CN110319800B - 一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法 - Google Patents

一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法 Download PDF

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    • G01B17/08Measuring arrangements characterised by the use of subsonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring roughness or irregularity of surfaces

Abstract

本发明公开一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法,包括底座,底座顶部两侧均安装有下侧板,下侧板顶部安装有上侧板,且两个下侧板之间固定有水平设置的上支撑板,上支撑板顶部固定安装有壳体,且上支撑板上端面固定安装有两个夹持块,两个夹持块之间固定安装有第一丝杠,第一丝杠贯穿一侧夹持块且端部固定套接有第一皮带轮,第一皮带轮外周面通过皮带传动连接有第二皮带轮。本发明通过第一丝杠、第二丝杠的水平、纵向设置,使得芯片安装板移动移动至芯片入口处从而方便芯片安装在芯片固定板上,同时该设置可以通过丝杠驱动将芯片插入芯片卡槽内,解决现有技术中需要人为将芯片固定在清洗容器的技术问题。

Description

一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法
技术领域
本发明涉及芯片检测装置技术领域,具体涉及一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法。
背景技术
成品芯片需要通过检测从而得出其是否合格,目前通过超声波检测芯片也越来越普遍。
专利文件(CN201480054210.7)公开了一种半导体芯片检测装置,该检测装置不仅可以抑制上部半导体芯片与上部插座之间的连接不良,而且可通过缓冲在对半导体芯片的性能进行测试时所产生的冲击,防止装置及半导体芯片受损,由此稳定的维持半导体芯片的测试效率,但是该检测装置在检测芯片检测时需要人工将芯片进行固定,同时不能同时对多个芯片进行检测,实用性并不高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法,解决以下技术问题:(1)通过第一丝杠、第二丝杠的水平、纵向设置,使得芯片安装板移动移动至芯片入口处从而方便芯片安装在芯片固定板上,同时该设置可以通过丝杠驱动将芯片插入芯片卡槽内,解决现有技术中需要人为将芯片固定在清洗容器的技术问题;(2)通过芯片安装板带动芯片插入清洗容器内的相应芯片卡槽之间,在清洗容器内设置多个芯片卡槽,使得该检测装置可以同时对多个芯片进行检测,解决现有技术中清洗容器不能满足对多个芯片同时进行检查的技术问题;(3)通过伸缩气缸、支撑条的设置,便于下支撑板的移动,不会因为上支撑板而影响取出芯片,解决现有技术中芯片检测完成后不方便取出的技术问题。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
一种成品芯片检测用超声波检测装置,包括底座,所述底座顶部两侧均安装有下侧板,所述下侧板顶部安装有上侧板,且两个下侧板之间固定有水平设置的上支撑板,所述上支撑板顶部固定安装有壳体,且所述上支撑板上端面固定安装有两个夹持块,两个夹持块之间固定安装有第一丝杠,所述第一丝杠贯穿一侧夹持块且端部固定套接有第一皮带轮,所述第一皮带轮外周面通过皮带传动连接有第二皮带轮,所述第二皮带轮固定套接于第一电机输出轴端部,所述第一丝杠外周面通过丝套转动连接有安装架,所述安装架上转动安装有纵向设置的第二丝杠,所述第二丝杠顶部套接有第三皮带轮,所述第三皮带轮外周面通过皮带传动连接有第四皮带轮,所述第四皮带轮固定套接于第二电机输出轴端部,所述第二丝杠外周面通过丝套转动连接活动块一侧,所述活动块远离第二丝杠一侧表面滑动连接立轨,所述安装架底部一侧固定安装有固定板,所述固定板下表面滑动连接单轨,所述活动块表面中间位置固定有纵向设置的立杆,所述立杆贯穿上支撑板表面开设的第一通槽,且所述立杆底部固定有芯片安装板;
所述底座内固定安装有两个固定杆,所述固定杆外周面滑动设置有杆套,两个杆套分别固定于安装板下端面两侧,所述安装板一端固定连接伸缩气缸输出端活塞杆,且所述安装板上端面两侧均固定安装有支撑条,所述支撑条活动贯穿底座顶部开设的第二通槽,且所述支撑条分别固定于下支撑板下端面两侧。
进一步的,所述第一电机通过电机固定板安装于护板表面,所述第二电机通过电机固定板安装于安装架上。
进一步的,所述立轨固定安装于安装架上,所述单轨固定安装于上支撑板上端面。
进一步的,所述下支撑板顶部固定安装有超声波发生器,所述超声波发生器内固定设置有清洗容器,所述清洗容器两侧内壁均固定安装有等间距设置的若干芯片卡槽。
进一步的,一侧所述下侧板表面开设有芯片入口,所述芯片入口内壁顶部与芯片安装板底面位于同一平面。
进一步的,所述壳体一侧安装有护板,所述护板表面安装有散热鳍片。
进一步的,所述单轨一端固定设置有挡块,所述挡块顶面与固定板顶面位于同一平面。
进一步的,一种成品芯片检测用超声波检测装置的检测方法,包括如下步骤:
步骤一:将待检测芯片通过芯片入口插入芯片安装板,第一电机输出轴带动第二皮带轮转动,第二皮带轮通过皮带带动第一皮带轮转动,第一皮带轮带动第一丝杠转动,第一丝杠配合表面的丝套带动安装架移动,安装架带动固定板在单轨表面滑动,固定板挤压挡块后安装架停止移动;
步骤二:第二电机输出轴带动第四皮带轮转动,第四皮带轮通过皮带带动第三皮带轮转动,第三皮带轮带动第二丝杠转动,第二丝杠配合表面的丝套带动活动块延立轨向下移动,进而活动块带动立杆向下移动,立杆带动底部的芯片安装板向下移动,芯片安装板带动芯片插入清洗容器内的相应芯片卡槽之间,超声波发生器对芯片表面平整度进行检测,检测完成后伸缩气缸输出端活塞杆收缩,带动安装板底部的杆套在固定杆上滑动,进而安装板通过支撑条带动下支撑板移动,当支撑条移动到第二通槽端部时,即可从芯片卡槽内取出芯片。
本发明的有益效果:
本发明的一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法,通过将待检测芯片通过芯片入口插入芯片安装板,第一电机输出轴带动第二皮带轮转动,第二皮带轮通过皮带带动第一皮带轮转动,第一皮带轮带动第一丝杠转动,第一丝杠配合表面的丝套带动安装架移动,安装架带动固定板在单轨表面滑动,固定板挤压挡块后安装架停止移动,固定板的设置有效防止固定板在单轨表面滑脱的情况,同时帮助立杆底部的芯片安装板可以准确的定位在清洗容器正上方,第二电机输出轴带动第四皮带轮转动,第四皮带轮通过皮带带动第三皮带轮转动,第三皮带轮带动第二丝杠转动,第二丝杠配合表面的丝套带动活动块延立轨向下移动,进而活动块带动立杆向下移动,立杆带动底部的芯片安装板向下移动,芯片安装板带动芯片插入清洗容器内的相应芯片卡槽之间。该检测装置通过第一丝杠、第二丝杠的水平、纵向设置,使得芯片安装板移动移动至芯片入口处从而方便芯片安装在芯片固定板上,同时该设置可以通过丝杠驱动将芯片插入芯片卡槽内,无需人为插入芯片;
芯片安装板带动芯片插入清洗容器内的相应芯片卡槽之间,超声波发生器对芯片表面平整度进行检测,通过在清洗容器内设置多个芯片卡槽,使得该检测装置可以同时对多个芯片进行检测,具有一定实用性;
通过伸缩气缸输出端活塞杆收缩,带动安装板底部的杆套在固定杆上滑动,进而安装板通过支撑条带动下支撑板移动,当支撑条移动到第二通槽端部时,即可从芯片卡槽内取出芯片,通过伸缩气缸、支撑条的设置,便于下支撑板的移动,不会因为上支撑板而影响取出芯片,具有一定的便利性。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1是本发明一种成品芯片检测用超声波检测装置的结构示意图;
图2是本发明壳体内部结构图;
图3是本发明底座与上支撑板之间的正视图;
图4是本发明底座的内部剖视图;
图5是本发明清洗容器的安装示意图。
图中:1、底座;2、下侧板;3、上支撑板;4、壳体;5、上侧板;6、第一丝杠;61、夹持块;7、第一皮带轮;8、第二皮带轮;9、第一电机;10、安装架;11、第三皮带轮;12、第四皮带轮;13、第二电机;14、活动块;141、第二丝杠;142、立轨;15、立杆;151、芯片安装板;16、固定板;161、挡块;17、单轨;18、第一通槽;19、固定杆;20、杆套;21、安装板;22、支撑条;23、伸缩气缸;24、第二通槽;25、下支撑板;26、超声波发生器;27、清洗容器;28、芯片卡槽;29、芯片入口;30、护板;301、散热鳍片。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5所示,本发明为一种成品芯片检测用超声波检测装置,包括底座1,底座1顶部两侧均安装有下侧板2,下侧板2顶部安装有上侧板5,且两个下侧板2之间固定有水平设置的上支撑板3,上支撑板3顶部固定安装有壳体4,且上支撑板3上端面固定安装有两个夹持块61,两个夹持块61之间固定安装有第一丝杠6,第一丝杠6贯穿一侧夹持块61且端部固定套接有第一皮带轮7,第一皮带轮7外周面通过皮带传动连接有第二皮带轮8,第二皮带轮8固定套接于第一电机9输出轴端部,第一丝杠6外周面通过丝套转动连接有安装架10,安装架10上转动安装有纵向设置的第二丝杠141,第二丝杠141顶部套接有第三皮带轮11,第三皮带轮11外周面通过皮带传动连接有第四皮带轮12,第四皮带轮12固定套接于第二电机13输出轴端部,第二丝杠141外周面通过丝套转动连接活动块14一侧,活动块14远离第二丝杠141一侧表面滑动连接立轨142,安装架10底部一侧固定安装有固定板16,固定板16下表面滑动连接单轨17,活动块14表面中间位置固定有纵向设置的立杆15,立杆15贯穿上支撑板3表面开设的第一通槽18,且立杆15底部固定有芯片安装板151;
底座1内固定安装有两个固定杆19,固定杆19外周面滑动设置有杆套20,两个杆套20分别固定于安装板21下端面两侧,安装板21一端固定连接伸缩气缸23输出端活塞杆,且安装板21上端面两侧均固定安装有支撑条22,支撑条22活动贯穿底座1顶部开设的第二通槽24,且支撑条22分别固定于下支撑板25下端面两侧。
具体的,第一电机9通过电机固定板安装于护板30表面,第二电机13通过电机固定板安装于安装架10上。立轨142固定安装于安装架10上,单轨17固定安装于上支撑板3上端面。下支撑板25顶部固定安装有超声波发生器26,超声波发生器26内固定设置有清洗容器27,清洗容器27两侧内壁均固定安装有等间距设置的若干芯片卡槽28。一侧下侧板2表面开设有芯片入口29,芯片入口29内壁顶部与芯片安装板151底面位于同一平面。壳体4一侧安装有护板30,护板30表面安装有散热鳍片301。单轨17一端固定设置有挡块161,挡块161顶面与固定板16顶面位于同一平面。一种成品芯片检测用超声波检测装置的检测方法,包括如下步骤:
步骤一:将待检测芯片通过芯片入口29插入芯片安装板151,第一电机9输出轴带动第二皮带轮8转动,第二皮带轮8通过皮带带动第一皮带轮7转动,第一皮带轮7带动第一丝杠6转动,第一丝杠6配合表面的丝套带动安装架10移动,安装架10带动固定板16在单轨17表面滑动,固定板16挤压挡块161后安装架10停止移动;
步骤二:第二电机13输出轴带动第四皮带轮12转动,第四皮带轮12通过皮带带动第三皮带轮11转动,第三皮带轮11带动第二丝杠141转动,第二丝杠141配合表面的丝套带动活动块14延立轨142向下移动,进而活动块14带动立杆15向下移动,立杆15带动底部的芯片安装板151向下移动,芯片安装板151带动芯片插入清洗容器27内的相应芯片卡槽28之间,超声波发生器26对芯片表面平整度进行检测,检测完成后伸缩气缸23输出端活塞杆收缩,带动安装板21底部的杆套20在固定杆19上滑动,进而安装板21通过支撑条22带动下支撑板25移动,当支撑条22移动到第二通槽24端部时,即可从芯片卡槽28内取出芯片。
请参阅图1-5所示,本实施例的一种成品芯片检测用超声波检测装置的工作过程如下:
将待检测芯片通过芯片入口29插入芯片安装板151,第一电机9输出轴带动第二皮带轮8转动,第二皮带轮8通过皮带带动第一皮带轮7转动,第一皮带轮7带动第一丝杠6转动,第一丝杠6配合表面的丝套带动安装架10移动,安装架10带动固定板16在单轨17表面滑动,固定板16挤压挡块161后安装架10停止移动;
第二电机13输出轴带动第四皮带轮12转动,第四皮带轮12通过皮带带动第三皮带轮11转动,第三皮带轮11带动第二丝杠141转动,第二丝杠141配合表面的丝套带动活动块14延立轨142向下移动,进而活动块14带动立杆15向下移动,立杆15带动底部的芯片安装板151向下移动,芯片安装板151带动芯片插入清洗容器27内的相应芯片卡槽28之间,超声波发生器26对芯片表面平整度进行检测,检测完成后伸缩气缸23输出端活塞杆收缩,带动安装板21底部的杆套20在固定杆19上滑动,进而安装板21通过支撑条22带动下支撑板25移动,当支撑条22移动到第二通槽24端部时,即可从芯片卡槽28内取出芯片。
以上内容仅仅是对本发明结构所作的举例和说明,所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,只要不偏离发明的结构或者超越本权利要求书所定义的范围,均应属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种成品芯片检测用超声波检测装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)顶部两侧均安装有下侧板(2),所述下侧板(2)顶部安装有上侧板(5),且两个下侧板(2)之间固定有水平设置的上支撑板(3),所述上支撑板(3)顶部固定安装有壳体(4),且所述上支撑板(3)上端面固定安装有两个夹持块(61),两个夹持块(61)之间固定安装有第一丝杠(6),所述第一丝杠(6)贯穿一侧夹持块(61)且端部固定套接有第一皮带轮(7),所述第一皮带轮(7)外周面通过皮带传动连接有第二皮带轮(8),所述第二皮带轮(8)固定套接于第一电机(9)输出轴端部,所述第一丝杠(6)外周面通过丝套转动连接有安装架(10),所述安装架(10)上转动安装有纵向设置的第二丝杠(141),所述第二丝杠(141)顶部套接有第三皮带轮(11),所述第三皮带轮(11)外周面通过皮带传动连接有第四皮带轮(12),所述第四皮带轮(12)固定套接于第二电机(13)输出轴端部,所述第二丝杠(141)外周面通过丝套转动连接活动块(14)一侧,所述活动块(14)远离第二丝杠(141)一侧表面滑动连接立轨(142),所述安装架(10)底部一侧固定安装有固定板(16),所述固定板(16)下表面滑动连接单轨(17),所述活动块(14)表面中间位置固定有纵向设置的立杆(15),所述立杆(15)贯穿上支撑板(3)表面开设的第一通槽(18),且所述立杆(15)底部固定有芯片安装板(151);
所述底座(1)内固定安装有两个固定杆(19),所述固定杆(19)外周面滑动设置有杆套(20),两个杆套(20)分别固定于安装板(21)下端面两侧,所述安装板(21)一端固定连接伸缩气缸(23)输出端活塞杆,且所述安装板(21)上端面两侧均固定安装有支撑条(22),所述支撑条(22)活动贯穿底座(1)顶部开设的第二通槽(24),且所述支撑条(22)分别固定于下支撑板(25)下端面两侧;
所述下支撑板(25)顶部固定安装有超声波发生器(26),所述超声波发生器(26)内固定设置有清洗容器(27),所述清洗容器(27)两侧内壁均固定安装有等间距设置的若干芯片卡槽(28)。
2.根据权利要求1所述的一种成品芯片检测用超声波检测装置,其特征在于,所述第一电机(9)通过电机固定板安装于护板(30)表面,所述第二电机(13)通过电机固定板安装于安装架(10)上。
3.根据权利要求1所述的一种成品芯片检测用超声波检测装置,其特征在于,所述立轨(142)固定安装于安装架(10)上,所述单轨(17)固定安装于上支撑板(3)上端面。
4.根据权利要求1所述的一种成品芯片检测用超声波检测装置,其特征在于,一侧所述下侧板(2)表面开设有芯片入口(29),所述芯片入口(29)内壁顶部与芯片安装板(151)底面位于同一平面。
5.根据权利要求1所述的一种成品芯片检测用超声波检测装置,其特征在于,所述壳体(4)一侧安装有护板(30),所述护板(30)表面安装有散热鳍片(301)。
6.根据权利要求1所述的一种成品芯片检测用超声波检测装置,其特征在于,所述单轨(17)一端固定设置有挡块(161),所述挡块(161)顶面与固定板(16)顶面位于同一平面。
7.一种成品芯片检测用超声波检测装置的检测方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一:将待检测芯片通过芯片入口(29)插入芯片安装板(151),第一电机(9)输出轴带动第二皮带轮(8)转动,第二皮带轮(8)通过皮带带动第一皮带轮(7)转动,第一皮带轮(7)带动第一丝杠(6)转动,第一丝杠(6)配合表面的丝套带动安装架(10)移动,安装架(10)带动固定板(16)在单轨(17)表面滑动,固定板(16)挤压挡块(161)后安装架(10)停止移动;
步骤二:第二电机(13)输出轴带动第四皮带轮(12)转动,第四皮带轮(12)通过皮带带动第三皮带轮(11)转动,第三皮带轮(11)带动第二丝杠(141)转动,第二丝杠(141)配合表面的丝套带动活动块(14)延立轨(142)向下移动,进而活动块(14)带动立杆(15)向下移动,立杆(15)带动底部的芯片安装板(151)向下移动,芯片安装板(151)带动芯片插入清洗容器(27)内的相应芯片卡槽(28)之间,超声波发生器(26)对芯片表面平整度进行检测,检测完成后伸缩气缸(23)输出端活塞杆收缩,带动安装板(21)底部的杆套(20)在固定杆(19)上滑动,进而安装板(21)通过支撑条(22)带动下支撑板(25)移动,当支撑条(22)移动到第二通槽(24)端部时,即可从芯片卡槽(28)内取出芯片。
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