CN110369394B - 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 - Google Patents
一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110369394B CN110369394B CN201910756180.9A CN201910756180A CN110369394B CN 110369394 B CN110369394 B CN 110369394B CN 201910756180 A CN201910756180 A CN 201910756180A CN 110369394 B CN110369394 B CN 110369394B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- frame plate
- cleaning
- resonance
- slide
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 8
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本发明提供了一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,包括底座板、支撑杆、第一架板和第二架板,底座板的上面中间处螺纹连接有支撑杆,底座板的顶面四角处分别固定设置有共振引发机构,共振引发机构包括第一连接筒、第二连接筒和连接弹簧,第一连接筒的内部套接有第二连接筒,连接弹簧的底端和顶端分别固定在第一连接筒的内底面和第二连接筒的内顶面,第一架板套接在支撑杆的外侧且第一架板的四角分别与共振引发机构的顶端固定连接,支撑杆的外侧靠近顶端的位置还固定设置有第二架板。解决了现有的载片支架通常是将载片卡在支架内部,载片在清洗时与相对位置固定,清洗效率较低,在载片清洗时造成了资源的浪费的问题。
Description
技术领域
本发明属于载片清洗支架技术领域,具体涉及一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架。
背景技术
载片指玻璃片、硅片或者载玻片,其主要是作为生长透明导电薄膜以及其他功能薄膜的衬底,为了生长的薄膜材料生长致密,通常需要对作为衬底的载片进行清洗。
实验室通常利用超声清洗设备完成载片清洗,载片清洗时通常将载片放置在支架上进行清洗,但是现有的载片清洗用到的支架通常是将载片卡在支架内部,载片在清洗时与相对位置固定,清洗效率较低,同时增加了载片的清洗时间,造成了资源的浪费。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足,提供一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,以解决上述背景技术中提出的现有的载片清洗用到的支架通常是将载片卡在支架内部,载片在清洗时与相对位置固定,清洗效率较低,同时增加了载片的清洗时间,造成了资源的浪费的问题。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,包括底座板、支撑杆、第一架板和第二架板,所述底座板的顶面中间处螺纹连接有支撑杆,所述底座板的顶面四角处分别固定设置有共振引发机构,所述第一架板套接在所述支撑杆上且所述第一架板的四角分别与所述共振引发机构的顶端固定连接,所述支撑杆上还固定套接有位于第一架板上方的第二架板,所述底座板、第一架板和第二架板相互平行设置。
优选的,所述共振引发机构包括第一连接筒、第二连接筒和连接弹簧,所述第一连接筒的底端固定在所述底座板的上面,所述第一连接筒的内部套接有第二连接筒,所述连接弹簧的底端和顶端分别固定在所述第一连接筒的内底面和第二连接筒的内顶面,所述第二连接筒的顶端固定设置有螺纹连接座,所述第一架板通过安装螺钉与所述螺纹连接座的作用与所述共振引发机构的顶端固定连接。
优选的,所述第一架板的中间开设有用于支撑杆套接连接的圆形通孔,所述第一架板的四角处分别开设有用于螺纹连接座套接连接的连接孔,所述螺纹连接座套接在连接孔的内部后通过安装螺钉与所述第一架板之间固定连接。
优选的,所述第二架板的中间固定设置有贯穿第二架板的套接筒,所述套接筒套接在所述支撑杆上,且所述套接筒上螺纹连接有紧固螺钉,所述套接筒通过紧固螺钉的挤压作用与所述支撑杆之间固定连接。
优选的,所述第一架板的中间均匀的开设有多个用于载片卡接的卡槽,且在所述卡槽的底部开设有沥水孔,所述第二架板的内部开设有与卡槽相互之间配套使用的矩形通孔。
优选的,所述底座板的底面四角分别粘贴固定有坐垫。
本发明与现有技术相比具有以下优点:
1、本发明通过在带有底座板的支撑杆外侧套接有两个载片架板,第一架板与底座板之间通过共振引发机构连接,共振引发机构内部的连接弹簧使得第一架板与底座板之间的相对距离能进行调整,从而使得卡接在第一架板上面的载片在超声清洗过程中随着超声的震动而进行上下的震动,从而引起载片的共振,增加了载片的清洗效率,节约了能源的使用。
2、本发明通过在支撑杆的外侧第一架板的上面还安装有第二架板,第二架板与第一架板之间的距离能通过套接筒的位置进行调整,从而使得清洗不同大小的载片时通过调整第二架板与第一架板之间的相对距离使得第二架板内部的矩形通孔均能对载片进行限位,拓宽了清洗支架的适用范围。
附图说明
图1是本发明整体结构主视图;
图2是本发明共振引发机构剖视图;
图3是本发明第一架板结构俯视图;
图4为本发明第二架板结构俯视图。
附图标记说明:
1-底座板;2-支撑杆;3-第一架板;31-圆形通孔;32-卡槽;33-连接孔;4-第二架板;41-套接筒;42-矩形通孔;43-紧固螺钉;5-共振引发机构;51-第一连接筒;52-第二连接筒;53-连接弹簧;54-螺纹连接座;6-安装螺钉;7-坐垫。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1-4所示,本发明提供一种技术方案:一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,包括底座板1、支撑杆2、第一架板3和第二架板4,所述底座板1的上面中间处螺纹连接有支撑杆2,通过支撑杆2将支架放入超声清洗容器或者拿出,便于支架的操作使用。
所述底座板1的顶面四角处分别固定设置有共振引发机构5,所述共振引发机构5包括第一连接筒51、第二连接筒52和连接弹簧53,所述第一连接筒51的底端固定在所述底座板1的上面,所述第一连接筒51的内部套接有第二连接筒52,所述连接弹簧53的底端和顶端分别固定在所述第一连接筒51的内底面和第二连接筒52的内顶面,所述第二连接筒52的顶端固定设置有螺纹连接座54,所述第一架板3通过安装螺钉6与所述螺纹连接座54的作用与所述共振引发机构5的顶端固定连接,当载片卡接在第一架板3上面后,在载片重力的作用下下压第一架板,使得共振引发机构5的连接弹簧53轻微收缩,在超声清洗过程中在超声震动的情况下使得连接弹簧53发生震动,引起共振,从而提高了载片的清洗效率。
所述第一架板3的中间开设有圆形通孔31,所述支撑杆2穿过圆形通孔31与所述第一架板3套接,通过支撑杆2对第一架板3在连接弹簧53的弹性作用下进行限位,所述第一架板3的四角处分别开设有用于螺纹连接座54套接连接的连接孔33,所述螺纹连接座54套接在连接孔33的内部后通过安装螺钉6与所述第一架板3固定连接,从而所述共振引发机构5的顶端与第一架板3固定连接。
所述第一架板3的中间均匀的开设有多个用于载片卡接的卡槽32,且在所述卡槽32的内部开设有连通第一架板3的沥水孔,沥水孔用于在清洗完成后将载片上面残留的水分沥下,所述第二架板4的内部开设有与卡槽32相互之间配套使用的矩形通孔42,矩形通孔42用于对载片件限位。
所述第二架板4的中间固定设置有贯穿第二架板4的套接筒41,所述套接筒41套接在所述支撑杆2上,且所述套接筒41上靠近顶端的位置螺纹连接有紧固螺钉43,所述套接筒41通过紧固螺钉43的挤压作用与所述支撑杆2之间固定连接,使用过程中通过套接筒41调整第二架板4的高度,完成对载片中间段的限定。
为了完成支架的支撑作用,所述底座板1的底面四角分别粘贴固定有坐垫7。
综上,使用时,先将第二架板4拿下,然后将载片卡接在第一架板3上面的卡槽32后,在载片重力的作用下下压第一架板3,使得共振引发机构5的连接弹簧53轻微收缩,在超声清洗过程中在超声震动的情况下使得连接弹簧53发生震动,进而引起共振提高清洗效率,然后将第二架板4套接在支撑杆2的外侧,调整第二架板4在支撑杆2外侧的位置,使得载片中间段套在矩形通孔42内部即可,然后通过紧固螺钉43完成套接筒41在支撑杆2外侧的固定,然后通过支撑杆2将支架放入超声清洗容器中进行清洗,清洗过程中通过第一架板3与共振引发机构5完成载片的共振作用,便于提高清洗效率,经济实用。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,包括底座板(1)、支撑杆(2)、第一架板(3)和第二架板(4),所述底座板(1)的顶面中间处螺纹连接有支撑杆(2),其特征在于:所述底座板(1)的顶面四角处分别固定设置有共振引发机构(5),所述共振引发机构(5)包括第一连接筒(51)、第二连接筒(52)和连接弹簧(53),所述第一连接筒(51)的底端固定在所述底座板(1)的上面,所述第一连接筒(51)的内部套接有第二连接筒(52),所述连接弹簧(53)的底端和顶端分别固定在所述第一连接筒(51)的内底面和第二连接筒(52)的内顶面,所述第二连接筒(52)的顶端固定设置有螺纹连接座(54),所述第一架板(3)通过安装螺钉(6)与所述螺纹连接座(54)的作用与所述共振引发机构(5)的顶端固定连接;
所述第一架板(3)套接在所述支撑杆(2)上,且所述第一架板(3)的四角分别与所述共振引发机构(5)的顶端固定连接,所述第一架板(3)的中间均匀的开设有多个用于载片卡接的卡槽(32),且在所述卡槽(32)的底部开设有沥水孔,所述第二架板(4)的内部开设有与卡槽(32)相互之间配套使用的矩形通孔(42);
通过共振引发机构(5)使得超声去清洗过程中第一架板(3)与超声清洗设备发生共振,所述支撑杆(2)上还固定套接有位于第一架板(3)上方的第二架板(4),所述底座板(1)、第一架板(3)和第二架板(4)相互平行设置。
2.根据权利要求1所述的一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,其特征在于,所述第一架板(3)的中间开设有用于支撑杆(2)套接连接的圆形通孔(31),所述第一架板(3)的四角处分别开设有用于螺纹连接座(54)套接连接的连接孔(33),所述螺纹连接座(54)套接在连接孔(33)的内部后通过安装螺钉(6)与所述第一架板(3)之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,其特征在于,所述第二架板(4)的中间固定设置有贯穿第二架板(4)的套接筒(41),所述套接筒(41)套接在所述支撑杆(2)上,且所述套接筒(41)上螺纹连接有紧固螺钉(43),所述套接筒(41)通过紧固螺钉(43)的挤压作用与所述支撑杆(2)之间固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架,其特征在于,所述底座板(1)的底面四角分别粘贴固定有坐垫(7)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910756180.9A CN110369394B (zh) | 2019-08-16 | 2019-08-16 | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910756180.9A CN110369394B (zh) | 2019-08-16 | 2019-08-16 | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110369394A CN110369394A (zh) | 2019-10-25 |
CN110369394B true CN110369394B (zh) | 2024-06-04 |
Family
ID=68259428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910756180.9A Active CN110369394B (zh) | 2019-08-16 | 2019-08-16 | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110369394B (zh) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10192801A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-07-28 | Kaijo Corp | 超音波洗浄装置と超音波振動体 |
CN201030364Y (zh) * | 2007-04-28 | 2008-03-05 | 北京交通大学 | 一种基片清洗装置 |
CN201346544Y (zh) * | 2009-01-07 | 2009-11-18 | 高英 | 超声波清洗机清洗物品固定架 |
CN203842604U (zh) * | 2014-05-21 | 2014-09-24 | 博奥生物集团有限公司 | 一种载玻片架 |
CN203972391U (zh) * | 2014-04-24 | 2014-12-03 | 东旭集团有限公司 | 一种光电玻璃基板的超声波清洗装置 |
CN106475344A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-03-08 | 无锡市富能金属制品有限公司 | 一种振动式清洗设备 |
CN206763562U (zh) * | 2017-02-28 | 2017-12-19 | 无锡威孚奥特凯姆精密机械有限公司 | 工件清洗夹具 |
CN207342743U (zh) * | 2017-05-17 | 2018-05-11 | 安徽大学 | 一种超声波清洗器用的比色管架 |
CN207996863U (zh) * | 2017-09-30 | 2018-10-23 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 用于金属3d打印制件粉末清理的装置 |
CN208810714U (zh) * | 2018-06-22 | 2019-05-03 | 遂宁市合利诚数码科技有限公司 | 一种超声波镜片清洗装置 |
CN210614524U (zh) * | 2019-08-16 | 2020-05-26 | 河北北方学院 | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 |
-
2019
- 2019-08-16 CN CN201910756180.9A patent/CN110369394B/zh active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10192801A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-07-28 | Kaijo Corp | 超音波洗浄装置と超音波振動体 |
CN201030364Y (zh) * | 2007-04-28 | 2008-03-05 | 北京交通大学 | 一种基片清洗装置 |
CN201346544Y (zh) * | 2009-01-07 | 2009-11-18 | 高英 | 超声波清洗机清洗物品固定架 |
CN203972391U (zh) * | 2014-04-24 | 2014-12-03 | 东旭集团有限公司 | 一种光电玻璃基板的超声波清洗装置 |
CN203842604U (zh) * | 2014-05-21 | 2014-09-24 | 博奥生物集团有限公司 | 一种载玻片架 |
CN106475344A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-03-08 | 无锡市富能金属制品有限公司 | 一种振动式清洗设备 |
CN206763562U (zh) * | 2017-02-28 | 2017-12-19 | 无锡威孚奥特凯姆精密机械有限公司 | 工件清洗夹具 |
CN207342743U (zh) * | 2017-05-17 | 2018-05-11 | 安徽大学 | 一种超声波清洗器用的比色管架 |
CN207996863U (zh) * | 2017-09-30 | 2018-10-23 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 用于金属3d打印制件粉末清理的装置 |
CN208810714U (zh) * | 2018-06-22 | 2019-05-03 | 遂宁市合利诚数码科技有限公司 | 一种超声波镜片清洗装置 |
CN210614524U (zh) * | 2019-08-16 | 2020-05-26 | 河北北方学院 | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110369394A (zh) | 2019-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN211439671U (zh) | 一种轮毂加工用移动夹具 | |
CN110369394B (zh) | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 | |
CN210614524U (zh) | 一种与超声清洗设备配合实现共振清洗的载片清洗支架 | |
CN209444627U (zh) | 一种具有通风结构的多硬度胶垫 | |
CN210306561U (zh) | 一种弹簧卡箍自动下料及卡紧装置 | |
CN211282243U (zh) | 一种便于清理的产品接收罐 | |
CN211914816U (zh) | 一种超声波清洗器的样品容器固定装置 | |
CN209697678U (zh) | 一种手机盖板清洗载具 | |
CN209825611U (zh) | 一种餐桌转台 | |
CN209741627U (zh) | 一种市政施工养护机械的悬挂式连接装置 | |
CN210100407U (zh) | 一种专用于板岩加工的移动式夹持装置 | |
CN211463122U (zh) | 一种内焊盘管反应釜的盘管固定结构 | |
CN212701661U (zh) | 一种防松动的生物培养用粘式振荡器 | |
CN213134268U (zh) | 超声波清洗装置 | |
CN214262740U (zh) | 一种油脂加工原料筛选设备 | |
CN215560650U (zh) | 一种用于晶振片轻巧脱膜的装置 | |
CN213377652U (zh) | 一种用于活性炭的分类装置 | |
CN212869227U (zh) | 一种高稳定型一体调整架底板 | |
CN215628025U (zh) | 用于细胞培养罐的激流式振荡器 | |
CN214917863U (zh) | 一种果品生产用优质圆果筛选器 | |
CN214789910U (zh) | 一种可调型化工机械架安装座 | |
CN212597556U (zh) | 一种超声波清洗机用清洗架 | |
CN210878431U (zh) | 一种法兰套装设备 | |
CN215554800U (zh) | 一种新型热收缩膜套标签机凸轮式机械压膜机组 | |
CN216461123U (zh) | 一种新型侧切冲压模具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |