CN110325283B - 可调整流量喷嘴系统 - Google Patents

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Abstract

本文描述可调整流量喷嘴系统的各个实施例，所述可调整流量喷嘴系统具有歧管，所述歧管具有多个可调整流量喷嘴，在所述可调整流量喷嘴中，可以个别地调整每一可调整流量喷嘴的流动速率。

Description

可调整流量喷嘴系统
技术领域
本公开涉及一种可调整流量喷嘴系统且确切地说涉及一种可调整流量喷嘴系统，其通过使重叠布置的至少两个开口相对于彼此选择性地旋转以建立通过每一个别流量喷嘴的非零最小流动速率到最大流动速率来调整由每一可调整流量喷嘴形成的整个开口的截面面积。
背景技术
半导体处理涉及从硅晶片的表面选择性移除聚合物或金属。这通过在一批晶片上喷涂酸或溶剂等各种化学品来实现。影响移除速率的许多因素中的一个是通过喷射嘴的液体的流动速率和体积。目前，通过调整一次流入歧管中所有喷射嘴的流量，在“宏观”水平上完成通过每一喷射嘴的流量调整。可如所描述改变个别喷射嘴，但此对每一喷射嘴的个别调整是费时的，且无法精确地调整通过每一相应喷射嘴的液体的流量。
附图说明
图1是根据本发明的一个方面的展示可调整流量歧管的可调整流量喷嘴系统的透视图；
图2是根据本发明的一个方面的在分解视图中展示可调整流量喷嘴的可调整流量歧管的透视图；
图3是根据本发明的一个方面的可调整流量歧管的侧视图；
图4是根据本发明的一个方面的展示密封相应出入开口的多个柱塞的可调整流量歧管的俯视图；
图5是根据本发明的一个方面的展示多个可调整流量喷嘴中的一个的沿着图3的线5-5的可调整流量歧管的截面视图；
图6是根据本发明的一个方面的可调整流量歧管的歧管主体的透视图；
图7是图6的歧管主体的端视图；
图8是根据本发明的一个方面的沿着图7的线8-8截取的歧管主体的截面视图；
图9是根据本发明的一个方面的歧管主体的仰视图；
图10是根据本发明的一个方面的歧管主体的俯视图；
图11是根据本发明的一个方面的沿着图8的线11-11截取的放大截面视图；
图12是根据本发明的一个方面的喷嘴固持器的透视图；
图13是根据本发明的一个方面的图12中所展示的喷嘴固持器的相对透视图；
图14是根据本发明的一个方面的以虚线展示通道的喷嘴固持器的侧视图；
图15是根据本发明的一个方面的喷嘴固持器的部分截面视图；
图16是根据本发明的一个方面的喷嘴固持器的俯视平面图；
图17是根据本发明的一个方面的可调整流量喷嘴的固持器孔插入物的透视图；
图18是根据本发明的一个方面的固持器孔插入物的前视图；
图19是根据本发明的一个方面的固持器孔插入物的侧视图；
图20是根据本发明的一个方面的可调整流量喷嘴的歧管孔插入物的透视图；
图21是根据本发明的一个方面的歧管孔插入物的前视图；
图22是根据本发明的一个方面的歧管孔插入物的侧视图；
图23是根据本发明的一个方面的沿着图22的线23-23截取的歧管孔插入物的放大截面视图；
图24是根据本发明的一个方面的用以密封歧管主体的出入开口的柱塞的透视图；
图25是根据本发明的一个方面的图24的柱塞的侧视图；
图26是根据本发明的一个方面的图24的柱塞的另一侧视图；
图27是根据本发明的一个方面的图24的柱塞的俯视平面图；
图28是根据本发明的一个方面的用于调整可调整流量喷嘴的流动速率的调整键的透视图；
图29是根据本发明的一个方面的图28的调整键的侧视图；
图30是根据本发明的一个方面的展示第一键元件和第二键元件的调整键的端视图；
图31是根据本发明的一个方面的以虚线展示的经配置以接纳第一键元件的第一凹槽的调整键的侧视图；
图32是根据本发明的一个方面的分别以虚线展示的经配置以接纳第一键元件和第二键元件的第一凹槽和第二凹槽的调整键的侧视图；
图33是根据本发明的一个方面的展示槽口的调整键的端视图；
图34是根据本发明的一个方面的图33中所展示的调整键的相对端视图；
图35是根据本发明的一个方面的第一键元件的透视图；
图36是根据本发明的一个方面的图35的第一键元件的俯视图；
图37是根据本发明的一个方面的图35的第一键元件的截面视图；
图38A到38K展示根据本发明的一个方面的可调整流量喷嘴的歧管孔插入物相对于固持器孔插入物的旋转顺序；
图39是根据本发明的一个方面的展示由柱塞密封的可调整流量喷嘴的出入开口的可调整流量歧管的截面视图；
图40是根据本发明的一个方面的展示接合到可调整流量喷嘴的调整键的可调整流量歧管的截面视图；
图41是根据本发明的一个方面的展示通过歧管主体的液体的流量的可调整流量歧管的透视图；
图42是展示根据本发明的一个方面的可调整流量喷嘴的开口百分比和针对歧管孔插入物相对于固持器孔插入物的每一旋转角同时发生的开口区域的减小的表格；
图43是说明根据本发明的一个方面的图39的表格中所展示的角度值、开口区域的减小以及开口百分比的图表；
图44是根据本发明的一个方面的展示用以调整歧管孔插入物的安放标志的图10的放大视图；
图45是根据本发明的一个方面的图8中所展示的歧管主体的透视图；
图46是根据本发明的一个方面的喷嘴组件的相对透视图；
图47是根据本发明的一个方面的喷嘴组件的端视图；
图48是根据本发明的一个方面的喷嘴组件的相对端视图；
图49是根据本公开的一个方面的喷嘴组件的侧视图；
图50是根据本发明的一个方面的喷嘴组件的相对侧视图；且
图51是根据本发明的一个方面的沿着图50的线51-51截取的喷嘴组件的截面视图。
对应的参考标号在图式的视图中指示对应元件。附图中所使用的标题不限制权利要求书的范围。
具体实施方式
本文描述可调整流量喷嘴系统的各个实施例，所述可调整流量喷嘴系统具有歧管，所述歧管具有多个可调整流量喷嘴，在所述可调整流量喷嘴中，可以个别地调整每一可调整流量喷嘴的流动速率。在一些实施例中，可调整流量喷嘴系统可用于半导体处理，这通过以各种流动速率在一批硅晶片上通过多个个别地可调整流量喷嘴喷涂各种溶剂或酸来进行。在一些实施例中，每一可调整流动速率喷嘴包含歧管孔插入物，所述歧管孔插入物界定与界定至少一个开口的固持器孔插入物呈重叠关系的至少一个开口，其中重叠开口沿着共用旋转轴对准，以用于界定控制通过可调整流体喷嘴的流体的流动速率的集合开口。在一些实施例中，当相对于固持器孔插入物旋转歧管孔插入物时调整集合开口的截面面积会调整通过可调整流量喷嘴的流动速率。在一些实施例中，通过选择性地重叠开口以使得每一可调整流量喷嘴可在当在重叠开口之间出现最小重叠时的非零最小流动速率与当在重叠开口之间出现最大重叠时的最大流动速率之间调整来调整每一可调整流量喷嘴的流动速率。在一些实施例中，可使用接合且使歧管孔插入物相对于固定固持器孔插入物旋转的调整键来个别地调整每一可调整流量喷嘴的流动速率。参看图式，说明可调整流量喷嘴系统的各个实施例且可调整流量喷嘴系统的各个实施例在图1到43中通常指示为100。
参看图1到4，可调整流量喷嘴系统100包含可调整流量歧管102，所述可调整流量歧管具有沿着细长歧管主体106串联定位的多个可调整流量喷嘴104。在一些实施例中，可调整流量喷嘴104中的每一个可手动调整到特定流动速率。在一些实施例中，可使用调整键166通过歧管主体106的内部出入每一可调整流量喷嘴104，以手动调整每一可调整流量喷嘴104的流动速率，而不需要拆卸每一可调整流量喷嘴104或需要从歧管主体106脱离可调整流量喷嘴104来调整流动速率。
如图6到11中所展示，歧管主体106由顶侧122、底侧124、前侧126和后侧128共同地界定，所述歧管主体具有共同地界定细长矩形歧管主体106的远侧端部分130和相对的近侧端部分132。参看图6和8到10，歧管主体106界定沿着歧管主体106的顶侧122串联布置且经配置以由相应柱塞108(图4)密封的多个出入开口134。
参看图24到27，每一柱塞108经配置以在喷嘴流量系统100的操作期间密封相应出入开口134。在一些实施例中，柱塞108包含盖部分160和从盖部分160轴向延伸的基座部分161。如图39中所展示，基座部分161经配置以接合和密封出入腔139，同时盖部分160密封出入开口134，以建立柱塞108与歧管主体106之间的水密密封。
如图6和8中所展示，歧管主体106进一步界定沿着歧管主体106的底侧124串联布置且经配置以接合到相应可调整流量喷嘴104的多个孔口135。如图11中所展示，每一出入开口134与相应出入腔139连通且每一孔口135与相应喷嘴腔138连通。喷嘴腔138经配置以接纳可调整流量喷嘴104。在一些实施例中，每一相应出入开口134与相应孔口135正相对定位，使得可调整流量喷嘴104可通过出入开口134出入以手动调整可调整流量喷嘴104的流动速率，如下文更详细地描述。如图10和44中所展示，在一些实施例中安放标志117可雕刻或放置在每一相应出入孔134周围，以当手动调整每一相应可调整流量喷嘴104所要流动速率时为用户提供流动速率的视觉指示器。如图10中所展示，相应安放标志117A到117I可与每一可调整流量喷嘴104相关联。在一些实施例中，安放标志117可以是为用户提供施加到每一相应可调整流量喷嘴104的流动速率的视觉指示的预设数字、线、视觉指示符或其组合。
如图11中进一步展示，歧管主体106的近侧端部分132界定近侧开口141且歧管主体106的远侧端部分130界定远侧开口140。歧管主体106进一步界定轴向通道136，所述轴向通道在轴向通道136的一端处与远侧开口140连通且在轴向通道的相对端处与近侧开口141连通。如上文所提及，每一出入开口134经配置以接合到柱塞108，以密封轴向通道136的出入口以及可调整流量喷嘴104的后部分。此外，每一孔口135经配置以接合到与相应柱塞108相对定位的相应可调整流量喷嘴104。
图41说明通过可调整流量歧管102的流体路径。如所展示，入口流A通过歧管主体106的远侧开口140进入轴向通道136且入口流B通过歧管主体106的近侧开口141进入轴向通道136的相对端。在一个方面中，可手动调整每一可调整流量喷嘴104以允许具有相同或不同流动速率的相应出口流C1到出口流C9。
如图5中所展示，在一些实施例中，每一可调整流量喷嘴104包含可调整喷嘴组件110，所述可调整喷嘴组件经手动和个别地调整以修改集合开口158的截面面积，使得特定可调整流量喷嘴104的流动速率可改变到所要流动速率。因此，每一可调整流量喷嘴104可个别地调整，以提供与可调整流量歧管102的其它可调整流量喷嘴104相同或不同的流动速率。
参看图2和5，每一可调整流量喷嘴104包含固持器孔插入物114，所述固持器孔插入物以重叠方式与相对于固持器孔插入物114手动旋转的歧管孔插入物116堆叠，以个别地调整可调整流量喷嘴104的流动速率。在组装中，固持器孔插入物114固定在适当位置并与歧管孔插入物116接合。在操作中，可使用调整键166相对于静止固持器孔插入物114手动旋转歧管孔插入物116，以调整流动速率，如下文更详细地描述。在一些实施例中，每一可调整流量喷嘴104进一步包含喷嘴组件110，其接合到固持器孔插入物114且充当喷嘴布置，以在喷涂动作中以预先确定的流动速率释放流体。在一些实施例中，喷嘴组件110界定周向凹槽，所述周向凹槽经配置以接纳O形环118，以在可调整流量喷嘴104与歧管主体106之间建立液密密封。此外，可调整流量喷嘴104可包含形成用于组装可调整流量喷嘴104的部分的O形环121。如进一步所展示，柱塞108可包含在柱塞108与出入开口134之间建立液密密封的O形环120。
如在图5和45到51中所展示，在一些实施例中，喷嘴组件110包含喷嘴主体180，所述喷嘴主体界定形成喷嘴头181的远侧端部分190和形成近侧开口184的近侧端部分191。喷嘴头181界定经配置以提供喷涂动作的喷嘴开口182。如图51中所展示，管道183经界定穿过喷嘴主体180且在喷嘴开口182与近侧开口184之间流体流连通，以用于建立通过喷嘴组件110的流体流连通。如所展示，喷嘴主体180形成中间凸缘185和近侧凸缘186，所述中间凸缘和近侧凸缘共同地界定经配置以接纳O形环118(图5)的槽187。如进一步所展示，在一些实施例中卡口固定件189可邻近近侧开口184形成，所述卡口固定件经配置以将喷嘴组件110接合到喷嘴固持器112。
在一些实施例中，可调整流量喷嘴104进一步包含接合到喷嘴组件110的喷嘴固持器112，使得喷嘴组件110延伸通过喷嘴固持器112并固持到歧管主体105。如图12到14中所展示，在一些实施例中喷嘴固持器112界定盖部分142和从盖部分142轴向延伸的管状部分143。喷嘴固持器112形成轴向通道144，所述轴向通道与被界定穿过管状部分143的第一轴向开口145和被界定穿过盖部分142的第二轴向开口149连通。轴向通道144经配置以接纳喷嘴组件110，使得喷嘴组件110延伸通过如图5中所展示的第一轴向开口145和第二轴向开口149。此外，喷嘴固持器112形成周边边缘146，所述周边边缘界定相对彼此界定的第一平坦部分147和第二平坦部分148，如图16中所说明。第一平坦部分147和第二平坦部分148充当夹持表面，所述夹持表面经配置以由拇指和食指接合，以当在组装可调整流量喷嘴104期间将固持器喷嘴112接合到喷嘴组件110和歧管主体106时准许个人夹持喷嘴固持器112。
如图17到19中所展示，固持器孔插入物114界定大体上盘形主体151，其具有穿过固持器孔插入物114形成的中心开口150。在一些实施例中，固持器孔插入物114界定穿过盘主体151形成的一对相对的第一弯曲狭槽162和第二弯曲狭槽163，其形成集合开口158(图38A到38K)的部分，且具有歧管孔固持器116，其建立通过每一可调整流量喷嘴104的流体流动速率，如下文更详细地论述。此外，固持器孔插入物114界定基本上圆形周边边缘，所述基本上圆形周边边缘形成键部分152，所述键部分从固持器孔主体114的周边边缘朝外延伸。键部分152经配置以在组装可调整流量喷嘴104期间对准固持器孔插入物114并在喷嘴组件110与歧管孔插入物116之间将固持器孔插入物固定在适当位置。
如图20到23中所展示，歧管孔插入物116界定大体上盘形主体157，其具有穿过歧管孔插入物116形成的中心开口154。在一些实施例中，歧管孔插入物116界定穿过歧管孔插入物116形成的一对相对的第一弯曲狭槽164和第二弯曲狭槽165，其与固持器孔插入物114的第一狭槽162和第二狭槽163的配置相同，所述第一狭槽和第二狭槽当与歧管孔插入物116的第一弯曲狭槽164和第二弯曲狭槽165对准时共同地形成集合开口158的部分(图38A到38K)以建立通过每一可调整流量喷嘴104的流体流动速率，如下文更详细地论述。此外，歧管孔插入物116界定基本上相似的圆形周边边缘，其具有与固持器孔插入物114基本上相似或相同的配置。在一些实施例中，歧管孔插入物116的中心开口154具有与固持器孔插入物114的中心开口150相同的配置且与中心开口150同轴对准，以当通过第一弯曲狭槽162/164和第二弯曲狭槽163/165的流动速率被阻止时建立通过可调整流量喷嘴104的非零最小流动速率(图38K)。参看图22和23，第一键接收座155和第二键接收座156穿过歧管孔插入物116的后表面185形成，所述第一键接收座和第二键接收座经配置以当调整可调整流量喷嘴104的流动速率时接合调整键166，如下文更详细地描述。
如上文所提及，歧管孔插入物116相对于静止固持器孔插入物114的旋转会使集合开口158的截面面积改变，所述集合开口通过在相对于固持器孔插入物114的静止第一狭槽162和第二狭槽163的旋转的歧管孔插入物116的第一弯曲狭槽164和第二弯曲狭槽165之间的重叠布置界定，所述改变会调整通过可调整流量喷嘴104的流动速率。在一个方面中，当歧管孔插入物116围绕共用轴线204(图38A到38K)相对于固持在固定位置中的固持器孔插入物114旋转时，可调整流量喷嘴104通过对准的第一弯曲狭槽162/164与对准的第二弯曲狭槽163/165之间的选择性重叠调整。如上文所提及，在一些实施例中，固持器孔插入物114的第一弯曲狭槽162和第二弯曲狭槽163以及歧管孔插入物116的第一弯曲狭槽164和第二弯曲狭槽165各自界定相同弯曲狭槽，但在其它实施例中，第一弯曲狭槽162和第二弯曲狭槽163以及第一弯曲狭槽164和第二弯曲狭槽165可各自界定相同或不同形状的开口，例如半圆形开口、矩形开口、不规则形开口、角形开口，和/或正方形开口，圆形开口除外，这是因为一对圆形开口沿着相同轴线旋转将不会对由重叠布置共同界定的开口的截面面积产生改变。第一弯曲狭槽162和第二弯曲狭槽163与第一弯曲狭槽164和第二弯曲狭槽165之间的这种重叠布置还允许在非零最小流动速率与最大流动速率之间的范围内手动调整可调整流量喷嘴104的流动速率。具体地说，通过可调整流量喷嘴104实现非零最小流动速率，这是因为借助于穿过中心开口150和154的流体流连通，始终将存在一定程度的最小流体流动，虽然第一曲线狭槽162和第二曲线狭槽163以及第一曲线狭槽164和第二曲线狭槽165可定向成使得集合开口158禁止如图38K中所展示的流体流连通。在不存在对准的中心开口150/154的其它实施例中，固持器孔插入物114的第一曲线狭槽162和第二曲线狭槽163与歧管孔插入物116的第一曲线狭槽164和第二曲线狭槽165可呈重叠布置以确定穿过如图38J中所展示的可调整流量喷嘴104的非零最小流动速率。
参考图28到37和40，如上文所描述，通过在由安放标志117(图44)指示的方向上使用调整键166来旋转歧管孔插入物116直到将可调整流量喷嘴104调整成由安放标志117指示的期望流动速率为止，可调整流量喷嘴104的流动速率。在一些实施例中，调整键166包含界定远端部分172和近端部分173的细长键主体167，所述细长键主体具有充足的长度以允许远端部分172通过通道136出入可调整流量喷嘴104。在一些实施例中，第一键元件168和第二键元件169从细长键主体167的远端部分172延伸，所述远端部分经配置以接纳于歧管孔插入物116的相应第一键接收座155和第二键接收座156内。如图30到32中所展示，第一凹部176和第二凹部177邻近于调整键166的远端部分172形成于细长键主体167内，且经配置成以足以防止第一键元件168和第二键元件169无意脱离的紧密接合方式接纳相应第一键元件168和第二键元件169。在其它实施例中，调整键166可包含与细长键主体167的远端部分172一体成型的第一键元件168和第二键元件169。在一些实施例中，调整键166可界定穿过细长键主体167的近端部分173形成的通道171。在一些实施例中，可沿着细长键主体167的近端部分173界定槽口170。
如图35到37中所展示，与第二键元件169具有相同配置的第一键元件168可界定端部分174和本体部分175。端部分175形成经配置以与如图40中所展示的歧管孔插入物116第一键接收座155或第二键接收座156接合的尖形状，且本体部分175经配置以安置于细长键主体167的第一凹部176或第二凹部177内，使得端部分174从调整键166的远端部分172朝外延伸。在一些实施例中，端部分175可具有类似于常规螺丝刀或十字螺丝刀的配置。
图38A到38K说明在歧管孔插入物116由调整键166旋转时相对于静止固持器孔插入物114使歧管孔插入物116旋转的序列，以沿着可调整流量歧管102个别地改变相应可调整流量喷嘴104中之每一个的流动速率。参考图38A，歧管孔插入物116与固持器孔插入物114在重叠布置中对准，使得固持器孔插入物114的第一曲线狭槽162和第二曲线狭槽163的纵轴200与歧管孔插入物116的第一曲线狭槽164和第二曲线狭槽165的纵轴202沿着相同定向对准。在此定向上，通过对准的第一曲线狭槽162/164与对准的第二曲线狭槽163/165之间的重叠关系形成的相应集合开口158各自界定可由每一相应集合开口158界定的最大截面面积。参考图38B到38K，当歧管孔插入物116的第一曲线狭槽164和第二曲线狭槽165相对于固持器孔插入物114的静止第一曲线狭槽162和第二曲线狭槽163旋转时，在顺时针方向上(或在替代实施例中，在逆时针方向上)使歧管孔插入物116围绕中心轴204旋转将逐渐减小每一相应集合开口158的截面面积。相反地，在逆时针方向上(或在替代实施例中，在顺时针方向上)使歧管孔插入物116旋转将逐渐增大集合开口158的截面面积。如图38K中所展示，可使旋转歧管孔插入物116，使得歧管孔插入物116的纵轴202相对于固持器孔插入物114的纵轴200处于垂直关系。在此重叠布置中，集合开口158禁止流体流连通，使得穿过对准的中心开口150/154的流体流动经受非最小流动速率。
如图42中所展示，表格说明集合开口158的截面面积减小(平方毫米)和集合开口158在第一纵轴200与第二纵轴202之间的角增大时减小的百分比。图43是图表，其说明形成于第一纵轴200与第二纵轴202之间的角、集合开口158对于形成于第一纵轴200与第二纵轴202之间的角的截面面积逐渐减小与集合开口158随形成于第一纵轴200与第二纵轴202之间的每一角减小的百分比之间的关系。
从前文应理解，尽管已说明并描述特定实施例，但可对特定实施例进行各种修改而不脱离如所属领域的技术人员将显而易见的本发明的精神和范围。此类改变和修改处于如在所附权利要求书中定义的本发明的范围和教示。

Claims (14)

1.一种可调整流量喷嘴系统，其包括：
可调整流量歧管，其包括：限定轴向通道的歧管主体，所述轴向通道在限定远侧开口的远侧端部分与限定近侧开口的近侧端部分之间延伸；多个出入开口，其沿着所述歧管主体的一侧形成；以及多个孔口，其在所述歧管主体的相对侧上形成，其中所述多个出入开口和孔口与所述轴向通道连通，以及
多个可调整流量喷嘴，其耦合到所述多个孔口中的相应一个，所述多个可调整流量喷嘴中的每一个包括：
喷嘴组件，其经配置用于为离开所述喷嘴组件的流体提供流体路径；
固持器孔插入物，其接合到所述喷嘴组件，所述固持器孔插入物限定至少一个开口；以及
歧管孔插入物，其接合到所述固持器孔插入物，所述歧管孔插入物以重叠布置限定与所述固持器孔插入物的所述至少一个开口呈同轴关系的至少一个开口，使得在所述歧管孔插入物的所述至少一个开口与所述固持器孔插入物的所述至少一个开口之间具有集合开口，其中所述歧管孔插入物能够用于相对于所述固持器孔插入物旋转，使得所述集合开口的截面面积得到调整，其中调整所述集合开口的所述截面面积会逐渐调整通过所述多个可调整流量喷嘴中的每一个的流动速率；且其中所述多个可调整流量喷嘴中的每一个可操作以独立于所述多个可调整流量喷嘴中的其他可调整流量喷嘴而个别地调整。
2.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中所述歧管孔插入物限定第一键接收座和第二键接收座，以用于提供相应接合点以相对于所述固持器孔插入物旋转所述歧管孔插入物。
3.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中所述固持器孔插入物相对于所述歧管孔插入物固定在适当位置。
4.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中离开所述多个可调整流量喷嘴中的每一个的所述流动速率在非零最小流动速率与最大流动速率之间的范围内。
5.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中通过使所述歧管孔插入物的所述至少一个开口与所述固持器孔插入物的所述至少一个开口选择性地重叠来调整每一可调整流量喷嘴的所述流动速率，使得每一可调整流量喷嘴能够在当第一孔口与第二孔口之间出现最小重叠时的非零最小流动速率与当所述第一孔口与所述第二孔口之间出现最大重叠时的最大流动速率之间调整。
6.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中所述多个可调整流量喷嘴中的每一个进一步包括喷嘴固持器，所述喷嘴固持器接合到所述喷嘴组件，以用于将所述可调整流量喷嘴耦合到所述可调整流量歧管。
7.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其进一步包括：
多个柱塞，其经配置以密封所述多个出入开口中的相应一个。
8.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中所述固持器孔插入物限定朝外延伸的键部分，以用于相对于所述歧管孔插入物对准所述固持器孔插入物。
9.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其进一步包括：
调整键，其具有：细长键主体，其限定近侧部分和远侧部分；至少一个键元件，其从所述细长键主体的所述近侧部分延伸，所述至少一个键元件经配置以接合沿着所述歧管孔插入物形成的相应键接收座，以相对于所述固持器孔插入物旋转所述歧管孔插入物。
10.根据权利要求1所述的可调整流量喷嘴系统，其中所述歧管孔插入物进一步限定第一中心开口且所述固持器孔插入物进一步限定第二中心开口；且其中所述第一中心开口与所述第二中心开口同轴对准，以当所述集合开口的所述截面面积为零时建立通过所述多个可调整喷嘴中的每一个的非零最小流动速率。
11.一种用于调整可调整流量喷嘴系统的流动速率的方法，所述方法包括：
提供可调整流量歧管，所述可调整流量歧管包括：
歧管主体，其限定轴向通道，所述轴向通道在限定远侧开口的远侧端部分与限定近侧开口的近侧端部分之间延伸；多个出入开口，其沿着所述歧管主体的一侧形成；以及多个孔口，其在所述歧管主体的相对侧上形成，其中所述多个出入开口和孔口与所述轴向通道连通，以及
多个可调整流量喷嘴，其耦合到所述多个孔口中的相应一个，所述多个可调整流量喷嘴中的每一个包括：
喷嘴组件，其经配置用于为离开所述喷嘴组件的流体提供流体路径；
固持器孔插入物，其接合到所述喷嘴组件，所述固持器孔插入物限定第一喷嘴孔口；以及
歧管孔插入物，其接合到所述固持器孔插入物，所述歧管孔插入物以重叠布置限定与所述第一喷嘴孔口呈同轴关系的第二喷嘴孔口，使得通过所述第一喷嘴孔口和所述第二喷嘴孔口的重叠布置来限定集合开口，其中所述歧管孔插入物能够用于相对于所述固持器孔插入物旋转，使得所述集合开口的截面面积得到调整，
插入调整键，其具有细长键主体，所述细长键主体通过所述多个孔口中的一个限定近侧部分和远侧部分，所述调整键进一步包括从所述细长键主体的所述近侧部分延伸的至少一个键元件，
将所述调整键的所述至少一个键元件与沿着所述歧管孔插入物形成的相应键接收座接合；以及
旋转所述调整键，使得所述歧管孔插入物相对于所述固持器孔插入物旋转，以调整所述截面面积和通过所述集合开口的流动速率，
其中调整所述集合开口的所述截面面积会逐渐调整通过所述多个可调整流量喷嘴中的每一个的流动速率；且其中所述多个可调整流量喷嘴中的每一个可操作以独立于所述多个可调整流量喷嘴中的其他可调整流量喷嘴而个别地调整。
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述歧管孔插入物相对于所述固持器孔插入物的旋转会在非零最小流动速率与最大流动速率之间的范围内调整每一可调整流量喷嘴的所述流动速率。
13.根据权利要求11所述的方法，其中所述歧管孔插入物相对于所述固持器孔插入物的旋转会调整所述第一喷嘴孔口与所述第二喷嘴孔口之间的重叠关系。
14.根据权利要求13所述的方法，其中所述歧管孔插入物相对于所述固持器孔插入物的旋转会调整所述第一喷嘴孔口和所述第二喷嘴孔口之间的所述重叠关系，使得每一可调整流量喷嘴能够在当所述第一孔口与所述第二孔口之间出现最小重叠时的非零最小流动速率与当所述第一孔口与所述第二孔口之间出现最大重叠时的最大流动速率之间调整。
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