CN110373643A

CN110373643A - 一种ito旋转靶绑定方法

Info

Publication number: CN110373643A
Application number: CN201910774097.4A
Authority: CN
Inventors: 陈明恒
Original assignee: Dongguan Oulai Sputtering Target Co Ltd
Current assignee: Dongguan Oulai Sputtering Target Co Ltd
Priority date: 2019-08-21
Filing date: 2019-08-21
Publication date: 2019-10-25
Anticipated expiration: 2039-08-21
Also published as: CN110373643B

Abstract

本发明为一种ITO旋转靶绑定方法，包括背管定位、ITO靶管在背管上定位保持和背管的同心度，结合密封圈定位效果，在背管和ITO靶管间的浇筑空间浇筑绑定焊料，背管中间的内加热杆和ITO靶管外包裹的加热布包结合控制加热温度，完成单节ITO旋转靶绑定，利用密封圈在背管上的密封定位重复浇筑，实现整靶的生产，整体生产过程简单易控制，且产品绑定焊合率高。

Description

一种ITO旋转靶绑定方法

技术领域

本发明涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种ITO旋转靶绑定方法。

背景技术

ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。因此，铟锡氧化物通常喷涂在玻璃、塑料及电子显示屏上，用作透明导电薄膜，同时减少对人体有害的电子辐射及紫外、红外。ITO薄膜的用处越来越广，而镀膜过程的主要原料需使用ITO靶材，根据靶材的物理性能，实际使用过程中需要将靶材和背管绑定使用，而绑定效果常常影响着靶材的使用效果。尤其是针对长旋转靶，其浇筑的金属层的性能均匀影响最后的绑定焊合率，常规的绑定方法容易使背管变形，良品率底，为了解决此问题，需要一种操作方便且绑定焊合率高的绑定方法。

发明内容

本发明的目的在于针对以上技术问题，提供一种ITO旋转靶绑定方法。

一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于包括如下步骤：

1)在绑定装置的内加热杆上套入工装底盘，在所述内加热杆上继续套入石墨环，所述石墨环装入工装底盘；

2)在所述内加热杆上套入背管，所述背管在石墨环上定位，内加热杆加热，将背管的温度均保持在170-300℃；

3)在所述背管上套入密封圈，所述密封圈的截面壁厚根据绑定间隙设为0.5-1.5毫米，将包覆有加热布包的ITO靶管套入背管，所述ITO靶管与所述背管的端头通过所述石墨环定位，所述ITO靶管与所述背管的底部间隙通过密封圈密封，通过所述石墨环和所述密封圈的定位，保持背管和ITO靶管的同心度；

4)ITO靶管和背管间形成浇筑空间，浇筑空间内加入定位珠，通过控制所述内加热杆和所述加热布包的加热功率，使背管、ITO靶管和绑定焊料之间的温差小于50℃，开始绑定，向浇筑空间内注入绑定焊料，单节ITO旋转靶绑定完成；

5)单节ITO旋转靶绑定完成后，在背管上继续套入密封圈，用作下一节ITO靶管与背管之间的密封，同时利于两节钼管之间的定位，重复步骤4)，直至全部绑定完成；

6)整靶绑定完成后，关闭内加热杆和加热布包的电源，保持加热布包包裹状态，整体降至室温后，拆除加热布包；

7)在背管顶部安装吊装盘，用连接杆连接吊装盘和工装底盘，将绑定完成的整靶移走，拆除吊装盘和工装底盘。

在其中一个实施例中，所述步骤1)中所述工装底盘的包括从下至上的下定位部和上定位部，所述下定位部内侧壁与所述内加热杆的底座间隙配合，所述上定位部的内侧壁与所述下定位部的上端面形成一个垂直平台，所述石墨环的下端在垂直平台上定位，所述石墨环的上端与下端间形成放置背管的第二平台，所述背管在第二平台上定位。

在其中一个实施例中，所述步骤3)中所述密封圈材质为纯铜，所述密封圈的截面尺寸根据绑定间隙设定为0.5-1.5mm。

在其中一个实施例中，所述步骤3)中ITO靶管上包覆的加热布包保持加热状态，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温。

在其中一个实施例中，所述步骤3)中所述ITO靶管与所述背管底部间隙的密封圈的截面壁厚与绑定间隙相同，为0.5-1.5毫米。

在其中一个实施例中，所述步骤5)中整靶绑定过程中每节ITO靶管间均间隔一个所述密封圈，密封圈的厚度为绑定间隙。

在其中一个实施例中，所述密封圈套设在所述内加热杆上，所述ITO靶管底部在密封圈外侧定位。

在其中一个实施例中，所述步骤7)中所述吊装盘四周均匀安装有若干跟拉杆，所述拉杆底端固定于所述工装底盘上，所述拉杆与所述背管平行。

在其中一个实施例中，在所述背管安装在绑定装置前，对所述ITO靶管和背管进行预处理，包括以下子步骤，

1.1)背管喷砂、清洗、金属化处理；

1.2)ITO靶管外层均匀涂覆高温胶，所述高温胶的厚度为2-4毫米，放置1-3小时自然晾干；

1.3)使用加热布包将ITO靶管紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温；

1.4)将金属化后的ITO靶管与背管绑定，将ITO靶管与背管的温度均保持在170-300℃。

在其中一个实施例中，在所述步骤1.2)中，所述高温胶选用软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，高温胶使用涂抹的方式是均匀涂覆在所述ITO靶管外层，ITO靶管的高温胶涂覆是使用涂胶设备进行高温胶涂覆，涂胶设备包括定位转动装置和刮刀器，ITO靶管水平固定在定位转动装置上，定位转动装置带动ITO靶管匀速转动，转动过程中刮刀器通过前进后退距离进行厚度控制，所述步骤1.3)中ITO靶管为单节靶管，ITO靶管金属化时间为2-3小时，所述加热布包呈中间开口的圆柱体，加热布开口的两边设有粘接口，加热布包与所述ITO靶管尺寸相同，加热布包内发热元件分布均匀，加热布包连接有用于调节功率的变压器。

使用以上方法对ITO旋转靶绑定，具有以下进步：

(1)通过石墨环在工装底盘上的定位、背管在石墨环上定位、密封圈和石墨环对ITO靶管的定位，保持背管和ITO靶管同心度，则背管和ITO靶管间的浇筑空间形状均匀，最后得到的绑定焊料的壁厚均匀，有利于提高绑定焊合率；

(2)使用单节ITO靶管在背管上绑定，然后重复累加的方式便于生产任意长度的旋转靶，由于单节ITO靶管浇筑易控制，使用重复的方式利于整体产品的良品率；

(3)使用内加热杆和加热布包配合加热，背管、ITO靶管和绑定焊料间的温差易控制，有效提高绑定焊料在浇筑空间内的结晶效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明整靶绑定组装剖面结构示意图。

图2是本发明整靶绑定结构A处放大结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图1、2和实施方式对本发明作进一步详细的说明。

一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于包括如下步骤：

1)在绑定装置的内加热杆1上套入工装底盘2，在所述内加热杆1上继续套入石墨环3，所述石墨环3装入工装底盘2；

2)在所述内加热杆1上套入背管4，所述背管4在石墨环3上定位，内加热杆1加热，将背管的温度均保持在170-300℃；

3)在所述背管4上套入纯铜密封圈5，所述密封圈5的截面壁厚根据绑定间隙设为0.5-1.5毫米，将包覆有加热布包的ITO靶管9套入背管4，加热布包保持加热状态，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温，所述ITO靶管9与所述背管4的端头通过所述石墨环3定位，所述ITO靶管9与所述背管4的底部间隙通过密封圈5密封，通过所述石墨环3和所述密封圈5的定位，保持背管4和ITO靶管9的同心度；

4)ITO靶管9和背管4间形成浇筑空间6，浇筑空间6内加入定位珠，通过控制所述内加热杆1和所述加热布包的加热功率，使背管4、ITO靶管9和绑定焊料之间的温差小于50℃，开始绑定，向浇筑空间6内注入绑定焊料，单节ITO旋转靶绑定完成；

5)单节ITO旋转靶绑定完成后，在背管4上继续套入密封圈5，用作下一节ITO靶管9与背管4之间的密封，同时利于两节钼管之间的定位，重复步骤4)，直至全部绑定完成；

6)整靶绑定完成后，关闭内加热杆1和加热布包的电源，保持加热布包包裹状态，整体降至室温后，拆除加热布包；

7)在背管4顶部安装吊装盘8，用连接杆7连接吊装盘8和工装底盘2，将绑定完成的整靶移走，拆除吊装盘8和工装底盘2。

对任意长度旋转靶的制备，绑定焊料在ITO靶管9和背管4间形成的效果影响最后的绑定焊合率，为了提高最后靶材溅射镀膜效果，ITO靶管9和背管4间的绑定焊料需要各处尺寸相同、各处结晶均匀。为了实现这一技术效果，本技术方案使用分节绑定浇筑的方法，利于控制每段绑定焊料的结晶。通过石墨环3在工装底盘2上的定位、背管4在石墨环3上定位、密封圈5和石墨环3对ITO靶管9的定位，保持背管4和ITO靶管9同心度，则背管4和ITO靶管9间的浇筑空间6形状均匀，最后得到的绑定焊料的壁厚均匀。使用的纯铜材质的密封圈5，导热效果好，延展性高，避免两节钼管间产生形变，影响最后产品性能。另外，ITO靶管9使用加热布包包裹加热，且安装过程保持加热状态，避免预处理至绑定过程中温度变化影响性能，使用内加热杆1和加热布包结合进一步精确控制背管4、ITO靶管9和绑定焊料的温差，提高绑定焊料的结晶效果。

如图1和图2所示，工装底盘2的包括从下至上的下定位部21和上定位部22，所述下定位部21内侧壁与所述内加热杆1的底座间隙配合，工装底盘2稳定在内加热杆1上，上定位部22的内侧壁与下定位部21的上端面形成一个垂直平台23，石墨环3的下端在垂直平台23上定位，石墨环3以内加热杆1为中心在工装底盘2上定位。石墨环3的上端与下端间形成放置背管4的第二平台31，背管4在第二平台31上定位，背管4实现以内加热杆1为中心在石墨环3上定位。背管4定位后在内加热杆1上套入密封圈5，密封圈5辅助ITO靶管9以内加热杆1为中心定位，背管4和ITO靶管9均以内加热杆1为中心，实现了同心度契合，背管4和ITO中间形成的浇筑空间6各处厚度均匀，各处受热均匀，提高浇筑结晶成型质量。单节ITO靶管9绑定完成后，继续通过密封圈5的密封和定位效果套入ITO靶管9浇筑绑定，直至整靶绑定完成。

整靶绑定完成后，关闭内加热杆1和加热布包的电源，保持加热布包包裹状态，整体降至室温后，拆除加热布包，降至室温后再拆除加热布包，避免绑定完成的ITO靶管9遇到冷空气温度突变破裂。拆除加热布包后，在背管4顶端加装吊装盘8，背管4底部和石墨环3一起定位在工装底盘2上，工装底盘2和吊装盘8通过连接杆7连接，连接杆7均匀平行分布于背管4四周，利于整靶在内加热杆1上移走时各处受力均匀，最后拆除吊装盘8和工装底座。

以下表格ITO靶管与背管的绑定温度设定在170-300℃，加热布包选用整体热转化效率为70-90％，相对应的，所对应的加热布包设置的温度具体看以下表格：

实施例1

一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于包括如下步骤：

2)在所述内加热杆1上套入背管4，所述背管4在石墨环3上定位，内加热杆1加热，将背管的温度均保持在170℃；

3)在所述背管4上套入纯铜密封圈5，所述密封圈5的截面壁厚根据绑定间隙设为0.5毫米，将包覆有加热布包的ITO靶管9套入背管4，加热布包保持加热状态，选用热转化效率为90％的加热布包，加热布包温度为189℃，全程保温，所述ITO靶管9与所述背管4的端头通过所述石墨环3定位，所述ITO靶管9与所述背管4的底部间隙通过密封圈5密封，通过所述石墨环3和所述密封圈5的定位，保持背管4和ITO靶管9的同心度；

4)ITO靶管9和背管4间形成浇筑空间6，浇筑空间6内加入定位珠，通过控制所述内加热杆1和所述加热布包的加热功率，使背管4、ITO靶管9和绑定焊料之间的温差小于20℃，开始绑定，向浇筑空间6内注入绑定焊料，单节ITO旋转靶绑定完成；

实施例2

一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于包括如下步骤：

2)在所述内加热杆1上套入背管4，所述背管4在石墨环3上定位，内加热杆1加热，将背管的温度均保持在200℃；

3)在所述背管4上套入纯铜密封圈5，所述密封圈5的截面壁厚根据绑定间隙设为1毫米，将包覆有加热布包的ITO靶管9套入背管4，加热布包保持加热状态，选用热转化率为80％的加热布包，加热布包温度控制在250℃，全程保温，所述ITO靶管9与所述背管4的端头通过所述石墨环3定位，所述ITO靶管9与所述背管4的底部间隙通过密封圈5密封，通过所述石墨环3和所述密封圈5的定位，保持背管4和ITO靶管9的同心度；

4)ITO靶管9和背管4间形成浇筑空间6，浇筑空间6内加入定位珠，通过控制所述内加热杆1和所述加热布包的加热功率，使背管4、ITO靶管9和绑定焊料之间的温差小于30℃，开始绑定，向浇筑空间6内注入绑定焊料，单节ITO旋转靶绑定完成；

实施例3

一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于包括如下步骤：

2)在所述内加热杆1上套入背管4，所述背管4在石墨环3上定位，内加热杆1加热，将背管的温度均保持在300℃；

3)在所述背管4上套入纯铜密封圈5，所述密封圈5的截面壁厚根据绑定间隙设为1.5毫米，将包覆有加热布包的ITO靶管9套入背管4，加热布包保持加热状态，选用热转化率为70％的加热布包，加热布包的温度控制为428.6℃，全程保温，所述ITO靶管9与所述背管4的端头通过所述石墨环3定位，所述ITO靶管9与所述背管4的底部间隙通过密封圈5密封，通过所述石墨环3和所述密封圈5的定位，保持背管4和ITO靶管9的同心度；

对实施例1-3得到的旋转靶进行C-SCAN检测绑定焊合率均在97％以上。另外，整靶绑定的良品率高达99.2％。

其中对背管4安装在绑定装置之前，对ITO靶管9和背管4进行预处理，包括如下子步骤：

1.1)背管4喷砂、清洗、金属化处理；

1.2)ITO靶管9外层使用涂抹的方式均匀涂覆软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶高温胶，所述高温胶的厚度为2-4毫米，放置1-3小时自然晾干；

高温胶选用耐高温性能达到500℃以上的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，较佳的，高温胶选用软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，高温胶使用涂抹的方式均匀涂覆在ITO靶管9外层。

在步骤1.2)中，高温胶选用软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，高温胶使用涂抹的方式是均匀涂覆在ITO靶管9外层，ITO靶管9的高温胶涂覆是使用涂胶设备进行高温胶涂覆，涂胶设备包括定位转动装置和刮刀器，ITO靶管9水平固定在定位转动装置上，定位转动装置带动ITO靶管9匀速转动，转动过程中刮刀器通过前进后退距离进行厚度控制。

1.3)使用碳纤维加热布包将单节ITO靶管9缠绕紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化2-3小时，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温；

步骤1.3)中ITO靶管9为单节靶管，ITO靶管9金属化时间为2-3小时，加热布包呈中间开口的圆柱体，加热布开口的两边设有粘接口，加热布包与ITO靶管9尺寸相同，加热布包内发热元件分布均匀，加热布包连接有用于调节功率的变压器。

1.4)将金属化后的ITO靶管9与背管4绑定，将ITO靶管9与背管4的温度均保持在170-300℃。

ITO靶管9和背管4预处理过程的主要作用就是使ITO靶管9内部金属化，且各处金属化物理、化学性质一致，使得最后溅射过程中镀设成膜的效果好。靶管预处理过程中主要解决两个问题，一个是靶管表面的硬度通常较小，容易在操作、移动过程中磕碰划伤，另一个就是如何实现内部金属化的匀质。为了解决这两个问题，本技术方案在ITO靶管9外表面均匀涂覆2-4毫米高温胶，高温胶凝固后会有一定的弹性，在ITO靶管9外表面形成保护膜，避免了ITO靶管9的磕碰划伤，同时利用高温胶较好的导热性能，结合包裹的加热包，使ITO靶管9各处受热均匀，实现内部金属化均质的效果。高温胶和加热布包一起结合使用，高温胶在ITO靶管9和加热布包中间形成了加热介质，同时高温胶在ITO靶管9上的均匀涂覆提高了ITO靶管9的受热均匀性，进一步避免了加热布包直接对ITO靶管9加热可能带来的破裂现象。

对ITO靶管9涂覆高温胶的过程，将ITO靶管9水平固定在涂胶设备的定位转动装置上，ITO靶管9在匀速转动过程中旁边的刮刀器将高温胶均匀涂覆ITO靶管9。通过控制刮刀器与ITO靶管9的距离实现高温胶厚度的调节，刮刀器离ITO靶管9近，高温胶厚度薄，刮刀器远离ITO靶管9，高温胶较厚，综合考虑高温胶防碰撞以及加热介质的作用效果，将高温胶厚度控制在2-4毫米。另外，为了避免高温胶干燥过程中厚度的变化，使用自然风干的方式。ITO靶管9在绑定完成后，表面的高温胶可以直接去除，不影响后面成品靶材的使用。

加热布包上的发热元件分布均匀，连接有用于调节功率的变压器，实现功率可调、温度可控的效果，同时加热布包升温曲线缓慢，避免温度突变使ITO靶管9产生裂缝。

加热布包根据ITO靶管9形状定制，加热布包呈圆柱形，完全匹配ITO靶管9形状，以保证与高温胶层完全面接触，ITO靶管9各处受热均匀。加热布包的两边即沿着ITO靶管9长度方向设有粘结口，方便加热布包包覆ITO靶管9后固定，同时加热布包可以循环使用。当ITO靶管9长度较长时，可以同时使用多个加热布包一起组合使用。

实施例4

ITO靶管9和背管4进行预处理，包括如下子步骤：

1.1)背管4喷砂、清洗、金属化处理；

1.2)ITO靶管9外层使用涂抹的方式均匀涂覆软质弹性的耐温环氧胶高温胶，所述高温胶的厚度为2毫米，放置1小时自然晾干；

1.3)使用碳纤维加热布包将单节ITO靶管9缠绕紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化2小时，若选用热转化效率为70％的加热布包，则加热布包温度设置在428.6℃，若选用热转化效率为90％的加热布包，则加热布包温度设置在333.4℃，全程保温；

1.4)将金属化后的ITO靶管9与背管4绑定，将ITO靶管9与背管4的温度均保持在300℃。

实施例5

ITO靶管9和背管4进行预处理，包括如下子步骤：

1.1)背管4喷砂、清洗、金属化处理；

1.2)ITO靶管9外层使用涂抹的方式均匀涂覆软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶高温胶，所述高温胶的厚度为3毫米，放置2小时自然晾干；

1.3)使用碳纤维加热布包将单节ITO靶管9缠绕紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化2.5小时，若选用热转化效率为70％的加热布包，则加热布包温度设置在285.7℃，若选用热转化效率为90％的加热布包，则加热布包温度设置在222.3℃，全程保温；

1.4)将金属化后的ITO靶管9与背管4绑定，将ITO靶管9与背管4的温度均保持在200℃。

实施例6

ITO靶管9和背管4进行预处理，包括如下子步骤：

1.1)背管4喷砂、清洗、金属化处理；

1.2)ITO靶管9外层使用涂抹的方式均匀涂覆软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶高温胶，所述高温胶的厚度为4毫米，放置3小时自然晾干；

1.3)使用碳纤维加热布包将单节ITO靶管9缠绕紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化3小时，若选用热转化效率为70％的加热布包，则加热布包温度设置在242.8℃，若选用热转化效率为90％的加热布包，则加热布包温度设置在189℃，全程保温；

1.4)将金属化后的ITO靶管9与背管4绑定，将ITO靶管9与背管4的温度均保持在170℃。

对比例1

此对比例和实施例1相同，区别点在于不使用高温胶，直接包覆加热包进行加热。

对比例2

此对比例和实施例1相同，区别点在于使用高温胶晾干后，不使用加热包，直接对ITO靶管9进行加热。

将实施例1-3和对比例1-2得到的预处理结束的ITO靶管9进行良品率分析、绑定后的靶材含和率测定，试验结果如下表：

项目	实施例4	实施例5	实施例6	对比例1	对比例2
						表面裂纹	无	无	无	少量	无
破损率	98.5％	99.0％	98.8％	95.3％	97.8％
						焊合率	98.8％	98.9％	99.0％	97.5％	97.8％

由上表可知，使用高温胶保护ITO靶管9预处理表面无裂纹，最后得到的产品品质高，结合加热布包一起均匀缓慢加热，得到的靶材焊合率高。

以上所述实施方式仅是本发明的优选实施方式，应当指出的是，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出改进和变形，这些改进和变形也应视为不脱离本发明的保护范围。

Claims

1.一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于包括如下步骤：

3)在所述背管上套入密封圈，将包覆有加热布包的ITO靶管套入背管，所述ITO靶管与所述背管的端头距离通过所述石墨环定位，所述ITO靶管与所述背管的底部间隙通过密封圈密封，通过所述石墨环和所述密封圈的定位，保持背管和ITO靶管的同心度；

2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述步骤1)中所述工装底盘包括从下至上的下定位部和上定位部，所述下定位部内侧壁与所述内加热杆的底座间隙配合，所述上定位部的内侧壁与所述下定位部的上端面形成一个垂直平台，所述石墨环的下端在垂直平台上定位，所述石墨环的上端与下端间形成放置背管的第二平台，所述背管在第二平台上定位。

3.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述步骤3)中所述密封圈材质为纯铜，所述密封圈的截面尺寸根据绑定间隙设定为0.5-1.5mm。

4.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述步骤3)中ITO靶管上包覆的加热布包保持加热状态，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温。

5.根据权利要求1所述一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述步骤3)中所述ITO靶管与所述背管底部间隙的密封圈的截面壁厚与绑定间隙相同，为0.5-1.5毫米。

6.根据权利要求1所述一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述步骤5)中整靶绑定过程中每节ITO靶管间均间隔一个所述密封圈，密封圈的厚度为绑定间隙。

7.根据权利要求6所述一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述密封圈套设在所述内加热杆上，所述ITO靶管底部在密封圈外侧定位。

8.根据权利要求1所述一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：所述步骤7)中所述吊装盘四周均匀安装有若干跟拉杆，所述拉杆底端固定于所述工装底盘上，所述拉杆与所述背管平行。

9.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：在所述背管安装在绑定装置前，对所述ITO靶管和背管进行预处理，包括以下子步骤，

1.1)背管喷砂、清洗、金属化处理；

10.根据权利要求9所述的一种ITO旋转靶绑定方法，其特征在于：在所述步骤1.2)中，所述高温胶选用软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，高温胶使用涂抹的方式是均匀涂覆在所述ITO靶管外层，

ITO靶管的高温胶涂覆是使用涂胶设备进行高温胶涂覆，涂胶设备包括定位转动装置和刮刀器，ITO靶管水平固定在定位转动装置上，定位转动装置带动ITO靶管匀速转动，转动过程中刮刀器通过前进后退距离进行厚度控制，

所述步骤1.3)中ITO靶管为单节靶管，ITO靶管金属化时间为2-3小时，所述加热布包呈中间开口的圆柱体，加热布开口的两边设有粘接口，加热布包与所述ITO靶管尺寸相同，加热布包内发热元件分布均匀，加热布包连接有用于调节功率的变压器。