CN110331405B - 一种液态金属与石墨复合散热膜及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于散热材料技术领域，具体涉及一种液态金属与石墨复合散热膜及其制备方法。本发明公开了一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、液态金属层。
Description
技术领域
本发明属于散热材料技术领域，具体涉及一种液态金属与石墨复合散热膜及其制备方法。
背景技术
目前，微电子技术迅速发展使得电子芯片总功率密度大幅增大，热流密度也随之增加。散热好坏会严重影响到系统稳定性以及硬件寿命。芯片技术对高性能散热方法提出了前所未有的迫切需求，使得超高热流密度芯片散热一直是国际上异常活跃的研究领域。特别是最近十年来，智能手机的飞速发展对于散热的需求越来越高。智能手机结构中经常使用人工石墨片进行散热。人工石墨具有非常高的导热率>1500W/mK，高于所有的金属和陶瓷材料，能有效的将热点(如智能手机CPU)的热量横向传输到手机的其他低温部分，从而降低核心温度5-10度。此后，由于工艺和成本的考虑，人工合成石墨片进一步发展为铜箔-石墨复合结构，即从上到下依次为发热体、30微米的铜箔、10微米的胶粘剂、20微米的石墨层。在上述导热复合材料的结构中，有两个明显的缺陷：1.石墨与铜箔之间由胶粘剂连接，而胶粘剂的导热能力非常低，将阻碍热流的导通。2.铜箔与发热体(如OLED屏背部)是按压连接，没有导热界面材料。而铜的硬度实际上比较高，该部位的接触热阻会因此较高。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明的第一个方面提供了一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、液态金属层。
作为一种优选的技术方案，所述石墨层的厚度为20～40微米，所述液态金属层的厚度为20～40微米。
作为一种优选的技术方案，所述液态金属选自镓、铟、锡、铋、镍、铝、铜、钛中的至少一种。
作为一种优选的技术方案，所述液态金属包括铟和锡。
作为一种优选的技术方案，按重量份计，所述液态金属包括50-54份铟和46-50份锡。
作为一种优选的技术方案，所述石墨层与液态金属层中间还包括过渡层。
作为一种优选的技术方案，所述过渡层的金属选自镓、铟、锡、铋、镍、铝、铜、钛中的至少一种。
作为一种优选的技术方案，所述过渡层的金属为铟或锡。
作为一种优选的技术方案，所述过渡层的厚度为0.01-0.08微米。
本发明的第二方面提供了所述的液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌0.5-2小时，搅拌速度为10-100rpm；
(2)清洗石墨表面；
(3)使用热蒸镀或电子束蒸发或磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至100-150度；将步骤(1)得到的液态金属涂覆在过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
有益效果：本专利石墨片背面直接涂布低熔点InSn合金液态金属，可以省去中间的胶粘剂，降低垂直热阻。另外InSn合金的硬度比铜低更易变形，按压在发热体上将形成更佳的接触，并减小热阻。此外，因省去中间胶粘剂，总体厚度降低，更有利于集成进入智能手机之中。
具体实施方式
为了解决上述问题，本发明提供了一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、液态金属层。
作为一种优选的实施方式，所述石墨层的厚度为20～40微米。
优选地，所述石墨层的厚度为25微米。
作为一种优选的实施方式，所述液态金属层的厚度为20～40微米。
优选地，所述液态金属层的厚度为30微米。
石墨
所述石墨为天然石墨和/或人造石墨；
作为天然石墨的实例，可以列举的有晶质石墨、隐晶质石墨。
所述晶质石墨矿石中，石墨晶体直径大于1μm，呈鳞片状；矿石品位较低，但可选性好；与石墨伴生的矿物常有云母、长石、石英、透闪石、透辉石、石榴子石和少量黄铁矿、方解石等，有的还伴生有金红石及钒等有用组分；矿石呈鳞片状、花岗鳞片或粒状变晶结构，片状、片麻状或块状构造。所述隐晶石墨也称土状石墨或无定形石墨，隐晶质石墨矿石中，石墨晶体直径小于1μm，呈微晶的集合体，在电子显微镜下才能见到晶形；矿石品位高，但可选性差；与石墨伴生的矿物常有石英、方解石等；矿石呈微细鳞片-隐晶质结构。
所述人造石墨是指一切通过有机炭化再经过石墨化高温处理得到的石墨材料，如炭纤维、热解炭、泡沫石墨等。
作为一种优选的实施方式，所述石墨为人造石墨。
所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司。
液态金属
所述液态金属层通过将液态金属合金涂覆在石墨层上制备得到。
在一种实施方式中，所述液态金属选自镓、铟、锡、铋、镍、铝、铜、钛中的至少一种。
作为一种优选的实施方式，所述液态金属包括铟和锡。
按重量份计，所述液态金属包括50-54份铟和46-50份锡。
优选地，按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述铟为银白色并略带淡蓝色的金属，熔点为156.61摄氏度。所述铟的热导率为81.6W/(m·℃)；从常温到熔点之间，铟与空气中的氧作用缓慢，表面形成极薄的氧化膜，温度更高时，与活泼非金属作用。大块金属铟不与沸水和碱溶液反应，但粉末状的铟可与水缓慢的作用，生成氢氧化铟。
所述锡为一种有银白色光泽的的低熔点的金属元素，熔点为231.89摄氏度。所述锡的热导率为15.08W/(m·℃)；在空气中锡的表面生成二氧化锡保护膜而稳定，加热下氧化反应加快。锡在常温下富有展性，特别是在100℃时，它的展性非常好，可以展成极薄的锡箔。
本申请中，由铟、锡组成的液态金属熔点范围为80-140℃。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至250-300℃，保温2-8小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
本申请中，液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌05-2小时，搅拌速度为10-100rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属涂覆在石墨表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
其中，步骤3中的涂覆方式优选为丝网印刷。
进一步地，所述丝网的目数优选为200目。
作为一种优选的实施方式，所述石墨层与液态金属层中间还包括过渡层。
即所述液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述过渡层通过在石墨上沉积金属制备得到。
作为一种优选的实施方式，所述过渡层的金属选自镓、铟、锡、铋、镍、铝、铜、钛中的至少一种。
优选地，所述过渡层的金属为铟或锡。
更优选地，所述过渡层的金属为锡。
优选地，所述过渡层的厚度为0.01-0.08微米。
优选地，所述过渡层的厚度为0.04微米。
本申请中，液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌0.5-2小时，搅拌速度为10-100rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用热蒸镀或电子束蒸发或磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至100-150度；将步骤(1)得到的液态金属涂覆在过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
作为一种更优选的实施方式，所述液态金属还包括磷。
作为一种优选的实施方式，按质量份计，所述磷为0.002-0.008份。
作为一种优选的实施方式，按质量份计，所述磷为0.003份。
所述掺磷的液态金属的制备方法，包括以下步骤：
S1.按照组分配方称取液态金属的原料单质铟、锡，混合均匀后加入至坩埚中；升温至250-300℃，保温2-8小时，然后冷却至室温，得到的液态金属铟锡；
S2.将步骤S1制得的液态金属铟锡放置在容器中，加热到300～500摄氏度，加入磷源，搅拌均匀，即得掺磷的液态金属。
所述磷源无特别限制，可以列举的有磷化铟、磷锡、磷酸铟等；
优选为锡磷。所述锡磷购买于鑫茂锡业有限公司。
其中添加锡元素的含量计算在合金成分之内。
作为一种优选的实施方式，所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将掺磷的液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌05-2小时，搅拌速度为10-100rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用热蒸镀或电子束蒸发或磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至100-150度；将步骤(1)得到的掺磷的液态金属涂覆在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
本申请中，通过在石墨表面涂布液态金属铟锡，能够降低散热膜的垂直热阻，但是由于两者之间表面张力的限制，导致液态金属在固化的过程中会出现收缩等现象，导致石墨与液态金属之间出现空隙，空隙的存在限定了散热膜热阻上的降低以及散热膜结构的稳定性。本申请人通过在石墨上沉积过渡层、以及将液态金属在空气中搅拌0.5-2小时，降低了液态金属与石墨之间的表面张力差距，使液态金属能够与石墨充分接触；同时本申请人意外发现，通过将掺磷的液态金属与石墨制备成散热膜，通过热压作用与发热体(如OLED屏、芯片等)结合时，不仅能够起到很好的散热作用，而且还能够防止液态金属在长期使用下的侧漏问题。猜测原因是铟锡液态金属显微组织主要由树枝晶、共晶组织或金属间化合物组成，磷的加入改变了原显微组织的组成，同时促进了液态金属与发热体、过渡层的界面反应，适度的界面反应可以使液态金属片与发热体、过渡层之间形成良好的结合力，有助于提高相互间的力学性能。
下面通过实施例对本发明进行具体描述。有必要在此指出的是，以下实施例只用于对本发明作进一步说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，该领域的专业技术人员根据上述本发明的内容做出的一些非本质的改进和调整，仍属于本发明的保护范围。
另外，如果没有其它说明，所用原料都是市售得到的。
实施例
实施例1
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属合金的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温5小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌1小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例2
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为40微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1050；所述过渡层的厚度为0.08微米；所述液态金属层的厚度为20微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温5小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌1小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例3
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.01微米；所述液态金属层的厚度为40微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温5小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌1小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例4
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为铟。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温5小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，具体步骤同实施例1。
实施例5
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.1微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温5小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，具体步骤同实施例1。
实施例6
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述液态金属层的厚度为30微米。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，包括以下步骤：按照组分配方称取液态金属的原料单质，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温5小时，然后冷却至室温，将得到的液态金属置于惰性气氛保护的容器中备用。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌1小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例7
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，具体步骤同实施例1。
液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌0.5小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例8
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，具体步骤同实施例1。
液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌2小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例9
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，具体步骤同实施例1。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(2)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(3)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例10
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟和48份锡。
所述液态金属的制备方法，具体步骤同实施例1。
液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌5小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至130度；将步骤(1)得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例11
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟、48份锡和0.003份磷。
所述掺磷的液态金属的制备方法，包括以下步骤：
S1.按照组分配方称取液态金属的原料单质铟、锡，混合均匀后加入至坩埚中；升温至280℃，保温2-8小时，然后冷却至室温，得到的液态金属铟锡；
S2.将步骤S1制得的液态金属铟锡放置在容器中，加热到380摄氏度，加入锡磷，搅拌均匀，即得掺磷的液态金属。
所述锡磷购买于鑫茂锡业有限公司。
其中添加锡元素的含量计算在合金成分之内，即锡磷中的锡和单质锡的含量为48份。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将掺磷的液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌1小时，搅拌速度为80rpm；
(2)用丙酮将石墨表面清洗，去除表面有机杂质，再使用酒精清洗干净；
(3)使用磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至150度；将步骤1得到的液态金属通过丝网印刷(丝网目数200目)在石墨的过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
实施例12
一种液态金属与石墨复合散热膜，从下到上依次包括石墨层、过渡层、液态金属层。
所述石墨层的厚度为25微米，所述石墨购买于深圳市兴业新材料有限公司，型号XY1025；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米。
所述过渡层的金属为锡。
按重量份计，所述液态金属包括52份铟、48份锡和0.01份磷。
所述掺磷的液态金属的制备方法具体步骤同实施例1。
所述液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，具体步骤同实施例11。
性能测试
散热性能测试：采用方形陶瓷加热体来模拟元件工作时的产热效果，然后测试陶瓷加热体在贴附各实施例复合散热膜前后的温度来检测散热性能，使用红外热像仪获取最高温度。
稳定性：将实施例1、11和12中的散热膜反复测试散热性能1000次，观察液态金属的侧漏情况，发现实施例1中的液态金属出现泄漏，实施例11和12中的液态金属未发生侧漏。
以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对发明作其他形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或更改为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改，等同变化与改型，仍属于本发明技术方案的保护范围。
Claims (1)
1.一种液态金属与石墨复合散热膜，其特征在于，从下到上依次包括石墨层、液态金属层；
所述石墨层与液态金属层中间还包括过渡层；
所述石墨层的厚度为25微米；所述过渡层的厚度为0.04微米；所述液态金属层的厚度为30微米；
所述过渡层的金属为锡；
按重量份计，所述液态金属包括52份铟、48份锡和0.003份磷；
所述的液态金属与石墨复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将液态金属放置于烧杯中，在空气中搅拌0.5-2小时，搅拌速度为10-100rpm；
(2)清洗石墨表面；
(3)使用热蒸镀或电子束蒸发或磁控溅射的方法，在石墨上沉积过渡层；
(4)将石墨放置在加热台上，加热至100-150度；将步骤(1)得到的液态金属涂覆在过渡层表面形成均匀的薄膜，然后冷却至室温，即得。
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