上，将载具1竖直放置，向载具1的受热面通入热风3；热风3的温度为150℃，所述热风的速度为0.1米/秒。
其中，所述设备为硅片，所述受热面为载具表面，为粗糙起伏面，所述设备垂直于受热面，热风3以30°的角度吹向受热面；热风3的热源2包括加热元件4和风管路5，加热元件4与风管路5位于相同的空间，风管路5为每平米20个出风口，加热元件4为电热丝，风管路5出风口与载具1的间距为10mm。
本实施例采用强制对流方法进行加热，大大增加加热速率，可以将加热时间减少到5分钟以下，同时加热过程往往伴随其他耗能，比如设备表面热耗散，真空泵等附属设备的耗能等，本实施例可以有效减少加热过程中的能量消耗，达到减少节拍时间增加设备生产能力的目的。
实施例2
一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，参照图2，所述方法包括下述步骤：将设备置于载具1上，将载具1竖直放置，向载具1的受热面通入热风3；热风3的温度为500℃，所述热风的速度为0.2米/秒。
其中，所述设备为晶圆，所述受热面为载具表面，为粗糙起伏面，所述设备垂直于受热面，热风3以90°的角度吹向受热面；热风3的热源2包括加热元件4和风管路5，加热元件4与风管路5位于相同的空间，风管路5为每平米200个出风口，加热元件4为电热片，风管路5出风口与载具1的间距为2mm。
本实施例采用强制对流方法进行加热，大大增加加热速率，可以将加热时间减少到5分钟以下，同时加热过程往往伴随其他耗能，比如设备表面热耗散，真空泵等附属设备的耗能等，本实施例可以有效减少加热过程中的能量消耗，达到减少节拍时间增加设备生产能力的目的。
实施例3
一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，参照图3，所述方法包括下述步骤：将设备置于载具1上，将载具1竖直放置，向载具1的受热面通入热风3；热风3的温度为300℃，所述热风的速度为0.3米/秒。
其中，所述设备为晶圆，所述受热面为载具表面，为光滑平面，所述设备垂直于受热面，热风3以60°的角度吹向受热面；热风3的热源2包括加热元件4和风管路5，加热元件4与风管路5位于不同的空间，加热元件4在其他空间将介质加热，再通过风管路5将风导流到载具1，风管路5为每平米100个出风口，加热元件4为电热管，风管路5出风口与载具1的间距为6mm。
本实施例采用强制对流方法进行加热，大大增加加热速率，可以将加热时间减少到5分钟以下，同时加热过程往往伴随其他耗能，比如设备表面热耗散，真空泵等附属设备的耗能等，本实施例可以有效减少加热过程中的能量消耗，达到减少节拍时间增加设备生产能力的目的。
实施例4
一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，参照图4，所述方法包括下述步骤：将设备置于载具1上，将载具1竖直放置，向载具1的受热面通入热风3；热风3的温度为150℃，所述热风的速度为0.1米/秒。
其中，所述设备为硅片，所述受热面为载具表面，为粗糙起伏面，所述设备平行于受热面，热风3的风向与受热面平行；热风3的热源包括加热元件4和风管路，所述风管路的单个出风口的面积为100平方毫米。
本实施例采用强制对流方法进行加热，大大增加加热速率，可以将加热时间减少到5分钟以下，同时加热过程往往伴随其他耗能，比如设备表面热耗散，真空泵等附属设备的耗能等，本实施例可以有效减少加热过程中的能量消耗，达到减少节拍时间增加设备生产能力的目的。
如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本发明，但其不得解释为对本发明自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本发明的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。
Claims (10)
1.一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：将所述设备置于载具上，将所述载具水平或竖直放置，向所述载具的受热面通入热风；所述热风的温度为150-500℃，所述热风的速度为不小于0.1米/秒。
2.根据权利要求1所述的快速加热方法，其特征在于，所述设备为硅片或晶圆，所述受热面为载具表面，所述设备垂直于受热面，所述热风以30°-90°的角度吹向受热面。
3.根据权利要求1所述的快速加热方法，其特征在于，所述设备为硅片或晶圆，所述受热面为载具表面，所述设备平行于受热面，所述热风的风向与受热面平行。
4.根据权利要求1或2或3所述的快速加热方法，其特征在于，所述受热面为光滑平面或粗糙起伏面。
5.根据权利要求1或2所述的快速加热方法，其特征在于，所述热风的热源包括加热元件和风管路，所述加热元件与风管路位于相同或不同的空间。
6.根据权利要求5所述的快速加热方法，其特征在于，所述风管路为每平米不小于20个出风口。
7.根据权利要求6所述的快速加热方法，其特征在于，所述风管路为每平米大于200个出风口。
8.根据权利要求5所述的快速加热方法，其特征在于，所述加热元件为电热管或电热丝或电热片。
9.根据权利要求5所述的快速加热方法，其特征在于，所述风管路出风口与载具的间距为小于200mm；优选地，所述风管路出风口与载具的间距为2-10mm。
10.根据权利要求3所述的快速加热方法，其特征在于，所述热风的热源包括加热元件和风管路，所述风管路的单个出风口的面积为100-10000平方毫米，累计出风口的面积为1000-1000000平方毫米。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910561174.8A CN110396677A (zh) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910561174.8A CN110396677A (zh) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法 |
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|---|---|
| CN110396677A true CN110396677A (zh) | 2019-11-01 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910561174.8A Pending CN110396677A (zh) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 一种超大规模原子层沉积设备的快速加热方法 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN110396677A (zh) |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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