CN114481049A - 一种ito旋转靶绑定装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种ITO旋转靶绑定装置，包括背管、靶材管以及加热管，所述背管安装在靶材管内部，用于绑定所述靶材管，所述加热管设置在所述背管内部，用于给所述背管加热，所述背管和靶材管的接口处设置有第一槽口，用于放置焊接所述背管和靶材管的焊料，所述加热管竖直安装于底盘和顶盘，所述底盘和顶盘内分层设置有固定所述背管、靶材管的第一圆管，所述底盘和顶盘的底座固定安装有轴承，所述轴承用于转轴穿过，所述转轴连通有电机。本装置通过将拉管安装在转轴上，一方面可以很省时省力，另一方面可以提高靶材的利用率和玻璃基片镀膜的均匀性；或者将拉管安装在靶材管的内部，这样拉管完全不会遮挡住靶材的面积，进一步提高了靶材的利用率。

Description

一种ITO旋转靶绑定装置

技术领域

本发明涉及ITO旋转靶绑定设备技术领域，具体为一种ITO旋转靶绑定装置。

背景技术

ITO旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，被广泛应用于平面相似等领域。ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，现有技术中有很多关于ITO镀膜的技术方案，例如申请公布号为CN210506501U的一种ITO旋转靶绑定设备，通过工装定位装置来固定背管，靶材管，加热管等，利用背管内加热装置来给背管绑定靶材管提供热量，利用端盖和工装底盘来安装整个设备，利用拉杆进一步固定整个设备，利用保护限位部将背管与加热管之间保持设定距离，防止背管直接接触加热管而使背管受热过高或受热不均而产生变形，利用温度控制模块调节整个设备的内部温度以达到最合适温度，利用升降平台更方便来安装靶材管和密封圈，该设备具有背管与靶材管受热均匀，变形量小，ITO旋转靶绑定焊合率高，ITO旋转靶绑定质量稳定，操作简单方便，生产效率高的优点。但是该设备还存在如下不足：(1)在玻璃基片上镀上ITO导电膜时，为了增加靶材的利用率，需要将ITO靶材旋转360度，但是该设备将拉杆安装在靶材管的外围，当整个设备旋转时，由于拉杆的存在，会使拉杆挡住靶材管的部分面积，被电离的惰性气体的粒子无法击中被遮挡的靶材管，所以降低了靶材的利用率和玻璃基片镀膜的均匀性；(2)用工装定位装置来安装背管，靶材管，加热管等，安装和固定过程过于复杂，且无法简单方便的打开工装底盘和端盖来安装和替换靶材管；(3)用拉杆将工装底盘和端盖进行拉紧固定，在工装底盘和端盖上开设孔槽，拉管与孔槽螺纹连接，一方面不好固定，另一方面当增加靶材的长度时，拉管无法加长，只能替换新的拉管，既费事又费工。

发明内容

本发明的目的在于提供一种既能够提高靶材的利用率和玻璃基片镀膜的均匀性，能够简单方便的安装和替换背管，靶材管等设备，又可以省事省时的固定住拉管，且方便加长拉管的长度的ITO旋转靶绑定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种ITO旋转靶绑定装置，包括背管、靶材管以及加热管，所述背管安装在靶材管内部，用于绑定所述靶材管，所述加热管设置在所述背管内部，用于给所述背管加热，所述背管和靶材管的接口处设置有第一槽口，用于放置焊接所述背管和靶材管的焊料，所述加热管竖直安装于底盘和顶盘，所述底盘和顶盘内分层设置有固定所述背管、靶材管的第一圆管，所述底盘和顶盘的底座固定安装有轴承，所述轴承用于转轴穿过，所述转轴连通有电机。

优选的，所述底盘和顶盘均具有左盘和右盘，所述左盘和右盘之间用铰链连接，便于底盘和顶盘合上和打开。

优选的，所述第一圆管内还设置有限位管，限位管设置在所述加热管和背管之间，限位管在竖直方向比所述背管的内壁距离更近于所述加热管外壁。

优选的，所述左盘的外表面上固定安装有固定桩，所述右盘上相对固定桩的位置开设有桩孔，所述桩孔内部具有螺纹结构，所述固定桩上活动连接有用于固定方片的固定块，所述方片上有若干组圆孔，所述桩孔与头端具有螺帽的杆体螺纹连接。

优选的，所述装置还包括用于进一步固定所述底盘和顶盘的拉杆，所述拉杆包括直杆、焊接在直杆两端的卡块以及活动连接在卡块上的滑动机构。

优选的，所述卡块两侧开设有圆孔，所述滑动机构包括和所述卡块活动连接的按块、与按块弹性连接的第二弹簧以及与按块底部固定连接的限位块，所述按块按压所述第二弹簧以及限位块在所述圆孔内滑动。

优选的，所述拉杆包括若干根同种规格的圆杆，所述圆杆的一端焊接有螺纹凸管或螺纹凹槽，所述拉杆与固定管连接设置，所述固定管顶端开设有第二槽口，所述第二槽口的两侧相对位置开设有用于所述按块卡合的通孔。

优选的，所述加热管内部设置有加热元件和温度控制模块，所述加热元件电连接温度控制模块。

优选的，所述装置还安装有升降平台，所述升降平台滑动安装于转轴的一侧，所述升降平台设置有滑轨和平台部，平台部滑动连接于滑轨，平台部中部开设有平台口，所述底盘位于平台口内。

优选的，所述固定管与所述连接管固定连接，所述拉杆与固定管活动连接，或所述固定管固定安装在所述限位管管槽内，所述拉管与所述固定管活动连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本装置通过将拉管安装在转轴上，当需要在玻璃基片上镀上ITO导电膜时，将ITO靶材旋转360度，因为靶材管和加热管以及背管等管材固定在一块，旋转靶材管等机械设备会很费力，现只对拉杆旋转，一方面可以很省时省力，另一方面固定在靶材管外围的拉管不会遮挡住靶材，这样可以提高靶材的利用率和玻璃基片镀膜的均匀性；或者将拉管安装在靶材管的内部，这样拉管完全不会遮挡住靶材的面积，当在玻璃基片上镀上ITO导电膜时，旋转整个装置，靶材管就会完全受到被电离的粒子的轰击，进一步提高了靶材的利用率；通过安装底盘和顶盘，以及在底盘和顶盘内部分层设置第一圆管来安装加热管、背管、靶材管以及限位管，可以起到很好的固定作用，且通过固定桩和桩孔的连接与释放可以方便打开和合上底盘和顶盘来更换背管和靶材管；通过安装可以方便加长的拉管，一方面可以很方便固定整个装置，另一方面当增长靶材管时，无需取下全部拉管就能够加长拉管的长度以适应设备的需要。

附图说明

图1为本发明实施例1的整体结构示意图；

图2为本发明实施例1的固定桩与桩孔的连接结构示意图；

图3为本发明实施例1的背管、靶材管、加热管以及限位管放置位置的示意图；

图4为本发明实施例1的底盘或顶盘打开时的示意图；

图5为本发明实施例1的整体结构剖面图；

图6为本发明实施例2的整体结构示意图；

图7为本发明实施例2的固定桩与桩孔的连接结构示意图；

图8为本发明实施例2的背管、靶材管、加热管以及限位管放置位置的示意图；

图9为本发明实施例2的底盘或顶盘打开时的示意图；

图10为本发明实施例2的整体结构剖面图；

图11为本发明拉杆的结构示意图；

图12为本发明圆杆的结构示意图；

图13为本发明固定管的结构示意图；

图14为本发明固定管的剖面示意图；

图15为本发明滑动机构的结构示意图。

图中：1背管、2靶材管、3加热管、4第一槽口、5底盘、6顶盘、7第一圆管、8底座、9轴承、10转轴、11左盘、12右盘、13限位管、14固定桩、15桩孔、16方片、17固定块、18圆孔、19杆体、20拉杆、21直杆、22卡块、23滑动机构、24圆孔、25按块、26第二弹簧、27限位块、28圆杆、29螺纹凸管、30螺纹凹槽、31固定管、32第二槽口、33通孔、34升降平台、35滑轨、36平台部、37平台口、38连接管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：

请参阅图1至图15，本发明提供一种技术方案：

实施例1：

一种ITO旋转靶绑定装置，如图1和图4所示，包括背管1、靶材管2以及加热管3，所述背管1安装在靶材管2内部，用于绑定所述靶材管2，所述加热管3设置在所述背管1内部，用于给所述背管1加热，所述背管1和靶材管2的接口处设置有第一槽口4，用于放置焊接所述背管1和靶材管2的焊料，设置所述第一槽口4的目的是便于焊料的放置和焊料均匀流动，有利于所述背管1和靶材管2的绑定，如图3和图4所示，所述加热管3竖直安装于底盘5和顶盘6，所述底盘5和顶盘6内分层设置有固定所述背管1、靶材管2以及加热管3的第一圆管7，所述底盘5和顶盘6均具有左盘11和右盘12，所述左盘11和右盘12之间用铰链11连接，便于底盘5和顶盘6合上和打开所述左盘11的外表面上固定安装有固定桩14，所述右盘12上相对固定桩14的位置开设有桩孔15，所述桩孔15内部具有螺纹结构，所述固定桩14上活动连接有用于固定方片16的固定块17，所述方片16的材料是可弯曲的金属，所述方片16上有若干组圆孔18，所述桩孔15与头端具有螺帽的杆体19螺纹连接。

当操作人员想要把所述左盘11和右盘12分来安装加热管，背管等棺材，用扳手等工具套设在所述杆体19的螺帽上，将杆体19逆时针从所述桩孔15内拧出直至将杆体19拧下，这样所述左盘11和右盘12就分开了，反之如果想将所述左盘11和右盘12合上，只需将所述杆体19的头端穿过所述方片16上的圆孔18，用扳手顺时针拧紧杆体19的螺帽，直至杆体19不再滚动。

如图1或5所示，所述装置还包括用于进一步固定所述底盘5和顶盘6的拉杆20，如图11所示，所述拉杆20包括直杆21、焊接在直杆21两端的卡块22以及活动连接在卡块22上的滑动机构23，所述卡块22两侧开设有圆孔24，所述滑动机构23包括和所述卡块22活动连接的按块25、与按块25弹性连接的第二弹簧26以及与按块25底部固定连接的限位块27，所述按块25按压所述第二弹簧26以及限位块27在所述圆孔24内滑动，如图12所示，所述拉杆20包括若干根同种规格的圆杆28，所述圆杆28的一端焊接有螺纹凸管29或螺纹凹槽30，这样可以在增加靶材管的节数时，操作人员不需要全部取下拉管20，只需要在拉管20的某一接口处根据实际需要加上多根所述圆杆28，如图1所示，所述拉杆20与固定管31连接设置，如图13和图14所示，所述固定管31顶端开设有第二槽口32，所述第二槽口32的两侧相对位置开设有用于所述按块25卡合的通孔33。

因为所述靶材管2和加热管3以及背管1等管材固定在一块，旋转所述靶材管2等机械设备会很费力；为了省时省力，只让所述拉杆20转动，其它设备保持静止，如图2或图3所示，所述底盘5和顶盘6的底座8安装有孔槽，所述孔槽内固定安装有轴承9，所述轴承9正好卡入所述孔槽，带动所述底盘5的底座8所述轴承9用于转轴10穿过，所述转轴10连通有电机，所述固定管31安装在所述底盘5和顶盘6的外侧，所述固定管31与所述转轴10上焊接的连接管38连接设置，电机旋转驱动所述转轴10旋转，所述转轴10旋转驱动所述连接管38带动所述固定管31和拉杆20旋转，除了省时省力，还提高了靶材的利用率以及玻璃基片镀膜的均匀性。

如图3或4或5所示，为了将背管1与加热管3之间保持设定距离，防止背管1直接接触加热管3而使背管1受热过高或受热不均而产生变形，所述第一圆管7内还设置有限位管13，限位管13设置在所述加热管3和背管1之间，限位管13在竖直方向比所述背管1的内壁距离更近于所述加热管3外壁。

为了能够及时对加热管3的温度调节，还能调整绑定过程中的加热温度以减少靶材管2绑定的变形，减少因温度骤变而产生的应力，同时及时调整靶材绑定焊料的流动性，所述加热管3内部设置有加热元件和温度控制模块，所述加热元件电连接温度控制模块。

如图5所示，为了方便操作人员对靶材管2的绑定，所述装置还安装有升降平台34，所述升降平台34滑动安装于转轴10的一侧，所述升降平台34设置有滑轨35和平台部36，平台部36滑动连接于滑轨37，平台部36中部开设有平台口37，所述底盘5位于平台口37内，当背管1和靶材管2竖直放置进行绑定时，操作人员可根据绑定时放置的靶材管2的高度进行调节平台部36的高度，操作人员站在平台部36上，到接近平台口37的位置进行靶材管2的绑定。

实施例2：

如图6到图10所示，本实施例2与实施例1的区别在于，实施例2的固定管31固定安装在限位管13管槽内，拉管20与固定管31活动连接，并一起随底盘5和顶盘6旋转而旋转，而实施例1的固定管31固定安装在底盘5和顶盘6的第一圆管7外，拉杆20与固定管31活动连接，并一起随连接管38的旋转而旋转。除此之外，其余与实施例1相同。

该ITO旋转靶绑定装置的工作原理如下：

在对ITO旋转靶材管2进行绑定时，操作人员想要把所述左盘11和右盘12分来安装加热管，背管等棺材，只要用扳手等工具套设在所述杆体19的螺帽上，将杆体19逆时针从所述桩孔15内拧出直至将杆体19拧下，这样所述左盘11和右盘12就分开了，将转轴10的一端嵌入到最里层的第一圆管7，将加热管3的一端嵌入到转轴10的外层，再将限位管13的一端嵌入加热管3的外层，再将背管1的一端嵌入到限位管13的外层，然后将第一节靶材管2的一端嵌入到背管1的外层，对ITO靶材进行绑定是需要将多节靶材管2绑定在背管1上，在相邻的靶材管2之间均放置有密封圈，在放置密封圈和靶材管2时，操作人员通过站在升降平台34的平台部36上，操作升降平台34的升降进行对密封圈和靶材管2的放置，在绑定过程中启动加热管3进行加热；在绑定程序完成后，将背管1、靶材管2、加热管3、限位管13另一端安装于顶盘6的相应第一圆管7内，而拉杆20的两端分别对应安装于底盘5和顶盘6内的第一圆管7或者安装在底盘5和顶盘6的第一圆管7外的固定管31上，拉杆20将底盘5和顶盘6进行拉紧，形成一个完整的ITO旋转靶绑定装置。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种ITO旋转靶绑定装置，包括背管(1)、靶材管(2)以及加热管(3)，所述背管(1)安装在靶材管(2)内部，用于绑定所述靶材管(2)，所述加热管(3)设置在所述背管(1)内部，用于给所述背管(1)加热，其特征在于，所述背管(1)和靶材管(2)的接口处设置有第一槽口(4)，用于放置焊接所述背管(1)和靶材管(2)的焊料，所述加热管(3)竖直安装于底盘(5)和顶盘(6)，所述底盘(5)和顶盘(6)内分层设置有固定所述背管(1)、靶材管(2)的第一圆管(7)，所述底盘(5)和顶盘(6)的底座(8)固定安装有轴承(9)，所述轴承(9)用于转轴(10)穿过，所述转轴(10)连通有电机。

2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述底盘(5)和顶盘(6)均具有左盘(11)和右盘(12)，所述左盘(11)和右盘(12)之间用铰链(11)连接，便于底盘(5)和顶盘(6)合上和打开。

3.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述第一圆管(7)内还设置有限位管(13)，限位管(13)设置在所述加热管(3)和背管(1)之间，限位管(13)在竖直方向比所述背管(1)的内壁距离更近于所述加热管(3)外壁。

4.根据权利要求2所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述左盘(11)的外表面上固定安装有固定桩(14)，所述右盘(12)上相对固定桩(14)的位置开设有桩孔(15)，所述桩孔(15)内部具有螺纹结构，所述固定桩(14)上活动连接有用于固定方片(16)的固定块(17)，所述方片(16)上有若干组圆孔(18)，所述桩孔(15)与头端具有螺帽的杆体(19)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述装置还包括用于进一步固定所述底盘(5)和顶盘(6)的拉杆(20)，所述拉杆(20)包括直杆(21)、焊接在直杆(21)两端的卡块(22)以及活动连接在卡块(22)上的滑动机构(23)。

6.根据权利要求5所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述卡块(22)两侧开设有圆孔(24)，所述滑动机构(23)包括和所述卡块(22)活动连接的按块(25)、与按块(25)弹性连接的第二弹簧(26)以及与按块(25)底部固定连接的限位块(27)，所述按块(25)按压所述第二弹簧(26)以及限位块(27)在所述圆孔(24)内滑动。

7.根据权利要求5所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述拉杆(20)包括若干根同种规格的圆杆(28)，所述圆杆(28)的一端焊接有螺纹凸管(29)或螺纹凹槽(30)，所述拉杆(20)与固定管(31)连接设置，所述固定管(31)顶端开设有第二槽口(32)，所述第二槽口(32)的两侧相对位置开设有用于所述按块(25)卡合的通孔(33)。

8.根据权利要求1或3所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述加热管(3)内部设置有加热元件和温度控制模块，所述加热元件电连接温度控制模块。

9.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述装置还安装有升降平台(34)，所述升降平台(34)滑动安装于转轴(10)的一侧，所述升降平台(34)设置有滑轨(35)和平台部(36)，平台部(36)滑动连接于滑轨(37)，平台部(36)中部开设有平台口(37)，所述底盘(5)位于平台口(37)内。

10.根据权利要求7所述的一种ITO旋转靶绑定装置，其特征在于，所述固定管31与所述连接管38固定连接，所述拉杆20与固定管31活动连接，或所述固定管31固定安装在所述限位管13管槽内，所述拉管20与所述固定管31活动连接。

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