CN110370818B - 一种喷墨打印装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种喷墨打印装置及方法，通过使用在摄像头上集成膜厚探测装置。并通过摄像头的镜头可以进行精确定位；实现对在所述打印区的薄膜进行膜厚检测，可以做到打印后即测量，测量后就反馈，省去了后续取片、切割以及裂片等大部分过程，简单高效。并且由于该打印检测过程直接在真空腔室内进行，因而膜厚测量环境为超净的氮气环境，并且还避免了取片与切割流程中的污染，增加了数据的准确性。

Description

一种喷墨打印装置及方法
技术领域
本发明涉及一种显示技术领域，尤其涉及一种喷墨打印装置及方法。
背景技术
有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)以其自发光、全固态、高对比度等优点，成为近年来最具潜力的新型显示器件。用蒸镀设备制备OLED器件是目前生产的主流方式，但蒸镀工艺材料利用率低，均匀性较差的缺点一直缺少有效的解决方案。现有技术一般使用溶液法制备OLED薄膜，以其材料利用率高，设备造价低等优点，显示出明显的优势。
溶液法制程一般包括旋涂、印刷、打印等方式，其中将含有发光功能材料的溶液以微小液滴的方式滴落在预定位置，然后将溶剂蒸发去除，只留下溶质(发光或功能材料)形成的薄膜，是目前最适用于目前OLED发光器件的制程。目前OLED器件对薄膜品质有着极高的要求，这是因为薄膜的厚度与平坦均匀度在很大程度上影响着器件的寿命、光色以及效率等重要参数。为了获得平坦均匀的高品质薄膜，除了需要打印基底平坦外，还需真空干燥参数、烘烤参数以及墨水特性。在目前高品质薄膜的规格下，对OLED器件各层进行膜厚与薄膜均匀性测量是检验打印结果好与坏的重要手段，常见的测量设备有台阶仪、原子力显微镜、白光干涉仪、椭偏仪和隧道电子显微镜等。但是一般情况下上述探测装置载物台的设计尺寸普遍较小，大尺寸面板的膜厚探测则需要提前裂片，那么明显可见如下几个弊端：OLED面板转出后暴露在空气中以及切割过程中表面易粘附颗粒，会对结果产生影响；另外大尺寸面板切割后再进行像素膜厚探测需要精确定位至微米量级，该过程极为繁琐；最后膜厚探测通常只针对个别区域进行抽检，然而每次都需要耗费整张面板，不利于环保。
因此，急需提供一种喷墨打印装置及方法，解决现有技术中的膜厚检测过程繁琐等问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种喷墨打印装置及方法，解决现有技术中的膜厚检测过程繁琐等问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种喷墨打印装置，包括：真空腔室，内部设有一载物台，所述载物台用以承载基板并移动所述基板，所述基板具有一打印区，所述基板的打印区远离所述载物台；一喷头，设于所述载物台的上方，对准所述打印区，用以滴加液滴在所述打印区并形成一薄膜；可移动的摄像头，设于所述载物台的上方；其中，所述摄像头靠近所述打印区的一侧具有一定位装置以及膜厚探测装置。
进一步地，所述基板上具有至少一子像素开口，所述子像素开口被隔离柱包围，所述隔离柱设于所述基板上，所述打印区为所述子像素开口。
进一步地，还包括一控制系统，所述控制系统包括：打印模块，预设一打印厚度，控制所述喷头精准的对所述打印区进行喷墨打印；检测模块，控制所述摄像头移动并对所述薄膜进行检测。
进一步地，所述检测模块包括定位模块、膜厚探测模块以及判断模块；所述膜厚探测模块用以采集所述膜厚探测装置数据；所述定位模块用以采集所述定位装置数据；所述判断模块用以判断所述当前时刻位置的膜厚与打印厚度是否相同；如果否，则进行对所述打印区重新打印，否则，对所述薄膜进行退火处理并进行封装。
进一步地，所述定位装置包括一镜头，所述镜头具有一定位传感器。
进一步地，还包括：蒸发装置，用以蒸发所述液滴中的溶剂；烘烤装置，用以对所述薄膜进行加热退火处理。
本发明还提供一种喷墨打印方法，包括如下步骤：提供一基板以及所述的喷墨打印装置，所述基板设于所述喷墨打印装置的载物台上，所述基板上具有至少一子像素开口，所述子像素开口被隔离柱包围，所述隔离柱设于所述基板上；控制所述喷头预设一打印厚度并向所述子像素开口区域内滴加液滴，并通过真空减压干燥将所述液滴干燥形成薄膜；控制所述检测模块移动所述摄像头至所述薄膜上方的任一位置；控制所述检测模块检测所述任意位置的膜厚并记录所述任意位置的坐标；控制所述检测模块判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同，如果是，则对所述薄膜进行退火处理并进行封装；否则，调整喷墨打印装置并对所述打印区重新打印。
进一步地，在控制所述检测模块检测所述任意位置的膜厚并记录所述任意位置的坐标步骤中，包括：控制所述膜厚探测模块用以采集所述膜厚探测装置的膜厚数据；控制所述定位模块用以采集所述定位装置的定位数据。
进一步地，在控制所述检测模块判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同的步骤中，包括：控制所述判断模块判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同。
进一步地，在所述调整喷墨打印装置并所述对所述打印区重新打印步骤中，所述调整方式包括调整所述蒸发装置的蒸发速度或调整所述烘烤装置的烘烤温度。
本发明的有益效果是：本发明提供一种喷墨打印装置及方法，通过使用在摄像头上集成膜厚探测装置。并通过摄像头的镜头可以进行精确定位；实现对在所述打印区的薄膜进行膜厚检测，可以做到打印后即测量，测量后就反馈，省去了后续取片、切割以及裂片等大部分过程，简单高效。并且由于该打印检测过程直接在真空腔室内进行，因而膜厚测量环境为超净的氮气环境，并且还避免了取片与切割流程中的污染，增加了数据的准确性。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的描述。
图1为本发明喷墨打印装置的功能模块图；
图2为本发明喷墨打印装置的功能模块图；
喷墨打印装置100；
真空腔室11；喷头12；摄像头13；
控制系统14；蒸发装置15；烘烤装置16；
载物台111；储液槽121；定位装置131；
膜厚探测装置132；镜头1311；定位传感器1312；
打印模块141；检测模块142；定位模块1421；
膜厚探测模块1422；判断模块1423；基板201；
薄膜210；子像素开口220；隔离柱202。
具体实施方式
以下是各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如上、下、前、后、左、右、内、外、侧等，仅是参考附加图式的方向。本发明提到的元件名称，例如第一、第二等，仅是区分不同的元部件，可以更好的表达。在图中，结构相似的单元以相同标号表示。
本文将参照附图来详细描述本发明的实施例。本发明可以表现为许多不同形式，本发明不应仅被解释为本文阐述的具体实施例。本发明提供这些实施例是为了解释本发明的实际应用，从而使本领域其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改方案。
请同时参照图1以及图2所示，本发明提供一种喷墨打印装置100，包括：真空腔室11、喷头12、可移动的摄像头13、控制系统14、蒸发装置15以及烘烤装置16。
所述真空腔室11内部设有一载物台111，所述载物台111用以承载基板201并移动基板201，所述基板201具有一打印区，所述基板201的打印区远离所述载物台111。
所述载物台111一般可以左右移动所述基板201。
所述基板201上具有至少一子像素开口220，所述子像素开口220被隔离柱202包围，所述隔离柱202设于所述基板201上，所述打印区为所述子像素开口220。
所述喷头12设于所述载物台111的上方，对准所述打印区，用以滴加液滴在所述打印区并形成一薄膜210。
所述喷头12具有一储液槽121，用以存储打印材料。
所述摄像头13设于所述载物台111的上方，当所述喷头12结束对所述打印区工作的时候开始工作；所述摄像头13一般为前后移动。
其中，所述摄像头13靠近所述打印区的一侧具有一定位装置131以及膜厚探测装置132。
所述定位装置131包括一镜头1311，所述镜头1311中具有一定位传感器1312。本发明的镜头1311一般还具有观测的功能。所述镜头1311另一方面辅助以机械坐标还能起到精确定位的作用，这极大地简化了以往膜厚测量需重新定位的繁琐流程。
所述控制系统14包括：打印模块141以及检测模块142。
所述打印模块141用以预设一打印厚度，并控制所述喷头12精准的对所述打印区进行喷墨打印。
所述检测模块142用以控制所述摄像头13移动并对所述薄膜210进行检测。
所述检测模块142包括定位模块1421、膜厚探测模块1422以及判断模块1423。
所述膜厚探测模块1422用以通过采集来自一膜厚探测装置132，用以检测当前时刻位置的膜厚。
所述定位模块1421用以通过采集所述定位装置131的数据，用以检测所述摄像头13的当前时刻位置坐标。
所述判断模块1423用以判断所述当前时刻位置的膜厚与打印厚度是否相同；如果否，则进行对所述打印区重新打印，否则，对所述薄膜210进行退火处理并进行封装。
所述蒸发装置15用以蒸发所述液滴中的溶剂；所述烘烤装置16用以对所述薄膜210进行加热退火处理，用以提升所得OLED薄膜210品质。
本发明提供一种喷墨打印装置100，通过在摄像头13上集成膜厚探测装置132。并通过摄像头13的镜头1311可以进行精确定位；实现对在所述打印区的薄膜210进行膜厚检测，并通过判断所述当前时刻位置的膜厚与打印厚度是否相同，如果否，则进行对所述打印区重新打印，否则，对所述薄膜210进行退火处理并进行封装。
本发明还提供一种喷墨打印方法，包括如下步骤S1～S5。
S1)提供一基板201以及所述的喷墨打印装置100，所述基板201设于所述喷墨打印装置100的载物台111上，所述基板201上具有至少一子像素开口220，所述子像素开口220被隔离柱202包围，所述隔离柱202设于所述基板201上。
S2)控制所述喷头12预设一打印厚度并向所述子像素开口220区域内滴加液滴，并通过真空减压干燥将所述液滴干燥形成薄膜210。
S3)控制所述检测模块142移动所述摄像头13至所述薄膜210上方的任意位置。
S4)控制所述检测模块142检测所述任意位置的膜厚并记录所述任意位置的坐标。
在控制所述检测模块142检测所述任意位置的膜厚并记录所述任意位置的坐标的步骤中，包括：
控制所述膜厚探测模块1422用以检测所述摄像头13的当前时刻位置的膜厚，通过采集所述膜厚探测装置的膜厚数据。
控制所述定位模块1421检测所述摄像头13的当前时刻位置坐标，通过采集所述定位装置131的定位数据。
S5)控制所述检测模块142判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同，如果是，则对所述薄膜210进行退火处理并进行封装；否则，调整喷墨打印装置100并对所述打印区重新打印。
在控制所述检测模块142判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同步骤中，包括：
控制所述判断模块1423判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同。
在所述调整喷墨打印装置100并对所述打印区重新打印的步骤中，所述调整方式包括调整所述蒸发装置15的蒸发速度或调整所述烘烤装置16的烘烤温度。
图2中的基板201仅画出单个子像素作为示例，本发明还可以对大尺寸面板可以多次重复检测，这也兼顾了耗材利用率与测量效率。
本发明提供一种喷墨打印方法，通过使用在摄像头13上集成膜厚探测装置132。并通过摄像头13的镜头1311可以进行精确定位；实现对在所述打印区的薄膜210进行膜厚检测，可以做到打印后即测量，测量后就反馈，省去了后续取片、切割以及裂片等大部分过程，简单高效。并且由于该打印检测过程直接在真空腔室11内进行，因而膜厚测量环境为超净的氮气环境，并且还避免了取片与切割流程中的污染，增加了数据的准确性。
应当指出，对于经充分说明的本发明来说，还可具有多种变换及改型的实施方案，并不局限于上述实施方式的具体实施例。上述实施例仅仅作为本实用新型的说明，而不是对发明的限制。总之，本发明的保护范围应包括那些对于本领域普通技术人员来说显而易见的变换或替代以及改型。

Claims (8)

1.一种喷墨打印装置，其特征在于，包括：
真空腔室，内部设有一载物台且充满氮气，所述载物台用以承载基板并移动所述基板，所述基板具有一打印区，所述基板的打印区远离所述载物台；
一喷头，设于所述载物台的上方，对准所述打印区，用以滴加液滴在所述打印区并形成一薄膜；
可移动的摄像头，设于所述载物台的上方；
其中，所述摄像头靠近所述打印区的一侧具有一定位装置以及一膜厚探测装置，所述膜厚探测装置集成于所述摄像头上；所述定位装置包括一镜头，所述镜头具有一定位传感器，所述镜头设于所述摄像头靠近所述载物台的一端，所述镜头包含于所述摄像头。
2.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，
所述基板上具有至少一子像素开口，所述子像素开口被隔离柱包围，所述隔离柱设于所述基板上，所述打印区为所述子像素开口。
3.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，还包括一控制系统，所述控制系统包括：
打印模块，预设一打印厚度，控制所述喷头精准的对所述打印区进行喷墨打印；检测模块，控制所述摄像头移动并对所述薄膜进行检测。
4.根据权利要求3所述的喷墨打印装置，其特征在于，
所述检测模块包括定位模块、膜厚探测模块以及判断模块；
所述膜厚探测模块用以采集所述膜厚探测装置的膜厚数据；
所述定位模块用以采集所述定位装置的定位数据；
所述判断模块用以判断所述薄膜的膜厚与所述打印厚度是否相同；如果否，则进行对所述打印区重新打印，否则，对所述薄膜进行退火处理并进行封装。
5.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，还包括：
蒸发装置，用以蒸发所述液滴中的溶剂；
烘烤装置，用以对所述薄膜进行加热退火处理。
6.一种喷墨打印方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一基板以及如权利要求4所述的喷墨打印装置，所述基板设于所述喷墨打印装置的载物台上，所述基板上具有至少一子像素开口，所述子像素开口被隔离柱包围，所述隔离柱设于所述基板上；
控制所述喷头预设一打印厚度并向所述子像素开口区域内滴加液滴，并通过真空减压干燥将所述液滴干燥形成薄膜；
控制所述检测模块移动所述摄像头至所述薄膜上方的任意位置；
控制所述检测模块检测所述任意位置的膜厚并记录所述任意位置的坐标；
控制所述检测模块判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同，如果是，则对所述薄膜进行退火处理并进行封装；否则，调整喷墨打印装置并对所述打印区重新打印。
7.根据权利要求6所述的喷墨打印方法，其特征在于，
在控制所述检测模块检测所述任意位置的膜厚并记录所述任意位置的坐标的步骤中，包括：
控制所述膜厚探测模块用以采集所述膜厚探测装置的膜厚数据；
控制所述定位模块用以采集所述定位装置的坐标数据。
8.根据权利要求6所述的喷墨打印方法，其特征在于，
在控制所述检测模块判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同的步骤中，包括：
控制所述判断模块判断所述任意位置的膜厚与所述打印厚度是否相同。
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