CN110297369A - 阵列基板、阵列基板的制作方法和显示面板 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种阵列基板、阵列基板的制作方法和显示面板，该阵列基板包括衬底基板；设于衬底基板的一表面的扫描线，扫描线沿第一方向设置第一投影区；有源层和数据线，有源层和所述数据线依次堆叠于扫描线的上方，数据线与扫描线交叠设置；隔垫层，隔垫层设于数据线和扫描线之间，并与有源层位于同一层，隔垫层还设置贯穿孔，定义贯穿孔沿第一方向设置第二投影区，第二投影区的外轮廓位于第一投影区的外轮廓内，隔垫层的至少部分位于扫描线和数据线的交叠处。本发明技术方案旨在提高画素充电率，进而保证阵列基板的对比度和画质品位，并且，减小栅极(扫描线)的宽度设置，提高阵列基板用于透光的部分，提高画素开口率。

Description

阵列基板、阵列基板的制作方法和显示面板

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种阵列基板、阵列基板的制作方法和显示面板。

背景技术

示例性技术中，VA(Vertical Alignment，垂直对齐)显示模式像素结构分为TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)侧的像素结构和CF(Color Filter，彩膜基板)侧的像素结构两部分。其中，TFT侧的像素结构主要实现TFT-LCD(thin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶体管液晶显示器)的电学功能，是决定像素电容效应、配向延迟效应、灰阶电压写入特性和保持特性的主要因素；CF侧的像素结构主要实现TFT-LCD的光学功能，决定TFT-LCD的对比度和色域度的主要因素。完成VA显示从电学输入向光学输出转换的过度元素是像素负荷电容，主要包含液晶电容Clc和存储电容Cst，负荷电容的功能是保证像素电压的稳定性。

而数据线和扫描线上一般会产生寄生电容，该部分寄生电容会干扰到像素负荷电容，并且会增大Date loading(数据线负载)、Gate loading(扫描线负载)，继而减小画素充电率，使阵列基板对比度有所下降，影响阵列基板的画质品位，并且，为了避免半导体层被光照到，一般会用栅极(扫描线)进行遮光，所以栅极(扫描线)的宽度设置的宽度会比半导体层大，这样会导致阵列基板用于透光的部分减小，降低了画素的开口率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种阵列基板，旨在提高画素充电率，进而保证阵列基板的对比度和画质品位，并且，减小栅极(扫描线)的宽度设置，提高阵列基板用于透光的部分，提高画素开口率。

为实现上述目的，本发明提供的阵列基板，包括：

衬底基板；

扫描线，所述扫描线设于所述衬底基板的一表面，所述扫描线沿第一方向投影于所述衬底基板设置第一投影区；

有源层和数据线，所述有源层和所述数据线依次堆叠于所述扫描线的上方，所述数据线与所述扫描线交叠设置；

隔垫层，所述隔垫层设于所述数据线和所述扫描线之间，并与所述有源层位于同一层，所述隔垫层还设置显露所述有源层的贯穿孔，定义所述贯穿孔沿第一方向投影于所述阵列基板设置第二投影区，所述第二投影区的外轮廓位于所述第一投影区的外轮廓内，所述隔垫层的至少部分位于所述扫描线和所述数据线的交叠处。

可选地，所述隔垫层为黑色矩阵层；

或者，所述隔垫层为色块层；

或者，所述隔垫层包括相互堆叠的色块层和黑色矩阵层。

可选地，所述第一投影区的外轮廓为弧形或者环形；

且/或，所述第二投影区的外轮廓为弧形或者环形。

可选地，所述第二投影区的部分外轮廓与所述第一投影区的部分外轮廓重合，所述第二投影区其他部分的外轮廓位于所述第一投影区的其他部分的外轮廓内。

可选地，所述贯穿孔的孔壁抵接所述有源层设置。

可选地，所述有源层在第二方向上的两端距所述贯穿孔的孔壁距离为x1和x2，所述x1和x2的关系为：x1＝x2。

可选地，在所述隔垫层为黑色矩阵层时，所述黑色矩阵还设置有用于透光的透光区，所述透光区邻近所述贯穿孔设置；

或者，在所述隔垫层为色块层时，所述色块层还设置有用于滤光的滤光区；

或者，在所述隔垫层为相互堆叠的色块层和黑色矩阵层时，所述黑色矩阵还设置有用于透光的透光区，所述色块层还设置有用于滤光的滤光区，所述滤光区正对所述透光区设置。

可选地，所述阵列基板还包括栅极绝缘层，所述栅极绝缘层设于所述衬底基板的一表面，并覆盖所述扫描线，所述有源层和所述数据线均设于所述栅极绝缘层背离所述衬底基板的一侧。

本发明的还提出一种阵列基板的制作方法，所述阵列基板的制作方法包括以下步骤：

提供衬底基板，在衬底基板的一表面设置扫描线；

在衬底基板的表面设置覆盖扫描线的栅极绝缘层；

在栅极绝缘层背离衬底基板的表面设置具有贯穿孔的隔垫层，该贯穿孔显露栅极绝缘层，并且该贯穿孔投影在扫描线的轮廓位于扫描线内；

在贯穿孔内设置连接栅极绝缘层的有源层；

在有源层背离栅极绝缘层的表面设置与扫描线交叠的数据线；

其中，所述隔垫层的至少部分位于所述扫描线和所述数据线的交叠处。

本发明还提出一种显示面板，包括阵列基板和与所述阵列基板相对设置的彩膜基板，该阵列基板的制作方法包括以下步骤：

提供衬底基板，在衬底基板的一表面设置扫描线；

在衬底基板的表面设置覆盖扫描线的栅极绝缘层；

在栅极绝缘层背离衬底基板的表面设置具有贯穿孔的隔垫层，该贯穿孔显露栅极绝缘层，并且该贯穿孔投影在扫描线的轮廓位于扫描线内；

在贯穿孔内设置连接栅极绝缘层的有源层；

在有源层背离栅极绝缘层的表面设置与扫描线交叠的数据线；

其中，所述隔垫层的至少部分位于所述扫描线和所述数据线的交叠处；

或者，所述阵列基板包括：

衬底基板；

扫描线，所述扫描线设于所述衬底基板的一表面，所述扫描线沿第一方向投影于所述衬底基板设置第一投影区；

有源层，所述有源层设于所述扫描线背离所述衬底基板的一侧，并正对所述扫描线设置；

数据线，所述数据线位于所述有源层背离所述衬底基板的一侧，并与所述扫描线交叠设置；

隔垫层，所述隔垫层设于所述数据线和所述扫描线之间，并与所述有源层位于同一层，所述隔垫层还设置显露所述有源层的贯穿孔，定义所述贯穿孔沿第一方向投影于所述阵列基板设置第二投影区，所述第二投影区的外轮廓位于所述第一投影区的外轮廓内，所述隔垫层的至少部分位于所述扫描线和所述数据线的交叠处。

本发明技术方案通过在衬底基板设置相互交替的扫描线和数据线，以及将隔垫层与有源层设置在同一层(扫描线和数据线之间)，且将隔垫层的至少部分设置在扫描线和数据线的交叠处，参照电容计算公式：C＝εS/4πkd(ε为介电常数、S为交叠面积、k为静电力常量、d为相对距离)，示例性技术中，该扫描线和数据线的距离为d1，则扫描线和数据线在交叠处设置的寄生电容C1则为：C1＝εS/4πkd1；定义隔垫层的高度为d2、介电常数为δ，根据电容串联公式：C＝(C1*C2)/(C1+C2)，当将隔垫层设置在扫描线和数据线之间时的寄生电容C2则为：

C2＝[(εS/4πkd1)*(δS/4πkd2)]/[(εS/4πkd1)+(δS/4πkd2)]＝[εδ/(εd2+δd1)]*S/4πk

再通过将C1和C2进行差值比较，得到：

C1-C2＝[(ε/d1)-εδ/(εd2+δd1)]*S/4πk＝d1ε²/[d1*(εd2+δd1)]*S/4πk＞0

也即，C1＞C2，通过在扫描线和数据线之间增加隔垫层可以减小扫描线与数据线的寄生电容，从而扫描线和数据线的负载都得到了降低；并于隔垫层设置贯穿孔，再使第贯穿孔沿第一方向投影于衬底基板的第二投影区的外轮廓，位于数据线沿第一方向投影于衬底基板的第一投影区的外轮廓内，如此，有源层只要设置在贯穿孔内，在第一方向上就一定会位于栅极(扫描线)内，从而栅极(扫描线)可以在完全将有源层遮挡的前提下，适当减少宽度，这样就能提高阵列基板用于透光的部分，提高画素开口率，并且，由于栅极(扫描线)的宽度减小了，参照电容公式，在正对面积减少的情况下，可以降低电容，所以扫描线和数据线的寄生电容得到了进一步降低。如此，本发明的技术方案可以提高画素充电率，进而保证阵列基板的对比度和画质品位，并且，减小栅极(扫描线)的宽度设置，提高阵列基板用于透光的部分，提高画素开口率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明显示面板的像素单位一实施例的结构示意图；

图2为本发明显示面板的像素单位的驱动部分一实施例的结构示意图；

图3为图2中A-A处一实施例(隔垫层为黑色矩阵层)的截面图；

图4为图2中B-B处一实施例的截面分解示意图；

图5为本发明阵列基板的隔垫层之贯穿孔抵接有源层一实施例的结构示意图；

图6为本发明阵列基板的隔垫层之贯穿孔抵接有源层一实施例的分解示意图；

图7为本发明阵列基板一实施例的结构示意图；

图8为本发明阵列基板一实施例的分解示意图；

图9为本发明阵列基板另一实施例的结构示意图；

图10为本发明阵列基板另一实施例的分解示意图；

图11为本发明阵列基板的制作方法一实施例的流程步骤图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本发明提出一种阵列基板100。

参照图1至图10，本发明技术方案提出的阵列基板100包括：

衬底基板10；

扫描线20，所述扫描线20设于所述衬底基板10的一表面，所述扫描线20沿第一方向投影于所述衬底基板10设置第一投影区；

有源层50和数据线30，所述有源层50和所述数据线30依次堆叠于所述扫描线20的上方，所述数据线30与所述扫描线20交叠设置；

隔垫层40，所述隔垫层40设于所述数据线30和所述扫描线20之间，并与所述有源层50位于同一层，所述隔垫层40还设置显露所述有源层50的贯穿孔41，定义所述贯穿孔41沿第一方向投影于所述阵列基板100设置第二投影区，所述第二投影区的外轮廓位于所述第一投影区的外轮廓内，所述隔垫层40的至少部分位于所述扫描线20和所述数据线30的交叠处。

本发明技术方案通过在衬底基板10设置相互交替的扫描线20和数据线30，以及将隔垫层40与有源层50设置在同一层(扫描线20和数据线30之间)，且将隔垫层40的至少部分设置在扫描线20和数据线30的交叠处，参照电容计算公式：C＝εS/4πkd(ε为介电常数、S为交叠面积、k为静电力常量、d为相对距离)，示例性技术中，该扫描线20和数据线30的距离为d1，则扫描线20和数据线30在交叠处设置的寄生电容C1则为：C1＝εS/4πkd1；定义隔垫层40的高度为d2、介电常数为δ，根据电容串联公式：C＝(C1*C2)/(C1+C2)，当将隔垫层40设置在扫描线20和数据线30之间时的寄生电容C2则为：

C2＝[(εS/4πkd1)*(δS/4πkd2)]/[(εS/4πkd1)+(δS/4πkd2)]＝[εδ/(εd2+δd1)]*S/4πk

再通过将C1和C2进行差值比较，得到：

C1-C2＝[(ε/d1)-εδ/(εd2+δd1)]*S/4πk＝d1ε²/[d1*(εd2+δd1)]*S/4πk＞0

也即，C1＞C2，通过在扫描线20和数据线30之间增加隔垫层40可以减小扫描线20与数据线30的寄生电容，从而扫描线20和数据线30的负载都得到了降低；并于隔垫层40设置贯穿孔41，再使贯穿孔41沿第一方向投影于衬底基板10的第二投影区的外轮廓，位于数据线30沿第一方向投影于衬底基板10的第一投影区的外轮廓内，如此，有源层50只要设置在贯穿孔41内，在第一方向上就一定会位于栅极21(和/或扫描线20)内，从而栅极21(和/或扫描线20)可以在完全将有源层50遮挡的前提下，适当减少宽度，这样就能提高阵列基板100用于透光的部分，提高画素开口率，并且，由于栅极21(和/或扫描线20)的宽度减小了，参照电容公式，在正对面积减少的情况下，可以降低电容，所以扫描线20和数据线30的寄生电容得到了进一步降低。如此，本发明的技术方案可以提高画素充电率，进而保证阵列基板100的对比度和画质品位，并且，减小栅极21(和/或扫描线20)的宽度设置，提高阵列基板100用于透光的部分，提高画素开口率。

在本申请的一实施例中，该阵列基板100的材料可以包括例如玻璃材料、金属材料或塑料材料(如聚对苯二甲酸乙二醇醋(PET)、聚萘二甲酸乙二醇醋(PEN)、聚酰亚胺(PI))的各种材料中的一种或多种设置的基底，只要能为显示面板1000的各部件进行支撑，并且方便透光即可。衬底基板10还可以是可弯曲的或可折叠的。以及，该第一方向具体为上下方向或者为衬底基板10、有源层50和隔垫层40堆叠方向。

参照图3至图10，本实施例中，阵列基板100还包括衬底基板10、栅极绝缘层90、有源层50、保护层80及透明导电层。衬底基板10、栅极21、栅极绝缘层90、有源层50、源漏极金属层60和70、保护层80及透明导电层依次设置。具体结构如下：栅极21设于衬底基板10上；栅极绝缘层90设于栅极21上和衬底基板10上，并覆盖栅极21和衬底基板10；有源层50设于栅极绝缘层90上，并位于栅极21的上方；源漏极金属层60和70设于栅极绝缘层90上和有源层50上，并与有源层50相接触；保护层80设于栅极绝缘层90上、有源层50上及源漏极金属层50上，并覆盖栅极绝缘层90、有源层50及源漏极金属层50；透明导电层设于保护层80上，并与源漏极金属层50相接触(具体地，透明导电层可通过保护层80上的贯通孔与源漏极金属层50相接触)。此时，扫描线20与数据线30呈交叠设置，即扫描线20上存在与数据线30正面交叠的区域，数据线30上亦存在与扫描线20正面交叠的区域。扫描线20上与数据线30正面交叠的区域同数据线30上与该区域正面交叠的区域之间所夹区域，即为扫描线20与数据线30的交错区域。需要说明的是，阵列基板100包括有多条数据线30和多条扫描线20，每条数据线30与每条扫描线20呈交叠设置，也就是阵列基板100上存在若干个这样的交错区域。可以理解的是，所述有源层50设于所述栅极绝缘层90背离所述扫描线20的表面，使有源层50可以与栅极绝缘层90连接，进而有源层50作为导电沟道可以实现由栅极21电压控制生成反型层，栅极绝缘层90的内阻较高，采用二氧化硅材料的可以达到几百兆欧，再将源极60与漏极70设置在有源层50背离栅极绝缘层90的表面，从而完整的电压控制元件。

参照图3，在本申请的一实施例中，所述隔垫层40为黑色矩阵层；

或者，所述隔垫层40为色块层220；

或者，所述隔垫层40包括相互堆叠的色块层220和黑色矩阵层。

在本实施例中，隔垫层40的取层均为彩膜基板200上的结构，可以理解的是，例如，当隔垫层40为黑色矩阵层是，将黑色矩阵层的制程增加到阵列基板100的制程，彩膜基板200对应减少相应的制程，而彩膜基板200其他的结构不变，具体的，彩膜基板200可以包括彩膜基板200可以包括滤光片基板210、设置在滤光片基板210一表面的色块层220以及设置在色块层220背离滤光片基板210的彩膜基板导电薄膜230，同理于隔垫层40为色块层220，以及隔垫层40为相互堆叠的色块层220和黑色矩阵层。进一步需要说明的是，寄生电容还包括彩膜基板导电薄膜230与阵列基板100的数据线30和扫描线20之间设置的电容，但是厚度为d2的隔垫层40层从彩膜基板200转移到阵列基板100，并位于数据线30和扫描线20之间时，数据线30相对滤光片基板210靠近，彩膜基板导电薄膜230朝向滤光片基板210的方向靠近，二者的间距并没有改变，因此，数据线30和彩膜基板导电薄膜230的之间的寄生电容并没有变化；而扫描线20在隔垫层40层设置的过程中，并没有相对滤光片基板210靠近，在彩膜基板导电薄膜230朝向滤光片基板210的方向靠近的前提下，扫描线20与彩膜基板导电薄膜230距离增加了，参照电容公式，在距离增加的情况下，电容减小，具体计算过程参照数据线30的计算过程。综上，数据线30与扫描线20的寄生电容，以及扫描线20与彩膜基板导电薄膜230的寄生电容得到了减小，进而提高了画素充电率。

在本申请的一实施例中，所述第一投影区的外轮廓为环形；扫描线20一般为长条形的金属层，也即，投影外轮廓一般为矩形如此设置其结构简单、易于制造，当然了，具体应用中，第一投影区和第二投影区的外轮廓也可设为其它形状。

在本申请的一实施例中，所述第二投影区的外轮廓为环形。贯穿孔41的外轮廓可以为多边环形或者圆环形等，该多边环形可以为直线与弧线围合设置的环形结构，只要便于设置有源层50即可。

参照图8至图10，在本申请的一实施例中，所述第二投影区的部分外轮廓与所述第一投影区的部分外轮廓重合，所述第二投影区其他部分的外轮廓位于所述第一投影区的其他部分的外轮廓内。需要说明的是，该第二投影区的外轮廓位于第一投影区的外轮廓的形式可以为“回”字型的完全包含，“回”字型的包含方式对生产设备的要求精度较低，可以降低生产成本；或者为“目”字型的部分包含，“目”字型的包含方式可以减少栅极21(数据线30)的宽度值，从而很好地提高画素开口率，当然，具体可以用户的需要设置。

参照图5、图6、图9和图10，本申请的一实施例中，所述贯穿孔41的孔壁抵接所述有源层50设置。所述阵列基板100还包括漏极70和源极60，该源极60设置在有源层50背离衬底基板10的表面，并且源极60从有源层50向外延伸与数据线30连接，将贯穿孔41的孔壁与有源层50连接，可以使隔垫层40更靠近有源层50，这样伸出贯穿孔41的源极60需要做在隔垫层40，从而可以增加该部分源极60与扫描线20之间的间距，从而降低二者之间的寄生电容，提高画素充电率。

参照图8，在本申请的一实施例中，所述有源层50在第二方向上的两端距所述贯穿孔41的孔壁距离为x1和x2，所述x1和x2的关系为：x1＝x2。也即，将有源层50设置在贯穿孔41的中间部分，防止设计的误差，并且保证后续源漏极70制作流程较好进行。

在本申请的一实施例中，在所述隔垫层40为黑色矩阵层时，所述黑色矩阵还设置有用于透光的透光区42，所述透光区42邻近所述贯穿孔41设置；

或者，在所述隔垫层40为色块层220时，所述色块层220还设置有用于滤光的滤光区；

或者，在所述隔垫层40为相互堆叠的色块层220和黑色矩阵层时，所述黑色矩阵还设置有用于透光的透光区42，所述色块层220还设置有用于滤光的滤光区，所述滤光区正对所述透光区42设置。可以理解的是，隔垫层40的取层为彩膜基板200结构的部分色层，当将隔垫层40设置在阵列基板100时，该隔垫层40拥有与被取层相同的光学功能。

参照图11，本发明还提出一种阵列基板100的制作方法，所述阵列基板100的制作方法包括以下步骤：

步骤S10，提供衬底基板10，在衬底基板10的一表面设置扫描线20；该扫描线20和数据线30的材质均包括金属材质，其设置的流程步骤可以为：

在衬底基板10上沉积金属薄膜；

在金属薄膜上光阻；

在光阻上设置光罩，该光罩包括透光区42和遮光区，将光罩对准光阻后，用光源照射光罩，使部分光通过透光区42，照射在光阻上曝光；

用显影液使未被光照射的部显影；

用酸性气体对光阻和金属薄膜进行蚀刻；

用去光阻液对光阻进行清洗，从而得到扫描线20或者数据线30。

该数据线30和/或扫描线20的金属材料可以包括钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)中的一种或多种；可以理解的是，栅极21与扫描线20由同一金属薄膜制作，并且位于同一层，源极60、漏极70和数据线30由同一金属薄膜制作，并且位于同一层。

在本申请的一实施例中，还可采用溅射(Sputter)工艺沉积设置数据线30和/或扫描线20，具体而言，可以选用Al、Al/Mo或Al的合金类靶材通入氩气进行溅射而设置数据线30和/或扫描线20，数据线30和/或扫描线20的厚度可以为300nm～400nm，但不以此为限。然后，可通过掩膜光刻工艺设置掩膜图形，最后，可采用湿法刻蚀工艺设置数据线30和/或扫描线20的图案。当然，在本公开的其它实施方式中，也可以通过真空镀膜等其它工艺设置数据线30和/或扫描线20，在此不再详述。在完成了数据线30的制作后，可以在数据线30背离衬底基板10的一侧设置保护层80，从而防止数据线30被其他外界因素干扰，保证数据线30正常工作。

步骤S20，在衬底基板10的表面设置覆盖扫描线20的栅极绝缘层90；在本申请的一实施例中，可以通过化学气相沉积方法获得栅极绝缘层90，以栅极绝缘层90为SiNx为例，可使用等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)在栅极21上面沉积SiNx膜层，具体而言，以SiH4、NH3、N2等气体作为反应气体，反应温度约350℃，完成SiNx膜层的沉积，膜厚约300nm～400nm。当然，在本公开的其它实施方式中，也可以通过真空镀膜等其它工艺设置栅极绝缘层90，在此不再详述。

步骤S30，在栅极绝缘层90背离衬底基板10的表面设置具有贯穿孔41的隔垫层40，该贯穿孔41显露栅极绝缘层90，并且该贯穿孔41投影在扫描线20的轮廓位于扫描线20内；

在隔垫层40设置贯穿孔41，可以采用在曝光时采用具有与贯穿孔41的外轮廓一致的光罩，经过曝光后，再用缺陷感应器(defect insp)进行检测，检测无误后，再经过蚀刻、去光阻即可。该贯穿孔41的外轮廓可以为圆形、方形、具有直线与弧线的多边形等。

步骤S40，在贯穿孔41内设置连接栅极绝缘层90的有源层50；有源层50可以通过将铟镓锌氧化物作为靶材层，并且在通氧状态下，对该靶材层进行磁控溅射，进而在退火温度为350℃至450℃的温度下，对所述铟镓锌氧化物薄膜进行退火处理，如此，即可制备得到有源层50。在本实施例中，对铟镓锌氧化物薄膜进行加热，使其温度升高至350摄氏度至450摄氏度之间，当温度低于350摄氏度时，温度较低，不利于有源层50和栅极绝缘层90沟道处的连接；当温度低于450摄氏度时，温度较高，有源层50和栅极绝缘层90沟道处反应较快，不利于设置平整的有源层50；当退火温度位于350摄氏度至450摄氏度时，可以使有源层50和栅极绝缘层90沟道处平滑过渡，可以较好的降低有源层50的膜层表面粗糙度，可以理解的是，该退火温度还可以为360℃、370℃、380℃、390℃、400℃、410℃、420℃、430℃、440℃等均可以使有源层50和栅极绝缘层90沟道处平滑过渡，可以较好的降低有源层50的膜层表面粗糙度。如此，可以保证有源层50的表面缺陷态密度降低，改善有源层50膜层的致密性，并最好地减少载流子的浓度，此时元器件的迁移率、阈值电压、开关比和亚阈值摆幅的数值最佳，便于元器件工作。

步骤S50，在有源层50背离栅极绝缘层90的表面设置与扫描线20交叠的数据线30；该数据线30由于同样采用金属材料制作，具体的制作流程可以参考扫描线20的制作步骤。

其中，所述隔垫层40的至少部分位于所述扫描线20和所述数据线30的交叠处。

由于将隔垫层40的制作过程设计在扫描线20和数据线30之间，所以可以通过隔垫层40层增加扫描线20和数据线30之间的间距，从而降低二者之间的寄生电容，提高画素充电率。并且，对于同层的有源层50和隔垫层40，优先制作隔垫层40，通过对扫描线20的对位，使得隔垫层40的贯穿孔41沿第一方向投影于衬底基板10的第二投影区的外轮廓，位于数据线30沿第一方向投影于衬底基板10的第一投影区的外轮廓内，进而在贯穿孔41内制作有源层50。如此，有源层50只要设置在贯穿孔41内，在第一方向上就一定会位于栅极21(和/或扫描线20)内，从而栅极21(和/或扫描线20)可以在完全将有源层50遮挡的前提下，适当减少宽度，这样就能提高阵列基板100用于透光的部分，提高画素开口率，并且，由于栅极21(和/或扫描线20)的宽度减小了，参照电容公式，在正对面积减少的情况下，可以降低电容，所以扫描线20和数据线30的寄生电容得到了进一步降低。

本发明还提出一种显示面板1000，该显示面板1000包括阵列基板100和与所述阵列基板100相对设置的彩膜基板200，该阵列基板100的制作方法包括以下步骤：

提供衬底基板10，在衬底基板10的一表面设置扫描线20；

在衬底基板10的表面设置覆盖扫描线20的栅极绝缘层90；

在栅极绝缘层90背离衬底基板10的表面设置具有贯穿孔41的隔垫层40，该贯穿孔41显露栅极绝缘层90，并且该贯穿孔41投影在扫描线20的轮廓位于扫描线20内；

在贯穿孔41内设置连接栅极绝缘层90的有源层50；

在有源层50背离栅极绝缘层90的表面设置与扫描线20交叠的数据线30；

其中，所述隔垫层40的至少部分位于所述扫描线20和所述数据线30的交叠处；

或者，所述阵列基板100包括：

衬底基板10；

扫描线20，所述扫描线20设于所述衬底基板10的一表面，所述扫描线20沿第一方向投影于所述衬底基板10设置第一投影区；

有源层50和数据线30，所述有源层50和所述数据线30依次堆叠于所述扫描线20的上方，所述数据线30与所述扫描线20交叠设置；

隔垫层40，所述隔垫层40设于所述数据线30和所述扫描线20之间，并与所述有源层50位于同一层，所述隔垫层40还设置显露所述有源层50的贯穿孔41，定义所述贯穿孔41沿第一方向投影于所述阵列基板100设置第二投影区，所述第二投影区的外轮廓位于所述第一投影区的外轮廓内，所述隔垫层40的至少部分位于所述扫描线20和所述数据线30的交叠处，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：

衬底基板；

扫描线，所述扫描线设于所述衬底基板的一表面，所述扫描线沿第一方向投影于所述衬底基板设置第一投影区；

有源层和数据线，所述有源层和所述数据线依次堆叠于所述扫描线的上方，所述数据线与所述扫描线交叠设置；

隔垫层，所述隔垫层设于所述数据线和所述扫描线之间，并与所述有源层位于同一层，所述隔垫层还设置显露所述有源层的贯穿孔，定义所述贯穿孔沿第一方向投影于所述阵列基板设置第二投影区，所述第二投影区的外轮廓位于所述第一投影区的外轮廓内，所述隔垫层的至少部分位于所述扫描线和所述数据线的交叠处。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述隔垫层为黑色矩阵层；

或者，所述隔垫层为色块层；

或者，所述隔垫层包括相互堆叠的色块层和黑色矩阵层。

3.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一投影区的外轮廓为环形；

且/或，所述第二投影区的外轮廓为环形。

4.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二投影区的部分外轮廓与所述第一投影区的部分外轮廓重合，所述第二投影区其他部分的外轮廓位于所述第一投影区的其他部分的外轮廓内。

5.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述贯穿孔的孔壁抵接所述有源层设置。

6.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述有源层在第二方向上的两端距所述贯穿孔的孔壁距离为x1和x2，所述x1和x2的关系为：x1＝x2。

7.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，在所述隔垫层为黑色矩阵层时，所述黑色矩阵还设置有用于透光的透光区，所述透光区邻近所述贯穿孔设置；

或者，在所述隔垫层为色块层时，所述色块层还设置有用于滤光的滤光区；

或者，在所述隔垫层为相互堆叠的色块层和黑色矩阵层时，所述黑色矩阵还设置有用于透光的透光区，所述色块层还设置有用于滤光的滤光区，所述滤光区正对所述透光区设置。

8.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括栅极绝缘层，所述栅极绝缘层设于所述衬底基板的一表面，并覆盖所述扫描线，所述有源层和所述数据线均设于所述栅极绝缘层背离所述衬底基板的一侧。

9.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，所述阵列基板的制作方法包括以下步骤：

提供衬底基板，在衬底基板的一表面设置扫描线；

在衬底基板的表面设置覆盖扫描线的栅极绝缘层；

在栅极绝缘层背离衬底基板的表面设置具有贯穿孔的隔垫层，该贯穿孔显露栅极绝缘层，并且该贯穿孔投影在扫描线的轮廓位于扫描线内；

在贯穿孔内设置连接栅极绝缘层的有源层；

在有源层背离栅极绝缘层的表面设置与扫描线交叠的数据线；

其中，所述隔垫层的至少部分位于所述扫描线和所述数据线的交叠处。

10.一种显示面板，其特征在于，包括阵列基板和与所述阵列基板相对设置的彩膜基板，该阵列基板的制作方法为如权利要求9所述的阵列基板的制作方法；

或者，所述阵列基板为如权利要求1至8任一项所述的阵列基板。